CN115938985A - 一种晶圆目检用显微装置及其自动照明方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种晶圆目检用显微装置及其自动照明方法，涉及晶圆加工技术领域。该晶圆目检用显微装置及其自动照明方法，包括箱体，所述箱体内部固定连接有直线导轨，所述直线导轨内部滑动连接有滑动块，所述滑动块顶部固定连接有支架，所述支架顶部固定连接有固定板，所述固定板顶部设置有夹持组件，所述箱体顶部两侧均固定连接有竖板，所述竖板内部设置有螺纹杆，所述螺纹杆外侧套设有照明调节组件，所述箱体一侧固定连接有支板，所述支板顶部设置有目镜组件。该晶圆目检用显微装置及其自动照明方法，带动晶圆片移动到检测位，方便对晶圆片进行传输，有利于对照明灯的照射角度进行调节，方便观测，使用便捷。

Description

一种晶圆目检用显微装置及其自动照明方法

技术领域

本发明涉及一种晶圆检测装置，具体为一种晶圆目检用显微装置及其自动照明方法，属于晶圆加工技术领域。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在硅芯片上可加工制作成各种电路组件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。加工好的晶圆需要使用显微镜做外观检验。显微镜检验晶圆前，为防止晶圆放入显微镜载物台时，显微镜物镜镜头刮伤晶圆，要求显微镜载物台必须降到最低点，显微镜的物镜的倍率调为最低50x，后将载物台移至最右端，将晶圆放入载物台，重新将载物台移入物镜下，调整显微镜的倍数，焦距，方可开始检验动作。但是这种操作，动作要求过多，步骤烦琐，需要人工对晶圆片进行上料，定位，耗费时间。

并且现有晶圆辅助照明检测装置一般采用发光二极管、卤素灯等来进行照明，这种检测装置在照射之后会形成一个光斑，能够检查出晶圆表面的一些外观缺陷。为了改善检测效果，现有的晶圆辅助照明检测装置中的照明光源装置中都会采用有纹理(一般是网格状)的反光杯，以增强照明光源的照度。照明光源的位置一般也是固定的，不容易进行移动，操作使需要移动晶圆来检测晶圆上不同的位置，使用时很不方便。

发明内容

(一)解决的技术问题

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种晶圆目检用显微装置及其自动照明方法，以解决现有技术中对晶圆片的目检操作动作要求过多，步骤烦琐，需要人工对晶圆片进行上料，定位，耗费时间，照明光源的位置一般也是固定的，不容易进行移动，操作使需要移动晶圆来检测晶圆上不同的位置，使用时很不方便的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种晶圆目检用显微装置及其自动照明方法，包括箱体，所述箱体内部固定连接有直线导轨，所述直线导轨内部滑动连接有滑动块，所述滑动块顶部固定连接有支架，所述支架顶部固定连接有固定板，所述固定板顶部设置有夹持组件，所述箱体内部两侧均固定连接有LED灯，所述箱体一侧设置有传输带，所述传输带两侧均固定连接有侧板，所述箱体顶部两侧均固定连接有竖板，所述竖板内部设置有螺纹杆，所述螺纹杆外侧套设有照明调节组件，所述箱体一侧固定连接有支板，所述支板顶部设置有目镜组件。

优选地，所述夹持组件包括固定套、转动盘、转动杆、多个限位套和多个移动杆，所述固定套固定连接于固定板顶端，所述转动盘转动连接于固定套内部，所述转动杆贯穿固定套并与固定套转动连接，所述转动杆顶端与转动盘固定连接，多个所述限位套均固定连接于固定套内部，多个所述移动杆分别滑动连接于多个限位套内部，有利于对多个移动杆进行限位。

优选地，所述移动杆一端顶部固定连接有导向杆，所述限位套顶部开设有滑槽，所述导向杆贯穿滑槽并与滑槽滑动连接，所述转动盘内部开设有多个弧形槽，所述导向杆贯穿弧形槽并与弧形槽滑动连接，所述移动杆另一端顶部固定连接有固定杆，所述固定杆顶端固定连接有限位板，使弧形槽和滑槽对导向杆进行限位，从而使导向杆同时沿着滑槽和导向杆进行移动，使导向杆带动移动杆进行移动，从而带动限位板进行移动，对限位板进行限位。

优选地，所述箱体内部固定连接有滑轨，所述滑轨外侧滑动连接有移动架，所述固定套一侧与移动架固定连接，所述箱体内部一侧固定连接有开关，所述移动架与开关相对应，使移动架在滑轨外侧滑动，并且使移动架移动对开关进行按压。

优选地，所述照明调节组件包括移动壳、转动套、转块和照明灯，所述照明灯与开关电性连接，所述移动壳一侧固定连接有转动环，所述转动环内部通过单向轴承固定连接有螺纹环，所述移动壳内部另一侧固定连接有支撑环，所述支撑环内部通过单向轴承固定连接有转动套，所述转动套套设于螺纹杆外侧并与螺纹杆滑动连接，所述转动套内部固定连接有导向块，所述螺纹杆外侧开设有导向槽，所述导向块与导向槽相适配，有利于对转动套进行限位，使螺纹杆转动带动转动套转动。

优选地，所述照明灯顶部固定连接有转块，所述转块贯穿移动壳并与移动壳转动连接，所述转块顶端固定连接有第一锥齿轮，所述转动套一侧固定连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮套设于螺纹杆外侧并与螺纹杆滑动连接，所述第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合连接，使第二锥齿轮带动第一锥齿轮转动，第一锥齿轮转动带动转块转动，从而带动照明灯进行转动，有利于对照明灯进行限位。

优选地，所述螺纹杆一端转动连接有连接板，所述连接板一侧固定连接有支杆，所述支杆贯穿其中一个竖板并与竖板转动连接，另一个所述竖板内部转动连接有转轴，所述螺纹杆一端贯穿转轴并与转轴转动连接，有利于对螺纹杆进行限位支撑。

优选地，所述连接板外侧固定连接有半齿圈，所述竖板一侧转动连接有传动齿轮，所述传动齿轮与半齿圈啮合连接，所述连接板底部一侧固定连接有限位杆，所述移动壳后侧固定连接有导向板，所述限位杆贯穿导向板并与导向板转动连接，有利于对导向板进行限位，从而对移动壳进行限位。

优选地，所述目镜组件包括定位套、安装套、壳体、套筒、丝杆和显微镜，所述定位套转动连接于支板顶部，所述安装套固定连接于定位套外侧，所述壳体固定连接于安装套一侧，所述套筒转动连接于壳体内部，所述套筒底端固定连接有延伸杆，所述延伸杆贯穿定位套并与定位套转动连接，所述支板顶部固定连接有螺纹套，所述螺纹套顶端和延伸杆一端均固定连接有固定块，两个所述固定块啮合连接，所述套筒内部开设有多个竖槽，所述丝杆一端固定连接有多个滑板，多个所述滑板分别滑动连接于多个套筒内部，所述壳体前端固定连接有螺纹套，所述丝杆贯穿螺纹套并与螺纹套螺纹连接，所述丝杆一端固定连接有固定块，所述固定块一侧固定连接有夹套，所述显微镜设置于夹套内部。

一种晶圆目检用显微装置的自动照明方法，具体包括以下步骤：

步骤一、在检测时，先通过传输带对晶圆片进行传输，使传输带带动晶圆片移动，并且使晶圆片落到固定套顶部，转动杆转动带动转动盘进行转动，使转动盘转动时使弧形槽对导向杆进行限位，使转动盘带动导向杆进行移动，从而带动移动杆进行移动，移动杆带动固定杆移动，固定杆带动限位板进行移动，从而对晶圆片进行限位，直线导轨启动带动滑动块移动，从而带动晶圆片移动到检测位；

步骤二、通过螺纹杆正转带动转动环进行移动，转动环移动带动移动壳移动，从而使移动壳带动转块移动，转块移动带动照明灯移动，通过螺纹杆反转时，螺纹杆通过导向槽带动转动套转动，转动套转动带动第二锥齿轮转动，从而使第二锥齿轮带动第一锥齿轮转动，第一锥齿轮转动带动转块转动，从而带动照明灯转动，并且在晶圆片移动到观测位时，移动架移动到开关一侧对开关进行按压，从而使开关控制照明灯打开，通过传动齿轮启动带动半齿圈转动，半齿圈转动带动连接板转动，连接板转动带动限位杆移动，使限位杆带动导向板移动，从而使导向板带动照明灯进行移动；

步骤三、通过将壳体转动到观测位，使壳体带动安装套转动，安装套带动定位套转动，定位套转动时带动延伸杆移动，延伸杆移动带动固定块转动，从而使固定块对延伸杆进行限位，从而使延伸杆转动，延伸杆转动带动套筒转动，套筒转动带动滑板转动，从而使滑板带动丝杆转动，因为螺纹套对丝杆进行限位，使丝杆在转动时进行移动，从而使丝杆带动固定块移动，固定块移动带动夹套移动，从而带动显微镜进行移动。

本发明提供了一种晶圆目检用显微装置及其自动照明方法，其具备的有益效果如下：

1、该晶圆目检用显微装置及其自动照明方法，在检测时，先通过传输带对晶圆片进行传输，使传输带带动晶圆片移动，并且使晶圆片落到固定套顶部，转动杆转动带动转动盘进行转动，使转动盘转动时使弧形槽对导向杆进行限位，使转动盘带动导向杆进行移动，从而带动移动杆进行移动，移动杆带动固定杆移动，固定杆带动限位板进行移动，从而对晶圆片进行限位，直线导轨启动带动滑动块移动，从而带动晶圆片移动到检测位，方便对晶圆片进行传输。

2、该晶圆目检用显微装置及其自动照明方法，通过螺纹杆正转带动转动环进行移动，转动环移动带动移动壳移动，从而使移动壳带动转块移动，转块移动带动照明灯移动，通过螺纹杆反转时，螺纹杆通过导向槽带动转动套转动，转动套转动带动第二锥齿轮转动，从而使第二锥齿轮带动第一锥齿轮转动，第一锥齿轮转动带动转块转动，从而带动照明灯转动，从而可以对照明灯的照明角度进行调节，方便使用，可以照射需要观测的部位，减少暗面，提高观测效果，并且在晶圆片移动到观测位时，移动架移动到开关一侧对开关进行按压，从而使开关控制照明灯打开，便于观察，在不使用时节约能源。通过传动齿轮启动带动半齿圈转动，半齿圈转动带动连接板转动，连接板转动带动限位杆移动，使限位杆带动导向板移动，从而使导向板带动照明灯进行移动，有利于对照明灯的照射角度进行调节。

3、该晶圆目检用显微装置及其自动照明方法，通过将壳体转动到观测位，使壳体带动安装套转动，安装套带动定位套转动，定位套转动时带动延伸杆移动，延伸杆移动带动固定块转动，从而使固定块对延伸杆进行限位，从而使延伸杆转动，延伸杆转动带动套筒转动，套筒转动带动滑板转动，从而使滑板带动丝杆转动，因为螺纹套对丝杆进行限位，使丝杆在转动时进行移动，从而使丝杆带动固定块移动，固定块移动带动夹套移动，从而带动显微镜进行移动，有利于对显微镜的位置进行调节，方便观测，使用便捷，在不使用使可以减少空间占用。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的正视剖视图；

图3为本发明固定套的俯视剖视图；

图4为本发明移动杆的结构示意图。

图5为本发明俯视剖视图；

图6为本发明图2的A部结构放大图；

图7为本发明螺纹环的结构示意图；

图8为本发明移动壳的结构示意图；

图9为本发明转动套的结构示意图；

图10为本发明转动套的结构示意图；

图11为本发明固定套的结构示意图；

图12为本发明壳体的正视剖视图；

图13为本发明图12的B部结构放大图；

图14为本发明连接板的结构示意图。

图中：1、箱体；2、直线导轨；3、滑动块；4、支架；5、固定板；6、固定套；7、转动盘；8、转动杆；9、限位套；10、移动杆；11、滑槽；12、弧形槽；13、导向杆；14、固定杆；15、限位板；16、传输带；17、侧板；18、LED灯；20、滑轨；21、移动架；22、开关；23、竖板；24、转轴；25、螺纹杆；26、移动壳；27、转动环；28、螺纹环；29、转动套；30、支撑环；31、导向块；32、导向槽；33、转块；34、照明灯；35、第一锥齿轮；36、第二锥齿轮；37、连接板；38、限位杆；39、支杆；40、半齿圈；41、传动齿轮；42、支板；43、定位套；44、安装套；45、壳体；46、延伸杆；47、套筒；48、丝杆；49、滑板；50、竖槽；51、螺纹套；52、固定块；53、夹套；54、显微镜；55、导向板。

具体实施方式

本发明实施例提供一种晶圆目检用显微装置及其自动照明方法。

请参阅图1、图2、图3、图4和图5，包括箱体1，箱体1内部固定连接有直线导轨2，直线导轨2内部滑动连接有滑动块3，滑动块3顶部固定连接有支架4，支架4顶部固定连接有固定板5，固定板5顶部设置有夹持组件，夹持组件包括固定套6、转动盘7、转动杆8、多个限位套9和多个移动杆10，固定套6固定连接于固定板5顶端，转动盘7转动连接于固定套6内部，转动杆8贯穿固定套6并与固定套6转动连接，转动杆8顶端与转动盘7固定连接，多个限位套9均固定连接于固定套6内部，多个移动杆10分别滑动连接于多个限位套9内部，有利于对多个移动杆10进行限位，移动杆10一端顶部固定连接有导向杆13，限位套9顶部开设有滑槽11，导向杆13贯穿滑槽11并与滑槽11滑动连接，转动盘7内部开设有多个弧形槽12，导向杆13贯穿弧形槽12并与弧形槽12滑动连接，移动杆10另一端顶部固定连接有固定杆14，固定杆14顶端固定连接有限位板15，使弧形槽12和滑槽11对导向杆13进行限位，从而使导向杆13同时沿着滑槽11和导向杆13进行移动，使导向杆13带动移动杆10进行移动，从而带动限位板15进行移动，对限位板15进行限位，箱体1内部固定连接有滑轨20，滑轨20外侧滑动连接有移动架21，固定套6一侧与移动架21固定连接，箱体1内部一侧固定连接有开关22，移动架21与开关22相对应，使移动架21在滑轨20外侧滑动，并且使移动架21移动对开关22进行按压。

具体的，在检测时，先通过传输带16对晶圆片进行传输，使传输带16带动晶圆片移动，并且使晶圆片落到固定套6顶部，转动杆8转动带动转动盘7进行转动，使转动盘7转动时使弧形槽12对导向杆13进行限位，使转动盘7带动导向杆13进行移动，从而带动移动杆10进行移动，移动杆10带动固定杆14移动，固定杆14带动限位板15进行移动，从而对晶圆片进行限位，直线导轨2启动带动滑动块3移动，从而带动晶圆片移动到检测位，方便对晶圆片进行传输。

请再次参阅图1、图2、图3和图4、图6、图7、图8、图9、图10、图11和图14，箱体1内部两侧均固定连接有LED灯18，箱体1一侧设置有传输带16，传输带16两侧均固定连接有侧板17，箱体1顶部两侧均固定连接有竖板23，竖板23内部设置有螺纹杆25，螺纹杆25外侧套设有照明调节组件，照明调节组件包括移动壳26、转动套29、转块33和照明灯34，移动壳26一侧固定连接有转动环27，转动环27内部通过单向轴承固定连接有螺纹环28，移动壳26内部另一侧固定连接有支撑环30，支撑环30内部通过单向轴承固定连接有转动套29，转动套29套设于螺纹杆25外侧并与螺纹杆25滑动连接，转动套29内部固定连接有导向块31，螺纹杆25外侧开设有导向槽32，导向块31与导向槽32相适配，有利于对转动套29进行限位，使螺纹杆25转动带动转动套29转动，照明灯34顶部固定连接有转块33，转块33贯穿移动壳26并与移动壳26转动连接，转块33顶端固定连接有第一锥齿轮35，转动套29一侧固定连接有第二锥齿轮36，第二锥齿轮36套设于螺纹杆25外侧并与螺纹杆25滑动连接，第二锥齿轮36与第一锥齿轮35啮合连接，使第二锥齿轮36带动第一锥齿轮35转动，第一锥齿轮35转动带动转块33转动，从而带动照明灯34进行转动，有利于对照明灯34进行限位，螺纹杆25一端转动连接有连接板37，连接板37一侧固定连接有支杆39，支杆39贯穿其中一个竖板23并与竖板23转动连接，另一个竖板23内部转动连接有转轴24，螺纹杆25一端贯穿转轴24并与转轴24转动连接，有利于对螺纹杆25进行限位支撑，连接板37外侧固定连接有半齿圈40，竖板23一侧转动连接有传动齿轮41，传动齿轮41与半齿圈40啮合连接，连接板37底部一侧固定连接有限位杆38，移动壳26后侧固定连接有导向板55，限位杆38贯穿导向板55并与导向板55转动连接，有利于对导向板55进行限位，从而对移动壳26进行限位。

具体的，通过螺纹杆25正转带动转动环27进行移动，转动环27移动带动移动壳26移动，从而使移动壳26带动转块33移动，转块33移动带动照明灯34移动，通过螺纹杆25反转时，螺纹杆25通过导向槽32带动转动套29转动，转动套29转动带动第二锥齿轮36转动，从而使第二锥齿轮36带动第一锥齿轮35转动，第一锥齿轮35转动带动转块33转动，从而带动照明灯34转动，从而可以对照明灯34的照明角度进行调节，方便使用，可以照射需要观测的部位，减少暗面，提高观测效果，并且在晶圆片移动到观测位时，移动架21移动到开关22一侧对开关22进行按压，从而使开关22控制照明灯34打开，便于观察，在不使用时节约能源。通过传动齿轮41启动带动半齿圈40转动，半齿圈40转动带动连接板37转动，连接板37转动带动限位杆38移动，使限位杆38带动导向板55移动，从而使导向板55带动照明灯34进行移动，有利于对照明灯34的照射角度进行调节。

请再次参阅图1、图2、图5、图12和图13，箱体1一侧固定连接有支板42，支板42顶部设置有目镜组件，目镜组件包括定位套43、安装套44、壳体45、套筒47、丝杆48和显微镜54，定位套43转动连接于支板42顶部，安装套44固定连接于定位套43外侧，壳体45固定连接于安装套44一侧，套筒47转动连接于壳体45内部，套筒47底端固定连接有延伸杆46，延伸杆46贯穿定位套43并与定位套43转动连接，支板42顶部固定连接有螺纹套51，螺纹套51顶端和延伸杆46一端均固定连接有固定块52，两个固定块52啮合连接，套筒47内部开设有多个竖槽50，丝杆48一端固定连接有多个滑板49，多个滑板49分别滑动连接于多个套筒47内部，壳体45前端固定连接有螺纹套51，丝杆48贯穿螺纹套51并与螺纹套51螺纹连接，丝杆48一端固定连接有固定块52，固定块52一侧固定连接有夹套53，显微镜54设置于夹套53内部。

具体的，通过将壳体45转动到观测位，使壳体45带动安装套44转动，安装套44带动定位套43转动，定位套43转动时带动延伸杆46移动，延伸杆46移动带动固定块52转动，从而使固定块52对延伸杆46进行限位，从而使延伸杆46转动，延伸杆46转动带动套筒47转动，套筒47转动带动滑板49转动，从而使滑板49带动丝杆48转动，因为螺纹套51对丝杆48进行限位，使丝杆48在转动时进行移动，从而使丝杆48带动固定块52移动，固定块52移动带动夹套53移动，从而带动显微镜54进行移动，有利于对显微镜54的位置进行调节，方便观测，使用便捷，在不使用时可以减少空间占用。

一种晶圆目检用显微装置的自动照明方法，具体包括以下步骤：

步骤一、在检测时，先通过传输带16对晶圆片进行传输，使传输带16带动晶圆片移动，并且使晶圆片落到固定套6顶部，转动杆8转动带动转动盘7进行转动，使转动盘7转动时使弧形槽12对导向杆13进行限位，使转动盘7带动导向杆13进行移动，从而带动移动杆10进行移动，移动杆10带动固定杆14移动，固定杆14带动限位板15进行移动，从而对晶圆片进行限位，直线导轨2启动带动滑动块3移动，从而带动晶圆片移动到检测位；

步骤二、通过螺纹杆25正转带动转动环27进行移动，转动环27移动带动移动壳26移动，从而使移动壳26带动转块33移动，转块33移动带动照明灯34移动，通过螺纹杆25反转时，螺纹杆25通过导向槽32带动转动套29转动，转动套29转动带动第二锥齿轮36转动，从而使第二锥齿轮36带动第一锥齿轮35转动，第一锥齿轮35转动带动转块33转动，从而带动照明灯34转动，并且在晶圆片移动到观测位时，移动架21移动到开关22一侧对开关22进行按压，从而使开关22控制照明灯34打开，通过传动齿轮41启动带动半齿圈40转动，半齿圈40转动带动连接板37转动，连接板37转动带动限位杆38移动，使限位杆38带动导向板55移动，从而使导向板55带动照明灯34进行移动；

步骤三、通过将壳体45转动到观测位，使壳体45带动安装套44转动，安装套44带动定位套43转动，定位套43转动时带动延伸杆46移动，延伸杆46移动带动固定块52转动，从而使固定块52对延伸杆46进行限位，从而使延伸杆46转动，延伸杆46转动带动套筒47转动，套筒47转动带动滑板49转动，从而使滑板49带动丝杆48转动，因为螺纹套51对丝杆48进行限位，使丝杆48在转动时进行移动，从而使丝杆48带动固定块52移动，固定块52移动带动夹套53移动，从而带动显微镜54进行移动。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种晶圆目检用显微装置，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内部固定连接有直线导轨(2)，所述直线导轨(2)内部滑动连接有滑动块(3)，所述滑动块(3)顶部固定连接有支架(4)，所述支架(4)顶部固定连接有固定板(5)，所述固定板(5)顶部设置有夹持组件，所述箱体(1)内部两侧均固定连接有LED灯(18)，所述箱体(1)一侧设置有传输带(16)，所述传输带(16)两侧均固定连接有侧板(17)，所述箱体(1)顶部两侧均固定连接有竖板(23)，所述竖板(23)内部设置有螺纹杆(25)，所述螺纹杆(25)外侧套设有照明调节组件，所述箱体(1)一侧固定连接有支板(42)，所述支板(42)顶部设置有目镜组件。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆目检用显微装置，其特征在于：所述夹持组件包括固定套(6)、转动盘(7)、转动杆(8)、多个限位套(9)和多个移动杆(10)，所述固定套(6)固定连接于固定板(5)顶端，所述转动盘(7)转动连接于固定套(6)内部，所述转动杆(8)贯穿固定套(6)并与固定套(6)转动连接，所述转动杆(8)顶端与转动盘(7)固定连接，多个所述限位套(9)均固定连接于固定套(6)内部，多个所述移动杆(10)分别滑动连接于多个限位套(9)内部。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆目检用显微装置，其特征在于：所述移动杆(10)一端顶部固定连接有导向杆(13)，所述限位套(9)顶部开设有滑槽(11)，所述导向杆(13)贯穿滑槽(11)并与滑槽(11)滑动连接，所述转动盘(7)内部开设有多个弧形槽(12)，所述导向杆(13)贯穿弧形槽(12)并与弧形槽(12)滑动连接，所述移动杆(10)另一端顶部固定连接有固定杆(14)，所述固定杆(14)顶端固定连接有限位板(15)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆目检用显微装置，其特征在于：所述箱体(1)内部固定连接有滑轨(20)，所述滑轨(20)外侧滑动连接有移动架(21)，所述固定套(6)一侧与移动架(21)固定连接，所述箱体(1)内部一侧固定连接有开关(22)，所述移动架(21)与开关(22)相对应。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆目检用显微装置，其特征在于：所述照明调节组件包括移动壳(26)、转动套(29)、转块(33)和照明灯(34)，所述照明灯(34)与开关(22)电性连接，所述移动壳(26)一侧固定连接有转动环(27)，所述转动环(27)内部通过单向轴承固定连接有螺纹环(28)，所述移动壳(26)内部另一侧固定连接有支撑环(30)，所述支撑环(30)内部通过单向轴承固定连接有转动套(29)，所述转动套(29)套设于螺纹杆(25)外侧并与螺纹杆(25)滑动连接，所述转动套(29)内部固定连接有导向块(31)，所述螺纹杆(25)外侧开设有导向槽(32)，所述导向块(31)与导向槽(32)相适配。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆目检用显微装置，其特征在于：所述照明灯(34)顶部固定连接有转块(33)，所述转块(33)贯穿移动壳(26)并与移动壳(26)转动连接，所述转块(33)顶端固定连接有第一锥齿轮(35)，所述转动套(29)一侧固定连接有第二锥齿轮(36)，所述第二锥齿轮(36)套设于螺纹杆(25)外侧并与螺纹杆(25)滑动连接，所述第二锥齿轮(36)与第一锥齿轮(35)啮合连接。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆目检用显微装置，其特征在于：所述螺纹杆(25)一端转动连接有连接板(37)，所述连接板(37)一侧固定连接有支杆(39)，所述支杆(39)贯穿其中一个竖板(23)并与竖板(23)转动连接，另一个所述竖板(23)内部转动连接有转轴(24)，所述螺纹杆(25)一端贯穿转轴(24)并与转轴(24)转动连接。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆目检用显微装置，其特征在于：所述连接板(37)外侧固定连接有半齿圈(40)，所述竖板(23)一侧转动连接有传动齿轮(41)，所述传动齿轮(41)与半齿圈(40)啮合连接，所述连接板(37)底部一侧固定连接有限位杆(38)，所述移动壳(26)后侧固定连接有导向板(55)，所述限位杆(38)贯穿导向板(55)并与导向板(55)转动连接。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆目检用显微装置，其特征在于：所述目镜组件包括定位套(43)、安装套(44)、壳体(45)、套筒(47)、丝杆(48)和显微镜(54)，所述定位套(43)转动连接于支板(42)顶部，所述安装套(44)固定连接于定位套(43)外侧，所述壳体(45)固定连接于安装套(44)一侧，所述套筒(47)转动连接于壳体(45)内部，所述套筒(47)底端固定连接有延伸杆(46)，所述延伸杆(46)贯穿定位套(43)并与定位套(43)转动连接，所述支板(42)顶部固定连接有螺纹套(51)，所述螺纹套(51)顶端和延伸杆(46)一端均固定连接有固定块(52)，两个所述固定块(52)啮合连接，所述套筒(47)内部开设有多个竖槽(50)，所述丝杆(48)一端固定连接有多个滑板(49)，多个所述滑板(49)分别滑动连接于多个套筒(47)内部，所述壳体(45)前端固定连接有螺纹套(51)，所述丝杆(48)贯穿螺纹套(51)并与螺纹套(51)螺纹连接，所述丝杆(48)一端固定连接有固定块(52)，所述固定块(52)一侧固定连接有夹套(53)，所述显微镜(54)设置于夹套(53)内部。

10.一种晶圆目检用显微装置的自动照明方法，适用于如权利要求1-9所述任意一种晶圆目检用显微装置，其特征在于：具体包括以下步骤：

步骤一、在检测时，先通过传输带(16)对晶圆片进行传输，使传输带(16)带动晶圆片移动，并且使晶圆片落到固定套(6)顶部，转动杆(8)转动带动转动盘(7)进行转动，使转动盘(7)转动时使弧形槽(12)对导向杆(13)进行限位，使转动盘(7)带动导向杆(13)进行移动，从而带动移动杆(10)进行移动，移动杆(10)带动固定杆(14)移动，固定杆(14)带动限位板(15)进行移动，从而对晶圆片进行限位，直线导轨(2)启动带动滑动块(3)移动，从而带动晶圆片移动到检测位；

步骤二、通过螺纹杆(25)正转带动转动环(27)进行移动，转动环(27)移动带动移动壳(26)移动，从而使移动壳(26)带动转块(33)移动，转块(33)移动带动照明灯(34)移动，通过螺纹杆(25)反转时，螺纹杆(25)通过导向槽(32)带动转动套(29)转动，转动套(29)转动带动第二锥齿轮(36)转动，从而使第二锥齿轮(36)带动第一锥齿轮(35)转动，第一锥齿轮(35)转动带动转块(33)转动，从而带动照明灯(34)转动，并且在晶圆片移动到观测位时，移动架(21)移动到开关(22)一侧对开关(22)进行按压，从而使开关(22)控制照明灯(34)打开，通过传动齿轮(41)启动带动半齿圈(40)转动，半齿圈(40)转动带动连接板(37)转动，连接板(37)转动带动限位杆(38)移动，使限位杆(38)带动导向板(55)移动，从而使导向板(55)带动照明灯(34)进行移动；

步骤三、通过将壳体(45)转动到观测位，使壳体(45)带动安装套(44)转动，安装套(44)带动定位套(43)转动，定位套(43)转动时带动延伸杆(46)移动，延伸杆(46)移动带动固定块(52)转动，从而使固定块(52)对延伸杆(46)进行限位，从而使延伸杆(46)转动，延伸杆(46)转动带动套筒(47)转动，套筒(47)转动带动滑板(49)转动，从而使滑板(49)带动丝杆(48)转动，因为螺纹套(51)对丝杆(48)进行限位，使丝杆(48)在转动时进行移动，从而使丝杆(48)带动固定块(52)移动，固定块(52)移动带动夹套(53)移动，从而带动显微镜(54)进行移动。

Images