CN116147511A - 一种玻璃厚度监测装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种玻璃厚度监测装置，用于监测待测玻璃基板的厚度，玻璃厚度监测装置包括框架、夹具单元、采集单元及控制单元，夹具单元与采集单元间隔设置于框架上，夹具单元上安装有待测玻璃基板；采集单元与控制单元通信连接，包括运动检测模块及设置于运动检测模块上的激光传感器，运动检测模块用于带动激光传感器沿第一方向和第二方向移动，第一方向与第二方向相垂直，激光传感器用于发射激光至待测玻璃基板并采集从待测玻璃基板反射回的第一光信号；控制单元用于处理第一光信号为第一电信号，并根据第一电信号和预设的第一程序计算出待测玻璃基板的厚度，本申请直接得到待测玻璃基板的厚度，避免陪测片厚度推测待测玻璃基板厚度中存在的误差。

Description

一种玻璃厚度监测装置及方法

技术领域

本发明涉及玻璃基板厚度监测技术领域，特别是涉及一种玻璃厚度监测装置及方法。

背景技术

目前折叠屏手机成为了现代智能手机发展的主流趋势，实现智能手机可折叠的过程依赖于折叠屏上的柔性盖板，柔性盖板一般采用超薄柔性玻璃，超薄柔性玻璃是将玻璃基板薄化后的结果，为了能更好地满足折叠效果，对玻璃基板薄化(即蚀刻)过程中的厚度监测至关重要。

由于玻璃基板薄化工艺的特殊性，目前对玻璃基板薄化过程中的厚度监测一般是采用另一同材质玻璃基板作为陪测片，将陪测片与待测玻璃基板共同进行薄化，然后对陪测片的厚度采用千分尺直接进行测量，再依照陪测片的厚度来推测待测玻璃基板薄化过程中的厚度。

但使用陪测片的薄化厚度推测待测玻璃基板的实际薄化厚度，会存在较大的误差，一方面是易导致最终得到的超薄柔性玻璃厚度相对目标厚度偏厚或者偏薄，导致产品不良率增加；另一方面是难以准确得到待测玻璃基板薄化过程中的实际厚度，难以准确判定薄化效果的好坏，导致薄化工序的效率降低。

发明内容

基于此，有必要针对目前无法准确测量待测玻璃基板薄化过程中的厚度问题，提供一种玻璃厚度监测装置及方法。

一种玻璃厚度监测装置，用于监测待测玻璃基板的厚度，玻璃厚度监测装置包括框架、夹具单元、采集单元及控制单元，其中：

所述夹具单元与所述采集单元间隔设置于所述框架上，所述夹具单元上安装有所述待测玻璃基板；

所述采集单元与所述控制单元通信连接，包括运动检测模块及设置于所述运动检测模块上的激光传感器，所述运动检测模块用于带动所述激光传感器沿第一方向和第二方向移动，所述第一方向与所述第二方向相垂直，所述激光传感器用于发射激光至所述待测玻璃基板并采集从所述待测玻璃基板反射回的第一光信号；

所述控制单元用于处理所述第一光信号为第一电信号，并根据所述第一电信号和预设的第一程序计算出所述待测玻璃基板的厚度。

上述玻璃厚度监测装置，通过设置激光传感器发射激光至待测玻璃基板并根据从待测玻璃基板反射回的信号由控制单元处理和计算后，可以直接得到待测玻璃基板的厚度，即可以直接监测薄化过程中待测玻璃基板的厚度，相比测量陪测片的薄化厚度推测待测玻璃基板的实际厚度的方式而言，本申请避免了陪测片厚度推测待测玻璃基板厚度中存在的误差，从而避免了薄化的最终厚度与目标厚度不一致的情况，降低产品厚度不良率；同时直接得到待测玻璃基板薄化过程中的实际厚度，更方便评价薄化工艺的优缺点，对薄化工艺的优化提供指导方向，提高效率。

在其中一个实施例中，还包括水箱，所述夹具单元设置于所述水箱内。

在其中一个实施例中，所述夹具单元包括第一基板、固定板及移动板，所述第一基板设置于所述水箱内，所述固定板与所述移动板正对设置于所述第一基板的一侧，所述固定板与所述移动板中相互正对的两侧分别对应地开设有第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽的槽壁与所述第二凹槽的槽壁之间形成用于夹持所述待测玻璃基板的容置空间。

在其中一个实施例中，所述第一基板上开设有至少一个贯穿其厚度的可视窗口。

在其中一个实施例中，所述移动板可沿所述第一方向移动地安装于所述第一基板。

在其中一个实施例中，所述移动板开设有至少一个贯穿其厚度的第一通孔，所述第一基板开设有至少一个贯穿其厚度的第一腰型孔，所述第一腰型孔沿所述第一方向延伸，至少一个连接紧固件穿过所述第一通孔与所述第一腰型孔将所述移动板可拆卸地安装于所述第一基板。

在其中一个实施例中，所述夹具单元还包括定位紧固件，所述定位紧固件可沿所述第二方向移动地安装于所述第一基板，所述定位紧固件与所述待测玻璃基板的底端抵接且位于所述固定板与所述移动板之间。

在其中一个实施例中，所述运动检测模块包括固定座、活动座、第一驱动组件及第二驱动组件，其中：

所述固定座设置于所述框架，且沿所述第一方向延伸；

所述活动座与所述固定座滑动连接，且沿所述第二方向延伸，其上连接有可滑动地所述激光传感器；

所述第一驱动组件设置于所述固定座，与所述控制单元通信连接，其输出端与所述活动座相连接，用于带动所述活动座相对所述固定座移动；

所述第二驱动组件设置于所述活动座，与所述控制单元通信连接，其输出端与所述激光传感器相连接，用于带动所述激光传感器相对所述活动座移动。

另外，本发明还提供了一种如上述任一实施例所述的玻璃厚度监测装置的监测方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、提供一个玻璃厚度监测装置，所述待测玻璃基板安装于所述玻璃厚度监测装置；

S2、激光传感器发射激光至所述待测玻璃基板并采集从所述待测玻璃基板反射回的第一光信号；

S3、控制单元将第一光信号转化为第一电信号，并根据所述第一电信号和预设的第一程序计算出所述待测玻璃基板的厚度。

上述玻璃厚度监测装置的监测方法，通过步骤S1获得一个待检测状态的待测玻璃基板；通过步骤S2获得待测玻璃基板上待测点反射回的第一光信号；通过步骤S3将光信号转化为电信号并通过预设的第一程序计算出待测玻璃基板的厚度，上述整个过程操作简单、实用性强；且通过激光传感器发射激光至待测玻璃基板并根据从待测玻璃基板反射回的信号由控制单元处理和计算后，可以直接得到待测玻璃基板的厚度，即可以直接监测薄化过程中待测玻璃基板的厚度，相比使用陪测片的薄化厚度推测待测玻璃基板的实际厚度的方式而言，本申请避免了陪测片厚度推测待测玻璃基板厚度中存在的误差，从而避免了薄化的最终厚度与目标厚度不一致的情况，降低产品厚度不良率；同时直接得到待测玻璃基板薄化过程中的实际厚度，更方便评价薄化工艺的优缺点，对薄化工艺的优化提供指导方向，提高效率。

在其中一个实施例中，采用所述玻璃厚度监测装置测量所述待测玻璃基板前，包括如下步骤：

提供一个厚度已知的玻璃标准片，所述玻璃标准片的原厚度值记为D1；

采用所述玻璃厚度监测装置测量所述玻璃标准片，获取所述玻璃标准片的测量厚度值记为D2；

获取补偿值，所述补偿值为∣D1-D2∣；

将所述补偿值存储于所述第一程序中。

附图说明

图1为本发明提供的一种玻璃厚度监测装置示意图；

图2为图1中的采集单元结构示意图；

图3为图1中夹具单元安装于水箱示意图；

图4为图3中的夹具单元结构示意图；

图5为图3中的夹具单元的另一角度结构示意图；

图6为图5中的夹具单元的另一角度结构示意图；

图7为图2中的采集单元的另一角度结构示意图；

图8为图7中的采集单元的另一角度结构示意图；

图9为本发明提供的一种玻璃厚度监测装置的监测方法的流程框图。

其中：

10、玻璃厚度监测装置；a、第一方向；b、第二方向；c、第三方向；

100、框架；

200、夹具单元；210、第一基板；211、可视窗口；212、第一腰型孔；213、第二腰型孔；220、固定板；221、第一凹槽；230、移动板；240、第一安装紧固件；250、连接紧固件；260、定位紧固件；

300、采集单元；310、运动检测模块；311、固定座；312、活动座；313、第一驱动组件；3131、第一丝杆；3132、第一螺母；3133、第一伺服电机；314、第二驱动组件；3141、第二丝杆；3142、第二螺母；3143、第二伺服电机；315、第一滑轨；316、第一滑块；317、第二滑轨；318、第二滑块；319、盖板组件；3191、第一盖板；3192、第二盖板；320、激光传感器；330、定位架；340、第三滑轨；350、第三滑块；360、第一拖链；

400、控制单元；

500、显示器；

600、水箱。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

参阅图1和图2所示，本发明一实施例提供了一种玻璃厚度监测装置10，用于监测待测玻璃基板的厚度，该玻璃厚度监测装置10包括框架100、夹具单元200、采集单元300及控制单元400，其中：

夹具单元200与采集单元300间隔设置于框架100上，夹具单元200上安装有待测玻璃基板，在具体设置时，夹具单元200与采集单元300一般正对设置于框架100的同一侧，控制单元400安装于框架100且位于采集单元300上侧；

采集单元300与控制单元400通信连接，采集单元300包括运动检测模块310及设置于运动检测模块310上的激光传感器320，运动检测模块310用于带动激光传感器320沿第一方向a和第二方向b移动，第一方向a与第二方向b相垂直，激光传感器320用于发射激光至待测玻璃基板并采集从待测玻璃基板反射回的第一光信号，在具体设置时，激光传感器320可以是分光干涉测量仪，分光干涉测量仪的原理如下，从光源发出的宽波长频带光经由光纤并穿过传感头照射待测玻璃基板，一部分光在待测玻璃基板的第一表面反射后返回到感测头，一部分光透过第一表面发生折射进入待测玻璃基板的内部，然后穿过待测玻璃基板从待测玻璃基板的第二表面发生反射后返回感测头，第一表面与第二表面为待测玻璃基板中相正对的两表面，感测头将接收到的从第一表面和第二表面反射的光信号反馈至控制单元400；

控制单元400用于处理第一光信号为第一电信号，并根据第一电信号和预设的第一程序计算出待测玻璃基板的厚度。在具体设置时，控制单元400可以是PCL控制器，控制单元400还与显示器500通信连接，显示器500用于显示出待测玻璃基板的厚度。

上述玻璃厚度监测装置10，通过设置激光传感器320发射激光至待测玻璃基板并根据从待测玻璃基板反射回的信号由控制单元400处理和计算后，可以直接得到待测玻璃基板的厚度，即可以直接监测薄化过程中待测玻璃基板的厚度，相比测量陪测片的薄化厚度推测待测玻璃基板的实际厚度的方式而言，本申请避免了陪测片厚度推测待测玻璃基板厚度中存在的误差，从而避免了薄化的最终厚度与目标厚度不一致的情况，降低产品厚度不良率；同时直接得到待测玻璃基板薄化过程中的实际厚度，更方便评价薄化工艺的优缺点，对薄化工艺的优化提供指导方向，提高效率。

需要说明的是，在监控待测玻璃基板薄化即蚀刻过程中，每蚀刻一次后，待测玻璃基板表面存在酸液残留状况，使得待测玻璃基板的部分区域有水珠残留，部分区域是干燥状态，若直接测量，会对测量造成干扰，使得测量数据不准，且因为残酸的存在，还易造成待测玻璃基板表面有酸雾残留，影响产品品质。因此在每次刻蚀后需要对待测玻璃基板清洗，将待测玻璃基板清洗干净后再测量，这一过程繁琐且耗时长，大大的降低测量效率，增长了总蚀刻工序时长，降低了蚀刻效率，提高了生产成本。

结合图3所示，为了防止刻蚀后待测玻璃基板表面存在的酸液残留造成的影响，一种优选实施方式，玻璃厚度监测装置10还包括水箱600，夹具单元200设置于水箱600内。在具体设置时，水箱600的材质为透明玻璃材质，方便观察水箱600内的安装在夹具单元200的待测玻璃基板。为了方便对待测玻璃基板清洗和刻蚀，夹具单元200也为刻蚀板，在具体操作时，将蚀刻后的待测玻璃基板不从夹具单元200即蚀刻板上拆分，将待测玻璃基板与蚀刻板整体投入玻璃水箱600中测试，在未达到目标蚀刻厚度的情况下，将刻蚀板及安装在刻蚀板上的待测玻璃基板重复投入蚀刻，直至达到目标厚度。同时浸入式的测量方式即在玻璃水箱600内完成测量可以规避待测玻璃基板表面水膜和平整度不足的干扰。

结合图4、图5及图6所示，为了较为方便地实现将待测玻璃基板安装于夹具单元200，具体地，夹具单元200包括第一基板210、固定板220及移动板230，第一基板210设置于水箱600内，固定板220与移动板230正对设置于第一基板210的一侧，固定板220与移动板230中相互正对的两侧分别对应地开设有第一凹槽221和第二凹槽，第一凹槽221的槽壁与第二凹槽的槽壁之间形成用于夹持待测玻璃基板的容置空间。在具体设置时，采集单元300、待测玻璃基板及第一基板210沿第三方向c依次设置，第三方向c与第一方向a和第二方向b均垂直，即待测玻璃基板中背离第一基板210的一侧面向采集单元300。在具体操作时，待测玻璃基板垂直插入第一凹槽221与第二凹槽中，采集单元300上的激光传感器320在运动检测模块310带动下到达指定位置后发送激光穿过玻璃水箱600直接达到待测玻璃基板的待测点。

为了能方便地观察激光传感器320对待测玻璃基板的测试过程，更具体地，第一基板210上开设有至少一个贯穿其厚度的可视窗口211。在具体设置时，可视窗口211的数量可以是2个、3个、4个及以上，可视窗口211的形状一般设置为方形，但不限于上述方形，可以是圆形、三角形等任意形状。

不难理解地，在未达到目标厚度之前，需要反复地将刻蚀板及安装在刻蚀板上的待测玻璃基板从蚀刻装置安装于玻璃水箱600，为了保证同一测量点在反复刻蚀后再测量的过程中，该测量点与激光传感器320在第三方向c上的距离固定不变，在具体设置时，第一基板210可拆卸地安装于水箱600内，水箱600上设置有安装螺母，第一基板210上设置有贯穿其厚度的安装通孔，第一安装紧固件240穿过安装通孔可拆卸地与安装螺母固定为一体，使得第一基板210与水箱600可拆卸连接，且保证第一基板210固定于水箱600的位置不变，从而激光传感器320与待测玻璃在第三方向c的距离不变。

为了能方便地测试不同宽度的待测玻璃基板厚度，更具体地，移动板230可沿第一方向a移动地安装于第一基板210。通过上述设置，固定板220与移动板230在第一方向a上的距离可调，使得第一凹槽221与第二凹槽在第一方向a上的距离可调，即通过改变容置空间在第一方向a上的大小可以使得容置空间能夹持不同宽度的待测玻璃基板。

为了较为方便地实现移动板230沿第一方向a的移动，进一步地，移动板230开设有至少一个贯穿其厚度的第一通孔，第一基板210开设有至少一个贯穿其厚度的第一腰型孔212，第一腰型孔212沿第一方向a延伸，至少一个连接紧固件250穿过第一通孔与第一腰型孔212将移动板230可拆卸地安装于第一基板210。在具体设置时，连接紧固件250的数量可以是3个、6个、9个及以上，第一通孔的数量可以是3个、6个、9个及以上，第一通孔沿第二方向b间隔设置，第一腰型孔212的数量可以与第一通孔的数量相等，也可以大于第一通孔的数量，第一腰型孔212的数量可以是5个、10个、15个及以上，第一腰型孔212沿第二方向b间隔设置，保证每个第一通孔均具有与其一一对应地第一腰型孔212。

为了能方便地测试不同长度的待测玻璃基板厚度，更具体地，夹具单元200还包括定位紧固件260，定位紧固件260可沿第二方向b移动地安装于第一基板210，定位紧固件260与待测玻璃基板的底端抵接且位于固定板220与移动板230之间。在具体设置时，第一基板210上开设有贯穿其厚度的第二腰型孔213，第二腰型孔213的延伸方向与第二方向b平行，第二腰型孔213位于固定板220与移动板230之间，定位紧固件260穿过第二腰型孔213可拆卸地安装在第一基板210上。通过上述设置，使得定位紧固件260在第二方向b上距离第一基板210顶端的距离可调，通过改变定位紧固件260在第二方向b上与第一基板210顶端的距离，使得定位紧固件260可以抵接不同长度的待测玻璃基板的底端。且定位紧固件260在第二方向b上的移动与移动板230沿第一方向a的移动可以使得夹具单元200能夹持不同规格的待测玻璃基板。

结合图7及图8所示，为了较为方便地实现运动检测模块310带动激光传感器320的移动，一种优选实施方式，运动检测模块310包括固定座311、活动座312、第一驱动组件313及第二驱动组件314，其中：

固定座311设置于框架100，且固定座311沿第一方向a延伸，在具体设置时，固定座311上设置有第一滑轨315，第一滑轨315沿第一方向a延伸，第一滑轨315上设置有与其适配的第一滑块316，第一滑块316与活动座312相连接；

活动座312与固定座311滑动连接，且活动座312沿第二方向b延伸，活动座312上连接有可滑动地激光传感器320，在具体设置时，活动座312上设置有第二滑轨317，第二滑轨317沿第二方向b延伸，第二滑轨317上设置有与其适配的第二滑块318，第二滑块318与激光传感器320相连接；

第一驱动组件313设置于固定座311，第一驱动组件313与控制单元400通信连接，第一驱动组件313输出端与活动座312相连接，第一驱动组件313用于带动活动座312相对固定座311移动，在具体设置时，第一驱动组件313包括第一丝杆3131、与第一丝杆3131传动配合的第一螺母3132及与控制单元400通信连接的第一伺服电机3133，第一丝杆3131设置于第一滑轨315内，且第一丝杆3131与第一伺服电机3133的输出端相连接，第一螺母3132与第一滑块316相连接，为了外观简洁，运动检测模块310还包括盖板组件319，盖板组件319包括第一盖板3191，第一盖板3191盖设于第一滑轨315；

第二驱动组件314设置于活动座312，第二驱动组件314与控制单元400通信连接，第二驱动组件314输出端与激光传感器320相连接，第一驱动组件313用于带动激光传感器320相对活动座312移动；在具体设置时，第二驱动组件314包括第二丝杆3141、与第二丝杆3141传动配合的第二螺母3142及与控制单元400通信连接的第二伺服电机3143，第二丝杆3141设置于第二滑轨317内，且第二丝杆3141与第二伺服电机3143的输出端相连接，第二螺母3142与第二滑块318相连接；为了外观简洁，盖板组件319还包括第二盖板3192，第二盖板3192盖设于第二滑轨317；在具体运动时，第二伺服电机3143驱动第二丝杆3141转动从而带动与第二丝杆3141配合的第二螺母3142沿第二方向b运动，及与第二螺母3142相连接的第二滑块318和与第二滑块318相连接的激光传感器320沿第二方向b运动。

为了保证激光传感器320移动过程中更加平稳，在具体设置时，运动检测模块310包括定位架330，定位架330的形状可以是圆形、三角形等任意形状，本申请中一般设置为方形结构，方形定位架330固定于框架100，固定座311设置于方形定位架330中的第一侧边，方形定位架330中与第一侧边正对且处于同一表面的第二侧边上设置第三滑轨340，活动座312设置于方形定位架330中与第一侧边和第二侧边相连接的第三侧边，活动座312上设置有与第三滑轨340适配的第三滑块350，在具体运动时，第一伺服电机3133驱动第一丝杆3131转动从而带动与第一丝杆3131配合的第一螺母3132沿第一方向a运动，及与第一螺母3132相连接的第一滑块316和与第一滑块316相连接的活动座312沿第一方向a运动，同时第三滑块350沿第三滑轨340移动，且为了移动过程中更加平稳，采集单元300还包括第一拖链360，第一拖链360设置于定位架330且与活动座312相连接。通过上述设置，可以方便地选取待测玻璃基板中各不同位置的待测点进行测量。

结合图9所示，本发明还提供了一种如上述任一实施例所述的玻璃厚度监测装置10的监测方法，包括如下步骤：

步骤S1、提供一个玻璃厚度监测装置10，待测玻璃基板安装于玻璃厚度监测装置10，通过上述设置，获得一个待检测状态的待测玻璃基板；

步骤S2、激光传感器320发射激光至待测玻璃基板并采集从待测玻璃基板反射回的第一光信号；

步骤S3、控制单元400将第一光信号转化为第一电信号，并且控制单元400根据第一电信号和预设的第一程序计算出待测玻璃基板的厚度。

上述玻璃厚度监测装置10的监测方法，通过步骤S1获得一个待检测状态的待测玻璃基板；通过步骤S2获得待测玻璃基板上待测点反射回的第一光信号；通过步骤S3将光信号转化为电信号并通过预设的第一程序计算出待测玻璃基板的厚度，上述整个过程操作简单、实用性强；且通过激光传感器320发射激光至待测玻璃基板并根据从待测玻璃基板反射回的信号由控制单元400处理和计算后，可以直接得到待测玻璃基板的厚度，即可以直接监测薄化过程中待测玻璃基板的厚度，相比使用陪测片的薄化厚度推测待测玻璃基板的实际厚度的方式而言，本申请避免了陪测片厚度推测待测玻璃基板厚度中存在的误差，从而避免了薄化的最终厚度与目标厚度不一致的情况，降低产品厚度不良率；同时直接得到待测玻璃基板薄化过程中的实际厚度，更方便评价薄化工艺的优缺点，对薄化工艺的优化提供指导方向，提高效率。

为了修正采用玻璃厚度监测装置10测量待测玻璃基板时存在的偏差，一种优选实施方式，采用玻璃厚度监测装置10测量待测玻璃基板前，包括如下步骤：

提供一个厚度已知的玻璃标准片，玻璃标准片的原厚度值记为D1，在具体设置时，玻璃标准片的厚度可以是采用千分尺、磁波器等测量工具测量所得；

采用玻璃厚度监测装置10测量玻璃标准片，获取玻璃标准片的测量厚度值记为D2；

获取补偿值，补偿值为∣D1-D2∣；

将补偿值存储于第一程序中。通过上述设置后，再采用玻璃厚度监测装置10测量待测玻璃基板时，运用第一程序计算出的厚度便去除了装置偏差，使得最终显示的厚度数据是待测玻璃基板真实的数据。

需要说明的是，在测量待测玻璃基板厚度前，除了需要将补偿值存储于第一程序外，还需要通过相关资料查阅待测玻璃基板的材质的折射率值，并将折射率值赋值入第一程序中，不同材质的待测玻璃基板设置不同的折射率值进行计算。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种玻璃厚度监测装置，用于监测待测玻璃基板的厚度，其特征在于，包括框架、夹具单元、采集单元及控制单元，其中：

所述夹具单元与所述采集单元间隔设置于所述框架上，所述夹具单元上安装有所述待测玻璃基板；

所述采集单元与所述控制单元通信连接，包括运动检测模块及设置于所述运动检测模块上的激光传感器，所述运动检测模块用于带动所述激光传感器沿第一方向和第二方向移动，所述第一方向与所述第二方向相垂直，所述激光传感器用于发射激光至所述待测玻璃基板并采集从所述待测玻璃基板反射回的第一光信号；

所述控制单元用于处理所述第一光信号为第一电信号，并根据所述第一电信号和预设的第一程序计算出所述待测玻璃基板的厚度。

2.根据权利要求1所述的玻璃厚度监测装置，其特征在于，还包括水箱，所述夹具单元设置于所述水箱内。

3.根据权利要求2所述的玻璃厚度监测装置，其特征在于，所述夹具单元包括第一基板、固定板及移动板，所述第一基板设置于所述水箱内，所述固定板与所述移动板正对设置于所述第一基板的一侧，所述固定板与所述移动板中相互正对的两侧分别对应地开设有第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽的槽壁与所述第二凹槽的槽壁之间形成用于夹持所述待测玻璃基板的容置空间。

4.根据权利要求3所述的玻璃厚度监测装置，其特征在于，所述第一基板上开设有至少一个贯穿其厚度的可视窗口。

5.根据权利要求3所述的玻璃厚度监测装置，其特征在于，所述移动板可沿所述第一方向移动地安装于所述第一基板。

6.根据权利要求5所述的玻璃厚度监测装置，其特征在于，所述移动板开设有至少一个贯穿其厚度的第一通孔，所述第一基板开设有至少一个贯穿其厚度的第一腰型孔，所述第一腰型孔沿所述第一方向延伸，至少一个连接紧固件穿过所述第一通孔与所述第一腰型孔将所述移动板可拆卸地安装于所述第一基板。

7.根据权利要求3所述的玻璃厚度监测装置，其特征在于，所述夹具单元还包括定位紧固件，所述定位紧固件可沿所述第二方向移动地安装于所述第一基板，所述定位紧固件与所述待测玻璃基板的底端抵接且位于所述固定板与所述移动板之间。

8.根据权利要求1所述的玻璃厚度监测装置，其特征在于，所述运动检测模块包括固定座、活动座、第一驱动组件及第二驱动组件，其中：

所述固定座设置于所述框架，且沿所述第一方向延伸；

所述活动座与所述固定座滑动连接，且沿所述第二方向延伸，其上连接有可滑动地所述激光传感器；

所述第一驱动组件设置于所述固定座，与所述控制单元通信连接，其输出端与所述活动座相连接，用于带动所述活动座相对所述固定座移动；

所述第二驱动组件设置于所述活动座，与所述控制单元通信连接，其输出端与所述激光传感器相连接，用于带动所述激光传感器相对所述活动座移动。

9.一种如权利要求1-8任一项所述的玻璃厚度监测装置的监测方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、提供一个玻璃厚度监测装置，所述待测玻璃基板安装于所述玻璃厚度监测装置；

S2、激光传感器发射激光至所述待测玻璃基板并采集从所述待测玻璃基板反射回的第一光信号；

S3、控制单元将第一光信号转化为第一电信号，并根据所述第一电信号和预设的第一程序计算出所述待测玻璃基板的厚度。

10.根据权利要求9所述的玻璃厚度监测装置的监测方法，其特征在于，采用所述玻璃厚度监测装置测量所述待测玻璃基板前，包括如下步骤：

提供一个厚度已知的玻璃标准片，所述玻璃标准片的原厚度值记为D1；

采用所述玻璃厚度监测装置测量所述玻璃标准片，获取所述玻璃标准片的测量厚度值记为D2；

获取补偿值，所述补偿值为∣D1-D2∣；

将所述补偿值存储于所述第一程序中。

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