CN116125355A - 检查装置及磁传感器的检查方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种检查装置，其具备：具有载置面的载置台、和第一磁场产生器及第二磁场产生器。第一磁场产生器以能够使其姿势变化，并且单独地产生第一磁场的方式构成。第二磁场产生器以能够使其姿势变化，并且单独地产生第二磁场的方式构成。第一磁场产生器和第二磁场产生器以协动地产生合成磁场的方式构成。

Description

检查装置及磁传感器的检查方法

技术领域

本发明涉及用于检查磁传感器的检查装置及磁传感器的检查方法。

背景技术

近年来，在各种用途中，在利用使用了磁阻效应元件的磁传感器。在包含磁传感器的系统中，有时希望通过设置于基板上的磁阻效应元件来检测垂直于基板面的方向的磁场(以下，称为垂直磁场)。在这种情况下，通过设置将垂直磁场转换为平行于基板面的方向的磁场的软磁性体，或者将磁阻效应元件配置在形成于基板上的倾斜面上，能够检测垂直磁场。

为了将磁传感器出厂到市场，在制造时或出厂前，需要检查磁传感器的输出特性。在磁传感器的检查中，将假定了磁传感器的检测对象的磁场的磁场施加给磁传感器，检查磁传感器的输出特性。在以能够检测垂直磁场的方式构成的磁传感器的情况下，在磁传感器的检查中，需要对磁传感器施加垂直磁场。

日本国专利申请公开2021-67503号公报公开了一种具备具有对称性的两个线圈的磁传感器的检查装置。在该检查装置中，通过使用继电器来任意切换两个线圈各自的通电方向，在Z方向及X方向这两个方向上切换产生磁场。

在磁传感器的输出特性中，存在像线性或滞后性等那样根据连续改变了磁场时的磁传感器的输出而得到的特性。但是，在日本国专利申请公开2021-67503号公报公开的检查装置中，因为不能连续地使磁场变化，所以不能检查像线性或滞后性等那样的特性。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够使磁场连续变化的检查装置及磁传感器的检查方法。

本发明的检查装置是对磁传感器施加磁场而检查磁传感器的输出的检查装置。本发明的检查装置具备：载置台，其具有用于载置磁传感器的载置面；第一磁场产生器及第二磁场产生器，其分别在垂直于载置面的方向上相对于载置面隔开规定的间隔而配置。

第一磁场产生器构成为能够使其姿势变化，并且单独地产生对磁传感器施加的磁场，即相对于与载置面垂直的方向倾斜的第一方向的第一磁场。第二磁场产生器构成为能够使其姿势变化，并且单独地产生对磁传感器施加的磁场，即相对于与载置面垂直的方向倾斜的第二方向的第二磁场。第一磁场产生器和第二磁场产生器构成为协动地产生对磁传感器施加的磁场，即包含相对于与载置面垂直的假想平面平行的方向的分量的合成磁场。

在本发明的检查装置中，第一磁场产生器和第二磁场产生器也可以构成为协动地使合成磁场的方向变化，以使合成磁场的方向相对于与载置面平行的一个方向所成的角度变化。

另外，在本发明的检查装置中，第一磁场产生器和第二磁场产生器也可以分别能够使相对于磁传感器的相对位置变化。

另外，在本发明的检查装置中，第一磁场产生器和第二磁场产生器也可以分别为磁铁。在这种情况下，磁铁的N极和S极也可以沿着相对于与载置面垂直的方向倾斜的方向排列。

另外，在本发明的检查装置中，磁传感器也可以具备：具有由平面构成的主面的基板、磁检测元件。磁检测元件也可以构成为检测包含垂直于主面的方向的分量的对象磁场。磁传感器也可以以主面与载置面平行的方式载置于载置面。

本发明的磁传感器的检查方法包含：在载置台的载置面上载置磁传感器；在垂直于载置面的方向上，相对于载置面隔开规定的间隔而配置第一磁场产生器，该第一磁场产生器构成为能够使其姿势变化，并且单独地产生对磁传感器施加的磁场，即相对于与载置面垂直的方向倾斜的第一方向的第一磁场；在垂直于载置面的方向上，相对于载置面隔开规定的间隔而配置第二磁场产生器，该第二磁场产生器构成为能够使其姿势变化，并且单独地产生对磁传感器施加的磁场，即相对于与载置面垂直的方向倾斜的第二方向的第二磁场；使第一磁场产生器和第二磁场产生器协动地产生对磁传感器施加的磁场，即包含垂直于载置面的方向的分量的合成磁场；检查磁传感器的输出。

本发明的磁传感器的检查方法也可以使第一磁场产生器和第二磁场产生器协动地而使合成磁场的方向变化，以使合成磁场的方向相对于与载置面平行的一个方向所成的角度变化。

另外，本发明的磁传感器的检查方法也可以包含：使第一磁场产生器和第二磁场产生器各自相对于磁传感器的相对位置变化。

另外，在本发明的磁传感器的检查方法中，第一磁场产生器和第二磁场产生器也可以分别为磁铁。在这种情况下，本发明的磁传感器的检查方法也可以包含：以磁铁的N极和S极沿着相对于与载置面垂直的方向倾斜的方向排列的方式配置第一磁场产生器和第二磁场产生器。

另外，在本发明的磁传感器的检查方法中，磁传感器也可以具备：具有由平面构成的主面的基板、磁检测元件。磁检测元件也可以构成为检测包含垂直于主面的方向的分量的对象磁场。在这种情况下，本发明的磁传感器的检查方法也可以包含：以主面与载置面平行的方式在载置面上载置磁传感器。

在本发明的检查装置中，第一磁场产生器和第二磁场产生器构成为协动地产生合成磁场。第一磁场产生器和第二磁场产生器分别能够使其姿势变化。由此，根据本发明，可实现能够使磁场连续变化的检查装置。

另外，在本发明的磁传感器的检查方法中，使第一磁场产生器和第二磁场产生器协动地产生合成磁场。第一磁场产生器和第二磁场产生器分别能够使其姿势变化。由此，根据本发明，可实现能够使磁场连续变化的检查方法。

本发明的其他目的、特征及利益通过以下说明将会变得充分清楚。

附图说明

图1是表示本发明一实施方式的检查装置的整体结构的说明图。

图2是表示本发明一实施方式的检查装置的主要部分的俯视图。

图3是表示本发明一实施方式的检查装置的主要部分的侧视图。

图4是用于对本发明一实施方式的检查装置的动作进行说明的说明图。

图5是用于对本发明一实施方式的检查装置的动作进行说明的说明图。

图6是用于对本发明一实施方式的合成磁场进行说明的说明图。

图7是表示通过本发明一实施方式的检查装置来检查的磁传感器的第一例的立体图。

图8是表示通过本发明一实施方式的检查装置来检查的磁传感器的第二例的立体图。

图9是表示本发明一实施方式的检查方法的流程图。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。首先，参照图1至图3对本发明一实施方式的检查装置1的结构进行说明。图1是表示检查装置1的整体结构的说明图。图2是表示检查装置1的主要部分的俯视图。图3是表示检查装置1的主要部分的侧视图。

本实施方式的检查装置1是对磁传感器施加磁场而检查磁传感器的输出的装置。如图1至图3所示，检查装置1具备载置台2、第一磁场产生器3、以及第二磁场产生器4。

载置台2具有用于载置磁传感器的载置面2a。在图1至图3中，符号10表示检查对象物。检查对象物10配置于载置面2a上。检查对象物10也可以是包含分割前的多个磁传感器的晶片，还可以是将磁传感器单片化而成的芯片。

在此，如图1至图3所示，定义X方向、Y方向、Z方向。X方向、Y方向、Z方向相互正交。此外，在本申请中，所谓“正交”，是除了完全以90°正交以外，还包含大致正交即稍微偏离90°而正交的概念。在本实施方式中，将与载置台2的载置面2a垂直的一个方向(在图1中，朝向上侧的方向)设为Z方向。X方向和Y方向都是相对于载置台2的载置面2a平行的方向。另外，将与X方向相反的方向设为-X方向，将与Y方向相反的方向设为-Y方向，将与Z方向相反的方向设为-Z方向。另外，以下将相对于基准位置位于Z方向的前端的位置称为“上方”，将相对于基准位置位于“上方”相反侧的位置称为“下方”。

第一磁场产生器3和第二磁场产生器4分别在平行于Z方向的方向上相对于载置面2a隔开规定的间隔而配置。在本实施方式中，特别是第一磁场产生器3和第二磁场产生器4分别配置在载置面2a的上方。另外，第一磁场产生器3相对于检查对象物10配置在-X方向的前端。第二磁场产生器4相对于检查对象物10配置在X方向的前端。

第一磁场产生器3构成为单独地产生对磁传感器即检查对象物10施加的磁场，即相对于与Z方向平行的方向倾斜的第一方向的第一磁场。第二磁场产生器4构成为单独地产生对磁传感器即检查对象物10施加的磁场，即相对于与Z方向平行的方向倾斜的第二方向的第二磁场。

在本实施方式中，特别是第一磁场产生器3和第二磁场产生器4分别是磁铁。磁铁也可以具有圆柱状的形状。在这种情况下，构成第一磁场产生器3的圆柱状磁铁和构成第二磁场产生器4的圆柱状磁铁配置为以与检查对象物10交叉的YZ平面为中心呈对称姿势。另外，圆柱状磁铁具有以包含圆柱的中心轴的假想平面为中心呈对称配置的N极和S极。圆柱的中心轴相对于与Z方向平行的方向倾斜。圆柱状磁铁的N极和S极沿着相对于与Z方向平行的方向倾斜的方向排列。

第一磁场产生器3和第二磁场产生器4分别构成为能够使其姿势变化。具体而言，检查装置1还具备控制第一磁场产生器3和第二磁场产生器4各自的姿势的控制装置7。第一磁场产生器3和第二磁场产生器4分别与柱状支承部件5、6连接，该柱状支承部件5、6与电动机等未图示的驱动装置连结。控制装置7控制未图示的驱动装置。由此，第一磁场产生器3和第二磁场产生器4各自的姿势变化。

“姿势的变化”包含如下两种情况，第一种情况是不改变检查对象物10分别相对于第一磁场产生器3和第二磁场产生器4的姿势，而是使第一磁场产生器3和第二磁场产生器4各自的姿势变化；第二种情况是改变检查对象物10分别相对于第一磁场产生器3和第二磁场产生器4的姿势，同时使第一磁场产生器3和第二磁场产生器4各自的姿势变化。例如，在通过由控制装置7使支承部件5、6分别绕轴方向旋转，而使构成第一磁场产生器3的磁铁和构成第二磁场产生器4的磁铁分别旋转的情况下，检查对象物10分别相对于构成第一磁场产生器3的磁铁和构成第二磁场产生器4的磁铁的姿势不变化。另外，例如，在通过由控制装置7使支承部件5、6分别绕平行于Y方向的轴旋转，而改变了构成第一磁场产生器3的磁铁的朝向和构成第二磁场产生器4的磁铁的朝向的情况下，检查对象物10分别相对于第一磁场产生器3和第二磁场产生器4的姿势会变化。

另外，第一磁场产生器3和第二磁场产生器4分别能够使相对于磁传感器即检查对象物10的相对位置变化。具体而言，例如，也可以通过由控制装置7使支承部件5、6向规定的方向移动，使上述相对位置变化。规定的方向也可以是支承部件5、6各自的轴方向、平行于X方向的方向及平行于Z方向的方向中的至少一个方向。另外，也可以通过使载置台2向规定的方向移动，使上述相对位置变化。

另外，第一磁场产生器3和第二磁场产生器4构成为协动地产生对磁传感器即检查对象物10施加的磁场，即包含与垂直于载置面2a的假想平面平行的方向的分量的合成磁场。在本实施方式中，特别是上述的假想平面是平行于YZ平面的平面。

检查装置1还具备数据收集装置8。数据收集装置8构成为对磁传感器施加规定大小的电源电压，并且输入从磁传感器输出的检测信号。磁传感器和数据收集装置8经由多个配线相互电连接。

接着，参照图4至图6对检查装置1的动作和合成磁场进行详细说明。图4及图5是用于对检查装置1的动作进行说明的说明图。图6是用于对合成磁场进行说明的说明图。在图4及图5中，带有符号MFa的箭头表示第一磁场，带有符号MFb的箭头表示第二磁场。在图6中，符号P表示与检查对象物10交叉且与YZ平面平行的假想平面。

图4表示构成第一磁场产生器3的磁铁的N极和S极沿着从Z方向向X方向倾斜的方向排列，且构成第二磁场产生器4的磁铁的N极和S极沿着从Z方向向-X方向倾斜的方向排列的状态。在该状态下，第一磁场MFa的方向即第一方向变成从Z方向向X方向倾斜的方向，第二磁场MFb的方向即第二方向变成从Z方向向-X方向倾斜的方向。

第一磁场MFa是第一磁场产生器3单独地产生的磁场，第二磁场MFb是第二磁场产生器4单独地产生的磁场。图4所示的第一磁场MFa的方向是假定不存在第二磁场产生器4时的方向，图4所示的第二磁场MFb的方向是假定不存在第一磁场产生器3时的方向。实际上第一磁场产生器3和第二磁场产生器4协动地产生合成磁场MFc。合成磁场MFc相当于合成第一磁场MFa和第二磁场MFb所得的磁场。在图4中，为了方便起见，将合成磁场MFc表示为合成第一磁场MFa和第二磁场MFb所得的磁场。

合成磁场MFc是对磁传感器即检查对象物10施加的。合成磁场MFc包含相对于假想平面P平行的方向的分量。相对于假想平面P平行的方向的分量也可以是合成磁场MFc的主要分量。或者，合成磁场MFc也可以不包含垂直于假想平面P的方向的分量。在以下说明中，为了方便起见，假设合成磁场MFc仅包含相对于假想平面P平行的方向的分量，不包含垂直于假想平面P的方向的分量。在图4所示的状态下，合成磁场MFc的方向变成Z方向。

图5表示使构成第一磁场产生器3的磁铁和构成第二磁场产生器4的磁铁分别从图4所示的状态旋转了180°后的状态。在该状态下，构成第一磁场产生器3的磁铁的N极和S极沿着从-Z方向向-X方向倾斜的方向排列，且构成第二磁场产生器4的磁铁的N极和S极沿着从-Z方向向X方向倾斜的方向排列。在该状态下，第一磁场MFa的方向即第一方向变成从-Z方向向-X方向倾斜的方向，第二磁场MFb的方向即第二方向变成从-Z方向向X方向倾斜的方向。合成磁场MFc的方向变成-Z方向。

如图4及图5所示，通过使第一磁场产生器3和第二磁场产生器4各自的姿势变化，合成磁场MFc的方向变化。在图6中，符号θ表示合成磁场MFc的方向相对于Y方向所成的角度。第一磁场产生器3和第二磁场产生器4构成为协动地使合成磁场MFc的方向变化，以使角度θ变化。在本实施方式中，当使构成第一磁场产生器3的磁铁旋转时，第一磁场MFa的方向就会旋转，当使构成第二磁场产生器4的磁铁旋转时，第二磁场MFb的方向就会旋转。由此，合成磁场MFc的方向旋转。角度θ在0°以上360°以下的范围内变化。方向旋转的合成磁场MFc被作为旋转磁场施加给检查对象物10。

接着，对磁传感器的第一及第二例进行说明。首先，参照图7对磁传感器的第一例进行说明。图7所示的磁传感器20具备：具有由平面构成的主面21a的基板21、磁检测元件22。

磁检测元件22构成为检测磁传感器20的检测对象的磁场，即包含垂直于主面21a的方向的分量的对象磁场。在第一例中，基板21还具有在主面21a中开口的槽部21c。槽部21c包含相对于主面21a倾斜的倾斜面21b。倾斜面21b可以是平面，也可以是曲面。磁检测元件22配置于倾斜面21b。

在使用图1至图3所示的检查装置1检查磁传感器20的情况下，磁传感器20以主面21a与载置面2a平行的方式载置于载置面2a。以下，使用图1至图3所示的X方向、Y方向、Z方向也对磁传感器20进行说明。主面21a是平行于XY平面的平面。与对象磁场的主面21a垂直的方向的分量是平行于Z方向的方向的分量。

在此，将从Z方向向-X方向旋转了α的方向设为U方向，将与U方向相反的方向设为-U方向。倾斜面21b也可以是与UY平面平行的平面。

磁检测元件22可以是自旋阀型磁阻效应元件，也可以是各向异性磁阻效应元件。以下，将磁阻效应元件表述为MR元件。在图7所示的例子中，磁检测元件22是自旋阀型的MR元件。自旋阀型的MR元件具有磁化方向固定的磁化固定层、磁化方向变化的自由层、配置于磁化固定层和自由层之间的非磁性层。自旋阀型的MR元件可以是TMR元件，也可以是GMR元件。在TMR元件中，非磁性层为隧道阻挡层。在GMR元件中，非磁性层是非磁性导电层。

在自旋阀型的MR元件中，电阻值根据自由层的磁化方向相对于磁化固定层的磁化方向所成的角度而变化，在该角度为0°时，电阻值成为最小值，在角度为180°时，电阻值成为最大值。在图7中，涂黑箭头表示磁化固定层的磁化方向。在图7所示的例子中，磁化固定层的磁化方向为-U方向。

对象磁场也可以是其方向在平行于YZ平面的假想平面内旋转的磁场。在这种情况下，对象磁场除了包含平行于Z方向的方向的分量以外，还包含平行于Y方向的方向的分量。在此，将对象磁场分为平行于UY平面的分量即面内分量和垂直于UY平面的分量即垂直分量。面内分量的方向根据对象磁场的方向而变化。自由层的磁化方向根据面内分量的方向而变化。磁检测元件22即MR元件的电阻值根据面内分量的方向而变化。磁传感器20将与MR元件的电阻值对应的信号作为检测信号而输出。

接着，参照图8对磁传感器的第二例进行说明。图8所示的磁传感器30具备：具有由平面构成的主面的未图示的基板、磁检测元件31。在使用图1至图3所示的检查装置1检查磁传感器30的情况下，磁传感器30以未图示的基板的主面与载置面2a平行的方式载置于载置面2a。以下，使用图1至图3所示的X方向、Y方向、Z方向也对磁传感器30进行说明。未图示的基板的主面是平行于XY平面的平面。

磁检测元件31配置于未图示的基板的主面上方。在图8所示的例子中，磁检测元件31是自旋阀型的MR元件。在图8中，涂黑箭头表示自旋阀型MR元件的磁化固定层的磁化方向。在图8所示的例子中，磁化固定层的磁化方向为X方向。自由层具有易磁化轴方向成为平行于Y方向的方向的形状各向异性。

磁检测元件31构成为检测磁传感器30的检测对象的磁场，即包含与未图示的基板的主面垂直的方向即与Z方向平行的方向的分量的对象磁场。在第二例中，磁传感器30还具备下部磁轭32和上部磁轭33。下部磁轭32和上部磁轭33分别由软磁性材料构成。下部磁轭32和上部磁轭33分别具有在垂直于Z方向的方向上长的长方体形状。下部磁轭32配置于比磁检测元件31更接近未图示的基板主面的位置。上部磁轭33配置于比磁检测元件31更远离未图示的基板主面的位置。在从上方观察时，磁检测元件31位于下部磁轭32和上部磁轭33之间。

下部磁轭32和上部磁轭33接收对象磁场的Z方向分量，并输出X方向的输出磁场分量。另外，下部磁轭32和上部磁轭33接收对象磁场的-Z方向的分量，并输出-X方向的输出磁场分量。磁检测元件31即MR元件的电阻值根据输出磁场分量的强度而变化。输出磁场分量的强度与上述Z方向的分量及-Z方向的分量各自的强度具有对应关系。磁传感器30将与MR元件的电阻值对应的信号作为检测信号而输出。

接着，参照图1及图9对本实施方式的磁传感器的检查方法进行说明。图9是表示磁传感器的检查方法的流程图。在磁传感器的检查方法中，首先，在载置台2的载置面2a上载置磁传感器即检查对象物10(步骤S1)。接着，将第一磁场产生器3和第二磁场产生器4分别配置在规定的位置(步骤S2)。具体而言，将构成第一磁场产生器3的磁铁和构成第二磁场产生器4的磁铁分别配置在规定的位置。

接着，通过控制装置7控制第一磁场产生器3(磁铁)和第二磁场产生器4(磁铁)各自的姿势和位置，产生规定方向及强度的合成磁场MFc(步骤S3)。接着，通过数据收集装置8，检查磁传感器的输出(步骤S4)。

在检查磁传感器的输出的步骤S4中，也可以使第一磁场产生器3和第二磁场产生器4协动地而使合成磁场MFc的方向变化，以使图6所示的角度θ变化。角度θ也可以在0°以上360°以下的范围内连续变化。此外，合成磁场MFc的方向例如也可固定为0°、90°、180°、270°等规定的角度θ。

另外，在检查磁传感器的输出的步骤S4中，也可以边改变合成磁场MFc的强度，边检查磁传感器的输出。合成磁场MFc的强度可通过使第一磁场产生器3和第二磁场产生器4各自相对于磁传感器即检查对象物10的相对位置、或者构成第一磁场产生器3的磁铁的朝向和构成第二磁场产生器4的磁铁的朝向变化来变化。

另外，在检查对象物10是包含分割前的多个磁传感器的晶片的情况下，在检查磁传感器的输出的步骤S4中，也可以同时检查多个磁传感器，还可以一个一个地检查多个磁传感器。在一个一个地检查多个磁传感器的情况下，也可以先将第一磁场产生器3和第二磁场产生器4各自的位置固定后再进行检查，还可以针对每个磁传感器边使第一磁场产生器3和第二磁场产生器4各自相对于载置台2的相对位置变化边进行检查。

如上所述，在本实施方式的检查装置1及磁传感器的检查方法中，使用能够改变姿势的第一及第二磁场产生器3、4，产生对磁传感器施加的合成磁场MFc。由此，根据本实施方式，能够连续地使合成磁场MFc变化。

此外，本发明不限定于上述实施方式，可进行种种变更。例如，构成第一及第二磁场产生器3、4的各磁铁的形状不限于圆柱状，也可以为椭圆柱状、棱柱状或棒状。或者，第一及第二磁场产生器3、4不限于磁铁，也可以为包含线圈的磁场产生器。

基于以上说明可知，可实施本发明的种种方式或变形例。因此，在权利要求书的均等范围内，即使是上述最佳方式以外的方式，也能够实施本发明。

Claims (11)

1.一种检查装置，其特征在于，

是对磁传感器施加磁场而检查所述磁传感器的输出的检查装置，

具备：

载置台，其具有用于载置所述磁传感器的载置面；以及

第一磁场产生器及第二磁场产生器，其分别在与所述载置面垂直的方向上相对于所述载置面隔开规定的间隔而配置，

所述第一磁场产生器，以能够使其姿势变化，并且单独地产生第一磁场的方式构成，所述第一磁场作为对所述磁传感器施加的磁场，相对于与所述载置面垂直的方向倾斜，

所述第二磁场产生器，以能够使其姿势变化，并且单独地产生第二磁场的方式构成，所述第二磁场作为对所述磁传感器施加的磁场，相对于与所述载置面垂直的方向倾斜，

所述第一磁场产生器和所述第二磁场产生器，以协动地产生合成磁场的方式构成，所述合成磁场作为对所述磁传感器施加的磁场，包含相对于与所述载置面垂直的假想平面平行的方向的分量。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述第一磁场产生器和所述第二磁场产生器，协动地以使所述合成磁场的方向相对于与所述载置面平行的一个方向所成的角度变化，而使所述合成磁场的方向变化的方式构成。

3.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述第一磁场产生器和所述第二磁场产生器分别能够使相对于所述磁传感器的相对位置变化。

4.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述第一磁场产生器和所述第二磁场产生器分别为磁铁。

5.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，

所述磁铁的N极和S极沿着相对于与所述载置面垂直的方向倾斜的方向排列。

6.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述磁传感器具备：具有由平面构成的主面的基板、和磁检测元件，

所述磁检测元件以检测包含与所述主面垂直的方向的分量的对象磁场的方式构成，

所述磁传感器以所述主面与所述载置面平行的方式载置于所述载置面。

7.一种磁传感器的检查方法，其特征在于，

包含：

将磁传感器载置于载置台的载置面；

将第一磁场产生器在与所述载置面垂直的方向上，相对于所述载置面隔开规定的间隔而配置，所述第一磁场产生器以能够使其姿势变化，并且单独地产生第一磁场的方式构成，所述第一磁场作为对所述磁传感器施加的磁场，相对于与所述载置面垂直的方向倾斜；

将第二磁场产生器在与所述载置面垂直的方向上，相对于所述载置面隔开规定的间隔而配置，所述第二磁场产生器以能够使其姿势变化，并且单独地产生第二磁场的方式构成，所述第二磁场作为对所述磁传感器施加的磁场，相对于与所述载置面垂直的方向倾斜；

使所述第一磁场产生器和所述第二磁场产生器协动，而使合成磁场产生，所述合成磁场作为对所述磁传感器施加的磁场，包含与所述载置面垂直的方向的分量；以及

检查所述磁传感器的输出。

8.根据权利要求7所述的磁传感器的检查方法，其特征在于，

包含：使所述第一磁场产生器和所述第二磁场产生器协动，以所述合成磁场的方向相对于与所述载置面平行的一个方向所成的角度变化的方式，而使所述合成磁场的方向变化。

9.根据权利要求7所述的磁传感器的检查方法，其特征在于，

包含：使所述第一磁场产生器和所述第二磁场产生器各自的相对于所述磁传感器的相对位置变化。

10.根据权利要求7所述的磁传感器的检查方法，其特征在于，

所述第一磁场产生器和所述第二磁场产生器分别为磁铁，

所述磁传感器的检查方法包含：以所述磁铁的N极和S极沿着相对于与所述载置面垂直的方向倾斜的方向排列的方式，配置所述第一磁场产生器和所述第二磁场产生器。

11.根据权利要求7所述的磁传感器的检查方法，其特征在于，

所述磁传感器具备：具有由平面构成的主面的基板、和磁检测元件，

所述磁检测元件以检测包含与所述主面垂直的方向的分量的对象磁场的方式构成，

所述磁传感器的检查方法包含：以所述主面与所述载置面平行的方式，将所述磁传感器载置于所述载置面。

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