CN116008659A - 电阻测试结构及其测试方法 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种电阻测试结构及其测试方法，包括：分流电阻，用于与待测电阻并联，形成并联电路；供电电极，连接并联电路的输入端，用于提供测试电流；量测电极，用于对并联电路进行电压量测。在本申请中，应用分流电阻R₂进行分流，从而使得流经待测电阻R₁的电流减小，从而降低测试功率，进而可以使得量测电极可以对相关电压进行有效量测，且根据量测的电压以及供电电极提供的测试电流可以有效计算待测电阻R₁的阻值。因此，本申请通过分流电阻R₂、供电电极以及量测电极的设置，可以有效且精确的计算出待测电阻R₁的阻值，进而完成对待测电阻R₁的量测。

Description

电阻测试结构及其测试方法

技术领域

本申请涉及半导体测试技术领域，特别是涉及一种电阻测试结构及其测试方法。

背景技术

应力迁移(Stress Migration)测试对于金属互连线可靠性的评估有着重要意义，该测试是将集成电路芯片放置于一定温度下一段时间后，再次测量其电阻值。

然而，因为机台的功率被限制，所以应力迁移测试无法精确的测量大电阻的阻值。

发明内容

基于此，有必要针对传统技术中的应力迁移测试无法精确的测量大电阻的阻值的问题提供一种电阻测试结构及其测试方法。

为了实现上述目的，一方面，本申请提供了一种电阻测试结构，用于测量待测电阻阻值，包括：

分流电阻，用于与所述待测电阻并联，形成并联电路；

供电电极，连接所述并联电路的输入端，用于提供测试电流；

量测电极，用于对所述并联电路进行电压量测。

上述电阻测试结构中，通过分流电阻R₂、供电电极以及量测电极的设置，可以有效且精确的计算出待测电阻R₁的阻值，进而完成对待测电阻R₁的量测。

在其中一个实施例中，所述量测电极包括：

第二电极，连接所述并联电路的输入端；

接地电极，连接所述待测电阻以及所述分流电阻的输出端；

第三电极，连接所述接地电极与所述分流电阻之间的走线上；

第六电极，连接所述接地电极与所述待测电阻之间的走线上。

在其中一个实施例中，所述接地电极包括第四电极以及第五电极，所述第四电极连接所述分流电阻的输出端，所述第五电极连接所述待测电阻的输出端，

所述第三电极连接所述第四电极与所述分流电阻之间的走线上，所述第六电极连接所述第五电极与所述待测电阻之间的走线上。

在其中一个实施例中，所述分流电阻的阻值大于第一阈值。

在其中一个实施例中，所述分流电阻包括多个电阻。

在其中一个实施例中，所述多个电阻串联。

在其中一个实施例中，所述分流电阻的阻值小于第二阈值。

本申请还提供了一种电阻测试方法，用于采用测试结构测量待测电阻阻值，所述测试结构包括分流电阻、供电电极以及量测电极，所述分流电阻用于与所述待测电阻并联，形成并联电路，供电电极连接所述并联电路的输入端，

所述方法包括：

通过所述供电电极提供测试电流；

通过量测电极对所述并联电路进行电压量测；

根据所述电压量测的结果，计算所述待测电阻的阻值。

在其中一个实施例中，所述量测电极包括第二电极、第三电极、第四电极、第五电极以及第六电极，所述第二电极连接所述并联电路的输入端，所述第四电极连接所述分流电阻的输出端，所述第五电极连接所述待测电阻的输出端，所述第三电极连接所述第四电极与所述分流电阻之间的走线上，所述第六电极连接所述第五电极与所述待测电阻之间的走线上，

通过所述供电电极提供测试电流，包括：

通过所述供电电极提供第一测试电流；

所述通过量测电极对所述并联电路进行电压量测，包括：

通过所述第二电极与所述第三电极量测所述分流电阻两端的第一电压；

通过所述第二电极与所述第六电极量测所述待测电阻两端的第二电压；

通过所述第三电极与所述第四电极量测二者之间的第一寄生电阻的第三电压；

通过所述第五电极与所述第六电极量测二者之间的第二寄生电阻的第四电压；

根据所述电压量测的结果，计算所述待测电阻的阻值，包括：

根据所述第一测试电流、所述第一电压、所述第二电压、所述第三电压以及所述第四电压，计算所述待测电阻的阻值。

在其中一个实施例中，所述通过所述供电电极提供测试电流，还包括：

通过所述供电电极提供第二测试电流；

所述通过量测电极对所述并联电路进行电压量测，还包括：

通过所述第二电极与所述第三电极量测所述分流电阻两端的第五电压；

通过所述第三电极与所述第四电极量测二者之间的第一寄生电阻的第六电压；

根据所述第一测试电流、所述第一电压、所述第二电压、所述第三电压以及所述第四电压，计算所述待测电阻的阻值，包括：

根据所述第一测试电流、所述第一电压、所述第二电压、所述第三电压、所述第四电压、所述第二测试电流、所述第五电压以及所述第六电压，计算所述待测电阻的阻值。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为一实施例中提供的电阻测试结构的电路示意图；

图2为图1所示的电阻测试结构的等效电路图；

图3为另一实施例中的电阻测试结构的等效电路图；

图4为一实施例中提供的电阻测试方法的流程图。

附图标记说明：10-供电电极，21-第二电极，22-第三电极，23-第六电极，24-接地电极，241-第四电极，242-第五电极。

具体实施方式

为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的实施例。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使本申请的公开内容更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。

应当明白，当元件或层被称为“在...上”、“与...相邻”、“连接到”或“耦合到”其它元件或层时，其可以直接地在其它元件或层上、与之相邻、连接或耦合到其它元件或层，或者可以存在居间的元件或层。相反，当元件被称为“直接在...上”、“与...直接相邻”、“直接连接到”或“直接耦合到”其它元件或层时，则不存在居间的元件或层。应当明白，尽管可使用术语第一、第二、第三等描述各种元件、部件、区、层、掺杂类型和/或部分，这些元件、部件、区、层、掺杂类型和/或部分不应当被这些术语限制。这些术语仅仅用来区分一个元件、部件、区、层、掺杂类型或部分与另一个元件、部件、区、层、掺杂类型或部分。因此，在不脱离本发明教导之下，下面讨论的第一元件、部件、区、层、掺杂类型或部分可表示为第二元件、部件、区、层或部分。

空间关系术语例如“在...下”、“在...下面”、“下面的”、“在...之下”、“在...之上”、“上面的”等，在这里可以用于描述图中所示的一个元件或特征与其它元件或特征的关系。应当明白，除了图中所示的取向以外，空间关系术语还包括使用和操作中的器件的不同取向。例如，如果附图中的器件翻转，描述为“在其它元件下面”或“在其之下”或“在其下”元件或特征将取向为在其它元件或特征“上”。因此，示例性术语“在...下面”和“在...下”可包括上和下两个取向。此外，器件也可以包括另外地取向(譬如，旋转90度或其它取向)，并且在此使用的空间描述语相应地被解释。

在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也可以包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应当理解的是，术语“包括/包含”或“具有”等指定所陈述的特征、整体、步骤、操作、组件、部分或它们的组合的存在，但是不排除存在或添加一个或更多个其他特征、整体、步骤、操作、组件、部分或它们的组合的可能性。同时，在本说明书中，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。

请参阅图1，在一个实施例中，提供一种电阻测试结构，用于测量待测电阻R₁阻值，包括：分流电阻R₂、供电电极10、量测电极。

分流电阻R₂与待测电阻R₁并联，与待测电阻R1共同形成并联电路。分流电阻R₂可以包括多个电阻也可以是一个电阻，在此不作限制。作为示例，分流电阻R₂由多个电阻串联形成。由多个电阻串联形成时，便于形成阻值较大的分流电阻R₂。当然，在其他示例中，分流电阻R₂也可以设置成其他形式，例如其也可以由多个电阻并联形成，在此不作限制。

供电电极10位于分流电阻R₂与待测电阻R₁形成的并联电路的输入端，用于提供测试电流。测试电流流经并联电路，且流经待测电阻R₁的电流为I₁，流经分流电阻R₂的电流为I₂。

量测电极可以包括多个电极，具体可以根据实际情况设施。量测电极用于对并联电路进行电压量测，例如可以包括对待测电阻R₁及分流电阻R₂的电压量测。

在本实施例中，应用分流电阻R₂进行分流，从而使得流经待测电阻R₁的电流减小，从而降低测试功率，进而可以使得量测电极可以对相关电压进行有效量测，且根据量测的电压以及供电电极10提供的测试电流可以有效计算待测电阻R₁的阻值。因此，本实施例通过分流电阻R₂、供电电极10以及量测电极的设置，可以有效且精确的计算出待测电阻R₁的阻值，进而完成对待测电阻R₁的量测。

在一个实施例中，请参阅图3，量测电极包括：第二电极21、接地电极24、第三电极22以及第六电极23。

第二电极21连接并联电路的输入端。接地电极24连接待测电阻R₁以及分流电阻R₂的输出端。第三电极22连接接地电极24与分流电阻R₂之间的走线上。第六电极23连接接地电极24与待测电阻R₁之间的走线上。

作为示例，请参阅图2接地电极24可以包括第四电极241以及第五电极242。第四电极241连接分流电阻R₂的输出端。第五电极242连接待测电阻R₁的输出端。第三电极22连接第四电极241与分流电阻R₂之间的走线上，第六电极23连接第五电极242与待测电阻R₁之间的走线上。

当然，在一些情况下，如图3所示，接地电极24也可以为一个电极，其可以连接在并联电路的输出端。

接地电极24可以接地，因此电压为零。根据第二电极21与接地电极24间的差值，可以获取待测电阻R₁与分流电阻R₂形成的并联电路的电压值V，例如，可以根据第二电极21与第四电极241间的差值，获取电压值V；或者，根据第二电极21与第五电极242间的差值，获取电压值V。

第三电极22连接接地电极24与分流电阻R₂之间的走线上，如第三电极22连接第四电极241与分流电阻R₂之间的走线上。根据第二电极21与第三电极22间的差值，可以获取分流电阻R₂的电压值V₂。根据第三电极22与接地电极24间的差值，可以获取第三电极22与接地电极24二者之间的第一寄生电阻R ₃的电压值V₃。如可以根据第三电极22与第四电极241间的差值，获取第一寄生电阻R₃的电压值V₃。第一寄生电阻R₃为第三电极22与接地电极24二者之间的走线上的寄生电阻。

第六电极23连接接地电极24与待测电阻R₁之间的走线上，如第六电极23连接第五电极242与待测电阻R₁之间的走线上。根据第二电极21与第六电极23间的差值，可以获取待测电阻R₁的电压值V₁。根据第六电极23与接地电极24间的差值，可以获取第六电极23与接地电极24二者之间的第二寄生电阻R₄的电压值V₄。如可以根据第六电极23与第五电极242间的差值，获取第二寄生电阻R₄的电压值V₄。第二寄生电阻R₄为第六电极23与接地电极24二者之间的走线的寄生电阻。

作为示例，供电电极10提供第一测试电流I_a，第一测试电流I_a可以被分为流经待测电阻R₁所在支路的电流I_1a以及流经分流电阻R₂所在支路的电流I_2a。此时，根据第二电极21与接地电极24间的差值，可以获取待测电阻R₁与分流电阻R₂形成的并联电路的电压值V_a。根据第二电极21与第三电极22间的差值，可以获取分流电阻R₂的电压值V_2a。根据第三电极22与第四电极241间的差值，可以获取第三电极22与第四电极241二者之间的第一寄生电阻R₃的电压值V_3a。根据第六电极23与第五电极242间的差值，可以获取第六电极23与第五电极242二者之间的第二寄生电阻R₄的电压值V_4a。

由于分流电阻R₂与第一寄生电阻R₃串联，所以两者的电流均为I_2a。根据分流电阻R₂与第一寄生电阻R₃所在的并联电路支路的电流I_2a与电压V_a间的关系可得：

(R₂+R₃)*I_2a＝V_a(1)

根据分流电阻R2的电流I_2a与电压V_2a之间的关系可得：

I_2a＝V_2a/R₂(2)

将表达式(2)代入(1)得：(R₂+R₃)*V_2a/R₂＝V_a(3)

表达式(3)简化可得R₃＝R₂*V_3a/(V_a-V_3a)(4)

同理可得：R₄＝R₁*V_4a/(V_a-V_4a)(5)

根据并联电阻的计算公式1/R＝1/(R₂+R₃)+1/(R₁+R₄)(6)以及1/R＝I_a/V_a(7)可得：

1/(R₂+R₂*V_3a/(V_a-V_3a))+1/(R₁+R₁*V_4a/(V_a-V_4a))＝I_a/V_a(8)

供电电极10还可以提供第二测试电流I_b，第二测试电流I_b流经分流电阻R₂的被表示为电流I_2b。此时，根据第二电极21与接地电极24间的差值，可以获取待测电阻R₁与分流电阻R₂形成的并联电路的电压值V_b。根据第三电极22与第四电极241间的差值，可以获取第三电极22与第四电极241二者之间的第一寄生电阻R₃的电压值V_3b。

由于分流电阻R₂与第一寄生电阻R₃串联，所以两者的电流均为I_2b。根据分流电阻R₂与第一寄生电阻R₃所在的并联电路支路的电流I_2b与电压V_b间的关系可得：

(R₂+R₃)*I_2b＝V_b(9)

根据分流电阻R₂的电流I_2b与电压V_2b之间的关系可得：

I_2b＝V_2b/R₂(10)

将表达式(10)代入(9)得：(R₂+R₃)*V_2b/R₂＝V_b(11)

表达式(11)简化可得R₃＝R₂*V_3b/(V_b-V_3b)(12)

根据1/R＝I_b/V_b(13)可得：

1/(R₂+R₂*V_3b/(V_b-V_3b))＝I_b/V_b(14)

将表达式(14)代入表达式(8)可得：

I_b/V_b+1/(R₁+R₁*V_4a/(V_a-V_4a))＝I_a/V_a(15)

简化表达式(15)可得1/R₁＝(I_a/V_a-I_b/V_b)(1+V_4a/(V_a-V_4a))(16)，得到待测电阻R₁的阻值等于1/(I_a/V_a-I_b/V_b)(1+V_4a/(V_a-V_4a))。

通过表达式(14)可以计算出分流电阻R₂的阻值R₂。

此时，计算待测电阻R₁的阻值时，考虑到第一寄生电阻R₃、第二寄生电阻R₄的阻值，可以在得出待测电阻R₁的阻值的同时，准确的得出分流电阻R₂的阻值。

在本实施例中，量测电极包括第二电极21、接地电极24、第三电极22以及第六电极23，可以更准确的获取待测电阻R₁以及分流电阻R₂两端的电压值。

在一个实施例中，分流电阻R₂的阻值大于第一阈值。

第一阈值可以为100Ω。

在本实施例中，由于当分流电阻的阻值小于第一阈值时，其上的电压测量值不准确，所以限制分流电阻R₂的阻值大于第一阈值可以使待测电阻R₁的阻值获取更为准确，更容易计算出待测电阻R₁的阻值。

在一个实施例中，分流电阻R₂的阻值小于第二阈值。

第二阈值可以为待测电阻R₁的阻值范围的最小值，也可以为1000Ω，在此不作限制。

在本实施例中，限制分流电阻R₂的阻值小于第二阈值可以避免分流电阻R₂产生的焦耳热对于测试结构的影响，更为准确的计算出待测电阻R₁的阻值。

请参阅图4，本申请的又一实施例还提供一种电阻测试方法，用于采用测试结构测量待测电阻R₁的阻值。测试结构包括分流电阻R₂、供电电极10以及量测电极，分流电阻R₂用于与待测电阻R₁并联，形成并联电路，供电电极10连接并联电路的输入端。此方法包括：

步骤S10，通过供电电极10提供测试电流；

步骤S20，通过量测电极对并联电路进行电压量测；

步骤S30，根据电压量测结果，计算待测电阻R₁的阻值。

在步骤S10中，通过供电电极10提供并联电路的测试电流，测试电流流经待测电阻R₁以及分流电阻R₂。

在步骤S20中，应用量测电极对并联电路两端的电压进行量测，可以获取并联电路两端的电压值。

在步骤S30中，根据量测电极对并联电路的量测结果以及测试电流，基于电流与电压间的关系可以计算出待测电阻R₁的阻值。

在本实施例中，应用分流电阻R₂进行分流，从而使得流经待测电阻R₁的电流减小，从而降低测试功率，进而可以使得量测电极可以对相关电压进行有效量测，且根据量测的电压以及供电电极10提供的测试电流可以有效计算待测电阻R₁的阻值。因此，本实施例通过分流电阻R₂、供电电极10以及量测电极的设置，可以有效且精确的计算出待测电阻R₁的阻值，进而完成对待测电阻R₁的量测。

在一个实施例中，步骤S10包括：

步骤S11，通过供电电极10提供第一测试电流I_a；

步骤S20包括：

步骤S21，通过第二电极21与第三电极22量测分流电阻R₂两端的第一电压V_2a；

步骤S22，通过第二电极21与第六电极23量测待测电阻R₁两端的第二电压V_1a；

步骤S23，通过第三电极22与第四电极241量测二者之间的第一寄生电阻的第三电压V_3a；

步骤S24，通过第五电极242与第六电极23量测二者之间的第二寄生电阻R₄的第四电压V_4a；

步骤S30包括：

步骤S31，根据第一测试电流I_a、第一电压V_2a、第二电压V_1a、第三电压V_3a以及第四电压V_4a，计算待测电阻R₁的阻值。

在步骤S11中，通过供电电极10提供并联电路的第一测试电流I_a，第一测试电流流经待测电阻R₁以及分流电阻R₂。

在步骤S21中，应用量测电极中的第二电极21与第三电极22对分流电阻R₂两端的电压进行量测，可以获取分流电阻R₂两端的电压值，作为第一电压V_2a。

在步骤S22中，应用量测电极中的第二电极21对待测电阻R₁两端的电压进行量测，可以获取待测电阻R₁两端的电压值，作为第二电压V_1a。

在步骤S23中，应用量测电极中的第三电极22对第三电极22与第四电极241间的第一寄生电阻的电压进行量测，可以获取第一寄生电阻的电压值，作为第三电压V_3a。

在步骤S24中，应用量测电极中的第六电极23对第五电极242与第六电极23间的第二寄生电阻R₄的电压进行量测，可以获取第二寄生电阻R₄的电压值，作为第四电压V_4a。

在步骤S31中，根据第一测试电流I_a、第一电压V_2a、第二电压V_1a、第三电压V_3a以及第四电压V_4a，基于电流与电压间的关系可以计算出待测电阻R₁的阻值。

在一个实施例中，步骤S10包括：

步骤S12，通过供电电极10提供第二测试电流I_b；

步骤S20包括：

步骤S25，通过第二电极21与第三电极22量测分流电阻R₂两端的第五电压V_2b；

步骤S26，通过第三电极22量测第三电极22及第四电极241之间的第一寄生电阻的第六电压V_3b；

步骤S31包括：

步骤S311，根据第一测试电流I_a、第一电压V_2a、第二电压V_1a、第三电压V_3a、第四电压V_4a、第二测试电流I_b、第五电压V_2b以及第六电压V_3b，计算分流电阻R₂的阻值。

此时，根据本实施例的电阻测试方法对待测电阻进行测试时可以首先进行步骤S11，然后进行步骤S21至步骤S24(步骤S21至步骤S24的执行顺序不必然是依次进行的)，然后再进行步骤S12，然后进行步骤S25至步骤S26(步骤S25至步骤S26的执行顺序不必然是依次进行的)，最后进行步骤S311。

在步骤S12中，通过供电电极10电极提供并联电路的第二测试电流I_b，第二测试电流流经待测电阻R₁以及分流电阻R₂。

在步骤S25中，应用量测电极中的第二电极21与第三电极22对分流电阻R₂两端的电压进行量测，可以获取分流电阻R₂两端的电压值，作为第五电压V_2b。

在步骤S26中，应用量测电极中的第三电极22与第四电极241对第三电极22与第四电极241间的第一寄生电阻的电压进行量测，可以获取第一寄生电阻的电压值，作为第六电压V_3b。

在步骤S311中，根据第一测试电流I_a、第一电压V_2a、第二电压V_1a、第三电压V_3a、第四电压V_4a、第二测试电流I_b、第五电压V_2b以及第六电压V_3b，基于电流与电压之间的关系，计算待测电阻R₁的阻值。

在本实施例中，可以根据表达式(1)至(16)，计算待测电阻R₁的阻值，同时，也可以计算出分流电阻R₂的阻值。

应该理解的是，虽然图4的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，这些步骤可以以其它的顺序执行。而且，图4中的至少一部分步骤可以包括多个步骤或者多个阶段，这些步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，这些步骤或者阶段的执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其它步骤或者其它步骤中的步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。

在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、“理想实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特征包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性描述不一定指的是相同的实施例或示例。

上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种电阻测试结构，用于测量待测电阻阻值，其特征在于，包括：

分流电阻，用于与所述待测电阻并联，形成并联电路；

供电电极，连接所述并联电路的输入端，用于提供测试电流；

量测电极，用于对所述并联电路进行电压量测。

2.根据权利要求1所述的电阻测试结构，其特征在于，所述量测电极包括：

第二电极，连接所述并联电路的输入端；

接地电极，连接所述待测电阻以及所述分流电阻的输出端；

第三电极，连接所述接地电极与所述分流电阻之间的走线上；

第六电极，连接所述接地电极与所述待测电阻之间的走线上。

3.根据权利要求2所述的电阻测试结构，其特征在于，

所述接地电极包括第四电极以及第五电极，所述第四电极连接所述分流电阻的输出端，所述第五电极连接所述待测电阻的输出端，

所述第三电极连接所述第四电极与所述分流电阻之间的走线上，所述第六电极连接所述第五电极与所述待测电阻之间的走线上。

4.根据权利要求1所述的电阻测试结构，其特征在于，所述分流电阻的阻值大于第一阈值。

5.根据权利要求4所述的电阻测试结构，其特征在于，所述分流电阻包括多个电阻。

6.根据权利要求5所述的电阻测试结构，其特征在于，所述多个电阻串联。

7.根据权利要求4所述的电阻测试结构，其特征在于，所述分流电阻的阻值小于第二阈值。

8.一种电阻测试方法，用于采用测试结构测量待测电阻阻值，其特征在于，所述测试结构包括分流电阻、供电电极以及量测电极，所述分流电阻用于与所述待测电阻并联，形成并联电路，供电电极连接所述并联电路的输入端，

所述方法包括：

通过所述供电电极提供测试电流；

通过量测电极对所述并联电路进行电压量测；

根据所述电压量测的结果，计算所述待测电阻的阻值。

9.根据权利要求8所述的电阻测试方法，其特征在于，所述量测电极包括第二电极、第三电极、第四电极、第五电极以及第六电极，所述第二电极连接所述并联电路的输入端，所述第四电极连接所述分流电阻的输出端，所述第五电极连接所述待测电阻的输出端，所述第三电极连接所述第四电极与所述分流电阻之间的走线上，所述第六电极连接所述第五电极与所述待测电阻之间的走线上，

通过所述供电电极提供测试电流，包括：

通过所述供电电极提供第一测试电流；

所述通过量测电极对所述并联电路进行电压量测，包括：

通过所述第二电极与所述第三电极量测所述分流电阻两端的第一电压；

通过所述第二电极与所述第六电极量测所述待测电阻两端的第二电压；

通过所述第三电极与所述第四电极量测二者之间的第一寄生电阻的第三电压；

通过所述第五电极与所述第六电极量测二者之间的第二寄生电阻的第四电压；

根据所述电压量测的结果，计算所述待测电阻的阻值，包括：

根据所述第一测试电流、所述第一电压、所述第二电压、所述第三电压以及所述第四电压，计算所述待测电阻的阻值。

10.根据权利要求9所述的电阻测试方法，其特征在于，所述通过所述供电电极提供测试电流，还包括：

通过所述供电电极提供第二测试电流；

所述通过量测电极对所述并联电路进行电压量测，还包括：

通过所述第二电极与所述第三电极量测所述分流电阻两端的第五电压；

通过所述第三电极与所述第四电极量测二者之间的第一寄生电阻的第六电压；

根据所述第一测试电流、所述第一电压、所述第二电压、所述第三电压以及所述第四电压，计算所述待测电阻的阻值，包括：

根据所述第一测试电流、所述第一电压、所述第二电压、所述第三电压、所述第四电压、所述第二测试电流、所述第五电压以及所述第六电压，计算所述待测电阻的阻值。

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