CN116234622A - 具有过滤除尘功能的用于收集废气中的粉末的设备和设置有该设备的废气处理装备 - Google Patents

具有过滤除尘功能的用于收集废气中的粉末的设备和设置有该设备的废气处理装备 Download PDF

Info

Publication number
CN116234622A
CN116234622A CN202180065303.XA CN202180065303A CN116234622A CN 116234622 A CN116234622 A CN 116234622A CN 202180065303 A CN202180065303 A CN 202180065303A CN 116234622 A CN116234622 A CN 116234622A
Authority
CN
China
Prior art keywords
exhaust gas
filter
adsorption reaction
unit
filter body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202180065303.XA
Other languages
English (en)
Inventor
金辰烘
姜明勋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CSK Corp
Original Assignee
CSK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by CSK Corp filed Critical CSK Corp
Publication of CN116234622A publication Critical patent/CN116234622A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/02—Particle separators, e.g. dust precipitators, having hollow filters made of flexible material
    • B01D46/04—Cleaning filters
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/66—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter
    • B01D46/74—Regeneration of the filtering material or filter elements inside the filter by forces created by movement of the filter element
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/0002—Casings; Housings; Frame constructions
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D45/00—Separating dispersed particles from gases or vapours by gravity, inertia, or centrifugal forces
    • B01D45/12—Separating dispersed particles from gases or vapours by gravity, inertia, or centrifugal forces by centrifugal forces
    • B01D45/16—Separating dispersed particles from gases or vapours by gravity, inertia, or centrifugal forces by centrifugal forces generated by the winding course of the gas stream, the centrifugal forces being generated solely or partly by mechanical means, e.g. fixed swirl vanes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/0002—Casings; Housings; Frame constructions
    • B01D46/0005—Mounting of filtering elements within casings, housings or frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/0027—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with additional separating or treating functions
    • B01D46/0036—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours with additional separating or treating functions by adsorption or absorption
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/24—Particle separators, e.g. dust precipitators, using rigid hollow filter bodies
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D50/00—Combinations of methods or devices for separating particles from gases or vapours
    • B01D50/20—Combinations of devices covered by groups B01D45/00 and B01D46/00

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)

Abstract

本发明提供了一种用于收集废气中的粉末的设备，该设备包括：粉末收集装置，其用于在废气被引入利用吸附反应处理废气的圆柱形吸附反应装置之前收集包含在废气中的粉末，其中，圆柱形过滤器本体包括过滤废气的过滤器构件，并且设置在吸附反应装置的下方以便连接到吸附反应装置；壳体，其提供容纳过滤器本体的内部空间；以及过滤器撞击模块，其对过滤器本体施加物理冲击以使粘附到过滤器构件的粉末脱落。

Description

具有过滤除尘功能的用于收集废气中的粉末的设备和设置有 该设备的废气处理装备
技术领域
本发明涉及用于在半导体制造过程中处理废气的技术，并且更特别地涉及用于收集废气中包含的粉末的设备。
背景技术
半导体器件通过在处理室中在晶片上重复地执行诸如光刻、蚀刻、扩散和金属沉积的处理过程来制造。在半导体制造过程期间使用各种处理气体，并且在处理过程完成后，在处理室中存在残余气体。由于处理室中的残余气体含有有毒成分，该气体由真空泵排出，并由诸如洗涤器的废气处理装置净化。粉末存在于废气中，但是废气中的粉末或者是在处理室中产生的副产物，或者是当包含在废气中的一些成分由于处理过程中的温度和压力中的变化而固化时形成的，由此来自处理室的残余气体通过废气管线排出。由于废气中的粉末可能积聚在废气管线中并堵塞流动路径，该粉末通过安装在废气管线上的粉末收集设备来收集。
用于收集粉末的设备通常使用过滤器收集粉末，但是随着时间的推移，粉末粘附到过滤器的表面，这导致压差的增加。因此，必须定期地执行除尘任务，以移除粘附到过滤器的表面的粉末。传统上，常见的除尘方法涉及在与气体的流动相反的方向上喷射高压气体以移除附接到过滤器的表面的粉末，但是这种除尘方法在高压气体被喷射之后或者停止或者显著减少过滤器内部的流体的流动。因此，它对废气处理过程的整体流动具有不利影响。
现有技术参考文献
专利参考文献
(专利参考号0001)大韩民国注册专利第10-1806170号“Dry Scrubber”(2017.12.07)
(专利参考号0002)大韩民国公开专利公报第10-2003-0063786号“Effluent GasDry Purification Device and Method”(2003.07.31)
发明内容
待解决的问题
本发明的目的是提供一种具有经济且稳定的过滤除尘功能的用于收集废气中的粉末的设备和设置有该设备的废气处理装备。
解决问题的手段
为了实现本发明的目的，本发明提供了一种用于收集废气中的粉末的设备，该设备包括：粉末收集装置，其用于在废气被引入利用吸附反应处理废气的圆柱形吸附反应装置之前收集包含在废气中的粉末，其中，圆柱形过滤器本体设置有过滤废气的过滤器构件，并且设置在吸附反应装置的下方以便与吸附反应装置连接；壳体，其提供容纳过滤器本体的内部空间；以及过滤器撞击模块，其对过滤器本体施加物理冲击以使粘附到过滤器构件的粉末脱落。
发明效果
本发明的上述目的都可以通过本发明实现。具体地，通过使用连杆结构直接撞击过滤器以移除粘附到过滤器的粉末，可以有效地降低过滤器压力。
此外，通过使用具有相对简单结构的连杆结构作为过滤器撞击结构，该方法是经济的，并且具有较低的故障几率。
通过从下方撞击过滤器也可以最大限度地减少对过滤器的损坏。
附图说明
图1示出了设置有根据本发明的第一实施例的用于收集粉末的设备的废气处理设备的透视图。
图2示出了图1中描绘的用于收集粉末的设备的侧视图。
图3示出了图1中描绘的用于收集粉末的设备的平面图。
图4示出了图1中描绘的用于收集粉末的设备的前视图。
图5示出了图1中描绘的用于收集粉末的设备，该设备具有壳体，沿着图2中的A-A’线切割该设备以便露出内部。
图6示出了图1中描绘的用于收集粉末的设备，该设备具有壳体，沿着图3中的B-B’线切割该设备以便露出内部。
图7示出了描绘图6中描绘的过滤器撞击模块的透视图。
图8示出了描绘图6中描绘的过滤器撞击模块的不同实施例的透视图。
图9是描绘图6中描绘的过滤器撞击模块的另一个实施例的透视图。
具体实施方式
在下文中，将参照附图详细地描述本发明的实施例的构造和操作。
图1示出了描绘根据本发明的实施例的废气处理设备的透视图。参考图1，根据本发明的第一实施例的废气处理装置(100)是一种干式洗涤器，其包括通过使用过滤器收集废气中的粉末的用于收集粉末的设备(110)和通过利用吸附反应处理从用于收集粉末的设备(110)排出的废气的吸附反应装置(190)。
用于收集粉末的设备(110)通过过滤器过滤废气并收集包含在废气中的粉末。从用于收集粉末的设备(110)排出的废气被供给到吸附反应装置(190)。
参考图1至图6，用于收集粉末的设备(110)包括壳体(120)、安装成位于壳体(120)内部的过滤器模块(150)和安装在壳体(120)中的过滤器撞击模块(160)。
壳体(120)配备有过滤器安装单元(130)和形成为从过滤器安装单元(130)膨胀的膨胀单元(140)。壳体(120)的内部空间形成存储收集的粉末的粉末存储空间。
过滤器安装单元(130)为大体上圆柱形的，并提供凸起的圆柱形过滤器安装空间(131)，过滤器模块(150)设置在该安装空间内。圆柱形过滤器安装空间(131)的中心轴线(X)在竖直方向上延伸。过滤器安装单元(130)配备有基部底板(132)和从基部底板(132)向上延伸的基部侧壁(135)。基部底板(132)为水平设置的大体上平坦的圆形，并且基部底板(132)的上表面形成过滤器安装空间(131)的底面。过滤器模块(150)从过滤器安装空间(131)放置在基部底板(132)的中心处。基部侧壁(135)从基部底板(132)的边缘向上延伸，并且形成过滤器安装空间(131)的侧壁。基部侧壁(135)的上部内部区域是开放的，并且形成开口(137)，过滤器安装空间(131)和外部部分通过该开口连通。操作者可以从外部通过开口(137)访问过滤器安装空间(131)，以安装或移除过滤器模块(150)。此外，在其中吸附反应装置(190)联接到用于收集粉末的设备(110)的处理过程期间，开口(137)可以被适当地密封。
膨胀单元(140)形成为膨胀以从过滤器安装单元(130)的侧面的一部分侧向地突出。膨胀单元(140)在内部形成与过滤器安装空间(131)连通的膨胀空间(141)。膨胀空间(141)形成为相对于中心轴线(X)在径向方向上从圆柱形过滤器安装空间(131)部分地膨胀。膨胀空间(141)与过滤器安装空间(131)一起形成壳体(120)的内部空间。膨胀单元(140)配备有膨胀底板(142)、与膨胀底板(142)间隔开并在其上方的上膨胀板(145)以及连接膨胀底板(142)和上膨胀板(145)的膨胀侧壁(147)。通过由膨胀单元(140)形成的膨胀空间(141)增加了收集的粉末的量，从而可以延长粉末收集装置(110)的使用时间。
膨胀底板(142)设置成平坦的，并且接合到过滤器安装单元(130)的基部底板(132)。优选的是，膨胀底板(142)与基部底板(132)一体地形成。膨胀底板(142)从圆柱形基部底板(132)的半圆弧形向外膨胀到外部。膨胀底板(142)的上表面形成膨胀空间(141)的底面。基部底板(132)的上表面与膨胀底板(142)的上表面连接成平坦的，以便形成壳体(120)的整个内部空间的底面。
上膨胀板(145)与膨胀底板(142)间隔开并在膨胀底板(142)上方并且定位成彼此相对，并且与膨胀底板(142)的形状基本上相同。上膨胀板(145)是平坦的，并且从基部侧壁(135)向外膨胀。上膨胀板(145)形成膨胀空间(141)的顶板。上膨胀板(145)形成用于安装过滤器撞击模块(160)的安装端口(146)。
膨胀侧壁(147)为竖直壁，并且形成膨胀空间(141)的侧壁。膨胀侧壁(147)的下端部连接到膨胀底板(142)的边缘，膨胀侧壁(147)的上端部连接到上膨胀板(145)的边缘，并且膨胀侧壁(147)在周向方向上的两个端部连接到基部侧壁(135)。膨胀侧壁(147)包括彼此面对的第一延伸壁单元(148a)和第二延伸壁单元(148b)以及连接两个延伸壁单元(148a，148b)的连接壁单元(148c)。
第一延伸壁单元(148a)形成为从基部侧壁(135)延伸，并且沿着膨胀侧壁(147)的周向方向以直线延伸。第一延伸壁单元(148a)的周向方向上的一个端部构成并连接基部侧壁(135)的切平面，并且在周向方向上的另一端部连接到连接壁(148c)。第一延伸壁单元(148a)的内壁构成并接合到膨胀侧壁(147)的内壁的切平面。
第二延伸壁单元(148b)面对第一延伸壁单元(148a)，它们设置成彼此平行。第二延伸壁单元(148b)从基部侧壁(135)延伸并沿着膨胀侧壁(147)的周向方向直线延伸。第二延伸壁单元(148b)的周向方向上的一个端部构成并接合到基部侧壁(135)的切平面，并且在周向方向上的另一端部连接到连接壁单元(148c)。第二延伸壁单元(148b)的内壁构成并接合到膨胀侧壁(147)的内壁的切平面。
连接壁单元(148c)从过滤器安装单元(130)沿着膨胀侧壁(147)的周向方向以突出曲线的形状延伸。连接壁单元(148c)的周向方向上的两个端部各自构成并接合到第一延伸壁单元(148a)和第二延伸壁单元(148b)的切平面。本实施例描述了一种模式，其中连接壁(148c)沿着膨胀侧壁(147)的周向方向以半圆弧延伸。第一延伸壁单元(148a)的内壁和第二延伸壁单元(148b)的内壁构成连接壁(148c)的内壁的相切壁。
与壳体(120)的内部空间连通的进气管道(149)联接到连接壁单元(148c)。待处理的废气通过进气管道(149)被引入到壳体(120)的内部空间中。进气管道(149)在水平方向上以直线延伸，并且设置成在与连接壁单元(148c)相切的方向上延伸。进气管道(149)从连接壁单元(148c)连接到距过滤器安装部(130)最远的点，并且延伸到连接壁单元(148c)的两侧。进气管道(149)的两个端部是开放的，并且在进气管道(149)的每个端部处形成有第一和第二进气端口(149a，149b)。从第一进气端口(149a)或第二进气端口(149b)中选择能够减小气体供给部段的长度的一个用作进气端口。压力表、安全阀等可以安装在剩余端口中，以确保处理过程操作的安全性。图5示出了当第二进气端口(149b)被选择为两个进气端口(149a，149b)中的进气端口时由虚线箭头指示的壳体(120)内部的气体的流动。参考图5，通过第二进气端口(149b)流入壳体(120)的内部空间中的废气沿着基部壁(135)和连接壁单元(148c)的第一延伸壁单元(148a)均匀地流到过滤器模块(150)的附近。当废气从壳体(120)的内部空间流动时，来自包含在废气中的粉末的相对较重的物质通过其自重落下并积聚在壳体(120)的内部空间中。
多个轮子(129)安装在壳体(120)内部，以有利于废气处理装备(100)的移动。
过滤器模块(150)安装在壳体(120)的过滤器安装空间(131)中。过滤器模块(150)包括过滤器本体(151)和支撑过滤器本体(151)的多个支撑腿(158)，过滤器本体包括有过滤器。
过滤器本体(151)使用过滤器过滤引入到壳体(120)的内部空间中的废气，并且将其供给到吸附反应装置(190)。过滤器本体(151)为大体上直立的圆柱体，并且与圆柱形过滤器安装空间(131)同轴地设置。过滤器本体(151)包括下板构件(152)、上板构件(153)和过滤器构件(154)。过滤器本体(151)定位成与过滤器安装空间(131)的底面间隔开。
下板构件(152)呈平坦圆板的形状并水平地设置。
上板构件(153)呈平坦圆板的形状，并且在下板构件(152)上方间隔开并水平地设置。在上板构件(153)的中心处是排出过滤后的废气的出口(153a)。出口(153a)位于中心轴线(X)上。过滤器本体(151)和吸附反应装置(190)通过出口(153a)连通。
过滤器构件(154)设置在下板构件(152)和上板构件(153)之间，并且过滤引入其中的废气。尽管未描绘，多个过滤器构件(154)可以沿着径向方向安装以实现向中心靠近的连续过滤。粘附到过滤器构件(154)的表面的粉末可以通过过滤器撞击模块(160)脱落并被移除。
多个支撑腿(158)中的每一个从过滤器本体(151)向下延伸，以将过滤器本体(151)与过滤器安装空间(131)的底面分开。
过滤器撞击模块(160)对过滤器本体(151)施加物理冲击，以使粘附到过滤器构件(154)的表面的粉末脱落并移除，从而执行过滤器的灰尘移除功能。图7示出了过滤器撞击模块(160)的透视图。参考图1至图7，过滤器撞击模块(160)包括操作单元(180)和连接到操作单元(180)的连杆结构(170)。
操作单元(180)安装在壳体(120)的外部上，以便由操作者操作。具体地，操作单元(180)安装在形成在壳体(120)的上膨胀板(145)上的安装端口(146)上。操作单元(180)包括压力板(181)、端口联接器(183)和联接在压力板(181)和端口联接器(183)之间的柔性管(185)。
压力板(181)定位成在安装端口(146)上方间隔开。柔性管(185)和连杆结构(170)连接到压力板(181)。操作者可以通过向下按压和移动压力板(181)来操作连杆结构(170)。
端口联接器(183)与压力板(181)间隔开并在压力板(181)下方，并且密封地联接到形成在上膨胀板(145)上的安装端口(146)。柔性管(185)联接到端口联接器(183)。
柔性管(185)在端口联接器(183)和压力板之间竖直地延伸，端口联接器和压力板定位成竖直地间隔开。柔性管(185)的上端部连接到压力板(181)，并且柔性管(185)的下端部连接到端口联接器(183)。柔性管(185)在压力板(181)和端口联接器(183)变得彼此远离的方向上提供弹性力。在压力板(181)在外力作用下从初始位置向下移动之后，当外力被移除时，由于柔性管(185)的弹性力，该压力板向上移动并返回到初始位置。在本实施例的描述中，常规的波纹管用于柔性管(185)。柔性管(185)的内部空间通过形成在上膨胀板(145)上的安装端口(146)与壳体(120)的内部空间连通，并且柔性管(185)的内部空间相对于外部被密封。
连杆结构(170)包括杠杆单元(178)和连接杆(171)，该连接杆(171)连接杠杆单元(178)和压力板(181)。
杠杆单元(178)位于壳体(120)的内部空间中。杠杆单元(178)包括支撑件(174)、从支撑件(174)延伸的第一延伸杆(173)和从支撑件(174)延伸的多个第二延伸杆(175)。支撑件(174)、第一延伸杆(173)和多个第二延伸杆(175)一体地形成。
支撑件(174)与壳体(120)的内部空间中的底面接触，并且位于过滤器本体(151)与安装端口(146)之间。支撑件(174)呈圆形管道的形状，并且设置成沿着过滤器本体(151)的宽度方向水平地延伸。
第一延伸杆(173)形成为从支撑件(174)朝向安装端口(145)延伸。第一延伸杆(173)的端部通过第一铰链(172)围绕第一旋转轴线(X1)可旋转地联接到连接杆(171)。第一旋转轴线(X1)是平行于支撑件(174)的延伸方向延伸的直线。当操作单元(180)的压力板(181)处于其原始位置时，第一延伸杆(173)在斜线上延伸，以便从支撑件(174)朝向安装端口(146)移动地上升。这是为了确保足够的距离的目的，使得第一延伸杆(173)的端部可以向下移动。
多个第二延伸杆(175)形成为从支撑件(174)朝向过滤器本体(151)延伸，该过滤器本体在第一延伸杆(173)的相对侧上。多个第二延伸杆(175)沿着过滤器本体(151)的宽度方向依次并排地布置，同时彼此间隔开。在本实施例中，描述了存在3个第二延伸杆(175)，但是本发明不限于此。例如，可以存在1、2、4或更多个第二延伸杆(175)，并且这也在本发明的范围内。多个第二延伸杆(175)的每个端部位于过滤器本体(151)的下方，并且这些多个第二延伸杆(175)与第一延伸杆(173)形成小于180度的角度。多个第二延伸杆(175)中的每一个形成为在端部处具有向上弯折延伸的撞击单元(176)。撞击单元(176)的端部向上移动并撞击过滤器本体(151)的下方。
吸附反应装置(190)利用吸附反应处理从粉末收集装置(110)排出的废气。吸附反应装置(190)联接到粉末收集装置(110)的上部部分，以关闭形成在粉末收集装置(110)的壳体(120)中的开口(137)。尽管未示出，但是在吸附反应装置(190)的内部形成由用于从废气中吸附待处理的气体成分的吸附剂制成的吸附层，并且该吸附层与粉末收集装置(110)的出口(153a)连通。吸附反应装置(190)可以包括由不同类型的吸收剂制成的多个吸附层，以吸收和处理多种气体。吸附反应装置(190)为大体上圆柱形的，并且以直立形式与过滤器本体(151)同轴地设置。吸附反应装置(190)的侧壁(193)沿着壳体(130)的基部壁(135)的竖直方向形成，以便形成单个圆柱体的形状。
在下文中，将参照图6详细地描述过滤器撞击模块(160)的操作。参考图6，当操作单元(180)没有受到来自操作者的外部压力时，连杆结构(170)的撞击单元(176)变得位于过滤器本体(151)的下方并与过滤器本体(151)间隔开，如由实线所图示。在本实施例中，这被称为过滤器撞击模块(160)的正常状态。在该正常状态下，当操作者按压并向下移动操作单元(180)的压力板(181)时，联接到压力板(181)的连接杆(171)向下移动。随着连接杆(171)向下移动，通过第一铰链(171)联接到连接杆(171)的端部的杠杆单元(178)的第一延伸杆(173)的端部相应地向下移动，减小了连接杆(171)和第一延伸杆(173)之间的角度。随着第一延伸杆(173)的端部向下移动，支撑件(174)相应地略微朝向过滤器本体(151)移动，并且第二延伸杆(175)的端部向上朝向过滤器本体(151)的下部部分移动。第二延伸杆(175)的端部向上移动，并且形成在第二延伸杆(175)的端部处的撞击单元(176)撞击过滤器本体(151)的下部部分。在本实施例中，这被称为过滤器撞击模块(160)的撞击状态。由于撞击单元(176)被构造成撞击过滤器本体(151)的下部部分，可以稳定地保持竖直地和同轴地连接的吸附反应装置(190)和过滤器本体(151)之间的连接。粘附到过滤器构件(154)的表面的粉末由于撞击单元(176)的撞击而落下，并积聚在壳体(120)的底面上。当施加到操作单元(180)的外力被移除时，由于柔性管(185)的弹性力，压力板(181)返回到其原始位置，并且过滤器撞击模块(160)自动地返回到其正常状态。
上述实施例描绘了由操作者手动地操作过滤器撞击模块(160)的情况。然而，诸如液压活塞的机械装置可以被添加到安装端口(146)以实现自动操作，并且这也在本发明的范围内。
图8示出了描绘根据本发明的不同实施例的过滤器撞击模块的透视图。参考图8，过滤器撞击模块(260)包括操作单元(180)和连接到操作单元(180)的连杆结构(270)。
操作单元(180)包括压力板(181)、端口联接器(183)、联接在压力板(181)和端口联接器(183)之间的柔性管(185)。由于构造与图7中描绘的操作单元(180)的构造相同，将省略其详细描述。
连杆结构(270)包括杠杆单元(278)、连接杠杆单元(278)和压力板(181)的连接杆(171)以及联接到杠杆单元(278)的撞击构件(276)。
杠杆单元(178)包括支撑件(174)、从支撑件(174)延伸的第一延伸杆(173)和从支撑件(174)延伸的第二延伸杆(175)。杠杆单元(178)具有与图7中描绘的杠杆单元(178)基本上相同的构造，不同的是在杠杆单元(178)中设置仅一个第二延伸单元(175)，因此省略其详细描述。在本实施例中，第二延伸杆(175)被描述为一个，但是如图7中所示，可以有多个第二延伸杆，并且这也在本发明的范围内。
撞击构件(276)通过第二铰链277围绕第二旋转轴线(X2)可旋转地联接到第二延伸杆(175)的端部。第二旋转轴线(X2)是平行于支撑件(174)的延伸方向延伸的直线。撞击构件(276)包括沿着第二旋转轴线(X2)的径向方向双向延伸的撞击杆(276a)，具有插设在其间并定位在第二延伸杆(175)上方的第二铰链(277)。在撞击杆(276a)的两个端部处形成有向上突出的第一撞击部(276b)和第二撞击部(276c)。随着第二延伸杆(175)的端部通过操作单元(180)的操作而上升，第一撞击单元(276b)或第二撞击单元(276c)中的任一个撞击过滤器本体(图6的151)，然后另一个连续地撞击过滤器本体(151)。在图8中所示的实施例中，优选的是，存在对第二铰链(277)的旋转范围的限制，使得两个撞击单元(276b和276c)总是处于面向上的状态。
由于连接杆171与图7中所示的连接杆(171)的构造基本上相同，将省略其详细描述。
图9是根据本发明的另一个实施例的过滤器撞击模块的透视图。参考图9，过滤器撞击模块360包括操作单元(180)和连接到操作单元(180)的连杆结构(370)。
操作单元(180)包括压力板(181)、端口联接器(183)、联接在压力板(181)和端口联接器(183)之间的柔性管(185)。由于构造与图7中描绘的操作单元(180)的构造相同，将省略其详细描述。
连杆结构(370)包括杠杆单元(378)和连接杆(171)，该连接杆(171)连接杠杆单元(178)和压力板(181)。
杠杆单元(378)包括支撑腿(375)和可旋转地联接到支撑腿(375)的杠杆(376)。
支撑腿(375)呈杆的形式，该杆竖直地延伸，从壳体(120)的内部空间的底面向上延伸，并且定位在过滤器本体(151)和安装端口(146)之间。杠杆(376)通过第三铰链(374)围绕第三旋转轴线(X3)可旋转地联接到支撑腿(375)的上端部。第三旋转轴线(X3)是沿着过滤器本体(151)的宽度方向延伸的直线。
杠杆(376)呈长延伸杆的形式，并且在杠杆(376)在纵向方向上的两个端部之间的一点处通过第三铰链(374)可旋转地联接到支撑腿(375)的上端部。杠杆(376)的一个端部(376a)通过第一铰链(172)可旋转地联接到连接杆(171)，并且杠杆(376)的另一端部(376b)定位在过滤器本体(图6的151)的下方。
杠杆(376)的另一端部(376b)由于操作单元(180)的操作而上升并撞击过滤器本体(图6的151)。
连接杆(171)具有与图7中描绘的连接杆(171)基本上相同的结构，因此将省略其详细描述。
图8中描绘的实施例的撞击构件(276)也可以通过铰接地联接到杠杆(376)的端部来使用，这也在本发明的范围内。
尽管已经通过上述实施例描述了本发明，但是本发明不限于此。在不脱离本发明的精神和范围的情况下，可以修改或改变上述实施例，并且本领域技术人员将认识到，这种修改和改变也属于本发明。
附图标记
100：废气处理装备 110：粉末收集装置
120：壳体 130：过滤器安装单元
131：过滤器安装空间 121：基部底板
135：基部侧壁 137：开口
140：膨胀单元 141：膨胀空间
142：膨胀底板 145：上膨胀空间
146：安装端口 147：膨胀侧壁
148a：第一延伸壁 148b：第二延伸壁
148c：连接壁 149：进气管道
149a：第一气体供给开口 149b：第二进气供给开口
150：过滤器模块 151：过滤器本体
152：下板构件 153：上板构件
153a：出口 154：过滤器构件
158：支撑腿 160：过滤器撞击模块
170：连杆结构 171：连接杆
172：第一铰链 173：第一延伸杆
174：支撑件 175：第二延伸杆
176：撞击单元 178：杠杆单元
180：操作单元 181：压力板
183：端口联接器 185：柔性管
190：吸附反应装置 260：过滤器撞击模块
270：连杆结构 278：杠杆单元
276：撞击构件 276a：撞击杆
277：第二铰链 360：过滤器撞击模块
370：连杆结构 374：第三铰链
375：支撑腿 376：杠杆
378：杠杆单元 X1：第一旋转轴线
X2：第二旋转轴线 X3：第三旋转轴线

Claims (7)

1.一种用于在废气被引入到圆柱形吸附反应装置中之前收集包含在所述废气中的粉末的设备，所述圆柱形吸附反应装置利用吸附反应来处理所述废气，所述设备包括：
圆柱形过滤器本体，其包括过滤所述废气的过滤器构件，并且设置在所述吸附反应装置的下方以连接到所述吸附反应装置；
壳体，其提供用于容纳所述过滤器本体的内部空间；以及
过滤器撞击模块，其对所述过滤器本体施加物理冲击以使粘附到所述过滤器构件的粉末脱落，
其中，所述过滤器撞击模块包括安装在所述壳体的外部上的操作单元和借助于所述操作单元操作以撞击所述内部空间中的所述过滤器本体的连杆结构，并且
所述连杆结构包括位于所述内部空间中的杠杆单元和连接所述杠杆单元和所述操作单元的连接杆，
并且所述杠杆单元包括与所述内部空间的底面接触的支撑件、从所述支撑件延伸的第一延伸杆和从所述支撑件延伸到所述第一延伸杆的相对侧的第二延伸杆，所述第一延伸杆铰接地联接到所述连接杆，
并且所述第二延伸杆的端部位于所述过滤器本体的下方，
其中，所述第一延伸杆的端部通过所述操作单元的操作相对于所述支撑件下降，而所述第二延伸杆的端部上升并从下方撞击所述过滤器单元。
2.根据权利要求1所述的用于收集灰尘的设备，其中，多个第二延伸杆布置成一排。
3.根据权利要求1所述的用于收集灰尘的设备，其中，所述连杆结构还包括铰接地联接到所述第二延伸杆的端部的撞击构件，并且多个撞击单元相互间隔开地形成在所述撞击构件上，并且通过铰链设置在所述旋转轴线的径向方向上。
4.一种用于在废气被引入到圆柱形吸附反应装置中之前收集包含在所述废气中的粉末的设备，所述圆柱形吸附反应装置利用吸附反应来处理所述废气，所述设备包括：
圆柱形过滤器本体，其包括过滤所述废气的过滤器构件，并且设置在所述吸附反应装置的下方以连接到所述吸附反应装置；
壳体，其提供用于容纳所述过滤器本体的内部空间；以及
过滤器撞击模块，其对所述过滤器本体施加物理冲击以使粘附到所述过滤器构件的粉末脱落，
其中，所述过滤器撞击模块包括安装在所述壳体的外部上的操作单元和借助于所述操作单元操作以撞击所述内部空间中的所述过滤器本体的连杆结构，并且
所述连杆结构包括位于所述内部空间中的杠杆单元和连接所述杠杆单元和所述操作单元的连接杆，
其中，所述杠杆单元包括支撑腿和可旋转地联接到所述支撑腿的杠杆，并且
所述杠杆的一个端部部分铰接地联接到所述连接杆，并且所述杠杆的另一端部位于所述过滤器单元的下方，并且
通过所述操作单元的操作，所述杠杆的一个端部下降，并且前述杠杆的另一端部上升，以便从下方撞击所述过滤器本体。
5.根据权利要求1至权利要求3中任一项所述的用于收集废气中的粉末的设备，
其中，所述连接杆设置成竖直地延伸，并且
所述连接杆的下部部分铰接地联接到所述第一延伸杆的端部，并且
所述连接杆通过所述操作单元沿着竖直方向移动。
6.一种用于在废气被引入到圆柱形吸附反应装置中之前收集包含在所述废气中的粉末的设备，所述圆柱形吸附反应装置利用吸附反应来处理所述废气，所述设备包括：
圆柱形过滤器本体，其包括过滤所述废气的过滤器构件，并且设置在所述吸附反应装置的下方以连接到所述吸附反应装置；
壳体，其提供用于容纳所述过滤器本体的内部空间；以及
过滤器撞击模块，其对所述过滤器本体施加物理冲击以使粘附到所述过滤器构件的粉末脱落，
其中，所述过滤器撞击模块包括安装在所述壳体的外部上的操作单元和借助于所述操作单元操作以撞击所述内部空间中的所述过滤器本体的连杆结构，并且
所述操作单元安装在形成在所述壳体中的端口中，并且
所述操作单元包括联接到所述端口的端口联接器、与所述端口联接器间隔开并连接到所述连杆结构的压力板，
以及弹性管，所述弹性管将所述端口联接器连接到前述压力板，并且
所述压力板能够移动，使得到所述端口联接器的距离变化，并且
所述弹性管在所述压力板和所述端口联接器远离彼此移动的方向上提供弹性。
7.一种废气处理装备，还包括：圆柱形吸附反应装置，其利用吸附反应处理废气；以及
用于收集废气中的粉末的设备，其在所述废气被引入到所述吸附反应装置中之前收集包含在所述废气中的粉末，其中，所述用于收集废气中的粉末的设备是根据权利要求1至4和6中任一项所述的用于收集废气中的粉末的设备。
CN202180065303.XA 2020-09-24 2021-09-21 具有过滤除尘功能的用于收集废气中的粉末的设备和设置有该设备的废气处理装备 Pending CN116234622A (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2020-0123451 2020-09-24
KR1020200123451A KR102208983B1 (ko) 2020-09-24 2020-09-24 필터 탈진 기능을 갖는 배기가스 내 파우더 포집 장치 및 이를 구비하는 배기가스 처리 장비
PCT/IB2021/058595 WO2022064361A1 (en) 2020-09-24 2021-09-21 Apparatus for collecting powder in exhaust gas having a filter dedusting function and exhaust gas treatment equipment provided with same

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN116234622A true CN116234622A (zh) 2023-06-06

Family

ID=74238984

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202180065303.XA Pending CN116234622A (zh) 2020-09-24 2021-09-21 具有过滤除尘功能的用于收集废气中的粉末的设备和设置有该设备的废气处理装备

Country Status (9)

Country Link
US (1) US20230356129A1 (zh)
EP (1) EP4217091A4 (zh)
JP (1) JP2023542959A (zh)
KR (1) KR102208983B1 (zh)
CN (1) CN116234622A (zh)
GB (1) GB2599753A (zh)
IL (1) IL301367A (zh)
TW (1) TW202224753A (zh)
WO (1) WO2022064361A1 (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102208983B1 (ko) * 2020-09-24 2021-01-27 씨에스케이(주) 필터 탈진 기능을 갖는 배기가스 내 파우더 포집 장치 및 이를 구비하는 배기가스 처리 장비

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4557738A (en) * 1982-05-26 1985-12-10 Menasian David R Vacuum collector
US4565555A (en) * 1982-09-29 1986-01-21 Menasian David R Vacuum collector
US5045098A (en) * 1990-08-13 1991-09-03 The Spencer Turbine Company Bag separator
US5342433A (en) * 1993-05-10 1994-08-30 Aercology, Inc. Dust collector with bimodal shaker
KR20030063786A (ko) 2002-01-24 2003-07-31 (주)대성공영환경 배출가스의 건식 정화 장치 및 방법
JP2007125294A (ja) * 2005-11-07 2007-05-24 Sharp Corp 集塵器およびそれを備えた電気掃除機
KR100941942B1 (ko) * 2008-01-21 2010-02-11 현대로템 주식회사 집진 테이블
KR20110060385A (ko) * 2009-11-30 2011-06-08 삼성전자주식회사 제진유닛을 구비한 집진장치
DE202010009971U1 (de) * 2010-07-01 2010-10-14 Weigert, Fidelo Klopfreiniger für Rippenfilter
KR101524170B1 (ko) * 2013-05-21 2015-05-29 김근식 먼지털이장치가 장착된 산업진공청소기
KR101661314B1 (ko) * 2016-03-07 2016-09-29 김현태 진공 청소기의 먼지떨이 장치
JP6686646B2 (ja) * 2016-04-07 2020-04-22 いすゞ自動車株式会社 エンジン及びその制御方法
KR101806170B1 (ko) 2016-06-23 2017-12-07 유니셈(주) 건식 스크러버
JP6837663B2 (ja) * 2017-09-25 2021-03-03 チコーエアーテック株式会社 集塵機
IT201900000175A1 (it) * 2019-01-08 2020-07-08 Wamgroup Spa Dispositivo e metodo di pulizia per depolveratore.
CN110420511A (zh) * 2019-07-31 2019-11-08 南京化学工业园天宇固体废物处置有限公司 一种危险废物焚烧线布袋除尘器
KR102208983B1 (ko) * 2020-09-24 2021-01-27 씨에스케이(주) 필터 탈진 기능을 갖는 배기가스 내 파우더 포집 장치 및 이를 구비하는 배기가스 처리 장비

Also Published As

Publication number Publication date
EP4217091A4 (en) 2024-10-16
IL301367A (en) 2023-05-01
US20230356129A1 (en) 2023-11-09
GB202105811D0 (en) 2021-06-09
GB2599753A (en) 2022-04-13
TW202224753A (zh) 2022-07-01
EP4217091A1 (en) 2023-08-02
JP2023542959A (ja) 2023-10-12
KR102208983B1 (ko) 2021-01-27
WO2022064361A1 (en) 2022-03-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5496395A (en) System for recovering organic solvent in soil
JP5392777B2 (ja) ろ過集塵機
KR101385115B1 (ko) 고성능 탈진장치를 구비한 여과집진장치 및 이의 작동방법
WO2022064360A1 (en) Apparatus for collecting powder in exhaust gas with an increased collection capacity and exhaust gas treatment equipment provided with same
CN116234622A (zh) 具有过滤除尘功能的用于收集废气中的粉末的设备和设置有该设备的废气处理装备
JP5776632B2 (ja) エアフィルタ再生方法及びエアフィルタ再生装置
KR100845958B1 (ko) 집진기의 필터고정구조
KR102527858B1 (ko) 물을 이용한 공기청정기
KR20190142098A (ko) 이중 트랙 진공 집진 시스템
KR200166130Y1 (ko) 폐가스 처리 시스템
KR20220018661A (ko) 이중필터의 탈진장치
KR101038348B1 (ko) 이온교환 스크러버용 이온교환부재
EP0891803B1 (en) A gas dryer
JP3433998B2 (ja) 濾過装置及びそれによる真空ポンプ系保護方法
KR20010077233A (ko) 반도체 제조용 가스 배기장치
KR20060079296A (ko) 드라이가스 스크러버의 파우더집진장치
JP3129980B2 (ja) トラップ装置及びその再生方法
KR20070069740A (ko) 반도체 제조 장비의 파우더 제거 장치
KR20050050202A (ko) 여과집진장치
RU2023480C1 (ru) Устройство для очистки газа от пыли
SU1604431A1 (ru) Адсорбер
CN115364611A (zh) 一种岩棉生产用烟气净化系统
JPH0131411B2 (zh)
KR20040077106A (ko) 가스 스크러버용 복합필터 및 상기 필터가 채용된 가스스크러버
JPH073712U (ja) 集塵機

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination