CN116047168A - 实时负载阻值校准装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种实时负载阻值校准装置及方法，所述实时负载阻值校准装置，包括：目标解析模块用于接收并解析来自测试机发出的校准指令，以获取所需的指定阻值以及与指定阻值相对应的指定环境温度；电阻解析模块用于根据指定阻值及指定环境温度调控电阻矩阵中开关的通断状态，以及实时计算在相应实际环境温度下的电阻矩阵的理论有效电阻值并获取理论有效电阻值与指定阻值的电阻差；数据校准模块基于理论有效电阻值和测试机的系统参数，获取校准负载的实际电阻值，并将实际电阻值及相应的实际环境温度传输至测试机。本发明解决了由环境温度变化而导致的负载阻值变化的问题，提高了ATE设备的校准精度。

Description

实时负载阻值校准装置及方法

技术领域

本发明涉及半导体测试技术领域，尤其涉及一种实时负载阻值校准装置及方法。

背景技术

在半导体测试领域，对于用于确保集成电路生产制造品质的集成电路(IC)自动测试机(AutomaticTestEquipment，ATE)具有较高的精度要求。在ATE的生产制造以及使用过程中，都需要高精度的标准电阻对其进行校准，以确保ATE工作在可靠的精度。ATE设备通过内置或者外接标准负载，定期进行精度的校验。图1示出了一种ATE设备外接标准负载的结构示意图。针对在ATE设备精度校准领域，不同的ATE设备或者不同的被测芯片，都需要重新开发相应的校准负载。

目前通过采用与高精度的数字万用表(DitalMultiMeter，DMM)的测试结果进行对比的方式，对ATE设备进行校准。但是，由于DMM受外界干扰、尤其是受外界温度的影响，导致DMM无法提供高精度的负载，进而影响ATE的实际测量精度。

因此，本发明提出了一种实时负载阻值校准装置及方法，以解决现有技术中ATE设备的校准精度受外界温度变化所导致的精度下降的技术问题。

发明内容

本发明实施例提供了一种实时负载阻值校准装置及方法，以解决现有技术中ATE设备的校准精度受外界温度变化所导致的精度下降的技术问题。

第一方面，本发明提供一种实时负载阻值校准装置，包括：控制中心单元、电阻矩阵、温度调整单元，所述控制中心单元分别电连所述电阻矩阵以及所述温度调整单元；所述电阻矩阵包括若干电阻和若干开关，每个所述电阻对应连接一个所述开关实现通断；所述温度调整单元包括温度采样件和温度调整件，所述温度采样件实时测量实际环境温度，所述温度调整件基于所述控制中心单元的指令实时调整所述实际环境温度；所述控制中心单元包括：目标解析模块、电阻解析模块、温度解析模块、数据校准模块；所述目标解析模块用于接收并解析来自测试机发出的校准指令，以获取所需的指定阻值以及与所述指定阻值相对应的指定环境温度；所述电阻解析模块用于根据所述指定阻值及所述指定环境温度调控所述电阻矩阵中所述开关的通断状态，以确保所述电阻矩阵在所述指定环境温度下接入校准电路中的名义电阻值等于所述指定阻值，以及实时计算在相应所述实际环境温度下的所述电阻矩阵的理论有效电阻值，并获取所述理论有效电阻值与所述指定阻值的电阻差；所述温度解析模块用于接收所述实际环境温度和所述电阻差，并控制所述温度调整件实时调节所述实际环境温度的大小，以获取稳定的目标环境温度；所述数据校准模块基于所述理论有效电阻值和所述测试机的系统参数，获取校准负载的实际电阻值，并将所述实际电阻值及相应的所述实际环境温度传输至所述测试机。

本发明所提供的所述实时负载阻值校准装置的有益效果在于：相比于现有技术，本发明通过控制所述温度调整件实时调节所述实际环境温度的大小，实现对校准负载所在环境温度的控制，以及通过实时计算在相应所述实际环境温度下的所述电阻矩阵的理论有效电阻值，并获取所述理论有效电阻值与所述指定阻值的电阻差，能够获取所述电阻矩阵的理论有效电阻值随实际环境温度的变化情况；本发明通过所述温度解析模块用于接收所述实际环境温度和所述电阻差，并控制所述温度调整件实时调节所述实际环境温度的大小，以获取稳定的目标环境温度，可以控制实际环境温度变化的幅度；本发明通过所述数据校准模块基于所述理论有效电阻值和所述测试机的系统参数，获取校准负载的实际电阻值，能够获取准确的所述校准负载的实际电阻值，解决了由环境温度变化而导致的负载阻值变化的问题，即可避免由于外界温度变化所导致的影响DMM测量精度的问题，提高了ATE设备的校准精度。

可选地，所述温度解析模块包括第一调控单元和第二调控单元；所述第一调控单元基于接收到的所述实际环境温度控制所述温度调整件实时调整环境温度，以使所述实际环境温度处于预设温度区间；所述第二调控单元基于所述电阻差，控制所述温度调整件在所述预设温度区间内微调所述实际环境温度，以使所述电阻差处于预设电阻浮动区间。其有益效果在于：本发明通过第一调控单元和第二调控单元可以实现获取稳定的目标环境温度的技术效果。

可选地，所述预设温度区间为：所述指定环境温度±5℃；所述预设电阻浮动区间满足以下关系：-1/1000≤电阻差指定阻值≤1/1000。其有益效果在于：通过本发明所提供的所述预设温度区间和所述预设电阻浮动区间的区间幅度较小，可有利于获取更加稳定的目标环境温度，以及进一步提高ATE设备的校准精度。

可选地，所述实时负载阻值校准装置还包括：通信接口单元，所述通信接口单元电连所述控制中心单元，所述目标解析模块通过所述通信接口单元获取来自测试机发出的校准指令；所述数据校准模块通过所述通信接口单元将所述实际电阻值以及相应的所述实际环境温度传输至所述测试机。

可选地，所述实时负载阻值校准装置，还包括与所述控制中心单元电连接的数据存储单元，所述数据存储单元用于记载所述测试机的系统参数，所述系统参数包括所述电阻矩阵的使用时间、所述电阻的老化系数、每次校准所需的所述指定阻值以及与所述指定阻值相对应的所述指定环境温度。

可选地，所述温度调整件包括：升温组件和降温组件，所述升温组件用于对所述电阻矩阵所处的环境加热以提高所述实际环境温度，所述降温组件用于对所述电阻矩阵所处的环境散热以降低所述实际环境温度。

可选地，所述升温组件包括加热垫片，所述降温组件包括散热片。

可选地，所述电阻矩阵包括M种阻值大小的电阻，每种阻值的电阻的数量N相等，且任意阻值相邻的两种电阻的阻值之比小于N，其中，M≥2、N≥2。其有益效果在于：本发明通过任意阻值相邻的两种电阻的阻值之比小于N，可以在选用电阻时确保切换阻值的连续性。

可选地，所述电阻矩阵中的所述电阻呈M行、N列排布，每行的电阻相同，且所述M行电阻按阻值大小递增或递减顺序排列。其有益效果在于：本发明通过每行的电阻相同，且所述M行电阻按阻值大小递增或递减顺序排列，可以降低算法难度，提高算法效率。

第二方面，本发明提供一种实时负载阻值校准方法，应用于如第一方面中任一项所述的实时负载阻值校准装置，包括：S1、提供如第一方面中任一项所述的实时负载阻值校准装置，所述实时负载阻值校准装置包括：控制中心单元、电阻矩阵、温度调整单元，所述控制中心单元分别电连所述电阻矩阵以及所述温度调整单元；所述电阻矩阵包括若干电阻和若干开关，每个所述电阻对应连接一个所述开关实现通断；所述温度调整单元包括温度采样件和温度调整件，所述温度采样件实时测量实际环境温度，所述温度调整件基于所述控制中心单元的指令实时调整所述实际环境温度；所述控制中心单元包括：目标解析模块、电阻解析模块、温度解析模块、数据校准模块；S2、所述目标解析模块接收并解析来自测试机发出的校准指令，以获取所需的指定阻值以及与所述指定阻值相对应的指定环境温度；S3、所述电阻解析模块根据所述指定阻值及所述指定环境温度调控所述电阻矩阵中所述开关的通断状态，以确保所述电阻矩阵在所述指定环境温度下接入校准电路中的名义电阻值等于所述指定阻值，以及实时计算在相应所述实际环境温度下的所述电阻矩阵的理论有效电阻值，并获取所述理论有效电阻值与所述指定阻值的电阻差；S4、所述温度解析模块接收所述实际环境温度和所述电阻差，并控制所述温度调整件实时调节所述实际环境温度的大小，以获取稳定的目标环境温度；S5、所述数据校准模块基于所述理论有效电阻值和所述测试机的系统参数，获取校准负载的实际电阻值，并将所述实际电阻值及相应的所述实际环境温度传输至所述测试机。

附图说明

图1为现有的一种ATE设备与校准负载的连接关系示意图；

图2为本发明提供的一种实时负载阻值校准装置实施例示意图；

图3为本发明提供的一种电阻矩阵实施例示意图；

图4为本发明提供的一种实时负载阻值校准方法流程示意图。

具体实施方式

下面结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行描述。其中，在本申请实施例的描述中，以下实施例中所使用的术语只是为了描述特定实施例的目的，而并非旨在作为对本申请的限制。如在本申请的说明书和所附权利要求书中所使用的那样，单数表达形式“一种”、“该”、“上述”、“该”和“这一”旨在也包括例如“一个或多个”这种表达形式，除非其上下文中明确地有相反指示。还应当理解，在本申请以下各实施例中，“至少一个”、“一个或多个”是指一个或两个以上(包含两个)。术语“和/或”，用于描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系；例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B的情况，其中A、B可以是单数或者复数。字符“/”一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

在本说明书中描述的参考“一个实施例”或“一些实施例”等意味着在本申请的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此，在本说明书中的不同之处出现的语句“在一个实施例中”、“在一些实施例中”、“在其他一些实施例中”、“在另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例，而是意味着“一个或多个但不是所有的实施例”，除非是以其他方式另外特别强调。术语“包括”、“包含”、“具有”及它们的变形都意味着“包括但不限于”，除非是以其他方式另外特别强调。术语“连接”包括直接连接和间接连接，除非另外说明。“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。

在本申请实施例中，“示例性地”或者“例如”等词用于表示作例子、例证或说明。本申请实施例中被描述为“示例性地”或者“例如”的任何实施例或设计方案不应被解释为比其它实施例或设计方案更优选或更具优势。确切而言，使用“示例性地”或者“例如”等词旨在以具体方式呈现相关概念。

为了解决现有技术中ATE设备的校准精度受外界温度变化所导致的精度下降的技术问题，本发明提供一种实时负载阻值校准装置，如图2所示，包括：控制中心单元1、电阻矩阵2、温度调整单元3，所述控制中心单元1分别电连所述电阻矩阵2以及所述温度调整单元3；所述电阻矩阵2包括若干电阻和若干开关(图2未示出)，每个所述电阻对应连接一个所述开关实现通断；所述温度调整单元3包括温度采样件和温度调整件(图2未示出)，所述温度采样件实时测量实际环境温度，所述温度调整件基于所述控制中心单元1的指令实时调整所述实际环境温度；所述控制中心单元1包括：目标解析模块、电阻解析模块、温度解析模块、数据校准模块(图2未示出)；所述目标解析模块用于接收并解析来自测试机发出的校准指令，以获取所需的指定阻值以及与所述指定阻值相对应的指定环境温度；所述电阻解析模块用于根据所述指定阻值及所述指定环境温度调控所述电阻矩阵2中所述开关的通断状态，以确保所述电阻矩阵2在所述指定环境温度下接入校准电路中的名义电阻值等于所述指定阻值，以及实时计算在相应所述实际环境温度下的所述电阻矩阵2的理论有效电阻值并获取所述理论有效电阻值与所述指定阻值的电阻差；所述温度解析模块用于接收所述实际环境温度和所述电阻差，并控制所述温度调整件实时调节所述实际环境温度的大小，以获取稳定的目标环境温度；所述数据校准模块基于所述理论有效电阻值和所述测试机的系统参数，获取校准负载的实际电阻值，并将所述实际电阻值及相应的所述实际环境温度传输至所述测试机。

在本实施例中，所述名义电阻值为所述电阻矩阵在所述指定环境温度下接入校准电路中的理论电阻值，即根据所述指定环境温度、以及所述指定阻值计算所述电阻矩阵中实际接入校准电路的电阻，以使所述名义电阻值等于所述指定阻值，且在相应校准过程中，所述电阻解析模块不再改变所述电阻矩阵中的电阻通断状态。

本发明所提供的所述实时负载阻值校准装置的有益效果在于：相比于现有技术，本发明通过控制所述温度调整件实时调节所述实际环境温度的大小，实现对校准负载所在环境温度的控制，以及通过实时计算在相应所述实际环境温度下的所述电阻矩阵的理论有效电阻值，并获取所述理论有效电阻值与所述指定阻值的电阻差，能够获取所述电阻矩阵的理论有效电阻值随实际环境温度的变化情况；本发明通过所述温度解析模块用于接收所述实际环境温度和所述电阻差，并控制所述温度调整件实时调节所述实际环境温度的大小，以获取稳定的目标环境温度，可以控制实际环境温度变化的幅度；本发明通过所述数据校准模块基于所述理论有效电阻值和所述测试机的系统参数，获取校准负载的实际电阻值，能够获取准确的所述校准负载的实际电阻值，解决了由环境温度变化而导致的负载阻值变化的问题，即可避免由于外界温度变化所导致的影响DMM测量精度的问题，提高了ATE设备的校准精度。

在一些实施例中，所述温度解析模块包括第一调控单元和第二调控单元；所述第一调控单元基于接收到的所述实际环境温度控制所述温度调整件实时调整环境温度，以使所述实际环境温度处于预设温度区间；所述第二调控单元基于所述电阻差，控制所述温度调整件在所述预设温度区间内微调所述实际环境温度，以使所述电阻差处于预设电阻浮动区间。即本发明既可以通过控制所述温度调整件实时调整环境温度，以使得所述实际环境温度处于预设温度区间，也可以通过控制所述温度调整件在所述预设温度区间内微调所述实际环境温度，以使得所述电阻差处于预设电阻浮动区间。本发明可以可以任意选择所述第一调控单元和所述第二调控单元中的一个工作，也可以同时启动这两个调控单元，以实现获取稳定的目标环境温度的目的。其有益效果在于：本发明通过第一调控单元和第二调控单元可以实现获取稳定的目标环境温度的技术效果。

在一些实施例中，所述预设温度区间为：所述指定环境温度±5℃；所述预设电阻浮动区间满足以下关系：-1/1000≤电阻差指定阻值≤1/1000。其有益效果在于：通过本发明所提供的所述预设温度区间和所述预设电阻浮动区间的区间幅度较小，可有利于获取更加稳定的目标环境温度，以及进一步提高ATE设备的校准精度。

在一些实施例中，所述实时负载阻值校准装置还包括：通信接口单元，所述通信接口单元电连所述控制中心单元，所述目标解析模块通过所述通信接口单元获取来自测试机发出的校准指令；所述数据校准模块通过所述通信接口单元将所述实际电阻值以及相应的所述实际环境温度传输至所述测试机。

在一些实施例中，所述实时负载阻值校准装置，还包括与所述控制中心单元电连接的数据存储单元，所述数据存储单元用于记载所述测试机的系统参数，所述系统参数包括所述电阻矩阵的使用时间、所述电阻的老化系数、每次校准所需的所述指定阻值以及与所述指定阻值相对应的所述指定环境温度。

在一些实施例中，所述温度调整件包括：升温组件和降温组件，所述升温组件用于对所述电阻矩阵所处的环境加热以提高所述实际环境温度，所述降温组件用于对所述电阻矩阵所处的环境散热以降低所述实际环境温度。

在一些实施例中，所述升温组件包括加热垫片，所述降温组件包括散热片。示例性地，加热垫片可以选用高电阻材料，对其加电压以产生热量而对环境加热；散热片包括中空管道，在该中空管道内通入冷却介质(水流或空气流)，通过改变冷却介质的流速，可以实现不同程度的降温。

在一些实施例中，所述电阻矩阵包括M种阻值大小的电阻，每种阻值的电阻的数量N相等，且任意阻值相邻的两种电阻的阻值之比小于N，其中，M≥2、N≥2。其有益效果在于：本发明通过任意阻值相邻的两种电阻的阻值之比小于N，可以在选用电阻时确保切换阻值的连续性。所述电阻矩阵包括：若干电阻和若干开关，如图3所示，所述电阻矩阵包括：开关SW10、开关SW11、开关SW12、开关SW1i、开关SW1N、开关SWn0、开关SWn1、开关SWn2、开关SWni、开关SWnN；电阻R11、电阻R12、电阻R1i、电阻R1N、开关SWi0、开关SWiN+1、开关SWn0、开关SWn1、开关SWn2、开关SWni、开关SWnN、开关SWnN+1。图3还示出了所述电阻矩阵能够与所述电阻解析模块所电连的接口FORCE+、接口FORCE-、接口SENSE+和接口SENSE-。所述电阻矩阵中的电阻可以是同一种电阻、且阻值可以都相同，电阻与电阻之间可以是串联的关系、也可以是并联的关系，按照图3所示的电阻矩阵，前级的电阻的并联后的阻值等于后级的单个电阻的电阻值。所述电阻解析模块还用于获取所述电阻矩阵中的电阻的串并联关系、阻值分布情况、开关分布情况，并通过控制所述电阻矩阵控制单元中的若干开关的导通情况实现对所述电阻矩阵的理论有效电阻值的控制。

在一些实施例中，所述电阻矩阵中的所述电阻呈M行、N列排布，每行的电阻相同，且所述M行电阻按阻值大小递增或递减顺序排列。其有益效果在于：本发明通过每行的电阻相同，且所述M行电阻按阻值大小递增或递减顺序排列，可以降低算法难度，提高算法效率。示例性地，所述电阻矩阵中的任意被选通的电阻的实际使用功率小于自身的额定功率，以防止被选通电阻在使用过程中出现过热而损坏。

基于上述任一项实施例所述的实时负载阻值校准装置，本发明还提供一种实时负载阻值校准方法，应用于如上述任一项实施例所述的实时负载阻值校准装置，其流程如图4所示，包括：

S1、提供如上述任一项实施例所述的实时负载阻值校准装置，所述实时负载阻值校准装置包括：控制中心单元、电阻矩阵、温度调整单元，所述控制中心单元分别电连所述电阻矩阵以及所述温度调整单元；所述电阻矩阵包括若干电阻和若干开关，每个所述电阻对应连接一个所述开关实现通断；所述温度调整单元包括温度采样件和温度调整件，所述温度采样件实时测量实际环境温度，所述温度调整件基于所述控制中心单元的指令实时调整所述实际环境温度；所述控制中心单元包括：目标解析模块、电阻解析模块、温度解析模块、数据校准模块；

S2、所述目标解析模块接收并解析来自测试机发出的校准指令，以获取所需的指定阻值以及与所述指定阻值相对应的指定环境温度；

S3、所述电阻解析模块根据所述指定阻值及所述指定环境温度调控所述电阻矩阵中所述开关的通断状态，以确保所述电阻矩阵在所述指定环境温度下接入校准电路中的名义电阻值等于所述指定阻值，以及实时计算在相应所述实际环境温度下的所述电阻矩阵的理论有效电阻值，并获取所述理论有效电阻值与所述指定阻值的电阻差；

S4、所述温度解析模块接收所述实际环境温度和所述电阻差，并控制所述温度调整件实时调节所述实际环境温度的大小，以获取稳定的目标环境温度；

S5、所述数据校准模块基于所述理论有效电阻值和所述测试机的系统参数，获取校准负载的实际电阻值，并将所述实际电阻值及相应的所述实际环境温度传输至所述测试机。

以上所述，仅为本申请实施例的具体实施方式，但本申请实施例的保护范围并不局限于此，任何在本申请实施例揭露的技术范围内的变化或替换，都应涵盖在本申请实施例的保护范围之内。因此，本申请实施例的保护范围应以所述的权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种实时负载阻值校准装置，其特征在于，包括：控制中心单元、电阻矩阵、温度调整单元，所述控制中心单元分别电连所述电阻矩阵以及所述温度调整单元；

所述电阻矩阵包括若干电阻和若干开关，每个所述电阻对应连接一个所述开关实现通断；

所述温度调整单元包括温度采样件和温度调整件，所述温度采样件实时测量实际环境温度，所述温度调整件基于所述控制中心单元的指令实时调整所述实际环境温度；

所述控制中心单元包括：目标解析模块、电阻解析模块、温度解析模块、数据校准模块；

所述目标解析模块用于接收并解析来自测试机发出的校准指令，以获取所需的指定阻值以及与所述指定阻值相对应的指定环境温度；

所述电阻解析模块用于根据所述指定阻值及所述指定环境温度调控所述电阻矩阵中所述开关的通断状态，以确保所述电阻矩阵在所述指定环境温度下接入校准电路中的名义电阻值等于所述指定阻值，以及实时计算在相应所述实际环境温度下的所述电阻矩阵的理论有效电阻值，并获取所述理论有效电阻值与所述指定阻值的电阻差；

所述温度解析模块用于接收所述实际环境温度和所述电阻差，并控制所述温度调整件实时调节所述实际环境温度的大小，以获取稳定的目标环境温度；

所述数据校准模块基于所述理论有效电阻值和所述测试机的系统参数，获取校准负载的实际电阻值，并将所述实际电阻值及相应的所述实际环境温度传输至所述测试机。

2.根据权利要求1所述的实时负载阻值校准装置，其特征在于，所述温度解析模块包括第一调控单元和第二调控单元；

所述第一调控单元基于接收到的所述实际环境温度控制所述温度调整件实时调整环境温度，以使所述实际环境温度处于预设温度区间；

所述第二调控单元基于所述电阻差，控制所述温度调整件在所述预设温度区间内微调所述实际环境温度，以使所述电阻差处于预设电阻浮动区间。

3.根据权利要求2所述的实时负载阻值校准装置，其特征在于，所述预设温度区间为：所述指定环境温度±5℃；

所述预设电阻浮动区间满足以下关系：-1/1000≤电阻差指定阻值≤1/1000。

4.根据权利要求1所述的实时负载阻值校准装置，其特征在于，还包括：通信接口单元，所述通信接口单元电连所述控制中心单元，所述目标解析模块通过所述通信接口单元获取来自测试机发出的校准指令；所述数据校准模块通过所述通信接口单元将所述实际电阻值以及相应的所述实际环境温度传输至所述测试机。

5.根据权利要求1所述的实时负载阻值校准装置，其特征在于，还包括与所述控制中心单元电连接的数据存储单元，所述数据存储单元用于记载所述测试机的系统参数，所述系统参数包括所述电阻矩阵的使用时间、所述电阻的老化系数、每次校准所需的所述指定阻值以及与所述指定阻值相对应的所述指定环境温度。

6.根据权利要求1所述的实时负载阻值校准装置，其特征在于，所述温度调整件包括：升温组件和降温组件，所述升温组件用于对所述电阻矩阵所处的环境加热以提高所述实际环境温度，所述降温组件用于对所述电阻矩阵所处的环境散热以降低所述实际环境温度。

7.根据权利要求6所述的实时负载阻值校准装置，其特征在于，所述升温组件包括加热垫片，所述降温组件包括散热片。

8.根据权利要求1所述的实时负载阻值校准装置，其特征在于，所述电阻矩阵包括M种阻值大小的电阻，每种阻值的电阻的数量N相等，且任意阻值相邻的两种电阻的阻值之比小于N，其中，M≥2、N≥2。

9.根据权利要求8所述的实时负载阻值校准装置，其特征在于，所述电阻矩阵中的所述电阻呈M行、N列排布，每行的电阻相同，且所述M行电阻按阻值大小递增或递减顺序排列。

10.一种实时负载阻值校准方法，其特征在于，应用于如权利要求1～9中任一项所述的实时负载阻值校准装置，包括：

S1、提供如权利要求1～9中任一项所述的实时负载阻值校准装置，所述实时负载阻值校准装置包括：控制中心单元、电阻矩阵、温度调整单元，所述控制中心单元分别电连所述电阻矩阵以及所述温度调整单元；所述电阻矩阵包括若干电阻和若干开关，每个所述电阻对应连接一个所述开关实现通断；所述温度调整单元包括温度采样件和温度调整件，所述温度采样件实时测量实际环境温度，所述温度调整件基于所述控制中心单元的指令实时调整所述实际环境温度；所述控制中心单元包括：目标解析模块、电阻解析模块、温度解析模块、数据校准模块；

S2、所述目标解析模块接收并解析来自测试机发出的校准指令，以获取所需的指定阻值以及与所述指定阻值相对应的指定环境温度；

S3、所述电阻解析模块根据所述指定阻值及所述指定环境温度调控所述电阻矩阵中所述开关的通断状态，以确保所述电阻矩阵在所述指定环境温度下接入校准电路中的名义电阻值等于所述指定阻值，以及实时计算在相应所述实际环境温度下的所述电阻矩阵的理论有效电阻值，并获取所述理论有效电阻值与所述指定阻值的电阻差；

S4、所述温度解析模块接收所述实际环境温度和所述电阻差，并控制所述温度调整件实时调节所述实际环境温度的大小，以获取稳定的目标环境温度；

S5、所述数据校准模块基于所述理论有效电阻值和所述测试机的系统参数，获取校准负载的实际电阻值，并将所述实际电阻值及相应的所述实际环境温度传输至所述测试机。

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