CN115903285A - 电光调制器和电光器件 - Google Patents

Abstract

一种电光调制器和电光器件。电光调制器包括：第一光波导、第二光波导和行波电极，其中行波电极包括相互间隔设置的第一接地电极、第一信号电极、第二信号电极、第二接地电极；并且第一光波导和第二光波导均布置在第一信号电极和第二信号电极之间。电光调制器沿其延伸方向具有多个延伸区段，多个延伸区段包括，多个直线区段和至少一个弯曲区段，每个弯曲区段分别设置在相邻的两个直线区段之间。根据本公开的一个或多个实施例，电光调制器由于采用了弯曲折叠设计，多个直线区段可以叠置在一起，因此相比传统型电光调制器，可以大大缩减长度方向的尺寸，从而降低了制作电光调制器的成本。

Description

电光调制器和电光器件

技术领域

本公开涉及电光调制技术，特别是涉及一种电光调制器和电光器件。

背景技术

电光调制器是利用某些电光晶体如铌酸锂晶体(LiNbO₃)、砷化稼晶体(GaAs)或钽酸锂晶体(LiTaO₃)的电光效应制成的调制器。当把电压加到电光晶体上时，电光晶体的折射率将发生变化，从而实现对光信号的相位、幅度、强度以及偏振状态等特性的调制。电光调制器中常见的一种调制器为马赫-曾德尔调制器，这种干涉仪式调制器主要是利用调制器中两臂的相位差完成相干加强和相干抵消的信号调制。

然而，随着人们对于高速、大容量、集成化通信技术日益的迫切需求，人们既希望尽量减小集成器件的尺寸，同时需要保证电光调制器的调制效果。这就对电极设计提出了很高的要求。

发明内容

提供一种缓解、减轻或者甚至消除上述问题中的一个或多个的机制将是有利的。

根据本公开的一方面，提供了一种电光调制器，包括：均沿着电光调制器的延伸方向延伸设置的第一光波导、第二光波导和行波电极，其中行波电极包括均沿着电光调制器的延伸方向延伸且相互间隔设置的第一接地电极、第一信号电极、第二信号电极、第二接地电极；并且第一光波导和第二光波导均布置在第一信号电极和第二信号电极之间，配置成使得在第一光波导和第二光波导内传输的光信号接受第一信号电极和第二信号电极之间的电压调制，其中，电光调制器沿其延伸方向具有多个延伸区段，多个延伸区段包括，多个直线区段和至少一个弯曲区段，每个弯曲区段分别设置在相邻的两个直线区段之间。

根据本公开的另一方面，提供了一种电光器件，包括如上的电光调制器。

根据本公开的一个或多个实施例，电光调制器由于采用了弯曲折叠设计，多个直线区段可以叠置在一起，因此相比传统型电光调制器，可以大大缩减长度方向的尺寸，从而降低了制作电光调制器的成本。

根据在下文中所描述的实施例，本公开的这些和其它方面将是清楚明白的，并且将参考在下文中所描述的实施例而被阐明。

附图说明

在下面结合附图对于示例性实施例的描述中，本公开的更多细节、特征和优点被公开，在附图中：

图1是根据本公开一个示例性实施例的电光调制器的示意性俯视图；

图2是根据本公开另一个示例性实施例的电光调制器的示意性俯视图；

图3是根据本公开一个示例性实施例的电光调制器的第一类型的直线区段的示意性俯视图；

图4是根据本公开一个示例性实施例的电光调制器的第二类型的直线区段的示意性俯视图；

图5是根据本公开又一个示例性实施例的电光调制器的示意性俯视图；

图6是根据本公开又一个示例性实施例的电光调制器的示意性俯视图；

图7是根据本公开一个示例性实施例的电光调制器的直线区段的示意性立体图；和

图8是根据本公开一个示例性实施例的电光器件的示意性框图。

具体实施方式

在本公开中，除非另有说明，否则使用术语“第一”、“第二”等来描述各种要素不意图限定这些要素的位置关系、时序关系或重要性关系，这种术语只是用于将一个元件与另一元件区分开。在一些示例中，第一要素和第二要素可以指向该要素的同一实例，而在某些情况下，基于上下文的描述，它们也可以指代不同实例。

在本公开中对各种示例的描述中所使用的术语只是为了描述特定示例的目的，而并非旨在进行限制。除非上下文另外明确地表明，如果不特意限定要素的数量，则该要素可以是一个也可以是多个。此外，本公开中所使用的术语“和/或”涵盖所列出的项目中的任何一个以及全部可能的组合方式。

电光调制相关的技术已经得到广泛发展和应用，比如光通信、微波光电子、激光束偏转、波前调制等。相关技术的马赫-曾德尔调制器中，采用一个信号电极和两个接地电极，以0(接地信号)、1(调制电压信号)、0(接地信号)方式输入信号，从而产生方向相反的两个电场，即下文所称“GSG”型电光调制器。利用相反的电场方向对分别位于这两个电场中的两个光路信号实现相反的调控，从而产生相位差，完成相干加强或相干抵消。

但要实现足够的相位差，需要较大的调制电压和较长的传输距离，已有的电光调制器存在着尺寸较大或调控效率低的缺点，难以满足目前市场上集成化、高效率的需求。

本公开的实施例提供了一种改进的电光调制器，可以缓解、减轻或者甚至消除上述缺点。

图1是根据示例性实施例的电光调制器1的示意性俯视图。参照图1，电光调制器1可以包括分光器110、合光器150、第一光波导120a、第二光波导120b、行波电极130。

行波电极130沿电光调制器1整体的延伸方向延伸，其具体可以包括均沿着电光调制器1的延伸方向延伸且相互间隔设置的第一接地电极131、第一信号电极132、第二信号电极133、第二接地电极134。第一光波导120a和第二光波导120b均布置在第一信号电极132和第二信号电极133之间，配置成使得在第一光波导120a和第二光波导120b内传输的光信号接受第一信号电极132和第二信号电极133之间的电压调制。具体地，在第一光波导120a和第二光波导120b内传输的光信号分别接受大小相等，但是方向相反的两种电压的调制，从而使得上述两个光信号之间产生相位差。

在本实施例中，由于第一光波导120a和第二光波导120b均布置在第一信号电极132和第二信号电极133之间，因此可以对第一光波导120a和第二光波导120b内传输的光信号施加两个信号电极的差分电压，从而提升效率。具体地，输入第一信号电极132和第二信号电极133的信号相反(一个为1，另一个为-1)。相较于传统的GSG型电光调制器(即，只存在一个信号电极，其设置在两个接地电极之间，而接地电极的信号为0)，本实施例中的电光调制器由于两个信号电极之间是差分信号，其信号大小基本上是传统的GSG型电光调制器中接地电极和信号电极之间信号大小的两倍，因此在第一信号电极132和第二信号电极133之间的两个光波导所产生的相位差将接近翻倍。因此，相较于传统的GSG型电光调制器，本实施例的差分电光调制器具有更高的调制效率。

上述电光调制器1沿其延伸方向还具有多个延伸区段，上述多个延伸区段包括：多个直线区段和至少一个弯曲区段，每个弯曲区段分别设置在相邻的两个直线区段之间。以图1所示的电光调制器1为例，其包括第一直线区段11、第二直线区段12和位于第一直线区段11和第二直线区段12之间的第一弯曲区段21。

可以理解，在本公开另外一些实施例中，上述多个延伸区段可以包括大于两个的直线区段。图2是根据另一示例性实施例的电光调制器1的示意性俯视图。如图2所示，该电光调制器1包括三个直线区段10和两个弯曲区段20，从而使得电光调制器1整体呈现“S”形的弯曲折叠。虽然在上述实施例中，弯曲区段20被设计成180°的弧线弯曲，从而使得多个直线区段10彼此平行，但是在另外一些实施例中，弯曲区段20还可以被设计成诸如90°、60°、45°等其他角度的弧线弯曲，也就是说，多个直线区段10可以彼此不平行。在一些实施例中，弯曲区段20还可以是非弧线弯曲，例如可以是直角弯折等。

根据本公开的一个或多个实施例，电光调制器1由于采用了弯曲折叠设计，多个直线区段可以叠置在一起，因此相比传统型电光调制器，可以大大缩减长度方向的尺寸，从而降低了制作电光调制器的制作成本。

继续参考图1，电光调制器1还包括：连接到第一信号电极132且间隔设置的多个第一电极延伸部141以及连接到第二信号电极133且间隔设置的多个第二电极延伸部142。多个第一电极延伸部141均朝向第二信号电极133延伸设置，并且每个第一电极延伸部141包括第一子电极141a和第二子电极141b。多个第二电极延伸部142均朝向第一信号电极132延伸设置，并且每个第二电极延伸部142包括第三子电极142a和第四子电极142b。

多个第一电极延伸部141和多个第二电极延伸部142可以均沿着光传输路径布置。优选地，第一电极延伸部141和第二电极延伸部142的数量相等，并且每个第一电极延伸部141均和对应的第二电极延伸部142构成一组。其中，第一电极延伸部141的第一子电极141a和第二电极延伸部142的第三子电极142a相对设置，第一子电极141a和第三子电极142a之间为第一光波导120a；第一电极延伸部141的第二子电极141b和第二电极延伸部142的第四子电极142b相对设置，第二子电极141b和第四子电极142b之间为第二光波导120b。优选地，上述第一子电极141a、第二子电极141b、第三子电极142a和第四子电极142b均沿着第一光波导120a和第二光波导120b相同的延伸方向延伸设置。

在一些实施例中，如图1所示，光输入信号经过分光器110后，被分为第一路光信号和第二路光信号，并分别沿第一光波导120a和第二光波导120b提供的光传输路径传输。在第一信号电极132和第二信号电极133上施加电压，并将第一接地电极131和第二接地电极134接地。第一信号电极132与第一子电极141a和第二子电极141b电连接，第二信号电极133与第三子电极142a和第四子电极142b电连接，从而使得各个子电极和与其电连接的行波电极具有相等的电势。第一路光信号和第二路光信号经过行波电极130的空隙中时，第一子电极141a和第三子电极142a可以对第一路光信号进行调制，第二子电极141b和第四子电极142b可以对第二路光信号进行调制。

在本公开的实施例中，将各个子电极分别设置在每路光波导的两侧，通过设置子电极的电连接结构，使得每路光波导两侧的子电极具有相反的电势，例如第一子电极141a和第三子电极142a分别具有U和-U的电势。此时每路光波导的两侧子电极之间的电势差为2U或-2U。更大的电势差引起的电光晶体的折射率变化更加剧烈，该电光晶体的光波特性变化也更加剧烈，因此可以更快达到理想的相位差。若要达到与现有技术中(例如GSG型电光调制器)同样的相位差，本公开的实施例中在相同条件下只需要更短的光信号传播距离，从而极大的减小了器件的尺寸，显著节省了空间。

如上所述，电光调制器1包括多个直线区段，这些直线区段可以分为两种类型，即第一类型的直线区段和第二类型的直线区段。图3示出了根据本公开一个实施例的第一类型的直线区段10a的示意图，图4示出了根据本公开一个实施例的第二类型的直线区段10b的示意图。为了便于描述，我们定义：第一光波导120a具有朝向第二光波导120b的第一侧和背离第二光波导120b的第二侧，第二光波导120b具有朝向第一光波导120a的第三侧和背离第一光波导120a的第四侧。如图3所示，第一类型的直线区段10a配置成其中第一子电极141a和第二子电极141b分别布置在第一光波导120a的第一侧和第二光波导120b的第三侧；并且第三子电极142a和第四子电极142b分别布置在第一光波导120a的第二侧和第二光波导120b的第四侧。如图4所示，第二类型的直线区段10b配置成其中第一子电极141a和第二子电极141b分别布置在第一光波导120a的第二侧和第二光波导120b的第四侧；并且第三子电极142a和第四子电极142b布置在第一光波导120a的第一侧和第二光波导120b的第三侧。从图3和图4中可以看出，第一类型的直线区段10a和第二类型的直线区段10b的区别在于相对于第一光波导120a和第二光波导120b，第一子电极141a、第二子电极141b和第三子电极142a、第四子电极142b交换了位置。

可以理解，无论是第一类型的直线区段10a还是第二类型的直线区段10b，均可以保证每路光波导两侧的子电极具有相反的电势。

需要补充说明的是，在图1和图2所示的实施例中，优选地，仅在直线区段10内设置多个第一电极延伸部141和多个第二电极延伸部142，在弯曲区段20内则不设置任何电极延伸部。换句话说，第一光波导120a和第二光波导120b内的光信号仅在直线区段10内被调制。

在一些实施例中，如图1所示，电光调制器1的多个延伸区段包括第一直线区段11、第二直线区段12和设置在第一直线区段11与第二直线区段12之间的第一弯曲区段21。第一光波导120a和第二光波导120b在第一弯曲区段21中间隔延伸设置，也就是说，第一光波导120a和第二光波导120b在各自的延伸路径中并不相互交叉。在这种情况下，第一直线区段11和第二直线区段12为同一类型的直线区段，如图1所示，第一直线区段11与第二直线区段12均为上述第一类型的直线区段10a。

在图1所示的电光调制器1，由于在弯曲区段中，第一光波导120a和第二光波导120b并未相互交换位置，或者说，第一光波导120a和第二光波导120b相对于第一信号电极132和第二信号电极133的位置保持不变，因此，第一直线区段11和第二直线区段12需要是同一类型的直线区段，如此才能保证分别施加到第一光波导120a和第二光波导120b上的电压信号的方向保持不变。可以理解，虽然在图1所示的实施例中，第一直线区段11与第二直线区段12均为第一类型的直线区段10a，但是在另外一些实施例中，第一直线区段11与第二直线区段12也可以均为第二类型的直线区段10b。

图5示出了根据本公开另一个实施例的电光调制器1的示意性俯视图。如图5所示，该电光调制器1的多个延伸区段包括第三直线区段13、第四直线区段14和设置在第三直线区段13与第四直线区段14之间的第二弯曲区段22。如图5所示，第一光波导120a和第二光波导120b在第二弯曲区段22中交叉设置。在这种情况下，第三直线区段13和第四直线区段14为不同类型的直线区段，如图5所示，第三直线区段13为第一类型的直线区段10a，而第四直线区段14为第二类型的直线区段10b。

在图5所示的电光调制器1，由于在弯曲区段中，第一光波导120a和第二光波导120b相互交换位置，或者说，第一光波导120a和第二光波导120b相对于第一信号电极132和第二信号电极133的位置发生变化，具体地，原本靠近第一信号电极132的第一光波导120a变成靠近第二信号电极133，而原本靠近第二信号电极133的第二光波导120b变成靠近第一信号电极132。因此，第三直线区段13和第四直线区段14需要是不同类型的直线区段，如此才能保证分别施加到第一光波导120a和第二光波导120b上的电压信号的方向保持不变。可以理解，虽然在图5所示的实施例中，第三直线区段13与第四直线区段14分别为第一类型10a、第二类型10b的直线区段，但是在另外一些实施例中，第三直线区段13与第四直线区段14也可以分别为第二类型10b、第一类型10a的直线区段。

虽然在上述图1和图5所示的实施例中，仅示出了包含三个延伸区段的电光调制器1，但是可以理解，在另外一些实施例中，电光调制器1可以包含多于三个延伸区段，例如可以包含5个、7个、9个延伸区段等等。电光调制器1的多个延伸区段可以均设置成图1所示的示例那样，即所有相邻的直线区段均为同一种直线区段，弯曲区段内第一光波导120a和第二光波导120b间隔延伸设置；或者，多个延伸区段可以均设置成图5所示的示例那样，所有相邻的直线区段均为不同种直线区段，弯曲区段内第一光波导120a和第二光波导120b均交叉设置；再或者，多个延伸区段可以是图1和图5所示示例混合的情况，即部分相邻的直线区段为同种直线区段，部分为不同种直线区段。总之本公开的实现不受延伸区段的数量、类型以及分布的限制。

继续参照图1，第一电极延伸部141还包括第一延伸臂141c，第二电极延伸部142还包括第二延伸臂142c，第一延伸臂141c和第二延伸臂142c均优选地垂直于行波电极130设置。第一延伸臂141c用于将第一信号电极132和第一子电极141a、第二子电极141b电连接。第二延伸臂142c用于将第二信号电极133和第三子电极142a、第四子电极142b电连接。在一些实施例中，第一延伸臂141c可与第一信号电极132、第一子电极141a和第二子电极141b一体成形，第二延伸臂142c可与第二信号电极133、第三子电极142a和第四子电极142b一体成形。

上述布置可以稳固各信号电极以及其子电极之间的电连接，将器件模式化，有利于封装集成。

为了描述方便，以下均以延伸臂作为行波电极和各个子电极的电连接方式进行举例说明。当然，行波电极130和各个子电极的电连接方式不限于此，也可以采用其它的方式，只要电信号能够从行波电极130传输至对应的子电极即可。

虽然在上述多个实施例中，延伸臂和子电极的连接形状为L形，即子电极仅从对应延伸臂的一侧伸出，但是可以理解，延伸臂和子电极的连接形状还可以为T形，即子电极从对应延伸臂的两侧伸出，或其他可行的形状，当然，也不限于本公开的实施例中所示出的形状，也可以根据实际需要采用其它的形状以达到合适的速度匹配。

图6示出了根据本公开又一个实施例的电光调制器1的示意性俯视图。如图6所示，该电光调制器1的多个延伸区段包括：依次连接的第五直线区段15、第一渐变区段31、第三弯曲区段23、第二渐变区段32和第六直线区段16。与图1所示的电光调制器1不同之处在于，在紧邻的直线区段和弯曲区段之间还额外设置有渐变区段，渐变区段用于将直线区段中各部件的形状逐渐过渡变化成弯曲区段中的形状。

在一些实施例中，直线区段中的第一信号电极132、第二信号电极133、第一接地电极131和第二接地电极134中的至少一者与弯曲区段中对应的电极的宽度不相同。如图6所示，在第三弯曲区段23中，第一接地电极131、第一信号电极132、第二信号电极133、第二接地电极134的宽度分别小于第五直线区段15中的第一接地电极131、第一信号电极132、第二信号电极133、第二接地电极134的宽度。

由于位于内侧的电极(例如第二接地电极134和第二信号电极133)和外侧电极(例如第一接地电极131和第一信号电极132)的总延伸长度不同，因此可能需要对每个电极进行设计(例如设置每个电极的电极宽度等)，以使得电信号在内侧电极和外侧电极上的传输时间尽可能的匹配。因此，可以通过将直线区段和弯曲区段中每个电极的宽度设置为不同的特定值，使得电信号在内侧电极和外侧电极上的传输时间尽可能的匹配。

如上所述，由于直线区段中的各个电极的宽度与弯曲区段中对应的电极的宽度不相同，因此在图6所示的实施例中，在直线区段和弯曲区段之间额外设置渐变区段，以使得直线区段中的各个电极的宽度在渐变区段内逐渐过渡变化为弯曲区段中对应的电极的宽度，从而能够避免电极的宽度的突变，防止电信号传输不稳定。

继续参照图1，在一些实施例中，电光调制器100还可以包括分光器110和合光器150。分光器110用于将光输入信号分成为在第一光波导120a和第二光波导120b内传输的光信号。经过调制的第一路光信号和第二路光信号经过合光器150后被合并为光组合信号。光组合信号可以直接作为光输出信号输出，也可以被分为两路或更多路光输出信号后输出。

在一些实施例中，电光调制器100还包括保护层，用于覆盖至少一个部件。例如，在行波电极130、第一电极延伸部141和第二电极延伸部142上覆盖保护层，可以减缓电极的自然氧化或意外的表面破坏，增加元件的使用寿命。

在一些实施例中，第一光波导120a和第二光波导120b为铌酸锂光波导。铌酸锂晶体表面光滑，是一种具有优异的电光与声光效应的光学材料。利用铌酸锂晶体制备的高品质的光波导，能够支持超低传输损耗，且具有工艺成熟、成本低、可批量化生产等多种优异特性。

图7是根据示例性实施例的电光调制器1的直线区段的示意性立体图。如图7所示，电光调制器1可以包括第一光波导120a、第二光波导120b、行波电极130、第一电极延伸部141和第二电极延伸部142。

如在图7所示，电光调制器1还可以包括衬底210、位于衬底上的隔离层220、用于形成第一光波导120a和第二光波导120b的薄膜层230、位于第一光波导120a和第二光波导120b上的覆盖层240。覆盖层240包括位于第一光波导120a上的第一覆盖层241和位于第二光波导120b上的第二覆盖层242。

继续参照图7，在一些实施例中，行波电极130可以位于薄膜层230上，并且，第一电极延伸部141和第二电极延伸部142可以位于覆盖层240上。这种结构设置使得同一光波导两侧的子电极之间距离较小，同等条件下所获得的电场强度更大，从而可以增强电光转换效率。

在一些实施例中，第一电极延伸部141和第二电极延伸部142均延伸到第一覆盖层241和第二覆盖层242的上表面。第一子电极141a和第三子电极142a设置在第一覆盖层241的上表面；并且第二子电极141b和第四子电极142b设置在第二覆盖层242的上表面。具体地，在本实施例中，第一覆盖层241和第二覆盖层242可以为两个沿着光波导方向延伸且向上凸起的结构(即沿着图7所示的D3方向凸起)，优选地，上述凸起的截面为梯形。以第一覆盖层241为例，第一光波导120a设置在第一覆盖层241下方的中央，第一子电极141a和第三子电极142a设置在第一覆盖层241的梯形体的上表面上，并且相互对齐。因此，可以理解，第一电极延伸部141经由第一覆盖层241越过第一光波导120a，从而避免第一电极延伸部141的第一延伸臂141c与第一光波导120a干涉。

在如图7所示的实施例中，行波电极130、第一电极延伸部141和第二电极延伸部142可以位于薄膜层230上。

在一些实施例中，至少部分行波电极130和至少部分第一电极延伸部141和第二电极延伸部142可以位于薄膜层230中。虽然，在图7所示的实施例中，行波电极130、第一电极延伸部141和第二电极延伸部142位于薄膜层230上，但是在另外一些实施例中，这些元件也可以设置在薄膜层230中。

在一些实施例中，行波电极130、第一电极延伸部141和第二电极延伸部142也可以位于隔离层220上或隔离层220中。

图8是根据本公开示例性实施例的电光器件800的简化框图。在一个示例中，电光器件800可以包括电光调制器810、耦合到电光调制器810的电学接口811以及耦合到电光调制器810的光学接口812。电光调制器810可以根据上文所描述的任一种实施例构造。

虽然已经参照附图描述了本公开的实施例或示例，但应理解，上述的方法、系统和设备仅仅是示例性的实施例或示例，本公开的范围并不由这些实施例或示例限制，而是仅由授权后的权利要求书及其等同范围来限定。实施例或示例中的各种要素可以被省略或者可由其等同要素替代。此外，可以通过不同于本公开中描述的次序来执行各步骤。进一步地，可以以各种方式组合实施例或示例中的各种要素。重要的是随着技术的演进，在此描述的很多要素可以由本公开之后出现的等同要素进行替换。

Claims (14)

1.一种电光调制器，包括：

均沿着所述电光调制器的延伸方向延伸设置的第一光波导、第二光波导和行波电极，其中

所述行波电极包括相互间隔设置的第一接地电极、第一信号电极、第二信号电极、第二接地电极；并且

所述第一光波导和所述第二光波导均布置在所述第一信号电极和所述第二信号电极之间，配置成使得在所述第一光波导和所述第二光波导内传输的光信号接受所述第一信号电极和所述第二信号电极之间的电压调制，其中，

所述电光调制器沿其延伸方向具有多个延伸区段，所述多个延伸区段包括，

多个直线区段和至少一个弯曲区段，每个所述弯曲区段分别设置在相邻的两个直线区段之间。

2.根据权利要求1所述的电光调制器，还包括：

连接到所述第一信号电极且间隔设置的多个第一电极延伸部，所述多个第一电极延伸部均朝向所述第二信号电极延伸设置，并且每个所述第一电极延伸部包括第一子电极和第二子电极；和

连接到所述第二信号电极且间隔设置的多个第二电极延伸部，所述多个第二电极延伸部均朝向所述第一信号电极延伸设置，并且每个所述第二电极延伸部包括第三子电极和第四子电极，其中

所述第一子电极和所述第三子电极分别设置在所述第一光波导的两侧；并且

所述第二子电极和所述第四子电极分别设置在所述第二光波导的两侧。

3.根据权利要求2所述的电光调制器，其中，所述第一光波导具有朝向所述第二光波导的第一侧和背离所述第二光波导的第二侧，所述第二光波导具有朝向所述第一光波导的第三侧和背离所述第一光波导的第四侧，其中

所述多个直线区段包括第一类型的直线区段和/或第二类型的直线区段，

所述第一类型的直线区段，配置成其中所述第一子电极和所述第二子电极分别布置在所述第一光波导的第一侧和所述第二光波导的第三侧；并且所述第三子电极和所述第四子电极布置在所述第一光波导的第二侧和所述第二光波导的第四侧，并且

所述第二类型的直线区段，配置成其中所述第一子电极和所述第二子电极分别布置在所述第一光波导的第二侧和所述第二光波导的第四侧；并且所述第三子电极和所述第四子电极布置在所述第一光波导的第一侧和所述第二光波导的第三侧。

4.根据权利要求2所述的电光调制器，其中，

每个所述第一电极延伸部还包括：

第一延伸臂，用于将所述第一子电极和所述第二子电极连接到所述第一信号电极；并且

每个所述第二电极延伸部还包括：

第二延伸臂，用于将所述第三子电极和所述第四子电极连接到所述第二信号电极。

5.根据权利要求2所述的电光调制器，其中，所述第一电极延伸部的数量和所述第二电极延伸部的数量相等，其中

每个所述第一电极延伸部的第一子电极和相对应的所述第二电极延伸部的第三子电极相对设置；并且

每个所述第一电极延伸部的第二子电极和相对应的所述第二电极延伸部的第四子电极相对设置。

6.根据权利要求3所述的电光调制器，其中，所述多个延伸区段包括第一直线区段、第二直线区段和设置在所述第一直线区段与所述第二直线区段之间的第一弯曲区段，其中，

所述第一光波导和所述第二光波导在所述第一弯曲区段中间隔延伸设置，并且

所述第一直线区段和所述第二直线区段为同一类型的直线区段。

7.根据权利要求3所述的电光调制器，其中，所述多个延伸区段包括第三直线区段、第四直线区段和设置在所述第三直线区段与所述第四直线区段之间的第二弯曲区段，其中，

所述第一光波导和所述第二光波导在所述第二弯曲区段中交叉设置，并且

所述第三直线区段和所述第四直线区段为不同类型的直线区段。

8.根据权利要求2所述的电光调制器，其中

所述直线区段中的所述第一信号电极、所述第二信号电极、所述第一接地电极和所述第二接地电极中的至少一者的宽度与所述弯曲区段中对应的电极的宽度不相同。

9.根据权利要求8所述的电光调制器，其中，所述多个延伸区段还包括：

多个渐变区段，每个所述渐变区段用于连接所述直线区段和与该直线区段紧邻的弯曲区段，其中

在每个所述渐变区段中，所述第一信号电极、所述第二信号电极、所述第一接地电极和所述第二接地电极中的每一者的宽度均沿着从所述直线区段到所述弯曲区段的方向，由所述直线区段中对应电极的宽度逐渐变化为所述弯曲区段中对应电极的宽度。

10.根据权利要求2至9中任一项所述的电光调制器，还包括：

衬底；

隔离层，所述隔离层位于所述衬底上；

薄膜层，所述薄膜层用于形成所述第一光波导和所述第二光波导；

第一覆盖层，所述第一覆盖层位于所述第一光波导上；和

第二覆盖层，所述第二覆盖层位于所述第二光波导上。

11.根据权利要求10所述的电光调制器，其中

所述第一电极延伸部和所述第二电极延伸部均延伸到所述第一覆盖层和所述第二覆盖层的上表面。

12.根据权利要求11所述的电光调制器，其中，

所述第一子电极和所述第三子电极设置在所述第一覆盖层的上表面；并且

所述第二子电极和所述第四子电极设置在所述第二覆盖层的上表面。

13.根据权利要求2至9中任一项所述的电光调制器，还包括：

分光器，用于将光输入信号分成为在所述第一光波导和所述第二光波导内传输的光信号；和

合光器，用于将在所述第一光波导和所述第二光波导内传输的光信号重新组合为光输出信号。

14.一种电光器件，包括如权利要求1-13中任一项所述的电光调制器。

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