CN116075470A - 基板收纳容器 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板收纳容器，其能够抑制在用盖体封闭容器主体的开口时因垫圈导致的密封不良。基板收纳容器1具备：能够收纳基板的容器主体10；以及盖体20，封闭容器主体10的矩形开口；以及环状垫圈30，其被设置在容器主体10和盖体20之间；其中，容器主体10在形成开口的开口部11具有引导肋40或引导狭缝50中的至少一个；盖体20具有能够与容器主体10的引导肋40或引导狭缝50卡合的引导狭缝50或引导肋40中的至少一个；当用盖体20封闭开口时，通过引导肋40与引导狭缝50卡合，从而抑制盖体20相对于形成开口的开口面以一定倾斜角度以上的倾斜角度倾斜。

Description

基板收纳容器

技术领域

本发明涉及一种收纳基板的基板收纳容器。

背景技术

通常，基板收纳容器具备收纳基板的容器主体、封闭容器主体的矩形开口的盖体、设置在容器主体和盖体之间的环状垫圈，以气密状态收纳基板(参照专利文献1)。

尽管半导体制造设备是自动化的，盖体的开闭动作由机器人自动完成，然而由于基板收纳容器的清洗、干燥等的工序并非自动化，因此需要作业人员通过手动进行盖体的关闭作业。

在此，由于盖体的外表面为大致上下(天地)对称(或者左右对称)，因此，作业人员在手动进行盖体的关闭作业时，有时会将盖体以上下颠倒的方式安装在容器主体上。即使盖体的上下颠倒，用于固定盖体的锁定机构也可以正常工作，能够安装盖体，但是，由于设置在盖体的内表面的晶圆按压构件(前保持器)没有被配置在常规的位置，因此在后来的工序中会发生晶圆收纳的问题。

因此，例如，在专利文献1中记载的基板收纳容器中，在容器主体的开口部的上边侧设置有2个凹部，下边侧设置有1个凹部，此外，在盖体的外周部的上边侧设置有2个凸部，下边侧设置有1个凸部，在盖体的上下方向颠倒的情况时，成为无法安装盖体的方式，从而防止错误的盖体安装。

现有技术

专利文献

专利文献1：日本特开第2001-298077号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

然而，当作业人员通过手动进行盖体的关闭作业时，除了发生上述的上下方向的安装错误以外，还可能发生盖体相对于容器主体的开口面在倾斜的状态下开始安装，而不是沿着形成容器主体的开口的平面(开口面)的法线方向安装(参见图5至图6F)。在这种情况下，会导致设置在盖体上的垫圈不与形成为大致平行于开口面的密封面接触，而以搭在里侧的容器主体的内壁面的状态下封闭容器主体(参见图6E和图6F)。因此，垫圈本身可能会折损或破损，或者由于垫圈的密封不良导致基板收纳容器的气密性受损。

因此，本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种基板收纳容器，其能够抑制在用盖体封闭容器主体的开口时因垫圈导致的密封不良。

解决技术问题的技术手段

本发明的一个技术方案是一种基板收纳容器，其具备：能够收纳基板的容器主体；以及盖体，封闭所述容器主体的矩形开口；以及环状垫圈，其被设置在所述容器主体和所述盖体之间；其中，所述容器主体在形成所述开口的开口部具有引导肋或引导狭缝中的至少一个；所述盖体具有能够与所述容器主体的所述引导肋或所述引导狭缝卡合的引导狭缝或引导肋中的至少一个；当用所述盖体封闭所述开口时，通过所述引导肋与所述引导狭缝卡合，从而抑制所述盖体相对于形成所述开口的开口面以一定倾斜角度以上的倾斜角度倾斜。

(2)如上述(1)的技术方案中所述的基板收纳容器，其中，也可以是当用所述盖体封闭所述开口时，通过所述引导肋与所述引导狭缝卡合，从而抑制所述盖体相对于形成所述开口的所述开口面以20度以上的倾斜角度倾斜。

(3)如上述(1)或(2)的技术方案中所述的基板收纳容器，其中，也可以是当用所述盖体封闭所述开口时，即使所述盖体相对于形成所述开口的所述开口面处于倾斜的状态，如果倾斜角度为0度以上且小于20度的任何角度，则所述引导肋与所述引导狭缝卡合；如果倾斜角度为20度以上，则所述引导肋不与所述引导狭缝卡合。

发明效果

根据本发明，能够提供一种基板收纳容器，其能够抑制在用盖体封闭容器主体的开口时因垫圈导致的密封不良。

附图说明

[图1]是表示本发明所涉及的实施方式的基板收纳容器的分解示意性立体图。

[图2]是表示从开口侧观察的本发明所涉及的实施方式的基板收纳容器的容器主体的前视图。

[图3]是表示从容器主体侧观察的本发明所涉及的实施方式的基板收纳容器的盖体的后视图。

[图4A]是表示正常的密封状态的基板收纳容器的示意性剖视图。

[图4B]是表示图4A的局部放大剖视图。

[图5]是表示将盖体绕着作为轴的下边倾斜安装的情况的示意性立体图。

[图6A]是表示发生密封不良的过程A的示意性剖视图。

[图6B]是表示发生密封不良的过程B的示意性剖视图。

[图6C]是表示发生密封不良的过程C的示意性剖视图。

[图6D]是表示图6C的局部放大剖视图。

[图6E]是表示发生密封不良的过程D的示意性剖视图。

[图6F]是表示图6E的局部放大剖视图。

[图7A]是表示将盖体倾斜30度以上安装的情况时的引导肋与引导狭缝的卡合状态的示意性剖视图。

[图7B]是表示图7A的局部放大剖视图。

[图8A]是表示将盖体倾斜20度安装的情况时的引导肋与引导狭缝的卡合状态的示意性剖视图。

[图8B]是表示图8A的局部放大剖视图。

[图9A]是表示将盖体倾斜小于20度安装的情况时的引导肋与引导狭缝的卡合状态的示意性剖视图。

[图9B]是表示图9A的局部放大剖视图。

[图10A]是表示盖体不倾斜安装的情况时的引导肋与引导狭缝的卡合状态的示意性剖视图。

[图10B]是表示图10A的局部放大剖视图。

[图11A]是表示将盖体绕着作为轴的上边倾斜安装的情况的示意性立体图。

[图11B]是表示将盖体绕着作为轴的上边倾斜安装的情况的示意性侧视图。

[图12A]是表示将盖体绕着作为轴的左边倾斜安装的情况的示意性立体图。

[图12B]是表示将盖体绕着作为轴的左边倾斜安装的情况的示意性仰视图。

[图13]是表示引导肋与引导狭缝的位置关系的模式图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。另外，在本说明书的整个实施方式中，对相同的构件赋予相同的附图标记。

图1是表示本发明所涉及的实施方式的基板收纳容器1的分解示意性立体图。图2是表示从开口侧观察的本发明所涉及的实施方式的基板收纳容器1的容器主体10的前视图。图3是表示从容器主体10侧观察的本发明所涉及的实施方式的基板收纳容器1的盖体20的后视图。

如图1所示，基板收纳容器1具备：用于收纳基板的容器主体10、用于封闭容器主体10的矩形开口的盖体20、以及设置在容器主体10和盖体20之间的环状垫圈30(参见图3)。另外，基板收纳容器1形成为能够收纳直径为300mm或450mm的晶片等的基板的大小。

如图1和图2所示，容器主体10是由左侧面101、右侧面102、顶面103、底面104和背面105构成的箱状体，并且是开口形成在正面的前开型。开口形成于开口部11，开口部11以向外侧扩展的方式阶梯状地弯曲(多阶梯状)，该阶梯部的表面作为与垫圈30接触的密封面12形成于开口部11的正面侧。此外，从密封面12朝向背面105的里侧成为与左侧面101、右侧面102、顶面103和底面104对应的内壁面。

此外，在容器主体10的左右两侧面101、102的内壁面上配置有支承体(未图示)。支承体具有承载和定位基板的功能。在该支承体上，沿高度方向形成有多个凹槽，构成所谓的凹槽齿。然后，构成为基板以在相同高度的左右两处凹槽齿上被承载。支承体的材料可以与容器主体10的材料相同，但是也可以使用不同的材料以提高清洁性和滑动性。

进一步，在容器主体10的背面105的内壁面上配置有后保持器(未图示)。当容器主体10被盖体20封闭的情况时，后保持器与后述的前保持器成为一对，从而保持基板。然而，也可以不具备本实施方式中的后保持器，而是支承体通过在凹槽齿的里侧具有例如呈“<”形或直线状的基板保持部，从而通过前保持器和基板保持部来保持基板。这些支承体或后保持器通过嵌件成型或嵌合等设置在容器主体10上。

基板由该支承体所支承而收纳于容器主体10的内部空间中。另外，作为基板的示例，没有特别限制，可以列举硅晶片，例如，可以是石英晶片、砷化镓晶片等。

在容器主体10的左右两侧面101、102的外表面上，分别装卸自如地安装有供作业人员握持的手动把手(未图示)。

此外，在容器主体10的顶面103上，装卸自如地设置有机器人凸缘(未图示)。然后，基板收纳容器1在工厂内由搬送机器人夹持机器人凸缘，搬送至加工基板的各工序的加工装置。

并且，在容器主体10或盖体20中的至少一者上装卸自如地安装有用于过滤气体的过滤器。此外，在容器主体10的底面104设置有例如具有止回阀功能的供气阀和排气阀(未图示)。通过它们，将诸如氮气等的惰性气体或干燥空气从供气阀供给到被盖体20封闭的基板收纳容器1的内部，并根据需要从排气阀排出，从而置换基板收纳容器1的内部的气体或保持气密状态。另外，尽管供气阀和排气阀优选位于与从基板投影到底面104的位置错开的位置，但是供气阀和排气阀的数量或位置等不受特别限制。此外，供气阀和排气阀具有过滤气体的过滤器。

另一方面，如图1及图3所示，盖体20安装在容器主体10的大致矩形开口的正面，具有大致矩形的外形，由正面侧的罩和容器主体10的开口侧的盖主体所形成。盖体20具有可以从外周面21的上边213以及下边214向外部出没的锁定机构(未图示)，通过锁定机构的锁定爪嵌入形成于容器主体10上的锁定孔(未图示)而被锁定。

此外，盖体20在中央部(图3中由实线矩形包围的部分)装卸自如地安装或一体地形成有弹性的前保持器(未图示)，用于水平地保持基板的前部周缘。该前保持器与支承体的凹槽齿以及基板保持部等一样，是晶圆直接接触的部位，因此使用了清洁性和滑动性良好的材料。

并且，在盖体20上形成有安装垫圈30的安装槽(未图示)。该安装槽例如在盖体20的外周面21或容器主体10侧的面上，在剖视图中形成为大致U形的环状。

作为这些容器主体10和盖体20的材料，例如可以列举：聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚砜、聚醚醚酮、液晶聚合物等的热塑性树脂。该热塑性树脂中可适当添加含有导电碳、导电纤维、金属纤维、导电高分子等的导电剂、各种抗静电剂、紫外线吸收剂等。

接着，垫圈30被配置在容器主体10的密封面12与盖体20之间，在将盖体20安装于容器主体10上时，垫圈30与密封面12密接从而确保基板收纳容器1的气密性，减少尘埃、湿气等从外部侵入基板收纳容器1，并减少气体从内部向外部的泄漏。

如图3所示，垫圈30是与盖体20的正面形状(以及容器主体10的开口部11的形状)对应的环状，在本实施方式中为矩形框架状。然而，环状垫圈30在安装到盖体20之前的状态下也可以是圆环(环状)状。

垫圈30由嵌入到安装槽的主体部和从主体部延申出的密封片32所形成(参照图4B)。主体部形成为与盖体20的安装槽相同的环状，其截面为大致矩形，以对应于安装槽的截面形状。另外，主体部具有平坦的面，使得能够将垫圈30按入到安装槽的底侧。

另一方面，在剖视图中，密封片32从主体部朝向密封面12侧以与密封面12接触的方式形成为大致J字状。

作为该垫圈30的材料，可以使用由聚酯类弹性体、聚烯烃类弹性体、氟类弹性体、聚氨酯类的弹性体等构成的热塑性弹性体、氟橡胶、乙丙橡胶、有机硅橡胶等的弹性体。从赋予导电性或抗静电性的观点出发，这些材料中可以适当添加碳纤维、金属纤维、金属氧化物、各种抗静电剂等，此外，根据需要也可以添加赋予各种功能的添加剂。另外，垫圈30的硬度以肖氏A硬度计，优选为40度至90度，更优选为60度至90度。

在此，对以往的基板收纳容器1B中的用于确保传统容器主体10B和盖体20B的气密性的密封结构进行说明。图4示出了处于正常密封状态的基板收纳容器1B，图4A是示意性剖视图，图4B是图4A的局部放大剖视图。另外，关于垫圈30，由于本实施方式的基板收纳容器1与以往的基板收纳容器1B共通，因此没有标记符号B。

如图4A和图4B所示，当盖体20B通过机器人正确且正常地安装在容器主体10B上的情况时，垫圈30的密封片32在与开口部11B的密封面12B接触之后，在关闭方向上变形约1mm，成为压扁的状态。以这种方式，通过垫圈30和容器主体10B适当接触的密封结构来确保基板收纳容器1B的气密性。

有时，当作业人员将盖体20B安装在容器主体10B上的情况时，由于与机器人不同，无法以正确的位置和姿势(角度)进行关闭动作，可能发生密封不良。因此，以下对作业人员将盖体20B安装在容器主体10B的关闭动作进行说明。

图5是表示将盖体20绕着作为轴的114B、214B倾斜安装的情况的示意性立体图。图6是表示发生密封不良的过程的示图，图6A是过程A的示意性剖视图，图6B是过程B的示意性剖视图，图6C是过程C的示意性剖视图，图6D是图6C的局部放大剖视图，图6E是过程D的示意性剖视图，图6F是图6E的局部放大剖视图。

作业人员将盖体20B安装到容器主体10B上的情况时，首先，将开锁夹具插入盖体20B的左右的锁定机构以保持盖体20B，或者将手指插入存在于锁定机构周边的槽口开口或凹部以握持盖体20B，如图6A至图6B所示，使盖体20B的下边214B以被开口部11B的下边114B支承的方式放置，成为图5所示的情况。

此后，将盖体20B以相对于开口面的倾斜角度θ变小的方式向容器主体10B侧倾斜，但是，如图6B所示，垫圈30的密封片32的下端(顶端)位于底面104B的上方，因此，如图6C和图6D所示，垫圈30的密封片32有时不与密封面12B接触(参见图4B)，而是搭在底面104B(的内壁面)上。

然后，进一步继续将盖体20B向容器主体10B侧倾斜，当盖体20B相对于开口面处于大致平行的状态(封闭完成状态)时，如图6E和图6F所示，搭在底面104B上的垫圈30的密封片32不与密封面12B接触，而是在底面104B上向相反方向翘曲。

以这种方式，由于垫圈30的密封片32的全部或仅部分搭在底表面104B上，因此密封片32处于扭曲状态。所以，无法实现如图4A和4B所示的正常的密封状态，特别是当基板收纳容器1B的内部压力低于外部气氛(压力)时，外部气体容易侵入，从而发生密封不良。

于是，在本实施方式的基板收纳容器1中，在盖体20(的矩形的主面)相对于形成容器主体10的开口的开口面的倾斜角度θ超过容许范围的情况时，为了使盖体20不能安装，容器主体10具有引导肋40，且盖体20具有能够与引导肋40卡合的引导狭缝50。

再次返回到图1和图2，容器主体10在开口部11的上下左右的各边111、112、113、114处共设置有8个引导肋41a、41b、42a、42b、43a、43b、44a、44b(以下将这些统称为“引导肋40”)。

引导肋40形成为从开口部11的开口端沿着开口部11的开口面的法线方向延伸至略微内部侧的具有所规定的宽度、高度和长度的棒状凸部。

另一方面，如图3所示，以与容器主体10的引导肋41a、41b、42a、42b、43a、43b、44a、44b(40)相对应的方式，盖体20在与容器主体10的开口部11邻接的区域附近的外周面21的上下左右的各边211、212、213、214处，共设置有8个引导狭缝51a、51b、52a、52b、53a、53b、54a、54b(以下，将其统称为“引导狭缝50”)。另外，由于图3是从容器主体10侧观察盖体20的后视图，因此左边211和右边212在纸面上相反。

引导狭缝50形成为沿着开口部11的开口面的法线方向的槽状的凹部，从而能够接收引导肋40。另外，引导狭缝50的宽度形成为大于引导肋40的宽度。

接下来，将引导肋40与引导狭缝50之间的卡合关系结合盖体20相对于容器主体10的倾斜角度θ进行说明。但是，倾斜角度θ是在盖体20的各边211、212、213、214与与之相对的容器主体10的各边111、112、113、114接触的状态下，相对于形成容器主体10的开口的开口面的角度。此外，如果将连接左侧面101和右侧面102的方向设为X轴，将连接顶面103和底面104的方向设为Z轴，将连接背面105和开口面的方向设为Y轴，则这些X轴、Y轴和Z轴相互正交，开口面是与ZX平面平行的面。

图7是表示将盖体20倾斜30度以上安装的情况时的引导肋40与引导狭缝50的卡合状态，图7A是示意性剖视图，图7B是图7A的局部放大剖视图。图8是表示将盖体20倾斜20度安装的情况的引导肋40与引导狭缝50的卡合状态，图8A是示意性剖视图，图8B是图8A的局部扩大剖视图。图9是表示将盖体20倾斜小于20度安装时的引导肋40与引导狭缝50的卡合状态，图9A是示意性剖视图，图9B是图9A的局部扩大剖视图。图10是表示盖体20不倾斜安装时的引导肋40与引导狭缝50的卡合状态，图10A是示意性剖视图，图10B是图10A的局部扩大剖视图。然而，尽管在图7至图10中示出了左边111、211，但是由于基板收纳容器1是左右对称的，因此右边112、212也为同样的状态。

首先，在将盖体20倾斜30度以上安装的情况时，如图7A以及图7B所示，由于容器主体10的引导肋41a与盖体20的左边211抵接(干涉)，因此，成为在倾斜角度θ为30度的状态下，容器主体10的开口无法封闭。另外，当倾斜角度θ在30度以上时也是如此。

接着，在将盖体20倾斜20度安装的情况时(例如，包括从30度以上重新倾斜到20度的情况和从一开始倾斜20度安装的情况。)，如图8A和图8B所示，容器主体10的引导肋41a与盖体20的左边211抵接(干涉)，因此，成为在倾斜角度θ为20度的状态下，容器主体10的开口无法封闭。

另一方面，在将盖体20倾斜小于20度安装的情况时(例如，包括从30度以上重新倾斜到小于20度的情况和从一开始倾斜到20度而安装的情况。)，如图9A和图9B(另外，图9B是放大图，因此倾斜角度θ是以平行于开口面的面为基准绘制。)所示，容器主体10的引导肋41a不与盖体20的左边211抵接(干涉)，而是处于能够与盖体20的引导狭缝51a卡合(插入)的状态。

然后，通过将盖体20向容器主体10的背面105的方向按入，引导肋41a与引导狭缝51a的卡合状态变深，并且倾斜角度θ也变小，盖体20的主面从倾斜状态被引导为与开口面大致平行，因此盖体20在与开口面大致平行的状态下将容器主体10的开口封闭。此时，由于盖体20与开口面处于大致平行的状态，因此左边111上方的引导肋41b能够与左边211上方的引导狭缝51b卡合而不与左边211发生干涉。

这样，当盖体20的倾斜角度θ在小于20度的状态时，通过引导肋41a和引导狭缝51a卡合，从而盖体20能够将容器主体10的开口在正常密封状态下关闭。

另外，如图10A和图10B所示，当由机器人安装盖体20的情况时，或者由作业人员几乎不倾斜地安装盖体20的情况时(即，当倾斜角度θ在0度的状态下安装时)，容器主体10的引导肋40(41a、41b、42a、42b、43a、43b、44a、44b)自然地插入形成在盖体20上的引导狭缝50(51a、51b、52a、52b、53a、53b、54a、54b)中，而不会与盖体20的上下左右各边211、212、213、214中的任何一个边发生干涉。

这样，引导狭缝50被设计成在盖体20相对于形成开口的开口面的倾斜角度θ以0度以上且小于20度的所有角度封闭的情况时，与引导肋40卡合的位置及形状。

然而，在由上述盖体20封闭容器主体10的开口的关闭动作中，尽管对盖体20绕着作为轴的开口部11的下边114(盖体20的下边214)的倾斜(旋转)进行了说明，如图11所示，盖体20绕着作为轴的开口部11的上边113、213的倾斜(旋转)也相同。

图11示出了将盖体20绕着作为轴的上边113、213倾斜安装的状态，图11A是示意性立体图，图11B是示意性侧视图。

在这种情况下，设置在开口部11的左边111和右边112的上方的引导肋41b、42b、以及设置在盖体20的左边211和右边212的上方的引导狭缝51b、52b(也参见图2和图3)，能够防止盖体20在倾斜20度以上的状态下的关闭动作。

此外，如图12所示，关于盖体20绕着作为轴的开口部11的左边111、211的倾斜(旋转)也相同。

图12示出了将盖体20绕着作为轴的左边111、211倾斜安装的状态，图12A是示意性立体图，图12B是示意性仰视图。

在这种情况下，设置在开口部11的上边113和下边114的左方的引导肋43a、44a、以及设置在盖体20的上边213和下边214的左方的引导狭缝53a、54a(也参见图2和图3)，能够防止盖体20在倾斜20度以上的状态下的关闭动作。

另外，虽然未图示，但是关于盖体20绕着作为轴的开口部11的右边112、212的倾斜(旋转)，设置在开口部11的上边113和下边114的右方的引导肋43b、44b、以及设置在盖体20的上边213和下边214的右方的引导狭缝53b、54b，能够防止盖体20在倾斜20度以上的状态下的关闭动作。

此外，在本实施方式中，为了与开口部11的上下左右的各边111、112、113、114的所有位置相对应，在多处设置了引导肋40以及引导狭缝50，但是，当作业人员用双手进行作业的情况时，大多是将开锁夹具插入盖体20B的左右的锁定机构以保持盖体20B，或者将手指插入存在于锁定机构周边的槽口开口或凹部以握持盖体20B，进一步，由于视线多为从上方向下俯视，盖体20的下边214多被开口部11的下边114支承而放置以承受重量，因此可以说，最初所示的绕着开口部11的下边114倾斜安装的方法比绕着其他各边安装的方法更为普遍。

因此，如果说具有位于左右的下方的引导肋41a、42a以及引导狭缝51a、52a，则可以充分减少安装错误，只要增加引导肋40以及引导狭缝50的设置位置，就可以进一步减少由于其他安装方向引起的安装错误。

最后，对本实施方式的基板收纳容器1中的引导肋40和引导狭缝50的详细位置关系进行说明。图13是表示引导肋40和引导狭缝50之间的位置关系的模式图。

作为前提条件，将引导肋40设置在距离开口部11的下边114的高度H处且距离开口面的距离B处。另一方面，将盖体20设置为其下边214的表面侧的角部与开口部11的下边114的开口面端接触，并且将其与引导肋40干涉的状态定义为以倾斜角度θ倾斜的状态。另外，下边114与下边214的接触也有上述以外的情况，但是当下边214的中间附近等除角部以外接触的情况下，对倾斜角度θ没有影响，当下边214的角部与下边111的中间附近等开口端面以外接触的情况下，下述说明的距离B可以近似为“0”，因此可以说该状态是盖体20能够倾斜的最大值。此外，下边214的两个角部的角度为90度。

求出盖体20在该状态下的引导肋40与引导狭缝50(此处是指不使盖体20倾斜而关闭的情况下，卡合时的引导狭缝50的位置)之间的偏移量X。由于平行于开口面且仅间隔距离B的平面与下边214相交的交叉点与引导肋40的开口端之间的距离为“H-Btanθ”，因此“cosθ＝(H-X)/(H-Btanθ)”。

因此，偏移量X为“X＝H(1-cosθ)+Bsinθ”(以下称为“式1”)。

例如，当倾斜角度θ为20度、高度H为40mm、距离B为3mm时，根据“式1”，偏移量X＝3.44mm。在这里，由于盖体20的外周面21的各边211、212、213、214的周长实际上比容器主体10的开口部11的各边111、112、113、114的周长略短一些，因此通过将引导狭缝50的宽度向下边214侧扩大3.5mm，在倾斜角度θ为20度以下的情况时，能够使引导肋40与引导狭缝50卡合。

如以上说明的那样，本发明所涉及的实施方式的基板收纳容器1是具备能够收纳基板的容器主体10、封闭容器主体10的矩形开口的盖体20、设置在容器主体10与盖体20之间的环状垫圈30的基板收纳容器1，其中，容器主体10在形成开口的开口部11具有引导肋40，盖体20具有能够与引导肋40卡合的引导狭缝50，在用盖体20封闭开口时，通过引导肋40与引导狭缝50卡合，从而抑制盖体20相对于形成开口的开口面以一定倾斜角度θ以上的倾斜角度倾斜。

由此，盖体20不会以一定倾斜角度θ以上的倾斜角度倾斜，垫圈30的密封片32的顶端不会位于比密封面12靠内侧，因此，在盖体20封闭容器主体10的过程中，垫圈30紧贴到密封面12，而不接触(不搭在)与开口部11的密封面12交叉的容器主体10的内壁面，能够减少由于安装错误而引起的密封不良。并且，可以提高由盖体20封闭的基板收纳容器1的气密性。

在实施方式的基板收纳容器1中，当用盖体20将容器主体10的开口封闭时，通过引导肋40与引导狭缝50的卡合，从而抑制了盖体20相对于形成开口的开口面以20度以上的倾斜角度θ倾斜。相反，如果将盖体20以引导肋40与引导狭缝50卡合的方式安装于容器主体10上，则能够防止盖体20的倾斜角度θ达到20度以上。

在实施方式的基板收纳容器1中，当用盖体20将容器主体10的开口封闭时，即使盖体20相对于形成开口的开口面处于倾斜状态下，只要倾斜角度θ为0度以上且小于20度的任何角度，则引导肋40与引导狭缝50卡合，只要倾斜角度θ为20度以上，则引导肋40不与引导狭缝50卡合。由此，当盖体20相对于开口面的倾斜角度θ小于20度时，就能够将盖体20安装到容器主体10上，另一方面，当盖体20相对于开口面的倾斜角度θ为20度以上时，就无法将盖体20安装到容器主体10上。

实施方式的容器主体10在开口部11的左边111或右边112中的至少一个边处具有引导肋41a、41b、42a、42b。由此，当将盖体20绕着作为轴的上边113、213，或绕着作为轴的下边114、214倾斜以封闭容器主体10时，可以抑制密封不良。

实施方式的容器主体10在开口部11的上边113或下边114中的至少一个边处具有引导肋43a、43b、44a、44b。由此，当将盖体20绕着作为轴的左边111、211，或绕着作为轴的右边112、212倾斜以封闭容器主体10时，可以抑制密封不良。

以上，对本发明的优选实施方式进行了说明，但是本发明并不限定于上述实施方式，在权利要求书所记载的本发明的主旨范围内，能够进行各种变形、变更。

(变形例)

在上述实施方式中，虽然构成为容器主体10具有引导肋40，盖体20具有引导狭缝50，但是，由于引导肋40以及引导狭缝50的卡合是互补的，因此也可以相反地构成为容器主体10具有引导狭缝50，盖体20具有引导肋40。

进一步，例如，也可以构成为容器主体10的左边111以及右边112具有引导肋40，容器主体10的上边113以及下边114具有引导狭缝50，盖体20的左边211以及右边212具有引导狭缝50，盖体20的上边213以及下边214具有引导肋40，从而使容器主体10以及盖体20具有双方互补的引导肋40和引导狭缝50。

在上述实施方式中，针对绕着作为轴的开口部11的上边113的倾斜以及绕着作为轴的下边114的倾斜，分别设置了不同的引导肋41a、42a、41b、42b以及引导狭缝51a、52a、51b、52b，但是，也可以通过根据“式1”调节引导肋40的关闭方向上的长度(或距离B)或引导狭缝50的偏移量X，使引导肋40和引导狭缝50可以为两者共用。此外，关于绕着作为轴的左边111以及绕着作为轴的右边112的倾斜也是相同的。

在上述实施方式中，引导狭缝51a、52a、51b、52b从引导肋40的插入侧(开口侧)到盖体20的表面侧以相同的宽度而形成，但只要倾斜角度θ的条件不变，也可以是从插入侧以逐渐变窄的锥形或阶梯状而形成。

附图标记说明

1基板收纳容器

10容器主体

11开口部

111左边

112右边

113上边

114下边

12密封面

20盖体

21外周面

211左边

212右边

213上边

214下边

30垫圈

32密封片

40(41a～44b)引导肋

50(51a～54b)引导狭缝

Claims (3)

1.一种基板收纳容器，其特征在于具备：

能够收纳基板的容器主体；以及

盖体，封闭所述容器主体的矩形开口；以及

环状垫圈，其被设置在所述容器主体和所述盖体之间；

其中，所述容器主体在形成所述开口的开口部具有引导肋或引导狭缝中的至少一个；

所述盖体具有能够与所述容器主体的所述引导肋或所述引导狭缝卡合的引导狭缝或引导肋中的至少一个；

当用所述盖体封闭所述开口时，通过所述引导肋与所述引导狭缝卡合，从而抑制所述盖体相对于形成所述开口的开口面以一定倾斜角度以上的倾斜角度倾斜。

2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，

其中，当用所述盖体封闭所述开口时，通过所述引导肋与所述引导狭缝卡合，从而抑制所述盖体相对于形成所述开口的所述开口面以20度以上的倾斜角度倾斜。

3.根据权利要求1或2所述的基板收纳容器，其特征在于，

其中，当用所述盖体封闭所述开口时，即使所述盖体相对于形成所述开口的所述开口面处于倾斜的状态，如果倾斜角度为0度以上且小于20度的任何角度，则所述引导肋与所述引导狭缝卡合；如果倾斜角度为20度以上，则所述引导肋不与所述引导狭缝卡合。

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