CN115995469A - 驱动背板及制作方法、显示面板、显示装置 - Google Patents

Abstract

本公开实施例提供了一种驱动背板及其制作方法、显示面板、显示装置，属于显示技术领域。该驱动背板包括衬底基板和依次层叠在衬底基板的承载面上的第一遮光结构、第一薄膜晶体管、第二遮光结构和第二薄膜晶体管。第一遮光结构位于第一薄膜晶体管的靠近衬底基板的一侧，且第一薄膜晶体管的有源层在承载面上的正投影位于第一遮光结构在承载面上的正投影内；第二遮光结构位于第二薄膜晶体管的靠近所述衬底基板的一侧，且第二薄膜晶体管的有源层在承载面上的正投影位于第二遮光结构在承载面上的正投影内。本公开实施例可以改善驱动背板中薄膜晶体管受光照影响导致性能不稳定的问题。

Description

驱动背板及制作方法、显示面板、显示装置

技术领域

本公开实施例涉及显示技术领域，特别涉及一种驱动背板及制作方法、显示面板、显示装置。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称OLED)显示装置，具有能耗低、亮度高、反应时间快、宽视角、重量轻等优点，广泛应用于手机、平板电脑等设备中。

OLED显示装置包括驱动背板和布置在驱动背板上的多个发光单元。驱动背板控制多个发光单元发光，以实现画面显示。

发明内容

本公开提供了一种驱动背板及制作方法、显示面板、显示装置，可以改善驱动背板中TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)受光照影响导致性能不稳定的问题，所述技术方案如下：

一方面，提供了一种驱动背板，所述驱动背板包括：

衬底基板和驱动电路层，所述驱动电路层包括依次层叠在所述衬底基板的承载面上第一电路层和第二电路层；

所述驱动电路层包括多个驱动单元，所述多个驱动单元中的任一所述驱动单元包括第一遮光结构、第一TFT、第二遮光结构和第二TFT；

所述第一遮光结构和所述第一TFT位于所述第一电路层，所述第一遮光结构位于所述第一TFT的靠近所述衬底基板的一侧，且所述第一TFT的有源层在所述承载面上的正投影位于所述第一遮光结构在所述承载面上的正投影内；

所述第二遮光结构和所述第二TFT位于所述第二电路层，所述第二遮光结构位于所述第二TFT的靠近所述衬底基板的一侧，且所述第二薄TFT的有源层在所述承载面上的正投影位于所述第二遮光结构在所述承载面上的正投影内。

可选地，所述第一遮光结构和所述第二遮光结构在所述承载面上的正投影至少部分重叠，所述第一TFT和所述第二TFT在所述承载面上的正投影至少部分重叠。

在一种可能的实施方式中，所述第一遮光结构采用导电材料制成，所述驱动单元还包括第一引出电极，所述第一引出电极与所述第一遮光结构连接；或者，所述第二遮光结构采用导电材料制成，所述驱动单元还包括第二引出电极，所述第二引出电极与所述第二遮光结构连接。

在另一种可能的实施方式中，所述第一遮光结构和所述第二遮光结构均采用导电材料制成；所述驱动单元还包括第一引出电极、第二引出电极和引出电极连接结构；所述第一引出电极与所述第一遮光结构连接；所述第二引出电极与所述第二遮光结构连接；所述引出电极连接结构分别与所述第一引出电极和所述第二引出电极连接。

可选地，所述第一引出电极与所述第一TFT的栅极同层，或者，与所述第一TFT的源漏极同层；所述第二引出电极与所述第二TFT的栅极同层，或者，与所述第二TFT的源漏极同层。

可选地，所述引出电极连接结构与所述第二遮光结构同层。

可选地，所述驱动单元还包括层间连接电极，所述第一TFT和所述第二TFT通过所述层间连接电极电连接。

可选地，所述层间连接电极与所述第二遮光结构同层。

可选地，所述多个驱动单元包括相邻的第一驱动单元和第二驱动单元；所述第一驱动单元还包括第三TFT，所述第三TFT位于所述第一电路层；所述第二驱动单元还包括第四TFT，所述第四TFT位于所述第二电路层，且所述第三TFT和所述第四薄TFT在所述承载面的正投影至少部分重叠。

在一些示例中，所述第二TFT为氧化物晶体管，所述第一TFT为低温多晶硅晶体管。

在一些示例中，所述第二TFT为驱动TFT，所述第一TFT为所述驱动单元中除了所述驱动TFT之外的与所述驱动TFT相连的任一TFT。

在一些示例中，所述第一电路层包括依次层叠在衬底基板上的所述第一遮光层、第一绝缘层、第一半导体层、第二绝缘层、第一栅极层、第一栅极绝缘层和第一源漏极层，所述第一遮光结构位于所述第一遮光层，所述第一TFT的有源层位于所述第一半导体层，所述第一TFT的栅极位于所述第一栅极层，所述第一TFT的源极和漏极位于所述第一源漏极层；

所述第二电路层包括依次层叠在所述第一电路层上的第二遮光层、第三绝缘层、第二半导体层、第四绝缘层、第二栅极层、第二栅极绝缘层和第二源漏极层，所述第二遮光结构位于所述第二遮光层，所述第二TFT的有源层位于所述第二半导体层，所述第二TFT的栅极位于所述第二栅极层，所述第二TFT的源极和漏极位于所述第二源漏极层；

其中，所述第一遮光层和所述第二遮光层的图案相同，所述第一半导体层和所述第二半导体层的图案相同，所述第一栅极层和所述第二栅极层的图案相同，所述第一源漏极层和所述第二源漏极层的图案相同。

另一方面，提供了一种驱动背板的制作方法，所述方法包括：

提供衬底基板；

在所述衬底基板的承载面上依次形成第一电路层和第二电路层，以得到驱动电路层；

其中，所述驱动电路层包括多个驱动单元；所述多个驱动单元中的任一驱动单元包括第一遮光结构、第一TFT、第二遮光结构和第二TFT；

所述第一遮光结构和所述第一TFT位于所述第一电路层，所述第一遮光结构位于所述第一TFT的靠近所述衬底基板的一侧，且所述第一TFT的有源层在所述承载面上的正投影位于所述第一遮光结构在所述承载面上的正投影内；

所述第二遮光结构和所述第二TFT位于所述第二电路层，所述第二遮光结构位于所述第二TFT的靠近所述衬底基板的一侧，且所述第二TFT的有源层在所述承载面上的正投影位于所述第二遮光结构在所述承载面上的正投影内。

另一方面，提供了一种显示面板，所述显示面板包括前述任一种驱动背板和依次层叠在所述驱动背板上的发光功能层、封装层和触控层。

另一方面，提供了一种显示装置，所述显示装置包括如前述任一种显示面板和供电电路，所述供电电路用于为所述显示面板供电。

本公开提供的技术方案带来的有益效果至少包括：

通过分别在所述第一TFT和第二TFT靠近所述衬底基板的一侧设置第一遮光结构和第二遮光结构，第一遮光结构和第二遮光结构可以遮挡从衬底基板所在的一侧照射到对应的TFT的有源层的光线，减少了第一TFT和第二TFT受到光照的可能性，有利于提高第一TFT和第二TFT的性能稳定性，保证了显示装置的显示效果。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本公开实施例提供的一种驱动背板的平面结构示意图；

图2是本公开实施例提供的一种驱动背板的部分区域的剖视图；

图3是本公开实施例提供的另一种驱动背板的剖视图；

图4是本公开实施例提供的又一种驱动背板的剖视图；

图5是本公开实施例提供的相邻两个驱动单元的关系示意图；

图6是本公开实施例提供的一种7T1C像素驱动电路的电路图；

图7是本公开实施例提供的一种驱动背板的制作方法的流程图；

图8是本公开实施例提供的一种显示面板的结构示意图。

图例说明：

11、第一遮光结构12、第一TFT

12a、第一TFT的有源层12b、第一TFT的栅极

12c、第一TFT的源极12d、第一TFT的漏极

13、第一引出电极110、层间介质层

101、第一遮光层102、第一绝缘层103、第一半导体材料层

104、第二绝缘层105、第一栅极层106、第一栅极绝缘层

107、第一介电层108、第一源漏极层109、第一平坦化层

21、第二遮光结构22、第二TFT

22a、第二TFT的有源层22b、第二TFT的栅极

22c、第二TFT的源极22d、第二TFT的漏极

23、第二引出电极24、层间连接电极

201、第二遮光层202、第三绝缘层203、第二半导体材料层

204、第四绝缘层205、第二栅极层206、第二栅极绝缘层

207、第二介电层208、第二源漏极层209、第二平坦化层

30、衬底基板30a、衬底基板的承载面

401、阳极层402、像素定义层

403、发光层404、阴极层405、支撑膜层

具体实施方式

为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请实施方式作进一步地详细描述。

本公开的实施方式部分使用的术语仅用于对本公开的实施例进行解释，而非旨在限定本公开。除非另作定义，本公开的实施方式使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”、“第三”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。

相关技术中，驱动背板包括衬底基板和在衬底基板上的多个驱动单元。为了减少背板电路面积，驱动单元包括依次层叠在衬底基板上的第一电路层和第二电路层，第一电路层包括第一遮光结构和第一TFT，第二电路层包括第二TFT。然而，发光单元发出的光和自然光进入驱动背板后，在驱动背板内会出现反射、折射等现象，使得驱动背板中位于第二电路层的第二TFT受到光照影响，导致第二TFT的性能不稳定，影响显示效果。

为此，本公开实施例提供了一种驱动背板，通过在第二电路层中设置第二遮光结构，对第二TFT进行遮挡，以提高第二TFT的性能的稳定性。

图1是本公开实施例提供的一种驱动背板的平面结构示意图。如图1所示，该驱动背板包括衬底基板30和驱动电路层，驱动电路层包括多个驱动单元。每个驱动单元用于连接一个发光元件(图未示)，用于控制所连接的发光元件发光。

示例性地，多个驱动单元分为多个驱动单元组，多个驱动单元组沿第一方向x排列，每个驱动单元组包括沿第二方向y排列的多个驱动单元，第一方向x与第二方向y相交，且第一方向x和第二方向y与衬底基板30的承载面30a(如图2所示)平行。示例性地，第一方向x与第二方向y可以垂直。

例如，图1中，驱动单元组A和驱动单元组B沿第一方向x排列，驱动单元组A内的驱动单元a1、驱动单元b1和驱动单元c1沿着第二方向y排列；驱动单元组B内的驱动单元a2、驱动单元b2和驱动单元c2沿着第二方向y排列。

在本公开实施例中，每个驱动单元包括至少两个TFT。每个驱动单元中TFT的数量可以根据实际需要选择，例如，每个驱动单元包括2个或者3个或者5个或者7个TFT等，本公开对此不做限制。每个驱动单元中，每个TFT靠近衬底基板的一侧均设有对应的遮光结构。

图2是本公开实施例提供的一种驱动背板的部分截面结构示意图。如图2所示，驱动电路层包括依次层叠在衬底基板30的承载面30a上第一电路层和第二电路层。

每个驱动单元包括第一遮光结构11、第一TFT12、第二遮光结构21和第二TFT22。第一遮光结构11和第一TFT12位于第一电路层，第一遮光结构11位于第一TFT12的靠近衬底基板30的一侧，且第一TFT12的有源层12a在承载面30a上的正投影位于第一遮光结构11在承载面30a上的正投影内。第二遮光结构21和第二TFT22位于第二电路层，第二遮光结构21位于第二TFT22的靠近衬底基板30的一侧，且第二TFT22的有源层22a在承载面30a上的正投影位于第二遮光结构21在承载面20a上的正投影内。

在本公开实施例中，通过分别在所述第一TFT12和第二TFT22靠近所述衬底基板30的一侧设置第一遮光结构11和第二遮光结构21，第一遮光结构11和第二遮光结构21可以遮挡从衬底基板30所在的一侧照射到对应的TFT的有源层的光线，减少了第一TFT12和第二TFT22受到光照的可能性，有利于提高第一TFT12和第二TFT22的性能稳定性，进而提高显示装置的显示效果。

并且，通过将驱动单元中的多个TFT进行分层布置，即一部分TFT布置在第一电路层，另一部分TFT布置在第二电路层，可以减小电路布局空间，有利于满足FIAA(Fanout InAA，在AA(显示区)区扇出)、SIAA(Elvss In AA，电源线在AA区)以及FDC(Full DisplayCamera，屏下摄像头)等窄边框技术的要求。

如图2所示，第一电路层包括依次层叠在衬底基板30的承载面30a上的第一遮光层101、第一绝缘层102、第一半导体层103、第二绝缘层104、第一栅极层105、第一栅极绝缘层106、第一介电层107、第一源漏极层108和第一平坦化层109。其中，第一遮光层101包括第一遮光结构11，第一半导体层103包括第一TFT12的有源层12a，第一栅极层105包括第一TFT12的栅极12b，第一源漏极层108包括第一TFT12的源极12c和漏极12d。

第二电路层包括依次层叠在第一电路层上的第二遮光层201、第三绝缘层202、第二半导体层203、第四绝缘层204、第二栅极层205、第二栅极绝缘层206、第二介电层207、第二源漏极层208和第二平坦化层209。其中，第二遮光层201包括第一遮光结构21，第二半导体层203包括第二TFT22的有源层22a，第二栅极层205包括第二TFT22的栅极22b，第二源漏极层208包括第二TFT22的源极22c和漏极22d。

需要说明的是，第一TFT12的源极12c和漏极12d可以互换，第二TFT22的源极22c和漏极22d可以互换。

可选地，该驱动背板还可以包括层间介质层110。该层间介质层110位于第一平坦化层109和第二电路层之间，以提高第一电路层中的导电结构和第二电路层中的导电结构之间的绝缘性。

需要说明的是，图2所示的膜层结构仅为示例，本公开并不以此为限。在一些示例中，驱动背板还可以包括更多的膜层，例如，位于第一电路层和衬底基板30之间的缓冲层等。在另一些示例中，可以省略图2中的部分膜层，例如，省略第一栅极绝缘层106和第一介电层107中的一个等等；又例如，当第一遮光层101和第二遮光层201采用非导电材料制成时，可以省略第一绝缘层102和第三绝缘层202。

示例性地，用于制作第一遮光层101和第二遮光层201的非导电材料包括但不限于黑色色阻材料等。

在本公开实施例中，第一遮光结构11和第二遮光结构21在承载面30a上的正投影重合。第一TFT12和和第二TFT22在承载面30a上的正投影重合，也即是，第一TFT12的有源层12a和第二TFT22的有源层22a在承载面30a上的正投影重合；第一TFT12的栅极12b和第二TFT22的栅极22b在承载面30a上的正投影重合；第一TFT12的源极12c和第二TFT22的源极22c在承载面30a上的正投影重合；第一TFT12的漏极12d和第二TFT22的漏极22d在承载面30a上的正投影重合。这样，能够进一步减小驱动单元占用的面积。

可选地，在其他实施例中，上述结构中的至少部分相对应的结构在承载面30a上的正投影是部分重合的。例如，第一遮光结构11和第二遮光结构21在承载面30a上的正投影部分重合。又例如，第一TFT12和第二TFT22在承载面30a上的正投影部分重合。这样，有利于提高驱动单元中各层结构布置的灵活性。

当第一TFT12和第二TFT22在承载面30a上的正投影至少部分重合且第一遮光结构11和第二遮光结构21在承载面30a上的正投影至少部分重合时，以可以将第一遮光结构11、第二遮光结构21、第一TFT12和第二TFT22称为一个叠层结构。

可选地，在又一些示例中，第一TFT12和第二TFT22在承载面30a上的正投影不重合。例如，第一TFT12在承载面30a上的正投影位于第二TFT22和第二电路层中的与第二TFT22相邻的一个TFT在承载面30a上的正投影之间。此时这三个TFT呈“品”字形。

图3是本公开实施例提供的另一种驱动背板的部分截面结构示意图。与图2所示实施例的不同之处在于，图3中，第一遮光结构11和第二遮光结构21采用导电材料制成，该驱动单元还包括第一引出电极13和第二引出电极23。第一引出电极13与第一遮光结构11连接，第二引出电极23与第二遮光结构21连接。通过第一引出电极13可以为第一遮光结构11提供一个恒定的电压，该电压用于防止TFT特性漂移导致的漏电。通过第二引出电极23可以为第二遮光结构21提供一个恒定的电压，该电压用于防止TFT特性漂移导致的漏电。

可选地，如图3所示，第一引出电极13可以位于第一源漏极层108，第二引出电极23可以位于第二源漏极层208。即第一引出电极13可以与第一TFT12的源极12c和漏极12d同层，第二引出电极23可以与第二TFT22的源极22c和漏记22d同层。

在本公开实施例中，术语“同层”是指在同一步骤中同时形成的层之间的关系，例如，当源极12c和漏极12d为在同一层材料中执行相同图案处理的一个或多个步骤而形成时，它们处于同一层中。术语“同层”并不总是意味着该层的厚度或横截面视图中的图层是相同的。

需要说明的是，在其他实施例中，第一引出电极13可以位于第一栅极层105(即与第一TFT12的栅极12b同层)；或者，第一引出电极13还可以位于第一遮光层101。类似的，第二引出电极23可以位于第二栅极层205(即与第二TFT12的栅极22b同层)，或者，第二引出电极23还可以位于第二遮光层201。

为了便于第一引出电极13与第一遮光结构11的连接，有源层12a在承载面30a上的正投影位于第一遮光结构11在承载面30a上的正投影的内部，第一引出电极13与第一遮光结构11的连接点在承载面30a上的正投影位于有源层12a在承载面30a的正投影之外。即第一遮光结构11具有超出有源层12a的部分，该部分对应的第一绝缘层102、第二绝缘层104、第一栅极绝缘层106和第一介电层107中具有过孔，第一引出电极13通过该过孔与第一遮光结构11的超出有源层12a的部分连接。

类似地，为了便于第二引出电极23与第二遮光结构21的连接，有源层22a在承载面30a上的正投影位于第二遮光结构21在承载面30a上的正投影内；且第二引出电极23与第二遮光结构21的连接点在承载面30a的正投影位于有源层22a在承载面30a的正投影之外。即第二遮光结构21具有超出有源层22a的部分，该部分对应的第三绝缘层202、第四绝缘层204、第二栅极绝缘层206和第二介电层207中具有过孔，第二引出电极23通过该过孔与第二遮光结构21的超出有源层22a的部分连接。

需要说明的是，在图3中，驱动背板同时包括第一引出电极13和第二引出电极23；在其他实施例中，驱动背板也可以仅包括第一引出电极13或者仅包括第二引出电极23。

为了实现第一引出电极13和第二引出电极23从驱动背板的外部导入电压，该驱动背板还包括第一引出信号线(图未示)和第二引出信号线(图未示)，第一引出信号线可以与第一引出电极13同层，第二引出信号线可以与第二引出电极23同层。

当第一引出电极13位于第一栅极层105时，第一引出信号线可以与栅线平行。当第一引出电极13位于第一源漏极层108时，第一引出信号线可以与数据线平行。当第二引出电极23位于第二栅极层205时，第二引出信号线可以与栅线平行。当第二引出电极23位于第二源漏极层208时，第二引出信号线可以与数据线平行。将引出信号线与同层的其他信号线平行布置，方便走线设计。

图4是本公开实施例提供的另一种驱动背板的部分截面结构示意图。与图3所示实施例的不同之处在于，图4中驱动背板还包括引出电极连接结构14。引出电极连接结构14分别与第一引出电极13和第二引出电极23连接。

通过引出电极连接结构14可以实现第一引出电极13和第二引出电极23之间的电连接，这样，只需要布置一根引出信号线与该引出电极连接结构连接，即可通过该引出信号线为第一遮光结构和第二遮光结构同时提供电压，从而进一步减少引出信号线的数量，节省引出信号线的布局空间。

可选地，如图4所示，引出电极连接结构14与第二遮光结构21同层，即位于第二遮光层201。由于第二遮光层201位于第一TFT关联的导电膜层(第一栅极层和第一源漏极层)和第二TFT关联的导电膜层(第二栅极层和第二源漏极层)之间，所以将引出连接结构14布置在第二遮光层201，便于与位于第一TFT关联的导电膜层中的第一引出电极连接，且便于与位于第二TFT关联的导电膜层中的第二引出电极连接。

在一些示例中，第一TFT12和第二TFT22电连接，因此如图2、图3或者图4所示，驱动单元还包括层间连接电极24，该层间连接电极24分别与第一TFT12的漏极12d和第二TFT的漏极22d连接。在一种可能的实施方式中，层间连接电极24可以位于第二遮光层201中。在另一种可能的实施方式中，层间连接电极24位于第一源漏极层108和第二源漏极层208之间的一层独立的导电层，例如层间连接电极24位于第一平坦化层109和层间介质层110之间的导电层中。

由于第一源漏极层108和第二源漏极层208之间的膜层较多且厚度较大，所以在第一源漏极层108和第二源漏极层208之间设置层间连接电极24，以便于第一源漏极层108和第二源漏极层208之间的连接。

在一些示例中，本公开实施例中的驱动背板可以为LTPO背板。也即是驱动单元中一部分TFT为氧化物晶体管，另一部分TFT为低温多晶硅晶体管。示例性地，氧化物晶体管的有源层材料为金属氧化物，包括但不限于IGZO等。低温多晶硅晶体管的有源层材料为低温多晶硅。

在本公开实施例中，第二TFT22为氧化物晶体管，第一TFT12为低温多晶硅薄膜晶体管。由于第二电路层距离衬底基板比较远，外部环境光从衬底基板一侧入射至第二电路层需要穿过较多的膜层，所以入射至第二电路层的光线的强度较低，第二遮光结构能够较好地遮挡入射至第二TFT的光线。又由于氧化物晶体管的有源层受光照影响后，性能变化较大，所以将氧化物晶体管设置在远离衬底基板较远的第二电路层，以保证氧化物晶体管的性能。

在另一些示例中，本公开实施例中的驱动背板中的所有TFT均为低温多晶硅晶体管。

在另一些示例中，第二TFT22为驱动TFT，第一TFT12为驱动单元中除了驱动TFT之外的与驱动TFT电连接的任一TFT。由于驱动TFT的性能直接关系到经过发光单元的电流大小，因此驱动TFT的性能对发光效果的影响较大，所以将驱动TFT设置在离衬底基板30较远的第二电路层，以保证驱动TFT的性能。

可选地，在图2至图4所示实施例中，衬底基板30可以为柔性基板，例如PI基板等；或者衬底基板30可以为非柔性基板(也可以称为刚性基板)，例如为玻璃基板或者塑料基板等。可选地，衬底基板30可以是单层或多层结构。

第一遮光层101和第二遮光层201的制作材料包括但不限于MO、Al、Ti、A-Si、CU等材料，上述遮光结构材料可以减少TFT受到的光照的同时能够导电。第一遮光层101和第二遮光层201可以采用相同或者不同的材料制作。当第一遮光层101和第二遮光层201采用金属材料制作时，遮光层也可以称为BSM(bottom shield metal，底部遮挡金属)层。

第一绝缘层102、第二绝缘层104、第三绝缘层202、第四绝缘层204、第一栅极绝缘层106和第二栅极绝缘层206的制作材料可以是硅氧化物、硅氮化物或者硅氮氧化物等。第一绝缘层102、第二绝缘层104、第三绝缘层202、第四绝缘层204、第一栅极绝缘层106和第二栅极绝缘层206的材料可以相同或者不同。

可选地，第一半导体层103和第二半导体层203的制作材料可以是非晶硅、多晶硅或金属氧化物半导体等。

可选地，第一栅极层105和第二栅极层205可以是钼、铜、钛等单层金属薄膜，也可以是依次层叠的钼层、铝层和钼层，或者是依次层叠的钛层、铝层和钛层等多层金属薄膜。

示例性地，第一源漏极层108和第二源漏极层208的制作材料可以是铝、钼、铜、钛等单层金属薄膜，也可以是依次层叠的钼层、铝层和钼层，或者是依次层叠的钛层、铝层和钛层等多层金属薄膜。

第一介电层107、第二介电层207、层间介质层110的制作材料可以是硅氧化物或硅氮化物等。

第一平坦化层109和第二平坦化层209可以为氮化硅、氮氧化硅或环氧树脂绝缘层等。

在一些示例中，第一遮光层101和第二遮光层201的图案相同，第一半导体层103和第二半导体层203的图案相同，第一栅极层105和第二栅极层205的图案相同，第一源漏极层108和第二源漏极层208的图案相同。图案相同的层可以采用相同的掩膜板(mask)形成，通过将这些层设置为具有相同的图案，有利于降低产品的成本。

在一些示例中，每个驱动单元包括偶数个TFT，这偶数个TFT两两成对，每对TFT中的两个TFT分别位于第一电路层和第二电路层，且在承载面上的正投影至少部分重合。

在一些示例中，每个驱动单元包括奇数个TFT，这奇数个TFT包括至少一对TFT和一个独立的TFT。每对TFT中的两个TFT分别位于第一电路层和第二电路层，且在承载面上的正投影至少部分重合。该独立的TFT位于第一电路层或者第二电路层。

当每个驱动单元中TFT的数量为单数时，至少有一个TFT未与同驱动单元内的其它TFT组成叠层结构。这种情况下，为了进一步减小驱动背板中电路占用的空间，相邻的两个驱动单元中的TFT可以组成叠层结构。

在一些示例中，同一驱动单元组中的多个驱动单元包括第一驱动单元和第二驱动单元，第一驱动单元和第二驱动单元为任意相邻的两个驱动单元。第一驱动单元还包括第三TFT，第三TFT位于第一电路层。第二驱动单元还包括第四TFT，第四TFT位于第二电路层，且第三TFT和第四TFT在承载面30a的正投影至少部分重叠。也即是，第三TFT和第四TFT也组成一个叠层结构。

示例性地，图5是本公开实施例提供的相邻两个驱动单元的关系示意图。如图5所示，第一驱动单元a1包括TFT1～7，第二驱动单元a2包括驱动单元8～14，其中，TFT1和TFT2属于一个叠层结构，TFT3和TFT4属于一个叠层结构，TFT5和TFT6属于一个叠层结构，TFT7和TFT8属于一个叠层结构，TFT9和TFT10属于一个叠层结构，TFT11和TFT12属于一个叠层结构，TFT13和TFT14属于一个叠层结构。

下面以每个驱动单元包括7个TFT为例，对每个驱动单元中的TFT在第一电路层和第二电路层中的分布情况进行示例性说明，即以每个驱动单元均采用7T1C驱动电路为例进行说明。

图6是本公开实施例提供的一种7T1C像素驱动电路的电路图。参见图6，驱动电路包括第一补偿TFT T1、第一复位TFT T2、驱动TFT T3、第一开关TFT T4、第一发光控制TFTT5、第二发光控制TFT T6、第二复位TFT T7和电容Cst。

第一补偿TFT T1的控制极与栅线Gate电连接，第一补偿TFT T1的第一极与第三节点N3电连接，第一补偿TFT T1的第二极与第一节点N1电连接。

第一复位TFT T2的控制极与第一复位信号线连接，用于接收复位Reset<1>信号，第一复位TFT T2的第一极通过初始化电压端(Vinit)与初始电压信号线电连接，第一复位TFT T2的第二极与第一节点N1电连接。

驱动TFT T3的控制极与第一节点N1电连接，驱动TFT T3的第一极与第二节点N2电连接，驱动TFT T3的第二极与第三节点N3电连接。

第一开关TFT T4的控制极与栅线Gate电连接，第一开关TFT T4的第一极通过数据输入端(Vdata)与一根数据线电连接，第一开关TFT T4的第二极和第二节点N2电连接。

第一发光控制TFT T5的控制极通过发光控制信号端(EM)与发光控制信号线电连接，第一发光控制TFT T5的第一极与第二节点N2电连接，第一发光控制TFT T5的第二极与第五节点N5电连接。第五节点N5与第二电压信号端(ELVDD)电连接。

第二发光控制TFT T6的控制极用于与发光控制信号端(EM)电连接，第二发光控制TFT T6的第一极与第三节点N3电连接，第二发光控制TFT T6的第二极与第四节点N4电连接。

第二复位TFT T7的控制极与第二复位信号线连接，用于接收复位Reset<2>信号，第二复位TFT T7的第一极通过初始化电压端(Vinit)与初始电压信号线电连接，第二复位TFT T7的第二极与第四节点N4电连接。

电容Cst的第一极板与第五节点N5电连接，电容Cst的第二极板与第一节点N1电连接。

驱动电路还包括有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，OLED)，第四节点N4与OLED的一端电连接，OLED的一端与第一电压信号端(ELVSS)电连接。

其中，控制极为栅极，第一极为源极、第二极为漏极；或者，控制极为栅极、第一极为漏极、第二极为源极。

各个TFT可以采用以下任一种方式布置，从而使像素驱动电路中的多个TFT分布在第一电路层和第二电路层，节约电路布局空间：

方式一：一个叠层结构内TFT T3位于第二电路层，TFT T6位于第一电路层；另一个叠层结构内TFT T2位于第二电路层，TFT T7位于第一电路层；另一个叠层结构内TFT T4位于第二电路层，TFT T5位于第一电路层；TFT T1位于第一电路层或者第二电路层。

方式二：一个叠层结构内TFT T3位于第二电路层，TFT T5位于第一电路层；另一个叠层结构内TFT T1位于第二电路层，TFT T2位于第一电路层；另一个叠层结构内TFT T6位于第二电路层，TFT T7位于第一电路层；TFT T4位于第一电路层或者第二电路层。

方式三：一个叠层结构内TFT T3位于第二电路层，TFT T4位于第一电路层；另一个叠层结构内TFT T1位于第二电路层，TFT T2位于第一电路层；另一个叠层结构内TFT T6位于第二电路层，TFT T7位于第一电路层；TFT T5位于第一电路层或者第二电路层。

方式四：一个叠层结构内TFT T3位于第二电路层，TFT T1位于第一电路层；另一个叠层结构内TFT T2位于第二电路层，TFT T7位于第一电路层；另一个叠层结构内TFT T4位于第二电路层，TFT T5位于第一电路层；TFT T6位于第一电路层或者第二电路层。

在这四种方式中，将驱动TFT T3置于第二电路层，以保证驱动TFT T3的性能。并且，将相互电连接的两个TFT布置在一个叠层结构内，以便于实现两个TFT之间的电连接。

以上任一叠层结构中，位于第一电路层的TFT为前述第一TFT，位于第二电路层的TFT为前述第二TFT。

本公开实施例还提供了一种驱动背板的制作方法，图7是本公开实施例提供的一种驱动背板的制作方法的流程图。该方法可以用于制作图2至图4中的任一驱动背板。如图7所示，该制作方法包括：

在步骤71中，提供衬底基板；

在步骤72中，在衬底基板的承载面上依次形成第一电路层和第二电路层，得到驱动电路层。

其中，驱动电路层包括多个驱动单元，多个驱动单元中的任一驱动单元包括第一遮光结构、第一TFT、第二遮光结构和第二TFT。第一遮光结构和第一TFT位于第一电路层，第一遮光结构位于第一TFT的靠近衬底基板的一侧，且第一TFT的有源层在承载面上的正投影位于第一遮光结构在承载面上的正投影内；第二遮光结构和第二TFT位于第二电路层，第二遮光结构位于第二TFT的靠近衬底基板的一侧，且第二TFT的有源层在承载面上的正投影位于第二遮光结构在承载面上的正投影内。

在一些示例中，该步骤71可以包括：在玻璃基板上涂覆一层PI层，以得到柔性的衬底基板。

在一些示例中，该步骤72可以包括：在衬底基板上依次形成第一遮光层、第一绝缘层、第一半导体层、第二绝缘层、第一栅极层、第一栅极绝缘层、第一介电层、第一源漏极层、第一平坦化层、第二遮光层、第三绝缘层、第二半导体层、第四绝缘层、第二栅极层、第二栅极绝缘层、第二介电层、第二源漏极层和第二平坦化层。

本公开实施例还提供了一种显示面板，该显示面板包括前述任一种驱动背板和位于驱动背板上的发光功能层，发光功能层包括多个发光单元。每个发光单元与一个驱动单元连接。示例性地，每个发光单元均包括阳极、发光层和阴极。

图8是本公开实施例提供的一种显示面板的结构示意图。如图8所示，该显示面板包括驱动背板和位于驱动背板上的发光功能层。其中，驱动背板的结构与图2所示结构相同。

发光功能层包括依次层叠在第二电路层上的阳极层401、像素定义层402、发光层403和阴极层404。像素定义层402中具有多个开口，每个开口中设置有一个发光单元。发光单元的阳极的至少部分位于开口中，发光单元的发光层403位于开口中。各个发光单元的阴极相互连接，形成整面的电极，即阴极层404。

可选地，该发光功能层还可以包括支撑膜层405。该支撑膜层405位于像素定义层402和阴极层404之间，用于在形成发光层403时支撑用于蒸镀发光层材料的FMM(FineMetal Mask，高精度金属掩模板)。

示例性地，阳极层401可以为金属层，例如Cu、Ag、Ti等。

示例性地，发光层可以包括空穴传输层(Hole Transport Layer，简称HTL)、空穴注入层(Hole Injection Layer，简称HIL)、电子传输层(Electron Transport Layer，简称ETL)、电子注入层(Electron Injection Layer，简称EIL)、空穴阻挡层(Hole BlockLayer，简称HBL)、电子阻挡层(Electron Blocking Layer，简称EBL)和发光材料层。电子注入层、电子传输层、空穴阻挡层、发光材料层、空穴传输层、空穴注入层和电子阻挡层依次层叠。

示例性地，阴极层404可以为透明导电层，例如ITO层或者IZO层等。

需要说明的是，图8中的驱动背板也可以替换为图3或者图4所示的结构。

本公开实施例还提供了一种显示面板的制作方法。该方法包括：在驱动背板上依次形成阳极层、像素定义层、发光层和阴极层。

可选地，该显示面板还包括依次位于发光功能层上的封装层和触控层。

通过显示面板上设置触控层，可以获得具有触控功能的显示面板。本公开实施例对触控层的结构不做限制。

本公开实施例还提供了一种显示装置，该显示装置包括前述任一种显示面板和供电电路，供电电路用于为显示面板供电。

示例性的，本公开实施例提供的显示装置可以为手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。

该显示装置具有前述驱动背板相同的效果，在此不再赘述。

以上所述仅为本公开的可选实施例，并不用以限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。

Claims (15)

1.一种驱动背板，其特征在于，所述驱动背板包括：衬底基板和驱动电路层，所述驱动电路层包括依次层叠在所述衬底基板的承载面上第一电路层和第二电路层；

所述驱动电路层包括多个驱动单元，所述多个驱动单元中的任一驱动单元包括第一遮光结构、第一薄膜晶体管、第二遮光结构和第二薄膜晶体管；

所述第一遮光结构和所述第一薄膜晶体管位于所述第一电路层，所述第一遮光结构位于所述第一薄膜晶体管的靠近所述衬底基板的一侧，且所述第一薄膜晶体管的有源层在所述承载面上的正投影位于所述第一遮光结构在所述承载面上的正投影内；

所述第二遮光结构和所述第二薄膜晶体管位于所述第二电路层，所述第二遮光结构位于所述第二薄膜晶体管的靠近所述衬底基板的一侧，且所述第二薄膜晶体管的有源层在所述承载面上的正投影位于所述第二遮光结构在所述承载面上的正投影内。

2.根据权利要求1所述的驱动背板，其特征在于，所述第一遮光结构和所述第二遮光结构在所述承载面上的正投影至少部分重叠，所述第一薄膜晶体管和所述第二薄膜晶体管在所述承载面上的正投影至少部分重叠。

3.根据权利要求1所述的驱动背板，其特征在于，所述第一遮光结构采用导电材料制成，所述驱动单元还包括第一引出电极，所述第一引出电极与所述第一遮光结构连接；或者，

所述第二遮光结构采用导电材料制成，所述驱动单元还包括第二引出电极，所述第二引出电极与所述第二遮光结构连接。

4.根据权利要求1所述的驱动背板，其特征在于，所述第一遮光结构和所述第二遮光结构均采用导电材料制成；

所述驱动单元还包括第一引出电极、第二引出电极和引出电极连接结构；

所述第一引出电极与所述第一遮光结构连接；

所述第二引出电极与所述第二遮光结构连接；

所述引出电极连接结构分别与所述第一引出电极和所述第二引出电极连接。

5.根据权利要求3或4所述的驱动背板，其特征在于，所述第一引出电极与所述第一薄膜晶体管的栅极同层，或者，与所述第一薄膜晶体管的源漏极同层；

所述第二引出电极与所述第二薄膜晶体管的栅极同层，或者，与所述第二薄膜晶体管的源漏极同层。

6.根据权利要求5所述的驱动背板，其特征在于，所述引出电极连接结构与所述第二遮光结构同层。

7.根据权利要求1至4任一项所述的驱动背板，其特征在于，所述驱动单元还包括层间连接电极，所述第一薄膜晶体管和所述第二薄膜晶体管通过所述层间连接电极电连接。

8.根据权利要求7所述的驱动背板，其特征在于，所述层间连接电极与所述第二遮光结构同层。

9.根据权利要求1至4任一项所述的驱动背板，其特征在于，所述多个驱动单元包括相邻的第一驱动单元和第二驱动单元；

所述第一驱动单元还包括第三薄膜晶体管，所述第三薄膜晶体管位于所述第一电路层；

所述第二驱动单元还包括第四薄膜晶体管，所述第四薄膜晶体管位于所述第二电路层，且所述第三薄膜晶体管和所述第四薄膜晶体管在所述承载面的正投影至少部分重叠。

10.根据权利要求1至4任一项所述的驱动背板，其特征在于，所述第二薄膜晶体管为氧化物晶体管，所述第一薄膜晶体管为低温多晶硅晶体管。

11.根据权利要求1至4任一项所述的驱动背板，其特征在于，所述第二薄膜晶体管为驱动薄膜晶体管，所述第一薄膜晶体管为所述驱动单元中除了所述驱动薄膜晶体管之外的与所述驱动薄膜晶体管相连的任一薄膜晶体管。

12.根据权利要求1至4任一项所述的驱动背板，其特征在于，所述第一电路层包括依次层叠在衬底基板上的所述第一遮光层、第一绝缘层、第一半导体层、第二绝缘层、第一栅极层、第一栅极绝缘层和第一源漏极层，所述第一遮光结构位于所述第一遮光层，所述第一薄膜晶体管的有源层位于所述第一半导体层，所述第一薄膜晶体管的栅极位于所述第一栅极层，所述第一薄膜晶体管的源极和漏极位于所述第一源漏极层；

所述第二电路层包括依次层叠在所述第一电路层上的第二遮光层、第三绝缘层、第二半导体层、第四绝缘层、第二栅极层、第二栅极绝缘层和第二源漏极层，所述第二遮光结构位于所述第二遮光层，所述第二薄膜晶体管的有源层位于所述第二半导体层，所述第二薄膜晶体管的栅极位于所述第二栅极层，所述第二薄膜晶体管的源极和漏极位于所述第二源漏极层；

其中，所述第一遮光层和所述第二遮光层的图案相同，所述第一半导体层和所述第二半导体层的图案相同，所述第一栅极层和所述第二栅极层的图案相同，所述第一源漏极层和所述第二源漏极层的图案相同。

13.一种驱动背板的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

提供衬底基板；

在所述衬底基板的承载面上依次形成第一电路层和第二电路层，得到驱动电路层；

其中，所述驱动电路层包括多个驱动单元，所述多个驱动单元中的任一驱动单元包括第一遮光结构、第一薄膜晶体管、第二遮光结构和第二薄膜晶体管；

所述第一遮光结构和所述第一薄膜晶体管位于所述第一电路层，所述第一遮光结构位于所述第一薄膜晶体管的靠近所述衬底基板的一侧，且所述第一薄膜晶体管的有源层在所述承载面上的正投影位于所述第一遮光结构在所述承载面上的正投影内；

所述第二遮光结构和所述第二薄膜晶体管位于所述第二电路层，所述第二遮光结构位于所述第二薄膜晶体管的靠近所述衬底基板的一侧，且所述第二薄膜晶体管的有源层在所述承载面上的正投影位于所述第二遮光结构在所述承载面上的正投影内。

14.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括如权利要求1至12任一项所述的驱动背板和依次层叠在所述驱动背板上的发光功能层、封装层和触控层。

15.一种显示装置，其特征在于，所述显示装置包括如权利要求14所述的显示面板和供电电路，所述供电电路用于为所述显示面板供电。

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