TW202218956A - 基板收納容器 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種於利用蓋體封閉容器本體的開口時能夠抑制墊圈引起的密封不良的基板收納容器。本發明的基板收納容器1包括：容器本體10，能夠收納基板；蓋體20，封閉容器本體10的矩形形狀的開口；以及環狀的墊圈30，設置於容器本體10與蓋體20之間，且容器本體10於形成開口的開口部11包括導向筋40或導向狹縫50的至少一者，蓋體20包括能夠卡合於容器本體10的導向筋40或導向狹縫50的導向狹縫50或導向筋40的至少一者，於利用蓋體20封閉開口時，藉由導向筋40卡合於導向狹縫50，而抑制蓋體20相對於形成開口的開口面傾斜為一定傾斜角度以上。

Description

基板收納容器

本發明是有關於一種收納基板的基板收納容器。

通常，基板收納容器包括：容器本體，收納基板；蓋體，封閉容器本體的矩形形狀的開口；以及環狀的墊圈，設置於容器本體與蓋體之間，所述基板收納容器將基板以氣密狀態收納（參照專利文獻1）。

半導體製造裝置為自動化，蓋體的開合動作是藉由機器人自動進行，但基板收納容器的洗淨或乾燥等步驟尚未自動化，因此由作業者手動進行蓋體的關閉作業。

此處，蓋體的外表面大致為上下（頂底）對稱（或左右對稱），因此於作業者手動進行蓋體的關閉作業時，存在欲將頂底顛倒安裝於容器本體的情況。即便蓋體的頂底顛倒，蓋體固定用的上鎖機構亦可正常運作，從而能夠實現安裝，但未將設置於蓋體內面的晶圓按壓構件（前限位器）配置於標準位置，因此會於後續步驟中產生晶圓收納的問題。

因此，例如於專利文獻1所記載的基板收納容器中，於容器本體的開口部的上邊側設置兩個凹部，於下邊側設置一個凹部，又，於蓋體的外周部的上邊側設置兩個凸部，於下邊側設置一個凸部，從而於將蓋體的頂底方向顛倒了的情形時，使蓋體無法安裝，以防止蓋體的安裝錯誤。 [現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2001-298077號公報

[發明所欲解決之課題]

然而，於作業者手動進行蓋體的關閉作業時，除了上述頂底方向的安裝錯誤以外，存在未沿著形成容器本體的開口的平面（開口面）的法線方向安裝，而開始以蓋體相對於容器本體的開口面傾斜的狀態安裝的情況（參照圖5～圖6F）。於該情形時，會發生如下情況：設置於蓋體的墊圈不與大致平行於開口面地形成的密封面接觸，進而以越過裹側的容器本體的內壁面的狀態封閉容器本體（參照圖6E及圖6F）。因此，存在墊圈自身折損或破損、或者墊圈的密封不良導致基板收納容器的氣密性受損的情況。

因此，本發明是鑑於以上課題而完成，其目的在於提供一種於利用蓋體封閉容器本體的開口時能夠抑制墊圈引起的密封不良的基板收納容器。 [解決課題之手段]

（1）本發明的一態樣為一種基板收納容器，其包括：容器本體，能夠收納基板；蓋體，封閉所述容器本體的矩形形狀的開口；以及環狀的墊圈，設置於所述容器本體與所述蓋體之間，且所述容器本體於形成所述開口的開口部包括導向筋或導向狹縫的至少一者，所述蓋體包括能夠與所述容器本體的所述導向筋或所述導向狹縫卡合的導向狹縫或導向筋的至少一者，於利用所述蓋體封閉所述開口時，藉由所述導向筋卡合於所述導向狹縫，而抑制所述蓋體相對於形成開口的開口面傾斜為一定傾斜角度以上。 （2）如所述（1）的態樣，其中，可為於利用所述蓋體封閉所述開口時，藉由所述導向筋卡合於所述導向狹縫，而抑制所述蓋體相對於形成開口的開口面傾斜為20度以上的傾斜角度。 （3）如所述（1）或（2）的態樣，其中，可為於利用所述蓋體封閉所述開口時，即便為所述蓋體相對於形成所述開口的開口面傾斜的狀態，若為0度以上且未滿20度的任一傾斜角度，則所述導向筋卡合於所述導向狹縫，若為20度以上的傾斜角度，則所述導向筋不卡合於所述導向狹縫。 [發明的效果]

根據本發明，可提供一種於利用蓋體封閉容器本體的開口時能夠抑制墊圈引起的密封不良的基板收納容器。

以下，參照圖式對本發明的實施形態進行詳細說明。再者，於本說明書的實施形態中，全部對相同的構件標註相同的符號。

圖1是表示本發明的實施形態的基板收納容器1的分解概略立體圖。圖2是表示本發明的實施形態的基板收納容器1的容器本體10的從開口側觀察的正面圖。圖3是表示本發明的實施形態的基板收納容器1的蓋體20的從容器本體10側觀察的背面圖。

如圖1所示，基板收納容器1包括收納基板的容器本體10、封閉容器本體10的矩形形狀的開口的蓋體20、及設置於容器本體10與蓋體20之間的環狀的墊圈30（參照圖3）。再者，基板收納容器1以能夠收納直徑300 mm或直徑450 mm的晶圓等基板的大小形成。

如圖1及圖2所示，容器本體10是包括左側面101、右側面102、頂面103、底面104及背面105的箱狀體，為開口形成於正面的前開型。開口以向外側擴大的方式設置階差而形成為彎曲（多段）的開口部11，該階差部的面以墊圈30所接觸的密封面12的形式形成於開口部11的正面側。又，較密封面12更朝向背面105的裹側為與左側面101、右側面102、頂面103及底面104相對應的內壁面。

又，於容器本體10的左右兩側面101、102的內壁面配置有支持體（未圖示）。支持體具有基板的載置及定位的功能。於該支持體上，沿著高度方向形成多條槽，構成所謂的槽齒。並且，將基板載置於相同高度的左右兩處槽齒。支持體的材料可與容器本體10相同，但為了提高洗淨性或滑動性，亦可使用不同的材料。

進而，於容器本體10的背面105的內壁面配置有後限位器（未圖示）。後限位器於利用蓋體20封閉容器本體10的情形時，與下文所述的前限位器成對保持基板。但亦可不包括如本實施形態的後限位器，藉由支持體於槽齒的裹側包括例如呈「く」字狀或直線狀的基板保持部，而由前限位器與基板保持部保持基板。該些支持體或後限位器藉由插入成形或嵌合等設置於容器本體10。

基板由該支持體所支持而被收納至容器本體10的內部空間中。再者，作為基板的一例，可列舉矽晶圓，但無特別限定，例如亦可為石英晶圓、鎵砷晶圓等。

於容器本體10的左右兩側面101、102的外表面分別以裝卸自如的方式安裝有供作業者握持的手動把手（未圖示）。

又，於容器本體10的頂面103以裝卸自如的方式設置有機器人凸緣（未圖示）。並且，基板收納容器1由工廠內的搬送機器人把持機器人凸緣，而搬送至加工基板的各步驟的加工裝置。

並且，於容器本體10或蓋體20的至少一者以能夠裝卸的方式安裝有過濾氣體的過濾器。又，於容器本體10的底面104例如設置有具有止回閥功能的供氣閥及排氣閥（未圖示）。該些藉由自供氣閥向由蓋體20封閉的基板收納容器1的內部供給氮氣等惰性氣體或乾燥空氣，並視需要自排氣閥排出，而置換基板收納容器1的內部的氣體或維持氣密狀態。再者，供氣閥及排氣閥較佳為位於自將基板向底面104投影的位置偏離的位置，供氣閥及排氣閥的數量或位置並無特別限定。又，供氣閥及排氣閥包括過濾氣體的過濾器。

另一方面，如圖1及圖3所示，蓋體20安裝於容器本體10的大致矩形形狀的開口的正面，具有大致矩形形狀的外形，由正面側的外罩與容器本體10的開口側的蓋本體所形成。蓋體20包括能夠自外周面21的上邊213及下邊214出沒至外部的上鎖機構（未圖示），藉由上鎖機構的卡止爪嵌入至形成於容器本體10的卡止穴（未圖示）而進行上鎖。

又，蓋體20於中央部（圖3中以實線圍成矩形的部分）以裝卸自如的方式安裝或一體形成有將基板的前部周緣保持為水平的彈性的前限位器（未圖示）。該前限位器與支持體的槽齒及基板保持部等同樣為晶圓直接接觸的部位，因此使用洗淨性或滑動性良好的材料。

並且，於蓋體20形成有安裝墊圈30的安裝槽（未圖示）。該安裝槽例如於截面觀察下以大致U字狀而環狀地形成於蓋體20的外周面21或容器本體10側的面。

作為該些容器本體10及蓋體20的材料，例如可列舉：聚碳酸酯、環烯烴聚合物、聚醚醯亞胺、聚醚碸、聚醚醚酮、液晶聚合物等熱塑性樹脂。該熱塑性樹脂可適當添加包含導電性碳、導電纖維、金屬纖維、導電性高分子等的導電劑、各種抗靜電劑、紫外線吸收劑等。

繼而，墊圈30配置於容器本體10的密封面12與蓋體20之間，於將蓋體20安裝於容器本體10時，密接於密封面12而確保基板收納容器1的氣密性，減少灰塵、濕氣等自外部侵入基板收納容器1，同時減少氣體自內部向外部的洩漏。

如圖3所示，墊圈30為與蓋體20的正面形狀（及容器本體10的開口部11的形狀）相對應的環狀，於本實施形態中，為矩形框狀。但環狀的墊圈30於安裝於蓋體20之前的狀態下亦可為圓環（環）狀。

墊圈30由嵌入安裝槽的本體部與自本體部延伸的密封片32所形成（參照圖4B）。本體部形成為與蓋體20的安裝槽同樣的環狀，其截面以對應於安裝槽的截面形狀的方式設為大致矩形。再者，本體部具有平坦的面，可將墊圈30壓入安裝槽的底側。

另一方面，密封片32自本體部朝向密封面12側以於截面觀察下大致為J字狀的方式形成，與密封面12接觸。

作為該墊圈30的材料，可使用包含聚酯系的彈性體、聚烯烴系的彈性體、氟系的彈性體、胺基甲酸酯系的彈性體等的熱塑性的彈性體、氟橡膠、乙烯丙烯橡膠、矽酮系的橡膠等彈性體。就賦予導電性或抗靜電性的觀點而言，可於該些材料中適當添加碳纖維、金屬纖維、金屬氧化物、各種抗靜電劑等，又，可視需要添加賦予各種功能的添加劑。再者，墊圈30的硬度以蕭氏A硬度計，較佳為40度至90度，更佳為60度至90度。

此處，對現有的基板收納容器1B中藉由容器本體10B及蓋體20B確保氣密性的密封結構進行說明。圖4表示正常的密封狀態的基板收納容器1B，圖4A為概略截面圖，圖4B為圖4A的局部放大截面圖。再者，關於墊圈30，實施形態的基板收納容器1中者與現有的基板收納容器1B中者共通，因此未標註符號B。

如圖4A及圖4B所示，容器本體10B是包括右側面102B、頂面103B及背面105B的箱狀體，於藉由機器人將蓋體20B準確且正常地安裝於容器本體10B的情形時，墊圈30的密封片32於與開口部11B的密封面12B接觸後，成為沿著關閉方向變形1 mm左右而潰縮的狀態。如此，藉由墊圈30與容器本體10B適當接觸的密封結構確保基板收納容器1B的氣密性。

此外，於作業者將蓋體20B安裝於容器本體10B的情形時，不同於機器人，不會以準確的位置及姿勢（角度）進行關閉動作，因此存在發生密封不良的情況。因此，以下對作業者將蓋體20B安裝於容器本體10B的關閉動作進行說明。

圖5是表示將蓋體20B向下邊114B、下邊214B軸附近傾斜安裝的情況的概略立體圖。圖6表示發生密封不良的過程，圖6A為過程A的概略截面圖，圖6B為過程B的概略截面圖，圖6C為過程C的概略截面圖，圖6D為圖6C的局部放大截面圖，圖6E為過程D的概略截面圖，圖6F為圖6E的局部放大截面圖。

於作業者將蓋體20B安裝於容器本體10B的情形時，首先，將開鎖夾具插入蓋體20B的左右的上鎖機構而保持蓋體20B，或將手指插入存在於上鎖機構周邊的切缺開口或凹部而握持蓋體20B，而如圖6A至圖6B所示般，以由開口部11B的下邊114B支承蓋體20B的下邊214B的方式放置，成為如圖5所示的情況。211B、212B設置有導向狹縫。

其後，使蓋體20B以相對於開口面的傾斜角度θ減小的方式向容器本體10B側傾斜，如圖6B所示，墊圈30的密封片32的下端（前端）位於較底面104B更靠上方，因此如圖6C及圖6D所示，存在墊圈30的密封片32於不與密封面12B接觸的情況下（參照圖4B）越過底面104B（的內壁面）的情況。

進而其後，若使蓋體20B繼續向容器本體10B側傾斜而成為蓋體20B相對於開口面大致平行的狀態（封閉結束狀態），則如圖6E及圖6F所示，越過底面104B的墊圈30的密封片32以不與密封面12B接觸的狀態於底面104B上反向翹起。

如此，由於成為全部或僅一部分墊圈30的密封片32越過底面104B的狀態，故而密封片32成為扭曲的狀態。因此，不會成為如圖4A及圖4B的正常的密封狀態，尤其是若基板收納容器1B的內部壓力低於外部氣體環境（壓力），則外部氣體容易侵入，而發生密封不良。

因此，於本實施形態的基板收納容器1中，於蓋體20（的矩形形狀的主面）相對於形成容器本體10的開口的開口面的傾斜角度θ超過容許範圍的情形時，以無法安裝蓋體20的方式，設為容器本體10包括導向筋40、且蓋體20包括能夠卡合於導向筋40的導向狹縫50者。

再次返回圖1及圖2，容器本體10於開口部11的上下左右的各邊111、112、113、114設置有合計八根導向筋41a、41b、42a、42b、43a、43b、44a、44b（以下有時將該些合稱為「導向筋40」）。

導向筋40以沿著開口部11的開口面的法線方向自開口部11的開口端延伸至稍內部側的方式，以具有特定的寬度、高度及長度的棒狀凸部的形式形成。

另一方面，如圖3所示，蓋體20以對應於容器本體10的導向筋41a、導向筋41b、導向筋42a、導向筋42b、導向筋43a、導向筋43b、導向筋44a、導向筋44b（40）的方式，於與容器本體10的開口部11鄰接的區域附近、即外周面21的上下左右的各邊211、212、213、214設置有合計八條導向狹縫51a、51b、52a、52b、53a、53b、54a、54b（以下有時將該些合稱為「導向狹縫50」）。再者，圖3為自容器本體10側觀察蓋體20的背面圖，因此左邊211及右邊212於紙面上相反。

導向狹縫50以導向筋40能夠承收的方式，沿著開口部11的開口面的法線方向，形成為槽狀的凹部。再者，以導向狹縫50的寬度大於導向筋40的寬度的方式形成。

繼而，將導向筋40與導向狹縫50的卡合關係關聯於蓋體20相對於容器本體10的傾斜角度θ而進行說明。但傾斜角度θ為蓋體20的各邊211、212、213、214與相向的容器本體10的各邊111、112、113、114接觸的狀態下相對於形成容器本體10的開口的開口面的角度。又，若將連結左側面101及右側面102的方向設為X軸，將連結頂面103及底面104的方向設為Z軸，將連結背面105與開口面的方向設為Y軸，則該些X軸、Y軸及Z軸互相正交，開口面為平行於ZX平面的面。

圖7表示將蓋體20傾斜為30度以上安裝的情形時的導向筋40與導向狹縫50的卡合狀態，圖7A為概略截面圖，圖7B為圖7A的局部放大截面圖。圖8表示將蓋體20傾斜為20度安裝的情形時的導向筋40與導向狹縫50的卡合狀態，圖8A為概略截面圖，圖8B為圖8A的局部放大截面圖。圖9表示將蓋體20以未滿20度傾斜安裝的情形時的導向筋40與導向狹縫50的卡合狀態，圖9A為概略截面圖，圖9B為圖9A的局部放大截面圖。圖10表示將蓋體20不傾斜地安裝的情形時的導向筋40與導向狹縫50的卡合狀態，圖10A為概略截面圖，圖10B為圖10A的局部放大截面圖。其中，於圖7至圖10中，對左邊111、左邊211進行圖示，但由於基板收納容器1左右對稱，故而右邊112、右邊212亦為同樣的狀態。

首先，於將蓋體20傾斜為30度以上安裝的情形時，如圖7A及圖7B所示，容器本體10的導向筋41a抵接（干擾）於蓋體20的左邊211，藉此於傾斜角度θ為30度的狀態下，無法封閉容器本體10的開口。再者，於傾斜角度θ為30度以上的情形時亦為同樣。

繼而，於將蓋體20傾斜為20度安裝的情形時（例如包括自30度以上改為傾斜為20度的情形與自開始傾斜為20度安裝的情形），如圖8A及圖8B所示，容器本體10的導向筋41a抵接（干擾）於蓋體20的左邊211，藉此於傾斜角度θ為20度的狀態下，無法封閉容器本體10的開口。

另一方面，於將蓋體20以未滿20度傾斜安裝的情形時（例如包括自30度以上改為以未滿20度傾斜的情形與自開始以未滿20度傾斜安裝的情形），如圖9A及圖9B（再者，由於圖9B為放大圖，故而以平行於開口面的面為基準繪製傾斜角度θ）所示，容器本體10的導向筋41a未抵接（干擾）於蓋體20的左邊211，成為能夠卡合（插入）至蓋體20的導向狹縫51a的狀態。

其後，藉由將蓋體20壓入容器本體10的背面105的方向，導向筋41a與導向狹縫51a的卡合狀態加深，同時傾斜角度θ亦成為小角度，引導蓋體20的主面自傾斜的狀態成為大致平行於開口面的狀態，因此於蓋體20與開口面大致平行的狀態下，將容器本體10的開口封閉。此時，左邊111上方的導向筋41b由於蓋體20成為與開口面大致平行的狀態，故而不會干擾左邊211，能夠卡合於左邊211上方的導向狹縫51b。

如此，若蓋體20的傾斜角度θ成為未滿20度的狀態，則藉由導向筋41a與導向狹縫51a卡合，蓋體20可以正常的密封狀態將容器本體10的開口關閉。

再者，於機器人安裝的情形或作業者將蓋體20以大致不傾斜的狀態安裝的情形時（即以傾斜角度θ為0度的狀態安裝的情形），如圖10A及圖10B所示，容器本體10的導向筋40（41a、41b、42a、42b、43a、43b、44a、44b）當然不會干擾蓋體20的上下左右的各邊211、212、213、214的任一邊，而插入至形成於蓋體20的導向狹縫50（51a、51b、52a、52b、53a、53b、54a、54b）中。

如此，將導向狹縫50設計成於蓋體20相對於形成開口的開口面的傾斜角度θ為0度以上且未滿20度的所有角度下封閉的情形時卡合於導向筋40的位置及形狀。

此外，於上述利用蓋體20封閉容器本體10的開口的關閉動作中，已對蓋體20相對於開口部11的下邊114（蓋體20的下邊214）軸附近的傾斜（轉動）進行了說明，但如圖11所示，蓋體20相對於開口部11的上邊113、上邊213軸附近的傾斜（轉動）亦為同樣。 圖11表示將蓋體20向上邊113、上邊213軸附近傾斜安裝的情況，圖11A為概略立體圖，圖11B為概略側面圖。

於該情形時，設置於開口部11的左邊111及右邊112的上方的導向筋41b、導向筋42b、以及設置於蓋體20的左邊211及右邊212的上方的導向狹縫51b、導向狹縫52b（亦參照圖2及圖3）防止蓋體20傾斜20度以上的狀態下的關閉動作。

又，如圖12所示，蓋體20相對於開口部11的左邊111、左邊211軸附近的傾斜（轉動）亦為同樣。 圖12表示將蓋體20向左邊111、左邊211軸附近傾斜安裝的情況，圖12A為概略立體圖，圖12B為概略底面圖。

於該情形時，設置於開口部11的上邊113及下邊114的左方的導向筋43a、導向筋44a、以及設置於蓋體20的上邊213及下邊214的左方的導向狹縫53a、導向狹縫54a（亦參照圖2及圖3）防止蓋體20傾斜20度以上的狀態下的關閉動作。

再者，雖然未圖示，但關於蓋體20相對於開口部11的右邊112、右邊212軸附近的傾斜（轉動），設置於開口部11的上邊113及下邊114的右方的導向筋43b、導向筋44b、以及設置於蓋體20的上邊213及下邊214的右方的導向狹縫53b、導向狹縫54b防止蓋體20傾斜為20度以上的狀態下的關閉動作。

又，於本實施形態中，以對應於開口部11的上下左右的各邊111、112、113、114的所有邊附近的方式設置多處導向筋40及導向狹縫50，但於作業者利用兩手進行作業的情形時，多為於蓋體20B的左右的上鎖機構中插入開鎖夾具而保持蓋體20B，或者將手指插入存在於上鎖機構周邊的切缺開口或凹部中而握持蓋體20B，進而，自上方俯視的視線多，以利用開口部11的下邊114支承蓋體20的下邊214而承接重量的方式放置的情況多，因此可謂最初示出的向開口部11的下邊114附近傾斜安裝的比例多於其他各邊附近的安裝方法。

因此，可謂只要包括位於左右下方的導向筋41a、導向筋42a及導向狹縫51a、導向狹縫52a，則可充分減少安裝錯誤，增加導向筋40及導向狹縫50的設置部位，可相應地進一步減少其他安裝方向上的安裝錯誤。

最後，對本實施形態的基板收納容器1中的導向筋40與導向狹縫50的詳細的位置關係進行說明。圖13是表示導向筋40與導向狹縫50的位置關係的示意圖。

作為前提條件，將導向筋40設置於與開口部11的下邊114相距高度H、與開口面相距距離B的位置。另一方面，將蓋體20設為下邊214的表面側的角部與開口部11的下邊114的開口面端接觸，且使干擾導向筋40的狀態以傾斜角度θ傾斜的狀態。再者，下邊114與下邊214的接觸亦存在除此以外的情形，於下邊214的中間附近等角部以外接觸的情形時，對傾斜角度θ無影響，於下邊214的角部與下邊114的中間附近等開口端面以外接觸的情形時，可將以下說明的距離B近似為「0」，因此可謂該狀態為將蓋體20傾斜最大程度者。又，將下邊214的兩角部的角度設為90度。

嘗試求出該蓋體20的狀態下的導向筋40與導向狹縫50（其中於在使蓋體20不傾斜而關閉的情形下卡合時的導向狹縫50的位置）的偏移量X。平行於開口面且相距距離B的平面和下邊214交叉的交叉點、與導向筋40的開口端的距離為「H－Btanθ」，因此「cosθ＝（H－X）/（H－Btanθ）」。 因此，偏移量X成為「X＝H（1－cosθ）＋Bsinθ」（以下稱為「式1」）。

例如，若將傾斜角度θ設為20度，將高度H設為40 mm，將距離B設為3 mm，則根據「式1」，而為偏移量X＝3.44 mm。此處，由於現實中蓋體20的外周面21的各邊211、212、213、214的周長稍短於容器本體10的開口部11的各邊111、112、113、114的周長，故而藉由將導向狹縫50的寬度向下邊214側擴展3.5 mm，而於傾斜角度θ為20度以下的情形時，能夠將導向筋40卡合於導向狹縫50。

如以上所說明般，本發明的實施形態的基板收納容器1包括能夠收納基板的容器本體10、封閉容器本體10的矩形形狀的開口的蓋體20、及設置於容器本體10與蓋體20之間的環狀的墊圈30，且容器本體10於形成開口的開口部11包括導向筋40，蓋體20包括能夠卡合於導向筋40的導向狹縫50，於利用蓋體20封閉開口時，藉由導向筋40卡合於導向狹縫50，而抑制蓋體20相對於形成開口的開口面傾斜為一定傾斜角度θ以上的情況。

藉此，不存在蓋體20傾斜為一定傾斜角度θ以上的情況，不存在墊圈30的密封片32的前端位於較密封面12更靠內側的情況，因此於蓋體20封閉容器本體10的中途，不存在墊圈30接觸（非越過）與開口部11的密封面12交叉的容器本體10的內壁面的情況，可密接於密封面12，而減少安裝錯誤引起的密封不良。並且，可提高利用蓋體20封閉的基板收納容器1的氣密性。

實施形態的基板收納容器1於利用蓋體20封閉容器本體10的開口時，藉由導向筋40卡合於導向狹縫50，而抑制蓋體20相對於形成開口的開口面傾斜為20度以上的傾斜角度θ的情況。藉此，若相反地以使導向筋40與導向狹縫50卡合的方式將蓋體20安裝於容器本體10，則可避免蓋體20的傾斜角度θ成為20度以上。

實施形態的基板收納容器1於利用蓋體20封閉容器本體10的開口時，即便為蓋體20相對於形成開口的開口面傾斜的狀態，若為0度以上且未滿20度的任一傾斜角度θ，則導向筋40卡合於導向狹縫50，若為20度以上的傾斜角度θ，則導向筋40不卡合於導向狹縫50。藉此，若蓋體20相對於開口面為未滿20度的傾斜角度θ，則可將蓋體20安裝於容器本體10，另一方面，若蓋體20相對於開口面為20度以上的傾斜角度θ，則無法將蓋體20安裝於容器本體10。

實施形態的容器本體10於開口部11的左邊111或右邊112的至少一邊包括導向筋41a、導向筋41b、導向筋42a、導向筋42b。藉此，可抑制使蓋體20向上邊113、上邊213軸附近或下邊114、下邊214軸附近傾斜而封閉容器本體10的情形時的密封不良。

實施形態的容器本體10於開口部11的上邊113或下邊114的至少一邊包括導向筋43a、導向筋43b、導向筋44a、導向筋44b。藉此，可抑制使蓋體20向左邊111、左邊211軸附近或右邊112、右邊212軸附近傾斜而封閉容器本體10的情形時的密封不良。

以上，已對本發明的較佳的實施形態進行了詳細說明，但本發明並不限定於上述實施形態，能夠於申請專利範圍所記載的本發明的主旨的範圍內進行各種變形、變更。

（變形例） 於所述實施形態中，構成為容器本體10包括導向筋40，蓋體20包括導向狹縫50，但由於導向筋40及導向狹縫50的卡合互補，故而亦可相反地構成為容器本體10包括導向狹縫50，而蓋體20包括導向筋40。

進而，例如亦可構成為容器本體10的左邊111及右邊112包括導向筋40，容器本體10的上邊113及下邊114包括導向狹縫50，蓋體20的左邊211及右邊212包括導向狹縫50，蓋體20的上邊213及下邊214包括導向筋40，而使容器本體10及蓋體20互補地包括導向筋40及導向狹縫50兩者。

於所述實施形態中，相對於開口部11的上邊113軸附近的傾斜及下邊114軸附近的傾斜而設置了各不相同的導向筋41a、導向筋42a、導向筋41b、導向筋42b及導向狹縫51a、導向狹縫52a、導向狹縫51b、導向狹縫52b，但亦可藉由依照「式1」調節導向筋40的關閉方向的長度（或距離B）或者導向狹縫50的偏移量X，而製成兩者共通的導向筋40及導向狹縫50。又，左邊111軸附近及右邊112軸附近的傾斜亦為同樣。

於所述實施形態中，導向狹縫51a、導向狹縫52a、導向狹縫51b、導向狹縫52b於導向筋40的插入側（開口側）至蓋體20的表面側以相同的寬度形成，但只要傾斜角度θ的條件不變，則亦可為如自插入側起逐漸變窄的錐狀或階狀。

1、1B:基板收納容器 10、10B:容器本體 11、11B:開口部 12、12B:密封面 20、20B:蓋體 21:外周面 30:墊圈 32:密封片 40（41a～44b）:導向筋 50（51a～54b）:導向狹縫 101:左側面 102:右側面 103:頂面 104、104B:底面 105:背面 111、211:左邊（邊） 112、212:右邊（邊） 113、213:上邊（邊）114、114B、214、214B:下邊（邊） B:距離 H:高度 X:偏移量 θ:傾斜角度

圖1是表示本發明的實施形態的基板收納容器的分解概略立體圖。 圖2是表示本發明的實施形態的基板收納容器的容器本體的從開口側觀察的正面圖。 圖3是表示本發明的實施形態的基板收納容器的蓋體的從容器本體側觀察的背面圖。 圖4A是表示正常的密封狀態的基板收納容器的概略截面圖。 圖4B是圖4A的局部放大截面圖。 圖5是表示將蓋體向下邊軸附近傾斜安裝的情況的概略立體圖。 圖6A是表示發生密封不良的過程A的概略截面圖。 圖6B是表示發生密封不良的過程B的概略截面圖。 圖6C是表示發生密封不良的過程C的概略截面圖。 圖6D是圖6C的局部放大截面圖。 圖6E是表示發生密封不良的過程D的概略截面圖。 圖6F是圖6E的局部放大截面圖。 圖7A是表示將蓋體傾斜為30度以上安裝的情形時的導向筋與導向狹縫的卡合狀態的概略截面圖。 圖7B是圖7A的局部放大截面圖。 圖8A是表示將蓋體傾斜為20度安裝的情形時的導向筋與導向狹縫的卡合狀態的概略截面圖。 圖8B是圖8A的局部放大截面圖。 圖9A是表示將蓋體以未滿20度傾斜安裝的情形時的導向筋與導向狹縫的卡合狀態的概略截面圖。 圖9B是圖9A的局部放大截面圖。 圖10A是表示將蓋體不傾斜地安裝的情形時的導向筋與導向狹縫的卡合狀態的概略截面圖。 圖10B是圖10A的局部放大截面圖。 圖11A是表示將蓋體向上邊軸附近傾斜安裝的情況的概略立體圖。 圖11B是表示將蓋體向上邊軸附近傾斜安裝的情況的概略側面圖。 圖12A是表示將蓋體向左邊軸附近傾斜安裝的情況的概略立體圖。 圖12B是表示將蓋體向左邊軸附近傾斜安裝的情況的概略底面圖。 圖13是表示導向筋與導向狹縫的位置關係的示意圖。

1:基板收納容器

10:容器本體

11:開口部

12:密封面

20:蓋體

21:外周面

40(42a、42b、44a、44b):導向筋

50(51a、51b、53a、53b):導向狹縫

101:左側面

102:右側面

103:頂面

104:底面

111、211:左邊(邊)

112、212:右邊(邊)

113、213:上邊(邊)

114、214:下邊(邊)

Claims (3)

1. 一種基板收納容器，包括： 容器本體，能夠收納基板； 蓋體，封閉所述容器本體的矩形形狀的開口；以及 環狀的墊圈，設置於所述容器本體與所述蓋體之間， 所述基板收納容器的特徵在於： 所述容器本體於形成所述開口的開口部包括導向筋或導向狹縫的至少一者， 所述蓋體包括能夠與所述容器本體的所述導向筋或所述導向狹縫卡合的導向狹縫或導向筋的至少一者， 於利用所述蓋體封閉所述開口時，藉由所述導向筋卡合於所述導向狹縫，而抑制所述蓋體相對於形成開口的開口面傾斜為一定傾斜角度以上。
2. 如請求項1所述的基板收納容器，其中 於利用所述蓋體封閉所述開口時，藉由所述導向筋卡合於所述導向狹縫，而抑制所述蓋體相對於形成開口的開口面傾斜為20度以上的傾斜角度。
3. 如請求項1或請求項2所述的基板收納容器，其中 於利用所述蓋體封閉所述開口時，即便為所述蓋體相對於形成所述開口的開口面傾斜的狀態，若為0度以上且未滿20度的任一傾斜角度，則所述導向筋卡合於所述導向狹縫，若為20度以上的傾斜角度，則所述導向筋不卡合於所述導向狹縫。

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