CN115976495B - 一种用于微纳光栅阴极组件的ald镀膜夹具 - Google Patents
一种用于微纳光栅阴极组件的ald镀膜夹具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN115976495B CN115976495B CN202211628960.3A CN202211628960A CN115976495B CN 115976495 B CN115976495 B CN 115976495B CN 202211628960 A CN202211628960 A CN 202211628960A CN 115976495 B CN115976495 B CN 115976495B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- upper cover
- micro
- cover plate
- tray
- halation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 45
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 37
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 title abstract description 32
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 29
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 15
- 239000010408 film Substances 0.000 description 22
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 7
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 4
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 4
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 3
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- 230000004297 night vision Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明公开了一种用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具，包括下底板、上盖板和托盘，下底板上设置有用于容纳防光晕输入玻璃窗的凹槽，上盖板上设置有通孔，微纳光栅基片设置于防光晕输入玻璃窗的顶部且防光晕输入玻璃窗的顶部与微纳光栅基片均卡接于通孔内，下底板与上盖板可拆卸连接，托盘上设置有容纳槽，容纳槽的小孔卡接下底板和上盖板，托盘可拆卸层叠设置有若干层。本发明的镀膜过程中，只需要对露出上盖板的微纳光栅基片结构面进行镀膜，其他区域不需要镀膜，上盖板可覆盖保护非镀膜区域，防止镀膜过程中非镀膜区域有膜层沉积；托盘可拆卸层叠设有若干层，可提高有限空间的利用率。
Description
技术领域
本发明涉及ALD镀膜夹具的技术领域，特别是涉及一种用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具。
背景技术
作为超二代微光夜视仪的重要组成部件，微纳光栅阴极组件由防光晕玻璃输入窗和微纳光栅基片键合而成，根据产品的设计需要，在微纳光栅表面需要进行ALD镀膜，以完成更好的外界光的利用率，从而提升产品的灵敏度。
由于在微纳光栅阴极组件的后续封装和使用中，防光晕输入窗的中间面和柱面上不允许有膜层沉积或毛刺异物，这些(膜层沉积或毛刺异物)会引起放电，真空封接时影响封接可靠性，导致产品性能降低或失效。所以在对微纳光栅阴极组件的表面镀膜中需要对非镀膜区域进行保护，避免镀膜过程中非镀膜区域的膜层沉积。ALD(AtomicLayerdeposition)为原子层沉积，是通过化学气相前驱体在基底表面发生化学反应而生成薄膜，故在对微纳光栅阴极组件进行ALD镀膜时，需要对非镀膜区域进行适当的密封保护，防止化学气体渗入发生反应沉积。微纳光栅阴极组件作为光学元件，对其外观质量有较高的要求，镀膜前后的取放片需要避免造成产品的外观损伤，以避免良率的损失。
综上，为解决微纳光栅阴极组件ALD镀膜中的若干问题，亟需设计一种用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具。
发明内容
本发明的目的是提供一种用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具，以解决上述现有技术存在的问题，可以有效防止镀膜过程中非镀膜区域有膜层沉积，提高镀膜产品的性能。
为实现上述目的，本发明提供了如下方案：
本发明提供了一种用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具，包括下底板、上盖板和托盘，所述下底板上设置有用于容纳防光晕输入玻璃窗的凹槽，所述上盖板上设置有通孔，微纳光栅基片设置于防光晕输入玻璃窗的顶部且所述防光晕输入玻璃窗的顶部与所述微纳光栅基片均卡接于所述通孔内，所述下底板与所述上盖板可拆卸连接，所述托盘上设置有容纳槽，所述容纳槽的小孔卡接所述下底板和所述上盖板，所述托盘可拆卸层叠设置有若干层。
优选的，所述下底板与所述上盖板之间设置有密封圈，所述密封圈位于各个所述通孔的外围。
优选的，所述防光晕输入玻璃窗的底部边缘与所述下底板之间设置有密封圈。
优选的，所述防光晕输入玻璃窗的顶部外围设置有台阶，所述台阶与所述上盖板之间设置有密封圈。
优选的，所述密封圈的材料包括氟胶。
优选的，所述防光晕输入玻璃窗为上小下大的锥面，所述通孔的形状和尺寸与所述锥面相匹配。
优选的，所述上盖板与所述下底板的外部轮廓相同且边缘通过螺栓连接。
优选的，所述上盖板与所述下底板的材料包括铝合金和聚酰亚胺。
优选的，所述托盘上设置有若干个所述容纳槽，所述上盖板上设置有若干个所述通孔。
优选的，所述托盘的边缘上方插接有若干个插接柱、下方均布有若干个插接槽，下层托盘的所述插接柱能够插接于上层托盘的插接槽内，所述插接柱设置有不同的长度规格。
优选的，所述托盘的边缘上均布有若干个螺纹通孔，每个螺纹通孔内螺纹连接有一螺纹柱，下层托盘的所述螺纹柱能够螺纹连接于上层托盘的螺纹通孔内。
本发明相对于现有技术取得了以下技术效果：
本发明的镀膜过程中，只需要对露出上盖板的微纳光栅基片结构面进行镀膜，其他区域不需要镀膜，上盖板可覆盖保护非镀膜区域，防止镀膜过程中非镀膜区域有膜层沉积；托盘可拆卸层叠设有若干层，可提高有限空间的利用率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具的爆炸示意图；
图2为本发明用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具的装配示意图；
图3为本发明中微纳光栅阴极组件的结构示意图；
图4为本发明用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具的第一种结构示意图；
图5为本发明用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具的第二种结构示意图；
图6为本发明中托盘的结构示意图；
图7为本发明中ALD镀膜夹具与托盘的装配过程结构示意图；
图8为本发明中多个托盘的装配过程结构示意图；
其中：1-防光晕输入玻璃窗，2-微纳光栅基片，3-下底板，4-密封圈，5-上盖板，6-螺栓，7-托盘，8-插接柱，9-容纳槽。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明的目的是提供一种用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具，以解决现有技术存在的问题，可以有效防止镀膜过程中非镀膜区域有膜层沉积，提高镀膜产品的性能。
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。
如图1至图8所示：本实施例提供了一种用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具，包括下底板3、上盖板5和托盘7，下底板3上设置有用于容纳
防光晕输入玻璃窗1的凹槽，上盖板5上设置有通孔，微纳光栅基片2(粘5贴)设置于防光晕输入玻璃窗1的顶部且防光晕输入玻璃窗1的顶部与微
纳光栅基片2均卡接于通孔内，下底板3与上盖板5可拆卸连接，托盘7上设置有容纳槽9，容纳槽9的小孔卡接下底板3和上盖板5，托盘7可拆卸层叠设置有若干层。
下底板3与上盖板5之间设置有密封圈4，密封圈4位于各个通孔的外0围。防光晕输入玻璃窗1的底部边缘与下底板3之间设置有密封圈4，用于
支撑微纳光栅阴极组件大面，防止其与治具接触划伤。防光晕输入玻璃窗1上盖板5之间的密封连接结构有两种，第一种为，防光晕输入玻璃窗1的顶部外围设置有台阶，台阶与上盖板5之间设置有密封圈4。第二种为，防
光晕输入玻璃窗1为上小下大的锥面，通孔的形状和尺寸与锥面相匹配，5取消密封圈4，上盖板5与防光晕玻璃输入窗顶部斜面接触密封。密封圈4的材料为耐高温的材料，包括但不限于氟胶；密封圈4的形状根据微纳光栅阴极组件、下底板3和上盖板5的形状决定，本实施例的密封圈4为O型圈，起密封作用，可以保护非镀膜区域，防止镀膜过程中有化学气体从镀膜窗口渗入内部进行沉积。
0上盖板5与下底板3的外部轮廓相同且边缘通过螺栓6连接，有预紧
力，密封性更好。上盖板5与下底板3的材料包括但不限于铝合金和聚酰亚胺，材料可以耐微纳光栅阴极组件镀膜的工艺温度(200℃)。托盘7上设置有若干个容纳槽9，上盖板5上设置有若干个通孔，可以根据实际镀膜机台的托盘7大小灵活设计多片式，以提高镀膜产能。
5本实施例中的托盘7层间距可调整，第一种结构为：托盘7的边缘上
方插接有若干个插接柱8、下方均布有若干个插接槽，下层托盘的插接柱8能够插接于上层托盘的插接槽内，插接柱8设置有不同的长度规格。第二种结构为：托盘7的边缘上均布有若干个螺纹通孔，每个螺纹通孔内螺纹连接有一螺纹柱，下层托盘的螺纹柱能够螺纹连接于上层托盘的螺纹通孔内。通过改变立柱或螺纹柱伸出的高度调整镀膜面上侧间隙的高度(本实施例中的间隙的高度范围为10mm-20mm)，以获得较好均匀性的同时实现有限空间的最大利用率。
本实施例的用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具的使用方法如下：
先将下底板3的边缘和凹槽内的密封圈4放置好，然后分别将待镀膜的微纳光栅阴极组件用镊子夹取，大面朝下，小心放置在下底板3的凹槽内，再将密封圈4分别放置在上盖板5镀膜窗口内侧的台阶上，然后将上盖板5与下底板3通过螺丝拧紧组成镀膜夹具装配体；如图7和图8所示，将装配好的镀膜夹具装配体镀膜面朝上分别放置在托盘7的对应容纳槽9内，最后将若干装好镀膜夹具装配体的托盘7堆叠组合放入ALD镀膜设备腔体中，进行镀膜。本实施例的镀膜过程中，只需要对露出上盖板5的微纳光栅基片2结构面进行镀膜，其他区域不需要镀膜，上盖板5可覆盖保护非镀膜区域，防止镀膜过程中非镀膜区域有膜层沉积；托盘7可拆卸层叠设有若干层，可提高有限空间的利用率。
本说明书中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
Claims (5)
1.一种用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具，其特征在于：包括下底板、上盖板和托盘，所述下底板上设置有用于容纳防光晕输入玻璃窗的凹槽，所述上盖板上设置有通孔，微纳光栅基片设置于防光晕输入玻璃窗的顶部且所述防光晕输入玻璃窗的顶部与所述微纳光栅基片均卡接于所述通孔内，所述下底板与所述上盖板可拆卸连接，所述托盘上设置有容纳槽，所述容纳槽的小孔卡接所述下底板和所述上盖板，所述托盘可拆卸层叠设置有若干层；所述下底板与所述上盖板之间设置有密封圈，所述密封圈位于各个所述通孔的外围；所述防光晕输入玻璃窗的顶部外围设置有台阶，所述台阶与所述上盖板之间设置有密封圈；或者，所述防光晕输入玻璃窗为上小下大的锥面，所述通孔的形状和尺寸与所述锥面相匹配；所述防光晕输入玻璃窗的底部边缘与所述下底板之间设置有密封圈；微纳光栅基片的待镀膜面与上盖板的外表面齐平；防光晕输入玻璃窗在所述密封圈的支撑下悬置于所述凹槽内，且仅所述防光晕输入玻璃窗的底部位于所述凹槽内，所述上盖板与所述下底板的外部轮廓相同且边缘通过螺栓连接；所述上盖板与所述下底板的材料包括铝合金和聚酰亚胺。
2.根据权利要求1所述的用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具，其特征在于：所述密封圈的材料包括氟胶。
3.根据权利要求1所述的用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具，其特征在于：所述托盘上设置有若干个所述容纳槽，所述上盖板上设置有若干个所述通孔。
4.根据权利要求1所述的用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具，其特征在于：所述托盘的边缘上方插接有若干个插接柱、下方均布有若干个插接槽，下层托盘的所述插接柱能够插接于上层托盘的插接槽内，所述插接柱设置有不同的长度规格。
5.根据权利要求1所述的用于微纳光栅阴极组件的ALD镀膜夹具，其特征在于：所述托盘的边缘上均布有若干个螺纹通孔，每个螺纹通孔内螺纹连接有一螺纹柱，下层托盘的所述螺纹柱能够螺纹连接于上层托盘的螺纹通孔内。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211628960.3A CN115976495B (zh) | 2022-12-19 | 2022-12-19 | 一种用于微纳光栅阴极组件的ald镀膜夹具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211628960.3A CN115976495B (zh) | 2022-12-19 | 2022-12-19 | 一种用于微纳光栅阴极组件的ald镀膜夹具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN115976495A CN115976495A (zh) | 2023-04-18 |
| CN115976495B true CN115976495B (zh) | 2024-04-12 |
Family
ID=85969321
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202211628960.3A Active CN115976495B (zh) | 2022-12-19 | 2022-12-19 | 一种用于微纳光栅阴极组件的ald镀膜夹具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN115976495B (zh) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1001359A (en) * | 1961-07-21 | 1965-08-18 | Minnesota Mining & Mfg | Refractory carbides |
| CN101008081A (zh) * | 2007-01-29 | 2007-08-01 | 刘卓 | 硅片生产中使用的石墨舟 |
| CN203049028U (zh) * | 2012-12-29 | 2013-07-10 | 东莞市广正模具塑胶有限公司 | 一种单镀叠镀两用的电镀夹具 |
| CN205501413U (zh) * | 2016-04-01 | 2016-08-24 | 深圳市三海科技有限公司 | 一种镀膜机立式桶装工件架台阶免镀工件装夹治具结构 |
| CN209144254U (zh) * | 2018-12-13 | 2019-07-23 | 宜昌市蓝德光电机械有限公司 | 多工位镀膜夹具 |
-
2022
- 2022-12-19 CN CN202211628960.3A patent/CN115976495B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1001359A (en) * | 1961-07-21 | 1965-08-18 | Minnesota Mining & Mfg | Refractory carbides |
| CN101008081A (zh) * | 2007-01-29 | 2007-08-01 | 刘卓 | 硅片生产中使用的石墨舟 |
| CN203049028U (zh) * | 2012-12-29 | 2013-07-10 | 东莞市广正模具塑胶有限公司 | 一种单镀叠镀两用的电镀夹具 |
| CN205501413U (zh) * | 2016-04-01 | 2016-08-24 | 深圳市三海科技有限公司 | 一种镀膜机立式桶装工件架台阶免镀工件装夹治具结构 |
| CN209144254U (zh) * | 2018-12-13 | 2019-07-23 | 宜昌市蓝德光电机械有限公司 | 多工位镀膜夹具 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 《光学零件工艺手册》编写组.光学零件工艺手册 中.国防工业出版社,1977,第269页. * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN115976495A (zh) | 2023-04-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4165252A (en) | Method for chemically treating a single side of a workpiece | |
| US9457552B2 (en) | Method for detaching a product substrate off a carrier substrate | |
| JP3041221B2 (ja) | インサートを用いずにキャビティを形成する装置および方法 | |
| TWI740578B (zh) | 蒸鍍遮罩之製造方法、蒸鍍遮罩準備體、有機半導體元件之製造方法、有機電致發光顯示器之製造方法及蒸鍍遮罩 | |
| SE529882C2 (sv) | Anordning och förfarande för att fixera en matrisskiva vid elektroplätering | |
| CN115976495B (zh) | 一种用于微纳光栅阴极组件的ald镀膜夹具 | |
| US4184903A (en) | Method of fabricating a photovoltaic module of a substantially transparent construction | |
| US7960247B2 (en) | Die thinning processes and structures | |
| KR102000954B1 (ko) | 회로 모듈의 제조 방법 및 성막 장치 | |
| CN213977855U (zh) | 一种薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具 | |
| US20090165293A1 (en) | Electronic assembly manufacturing method | |
| CN106591777A (zh) | Led显示屏的镀膜治具及镀膜方法 | |
| CN214218848U (zh) | 镀膜治具及镀膜装置 | |
| CN114937610A (zh) | 芯片的制备方法及芯片 | |
| CN112553572A (zh) | 一种薄膜太阳能电池真空蒸镀掩膜板卡具及其制作方法 | |
| CN215560604U (zh) | 一种用于微型连接杆的pvd遮蔽治具 | |
| CN218893729U (zh) | 一种覆膜处理装置 | |
| CN214088651U (zh) | 溅射镀膜用夹治具 | |
| CN215141267U (zh) | 一种用于对回转体小零件的端面进行喷涂的夹具 | |
| CN220468121U (zh) | 一种真空镀遮蔽治具 | |
| CN210085576U (zh) | 一种水平载片舟及其托架结构 | |
| CN220149638U (zh) | 用于玻璃镜片的镀膜工装 | |
| CN210550634U (zh) | 一种具有弧度的光学镜片镀膜夹具 | |
| CN215925064U (zh) | 一种镜片镀膜夹具 | |
| CN217615484U (zh) | 一种棱镜镀膜工装 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |