CN116294641A - 一种扩散炉净化台冷却系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体制造技术领域，公开了一种扩散炉净化台冷却系统，包括：壳体、冷却装置、制冷装置、测温装置和控制装置，壳体用于放置待冷却产品，冷却装置包括风冷组件和水冷组件，冷却装置用于对待冷却产品进行降温，制冷装置，连接于水冷组件，制冷装置用于降低冷却水的温度，测温装置，设置在壳体的内部，测温装置用于实时采集待冷却产品的温度，控制装置，包括处理模块和控制模块，处理模块用于根据待冷却产品的温度设定风冷组件的转动速度和制冷装置的制冷温度，控制模块用于根据风冷组件的转动速度和制冷装置的制冷温度对风冷组件和制冷装置进行控制。本发明可以有效地对待冷却产品进行降温，加快待冷却产品的冷却速度，提高生产效率。

Description

一种扩散炉净化台冷却系统

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别是涉及一种扩散炉净化台冷却系统。

背景技术

扩散炉作为半导体器件工艺设备的重要设备之一，广泛应用于集成电路、电力电子、太阳能电池生产等行业，在光伏行业，高温扩散炉主要用于对单晶硅片、多晶硅片进行掺杂，形成PN结。随着光伏行业的发展，人们一直在追求产能的提升。而在制作工艺过程中，会有许多热处理的工序，如热氧化、化学气相沉积(CVD)、热扩散、金属合金化、杂质激活、介质膜致密化等。这些热处理工艺对温度非常敏感，尤其是在半导体器件制备中，温度是影响硅晶圆成膜均匀性及生长速度的关键参数。

通常，硅片装载在石英晶体内，通过搬舟机构送入炉管内，反应结束后通过搬出炉管。半导体器件的热处理工艺过程中，搬舟机构在搬进搬出硅片的时候产生大量热。除了炉体内的冷却装置，炉体外也需要一套完整的冷却体系支持整个工艺流程的运作。传统的散热方式仅设置系统出风口来进行排热，这样热量一部分从系统出风口排出，但绝大部分热仍然积蓄在系统内部，不仅影响生产效率，而且这些热量还有可能对装置本身造成损害，且影响设备性能与寿命。

因此，如何提高内部散热效果，确保设备能够长期稳定工作，并满足快速降温工艺的需求，研发出性价比高的炉体外部冷却系统，是亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明实施例提供一种扩散炉净化台冷却系统，用以解决现有技术中无法对待冷却产品进行精准降温，导致待冷却产品内部冷却效果差的技术问题。

为了实现上述目的，本发明提供了一种扩散炉净化台冷却系统，包括：

壳体，用于放置待冷却产品；

冷却装置，包括风冷组件和水冷组件，所述冷却装置用于对所述待冷却产品进行降温；

制冷装置，连接于所述水冷组件，所述制冷装置用于降低冷却水的温度；

测温装置，设置在所述壳体的内部，所述测温装置用于实时采集所述待冷却产品的温度；

控制装置，包括处理模块和控制模块，所述处理模块用于根据所述待冷却产品的温度设定所述风冷组件的转动速度和所述制冷装置的制冷温度，所述控制模块用于根据所述风冷组件的转动速度和所述制冷装置的制冷温度对所述风冷组件和所述制冷装置进行控制。

在其中一个实施例中，所述水冷组件包括：

进水管，开设有水幕墙进水口、顶部水冷进水口和缓存水冷进水口，所述进水管用于向所述壳体内导入冷却水；

回水管，开设有水幕墙回水口、顶部水冷回水口和缓存水冷回水口，所述回水管用于将冷却水导出所述壳体。

在其中一个实施例中，还包括：

水冷管道，设置有若干个，分别连接于所述水幕墙进水口、所述顶部水冷进水口、所述缓存水冷进水口、所述水幕墙回水口、所述顶部水冷回水口和所述缓存水冷回水口，所述水冷管道用于对冷却水进行输送。

在其中一个实施例中，所述进水管和所述回水管通过所述水冷管道形成封闭的回路。

在其中一个实施例中，还包括：

进水直通，设置在所述进水管上，所述进水直通用于对所述进水管中冷却水的流量进行控制；

回水直通，设置在所述回水管上，所述回水直通用于对所述回水管中冷却水的流量进行控制。

在其中一个实施例中，还包括：

流量检测装置，设置在所述水冷组件的内部，所述流量检测装置用于实时检测冷却水的流量。

在其中一个实施例中，在所述处理模块中，

所述处理模块用于预设待冷却产品的温度矩阵B，设定B(B1，B2，B3，B4)，其中，B1为第一预设待冷却产品的温度，B2为第二预设待冷却产品的温度，B3为第三预设待冷却产品的温度，B4为第四预设待冷却产品的温度，且B1＜B2＜B3＜B4；

所述处理模块用于预设风冷组件的转动速度矩阵C，设定C(C1，C2，C3，C4，C5)，其中，C1为第一预设转动速度，C2为第二预设转动速度，C3为第三预设转动速度，C4为第四预设转动速度，C5为第五预设转动速度，且C1＜C2＜C3＜C4＜C5；

所述处理模块用于预设制冷装置的制冷温度矩阵D，设定D(D1，D2，D3，D4，D5)，其中，D1为第一预设制冷温度，D2为第二预设制冷温度，D3为第三预设制冷温度，D4为第四预设制冷温度，D5为第五预设制冷温度，且D1＜D2＜D3＜D4＜D5；

所述处理模块还用于根据所述待冷却产品的温度A与各预设待冷却产品的温度之间的关系设定所述风冷组件的转动速度和所述制冷装置的制冷温度：

当A＜B1时，选定所述第一预设转动速度C1作为所述风冷组件的转动速度，选定所述第一预设制冷温度D1作为所述制冷装置的制冷温度；

当B1-A＜B2时，选定所述第二预设转动速度C2作为所述风冷组件的转动速度，选定所述第二预设制冷温度D2作为所述制冷装置的制冷温度；

当B2≤A＜B3时，选定所述第三预设转动速度C3作为所述风冷组件的转动速度，选定所述第三预设制冷温度D3作为所述制冷装置的制冷温度；

当B3≤A＜B4时，选定所述第四预设转动速度C4作为所述风冷组件的转动速度，选定所述第四预设制冷温度D4作为所述制冷装置的制冷温度；

当B4≤A时，选定所述第五预设转动速度C5作为所述风冷组件的转动速度，选定所述第五预设制冷温度D5作为所述制冷装置的制冷温度。

在其中一个实施例中，所述处理模块在将所述风冷组件的转动速度和所述制冷装置的制冷温度分别设定为第i预设转动速度Ci和第i预设制冷温度Di时，i＝1，2，3，4，5；

所述控制单元根据所述第i预设转动速度C i和所述第i预设制冷温度Di分别对所述风冷组件和所述制冷装置进行控制之后，所述测温装置采集所述待冷却产品的调节温度E，所述处理模块根据所述待冷却产品的调节温度E与预设温度α之间的关系判断所述待冷却产品是否需要继续冷却，

若所述待冷却产品的调节温度E大于所述预设温度α，所述处理模块则判断所述待冷却产品需要继续冷却；

若所述第二发电量K小于或等于所述预设发电量α，所述处理模块则判断所述待冷却产品不需要继续冷却。

在其中一个实施例中，在所述处理模块中，当所述处理模块判断所述待冷却产品需要继续冷却时，所述处理模块根据所述待冷却产品的调节温度E与所述预设温度α之间的温度差值E-α对所述风冷组件的转动速度和所述制冷装置的制冷温度进行修正。

在其中一个实施例中，在所述处理模块中，

所述处理模块用于预设温度差值矩阵G，设定G(G1，G2，G3，G4)，其中，G1为第一预设温度差值，G2为第二预设温度差值，G3为第三预设温度差值，G4为第四预设温度差值，且G1＜G2＜G3＜G4；

所述处理模块用于预设风冷组件的转动速度修正系数矩阵h，设定h(h1，h2，h3，h4，h5)，其中，h1为第一预设转动速度修正系数，h2为第二预设转动速度修正系数，h3为第三预设转动速度修正系数，h4为第四预设转动速度修正系数，h5为第五预设转动速度修正系数，且0.8＜h1＜h2＜h3＜h4＜h5＜1.2；

所述处理模块用于预设制冷装置的制冷温度修正系数矩阵y，设定y(y1，y2，y3，y4，y5)，其中，y1为第一预设制冷温度修正系数，y2为第二预设制冷温度修正系数，y3为第三预设制冷温度修正系数，y4为第四预设制冷温度修正系数，y5为第五预设制冷温度修正系数，且0.8＜y1＜y2＜y3＜y4＜y5＜1.2；

所述处理模块还用于根据所述温度差值E-α与各预设温度差值之间的关系对所述风冷组件的转动速度和所述制冷装置的制冷温度进行修正：

当E-α＜G1时，选定所述第一预设转动速度修正系数h1对所述第i预设转动速度Ci进行修正，修正后的风冷组件的转动速度为Ci*h1，选定所述第一预设制冷温度修正系数y1对所述第i预设制冷温度Di进行修正，修正后的制冷装置的制冷温度为Di*y1；

当G1≤E-α＜G2时，选定所述第二预设转动速度修正系数h2对所述第i预设转动速度Ci进行修正，修正后的风冷组件的转动速度为Ci*h2，选定所述第二预设制冷温度修正系数y2对所述第i预设制冷温度Di进行修正，修正后的制冷装置的制冷温度为Di*y2；

当G2≤E-α＜G3时，选定所述第三预设转动速度修正系数h3对所述第i预设转动速度Ci进行修正，修正后的风冷组件的转动速度为Ci*h1，选定所述第三预设制冷温度修正系数y3对所述第i预设制冷温度Di进行修正，修正后的制冷装置的制冷温度为Di*y3；

当G3≤E-α＜G4时，选定所述第四预设转动速度修正系数h4对所述第i预设转动速度Ci进行修正，修正后的风冷组件的转动速度为Ci*h4，选定所述第四预设制冷温度修正系数y4对所述第i预设制冷温度Di进行修正，修正后的制冷装置的制冷温度为Di*y4；

当G4≤E-α时，选定所述第五预设转动速度修正系数h5对所述第i预设转动速度Ci进行修正，修正后的风冷组件的转动速度为Ci*h5，选定所述第五预设制冷温度修正系数y5对所述第i预设制冷温度Di进行修正，修正后的制冷装置的制冷温度为Di*y5。

本发明提供了一种扩散炉净化台冷却系统，相较现有技术，具有以下有益效果：

本发明将风冷组件和水冷组件两种冷却方式相结合，提高待冷却产品的冷却效果，同时本发明中的控制装置可以根据待冷却产品的实时温度对风冷组件和水冷组件进行控制调节，进而有效地对待冷却产品进行降温，加快待冷却产品的冷却速度，提高生产效率，既可以保证待冷却产品的冷却效果，又可以避免能源的浪费。

附图说明

图1示出了本发明实施例中水冷组件的结构示意图；

图2示出了本发明实施例中风冷组件的结构示意图；

图3示出了本发明实施例中控制装置的功能框图。

图中，1、风冷组件；2、进水管；3、水幕墙进水口；4、顶部水冷进水口；5、缓存水冷进水口；6、回水管；7、水幕墙回水口；8、顶部水冷回水口；9、缓存水冷回水口；10、进水直通；11、回水直通；12、卡箍；13、Y型过滤器；14、卫生球棉；15、卡座。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式做进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体的连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

下文是结合附图对本发明的优选的实施例说明。

如图1-3所示，本发明的实施例公开了一种扩散炉净化台冷却系统，包括：壳体、冷却装置、制冷装置、测温装置和控制装置。

应该理解的是，壳体用于放置待冷却产品，冷却装置，包括风冷组件1和水冷组件，所述冷却装置用于对所述待冷却产品进行降温，制冷装置连接于所述水冷组件，所述制冷装置用于降低冷却水的温度，测温装置，设置在所述壳体的内部，所述测温装置用于实时采集所述待冷却产品的温度。

本实施例中，水冷组件设置在壳体上，具体的布置方式可以根据实际情况进行布置，在此不作具体限定，制冷装置可以为制冷器或冷凝器等，在此不作具体限定，本发明将风冷组件1和水冷组件两种冷却方式相结合，提高待冷却产品的冷却效果。

应该理解的是，控制装置包括处理模块和控制模块，所述处理模块用于根据所述待冷却产品的温度设定所述风冷组件1的转动速度和所述制冷装置的制冷温度，所述控制模块用于根据所述风冷组件1的转动速度和所述制冷装置的制冷温度对所述风冷组件和所述制冷装置进行控制。

需要说明的是，控制装置电连接于所述风冷组件1、所述制冷装置和所述测温装置，所述控制装置用于对所述风冷组件、所述制冷装置和所述测温装置进行控制，风冷组件用于向所述壳体内导入新风，水冷组件用于循环冷却水。

本实施例中，控制装置可以根据待冷却产品的实时温度对风冷组件和水冷组件进行调节，进而有效地对待冷却产品进行降温，加快待冷却产品的冷却速度，提高生产效率，本发明既可以保证待冷却产品的冷却效果，又可以避免能源的浪费。

在本申请的一些实施例中，所述水冷组件包括：进水管2和回水管5。

应该理解的是，进水管2开设有水幕墙进水口3、顶部水冷进水口4和缓存水冷进水口5，所述进水管2用于向所述壳体内导入冷却水，回水管6开设有水幕墙回水口7、顶部水冷回水口8和缓存水冷回水口9，所述回水管6用于将冷却水导出所述壳体。

在本申请的一些实施例中，还包括：水冷管道。

应该理解的是，水冷管道设置有若干个，分别连接于所述水幕墙进水口3、所述顶部水冷进水口4、所述缓存水冷进水口5、所述水幕墙回水口6、所述顶部水冷回水口7和所述缓存水冷回水口8，所述水冷管道用于对冷却水进行输送。

本实施例中，各水冷管道可以根据实际需求，布置在待冷却产品的周围，各水冷管道的一端连接于进水管2上开设的水幕墙进水口3、顶部水冷进水口4和缓存水冷进水口5，另一端连接于回水管6上开设的水幕墙回水口7、顶部水冷回水口8和缓存水冷回水口9，本发明通过水冷管道可以实现对冷却水的输送，水冷管道将进水管2中的冷却水输送至壳体内部，通过冷却水带走待冷却产品的热量，并将换热之后的冷却水输送至回水管6内，本申请中换热后的冷却水可以用于其他方向上，如设备的冲洗等，本发明既可以有效地保证待冷却产品的冷却效果，又可以避免水资源的浪费。

在本申请的一些实施例中，所述进水管2和所述回水管6通过所述水冷管道形成封闭的回路。通过水冷管道将进水管2和回水管6进行连通，形成封闭的回路，保证冷却水可以及时带走待冷却产品的热量。

在本申请的一些实施例中，还包括：进水直通10和回水直通11。

应该理解的是，进水直通10设置在所述进水管2上，所述进水直通10用于对所述进水管2中冷却水的流量进行控制，回水直通11设置在所述回水管6上，所述回水直通11用于对所述回水管6中冷却水的流量进行控制。

本实施例中，为了控制进水管2和回水管6中冷却水流量，在进水管2上设置进水直通10，在回水管6上设置回水直通11，进而通过进水直通10和回水直通11实现对进水管2和回水管6中冷却水流量的控制，保证冷却水可以进行充分的换热，避免出现冷却水流量过高造成水资源浪费的现象，或者避免出现冷却水流量过低冷却效果不理想的现象。

在本申请的一些实施例中，还包括：

流量检测装置，设置在所述水冷组件的内部，所述流量检测装置用于实时检测冷却水的流量，通过在水冷组件的内部设置流量检测装置，实现对冷却水流量的实时检测，为冷却水流量的控制提供数据支撑。

在本申请的一些实施例中，还包括卡箍12，设置有若干个，各卡箍12设置在进水管2和回水管6上，卡箍12用于固定进水管2和回水管6，保证冷却组件的稳定性。还包括Y型过滤器13和卫生球棉14，设置在进水管上2上，通过Y型过滤器13和卫生球棉14可以使冷却水更加纯净。还包括卡座15，卡座15用于固定进水管2和回水管6的位置。

在本申请的一些实施例中，在所述处理模块中，

所述处理模块用于预设待冷却产品的温度矩阵B，设定B(B1，B2，B3，B4)，其中，B1为第一预设待冷却产品的温度，B2为第二预设待冷却产品的温度，B3为第三预设待冷却产品的温度，B4为第四预设待冷却产品的温度，且B1＜B2＜B3＜B4；

所述处理模块用于预设风冷组件1的转动速度矩阵C，设定C(C1，C2，C3，C4，C5)，其中，C1为第一预设转动速度，C2为第二预设转动速度，C3为第三预设转动速度，C4为第四预设转动速度，C5为第五预设转动速度，且C1＜C2＜C3＜C4＜C5；

所述处理模块用于预设制冷装置的制冷温度矩阵D，设定D(D1，D2，D3，D4，D5)，其中，D1为第一预设制冷温度，D2为第二预设制冷温度，D3为第三预设制冷温度，D4为第四预设制冷温度，D5为第五预设制冷温度，且D1＜D2＜D3＜D4＜D5；

所述处理模块还用于根据所述待冷却产品的温度A与各预设待冷却产品的温度之间的关系设定所述风冷组件1的转动速度和所述制冷装置的制冷温度：

当A＜B1时，选定所述第一预设转动速度C1作为所述风冷组件1的转动速度，选定所述第一预设制冷温度D1作为所述制冷装置的制冷温度；

当B1-A＜B2时，选定所述第二预设转动速度C2作为所述风冷组件1的转动速度，选定所述第二预设制冷温度D2作为所述制冷装置的制冷温度；

当B2≤A＜B3时，选定所述第三预设转动速度C3作为所述风冷组件1的转动速度，选定所述第三预设制冷温度D3作为所述制冷装置的制冷温度；

当B3≤A＜B4时，选定所述第四预设转动速度C4作为所述风冷组件1的转动速度，选定所述第四预设制冷温度D4作为所述制冷装置的制冷温度；

当B4≤A时，选定所述第五预设转动速度C5作为所述风冷组件的转动速度，选定所述第五预设制冷温度D5作为所述制冷装置的制冷温度。

本实施例中，处理模块还用于根据待冷却产品的温度A与各预设待冷却产品的温度之间的关系设定风冷组件1的转动速度和制冷装置的制冷温度，本发明通过设定风冷组件1的转动速度和制冷装置的制冷温度可以实现对待冷却产品的准确降温，保证待冷却产品的降温效果，同时又可以降低冷却成本。

在本申请的一些实施例中，所述处理模块在将所述风冷组件的转动速度和所述制冷装置的制冷温度分别设定为第i预设转动速度Ci和第i预设制冷温度Di时，i＝1，2，3，4，5；

所述控制单元根据所述第i预设转动速度C i和所述第i预设制冷温度Di分别对所述风冷组件和所述制冷装置进行控制之后，所述测温装置采集所述待冷却产品的调节温度E，所述处理模块根据所述待冷却产品的调节温度E与预设温度α之间的关系判断所述待冷却产品是否需要继续冷却，

若所述待冷却产品的调节温度E大于所述预设温度α，所述处理模块则判断所述待冷却产品需要继续冷却；

若所述第二发电量K小于或等于所述预设发电量α，所述处理模块则判断所述待冷却产品不需要继续冷却。

本实施例中，通过判断待冷却产品是否需要继续冷却降温，可以避免待冷却产品仍然存在温度较高的现象。

在本申请的一些实施例中，在所述处理模块中，当所述处理模块判断所述待冷却产品需要继续冷却时，所述处理模块根据所述待冷却产品的调节温度E与所述预设温度α之间的温度差值E-α对所述风冷组件的转动速度和所述制冷装置的制冷温度进行修正。

本实施例中，控制单元根据第i预设转动速度Ci和第i预设制冷温度Di分别对风冷组件1和制冷装置进行控制之后，此时待冷却产品的温度可能还没有达到预设温度，此时需要继续对待冷却产品进行降温处理，本发明可以进一步保证待冷却产品的降温效果。

在本申请的一些实施例中，在所述处理模块中，

所述处理模块用于预设温度差值矩阵G，设定G(G1，G2，G3，G4)，其中，G1为第一预设温度差值，G2为第二预设温度差值，G3为第三预设温度差值，G4为第四预设温度差值，且G1＜G2＜G3＜G4；

所述处理模块用于预设风冷组件的转动速度修正系数矩阵h，设定h(h1，h2，h3，h4，h5)，其中，h1为第一预设转动速度修正系数，h2为第二预设转动速度修正系数，h3为第三预设转动速度修正系数，h4为第四预设转动速度修正系数，h5为第五预设转动速度修正系数，且0.8＜h1＜h2＜h3＜h4＜h5＜1.2；

所述处理模块用于预设制冷装置的制冷温度修正系数矩阵y，设定y(y1，y2，y3，y4，y5)，其中，y1为第一预设制冷温度修正系数，y2为第二预设制冷温度修正系数，y3为第三预设制冷温度修正系数，y4为第四预设制冷温度修正系数，y5为第五预设制冷温度修正系数，且0.8＜y1＜y2＜y3＜y4＜y5＜1.2；

所述处理模块还用于根据所述温度差值E-α与各预设温度差值之间的关系对所述风冷组件的转动速度和所述制冷装置的制冷温度进行修正：

当E-α＜G1时，选定所述第一预设转动速度修正系数h1对所述第i预设转动速度Ci进行修正，修正后的风冷组件的转动速度为Ci*h1，选定所述第一预设制冷温度修正系数y1对所述第i预设制冷温度Di进行修正，修正后的制冷装置的制冷温度为Di*y1；

当G1≤E-α＜G2时，选定所述第二预设转动速度修正系数h2对所述第i预设转动速度Ci进行修正，修正后的风冷组件的转动速度为Ci*h2，选定所述第二预设制冷温度修正系数y2对所述第i预设制冷温度Di进行修正，修正后的制冷装置的制冷温度为Di*y2；

当G2≤E-α＜G3时，选定所述第三预设转动速度修正系数h3对所述第i预设转动速度Ci进行修正，修正后的风冷组件的转动速度为Ci*h1，选定所述第三预设制冷温度修正系数y3对所述第i预设制冷温度Di进行修正，修正后的制冷装置的制冷温度为Di*y3；

当G3≤E-α＜G4时，选定所述第四预设转动速度修正系数h4对所述第i预设转动速度Ci进行修正，修正后的风冷组件的转动速度为Ci*h4，选定所述第四预设制冷温度修正系数y4对所述第i预设制冷温度Di进行修正，修正后的制冷装置的制冷温度为Di*y4；

当G4≤E-α时，选定所述第五预设转动速度修正系数h5对所述第i预设转动速度Ci进行修正，修正后的风冷组件的转动速度为Ci*h5，选定所述第五预设制冷温度修正系数y5对所述第i预设制冷温度Di进行修正，修正后的制冷装置的制冷温度为Di*y5。

本实施例中，处理模块还用于根据温度差值E-α与各预设温度差值之间的关系对风冷组件1的转动速度和制冷装置的制冷温度进行修正，本发明通过对风冷组件1的转动速度和制冷装置的制冷温度进行修正，进而可以提高或降低风冷组件1的转动速度，增加或降低制冷装置的制冷温度，本发明可以进一步避免能源的浪费，还可以提高整体冷却速度，提高内部散热效果。

在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

虽然在上文中已经参考实施例对本发明进行了描述，然而在不脱离本发明的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，本发明所披露的实施例中的各项特征均可通过任意方式相互结合起来使用，在本说明书中未对这些组合的情况进行全部的描述仅仅是出于省略篇幅和节约资源的考虑。因此，本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

本领域普通技术人员可以理解：以上仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种扩散炉净化台冷却系统，其特征在于，包括：

壳体，用于放置待冷却产品；

冷却装置，包括风冷组件和水冷组件，所述冷却装置用于对所述待冷却产品进行降温；

制冷装置，连接于所述水冷组件，所述制冷装置用于降低冷却水的温度；

测温装置，设置在所述壳体的内部，所述测温装置用于实时采集所述待冷却产品的温度；

控制装置，包括处理模块和控制模块，所述处理模块用于根据所述待冷却产品的温度设定所述风冷组件的转动速度和所述制冷装置的制冷温度，所述控制模块用于根据所述风冷组件的转动速度和所述制冷装置的制冷温度对所述风冷组件和所述制冷装置进行控制。

2.根据权利要求1所述的扩散炉净化台冷却系统，其特征在于，所述水冷组件包括：

进水管，开设有水幕墙进水口、顶部水冷进水口和缓存水冷进水口，所述进水管用于向所述壳体内导入冷却水；

回水管，开设有水幕墙回水口、顶部水冷回水口和缓存水冷回水口，所述回水管用于将冷却水导出所述壳体。

3.根据权利要求2所述的扩散炉净化台冷却系统，其特征在于，还包括：

水冷管道，设置有若干个，分别连接于所述水幕墙进水口、所述顶部水冷进水口、所述缓存水冷进水口、所述水幕墙回水口、所述顶部水冷回水口和所述缓存水冷回水口，所述水冷管道用于对冷却水进行输送。

4.根据权利要求3所述的扩散炉净化台冷却系统，其特征在于，

所述进水管和所述回水管通过所述水冷管道形成封闭的回路。

5.根据权利要求2所述的扩散炉净化台冷却系统，其特征在于，还包括：

进水直通，设置在所述进水管上，所述进水直通用于对所述进水管中冷却水的流量进行控制；

回水直通，设置在所述回水管上，所述回水直通用于对所述回水管中冷却水的流量进行控制。

6.根据权利要求1所述的扩散炉净化台冷却系统，其特征在于，还包括：

流量检测装置，设置在所述水冷组件的内部，所述流量检测装置用于实时检测冷却水的流量。

7.根据权利要求1所述的扩散炉净化台冷却系统，其特征在于，在所述处理模块中，

所述处理模块用于预设待冷却产品的温度矩阵B，设定B(B1，B2，B3，B4)，其中，B1为第一预设待冷却产品的温度，B2为第二预设待冷却产品的温度，B3为第三预设待冷却产品的温度，B4为第四预设待冷却产品的温度，且B1＜B2＜B3＜B4；

所述处理模块用于预设风冷组件的转动速度矩阵C，设定C(C1，C2，C3，C4，C5)，其中，C1为第一预设转动速度，C2为第二预设转动速度，C3为第三预设转动速度，C4为第四预设转动速度，C5为第五预设转动速度，且C1＜C2＜C3＜C4＜C5；

所述处理模块用于预设制冷装置的制冷温度矩阵D，设定D(D1，D2，D3，D4，D5)，其中，D1为第一预设制冷温度，D2为第二预设制冷温度，D3为第三预设制冷温度，D4为第四预设制冷温度，D5为第五预设制冷温度，且D1＜D2＜D3＜D4＜D5；

所述处理模块还用于根据所述待冷却产品的温度A与各预设待冷却产品的温度之间的关系设定所述风冷组件的转动速度和所述制冷装置的制冷温度：

当A＜B1时，选定所述第一预设转动速度C1作为所述风冷组件的转动速度，选定所述第一预设制冷温度D1作为所述制冷装置的制冷温度；

当B1-A＜B2时，选定所述第二预设转动速度C2作为所述风冷组件的转动速度，选定所述第二预设制冷温度D2作为所述制冷装置的制冷温度；

当B2≤A＜B3时，选定所述第三预设转动速度C3作为所述风冷组件的转动速度，选定所述第三预设制冷温度D3作为所述制冷装置的制冷温度；

当B3≤A＜B4时，选定所述第四预设转动速度C4作为所述风冷组件的转动速度，选定所述第四预设制冷温度D4作为所述制冷装置的制冷温度；

当B4≤A时，选定所述第五预设转动速度C5作为所述风冷组件的转动速度，选定所述第五预设制冷温度D5作为所述制冷装置的制冷温度。

8.根据权利要求7所述的扩散炉净化台冷却系统，其特征在于，

所述处理模块在将所述风冷组件的转动速度和所述制冷装置的制冷温度分别设定为第i预设转动速度Ci和第i预设制冷温度Di时，i＝1，2，3，4，5；

所述控制单元根据所述第i预设转动速度Ci和所述第i预设制冷温度Di分别对所述风冷组件和所述制冷装置进行控制之后，所述测温装置采集所述待冷却产品的调节温度E，所述处理模块根据所述待冷却产品的调节温度E与预设温度α之间的关系判断所述待冷却产品是否需要继续冷却，

若所述待冷却产品的调节温度E大于所述预设温度α，所述处理模块则判断所述待冷却产品需要继续冷却；

若所述第二发电量K小于或等于所述预设发电量α，所述处理模块则判断所述待冷却产品不需要继续冷却。

9.根据权利要求8所述的扩散炉净化台冷却系统，其特征在于，

在所述处理模块中，当所述处理模块判断所述待冷却产品需要继续冷却时，所述处理模块根据所述待冷却产品的调节温度E与所述预设温度α之间的温度差值E-α对所述风冷组件的转动速度和所述制冷装置的制冷温度进行修正。

10.根据权利要求9所述的扩散炉净化台冷却系统，其特征在于，在所述处理模块中，

所述处理模块用于预设温度差值矩阵G，设定G(G1，G2，G3，G4)，其中，G1为第一预设温度差值，G2为第二预设温度差值，G3为第三预设温度差值，G4为第四预设温度差值，且G1＜G2＜G3＜G4；

所述处理模块用于预设风冷组件的转动速度修正系数矩阵h，设定h(h1，h2，h3，h4，h5)，其中，h1为第一预设转动速度修正系数，h2为第二预设转动速度修正系数，h3为第三预设转动速度修正系数，h4为第四预设转动速度修正系数，h5为第五预设转动速度修正系数，且0.8＜h1＜h2＜h3＜h4＜h5＜1.2；

所述处理模块用于预设制冷装置的制冷温度修正系数矩阵y，设定y(y1，y2，y3，y4，y5)，其中，y1为第一预设制冷温度修正系数，y2为第二预设制冷温度修正系数，y3为第三预设制冷温度修正系数，y4为第四预设制冷温度修正系数，y5为第五预设制冷温度修正系数，且0.8＜y1＜y2＜y3＜y4＜y5＜1.2；

所述处理模块还用于根据所述温度差值E-α与各预设温度差值之间的关系对所述风冷组件的转动速度和所述制冷装置的制冷温度进行修正：

当E-α＜G1时，选定所述第一预设转动速度修正系数h1对所述第i预设转动速度Ci进行修正，修正后的风冷组件的转动速度为Ci*h1，选定所述第一预设制冷温度修正系数y1对所述第i预设制冷温度Di进行修正，修正后的制冷装置的制冷温度为Di*y1；

当G1≤E-α＜G2时，选定所述第二预设转动速度修正系数h2对所述第i预设转动速度Ci进行修正，修正后的风冷组件的转动速度为Ci*h2，选定所述第二预设制冷温度修正系数y2对所述第i预设制冷温度Di进行修正，修正后的制冷装置的制冷温度为Di*y2；

当G2≤E-α＜G3时，选定所述第三预设转动速度修正系数h3对所述第i预设转动速度Ci进行修正，修正后的风冷组件的转动速度为Ci*h1，选定所述第三预设制冷温度修正系数y3对所述第i预设制冷温度Di进行修正，修正后的制冷装置的制冷温度为Di*y3；

当G3≤E-α＜G4时，选定所述第四预设转动速度修正系数h4对所述第i预设转动速度Ci进行修正，修正后的风冷组件的转动速度为Ci*h4，选定所述第四预设制冷温度修正系数y4对所述第i预设制冷温度Di进行修正，修正后的制冷装置的制冷温度为Di*y4；

当G4≤E-α时，选定所述第五预设转动速度修正系数h5对所述第i预设转动速度Ci进行修正，修正后的风冷组件的转动速度为Ci*h5，选定所述第五预设制冷温度修正系数y5对所述第i预设制冷温度Di进行修正，修正后的制冷装置的制冷温度为Di*y5。

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