CN115867779A

CN115867779A - 检查方法

Info

Publication number: CN115867779A
Application number: CN202180046788.8A
Authority: CN
Inventors: 小林信次; 松田俊介
Original assignee: Sumitomo Chemical Co Ltd
Current assignee: Sumitomo Chemical Co Ltd
Priority date: 2020-08-28
Filing date: 2021-08-19
Publication date: 2023-03-28
Anticipated expiration: 2041-08-19
Also published as: WO2022044952A1; CN115867779B; TW202217285A; JP7413210B2; JP2022039690A

Abstract

本发明提供对具备圆偏振板(1)以及由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂构成的剥离膜(16a)的膜状的被检查物(10)有无缺陷进行判断的检查方法。将光源(2)、第一相位差滤光片(3A)、第一相位差板(4A)、被检查物(10)、第二相位差板(4B)以及第二相位差滤光片(3B)设为规定的配置，对被被检查物(10)反射的光进行观察，从而判断圆偏振板(1)有无缺陷。接着，将第一相位差板(4A)以及第二相位差板(4B)分别置换为相对于波长550nm的光的面内相位差值不同的第三相位差板以及第四相位差板，并再次使光入射，从而判断圆偏振板(1)有无缺陷。利用该检查方法也能够容易地检测出利用透射型的检查方法难以检测出的变形缺陷。

Description

检查方法

技术领域

本发明涉及检查方法。

背景技术

在液晶显示装置或有机EL显示装置等中使用的偏振板通常通过由两张保护膜夹着偏振片而构成。为了将偏振板粘贴于显示装置，在一方的保护膜层叠有粘合剂层，并进一步在粘合剂层层叠有剥离膜。另外，大多在另一方的保护膜也贴合有保护其表面的剥离膜(表面保护膜)。偏振板在像这样层叠有剥离膜的状态下流通搬运，并在显示装置的制造工序中对显示装置进行贴合时剥离剥离膜。

然而，对于偏振板而言，在其制造阶段中存在异物混入偏振片与保护膜之间、残留有气泡、或者在保护膜具有相位差膜的功能时内部具有取向缺陷的情况(以下，有时将这些异物、气泡以及取向缺陷统称为“缺陷”)。在将存在缺陷的偏振板贴合于显示装置的情况下，存在该缺陷的部位被视觉辨认为亮点、图像在缺陷的部位看上去变形的情况。特别是，被视觉辨认为亮点的缺陷在该显示装置的黑显示时容易被视觉辨认到。

因此，在将偏振板贴合于显示装置的前阶段(具备剥离膜的状态下的偏振板)中，进行用于对该偏振板的缺陷进行检测的检查。该缺陷的检查通常是利用了偏振板的偏振轴的光检查。具体而言，如专利文献1所示，在作为被检查物的偏振板与光源之间设置偏振滤光片，在此基础上，使该偏振板或偏振滤光片在平面方向上旋转，将它们各自的偏振轴方向设为特定的关系。在偏振轴方向彼此相互正交的情况下(即构成正交尼科耳状态(日文：ク口ス二コル)的配置的情况下)，通过了偏振滤光片的直线偏振光不通过偏振板。然而，若偏振板存在缺陷，则直线偏振光会在该部位透过，因此该光被检测出，从而可知缺陷的存在。另一方面，在偏振板与偏振滤光片的偏振轴方向彼此平行的情况下，通过了偏振滤光片的直线偏振光透过偏振板。然而，若偏振板存在缺陷，则直线偏振光在该部位被阻断，因此检测不到该光，从而可知缺陷的存在。由检查者通过目视对透过偏振板而来的光进行检测、或通过组合CCD相机和图像处理装置而成的图像解析处理值自动地进行检测，从而能够进行偏振板有无缺陷的检查。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平9-229817号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在偏振板为圆偏振板且剥离膜由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂(PET系树脂)构成的情况下，使用与该PET系树脂的波长分散在一定程度上相匹配的相位差滤光片(相当于上述偏振滤光片)。在此，在将圆偏振板和相位差滤光片以构成正交尼科耳状态的方式配置的情况下，根据上述原理，缺陷被视觉辨认为亮点，但圆偏振板所具有的相位差膜的取向缺陷或针孔等相位差值较低的区域中的亮点缺陷有时会被视觉辨认为黑点，在该情况下，与作为亮点进行检测相比，检测判断更为困难。特别是，在圆偏振板包含由聚合性液晶化合物的固化物构成的相位差膜的情况下，该倾向显著。

另外，专利文献1所示的检查方法的原理是对透过了被检查物的光进行观察。在该原理中被检查物存在变形缺陷(例如，在圆偏振板的裁切时产生的褶皱)的情况下，光路长度在正常部分和变形缺陷部分中几乎不发生变化，因此难以光学性地检测出变形缺陷。

另外，在如上述那样偏振板具备剥离膜的情况下，圆偏振板的偏振特性受到该剥离膜所具有的双折射的阻碍，因此难以利用现有的检查装置高精度地对存在于偏振板中的亮点等缺陷进行检测。

因此，本发明的目的在于提供一种检查方法，其是反射型的检查方法，能够容易地判断圆偏振板有无缺陷。

用于解决课题的方案

本发明提供一种检查方法，其是对具备层叠偏振膜和相位差膜而成的圆偏振板、以及层叠在该圆偏振板的相位差膜侧且由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂(以下，有时称为“PET系树脂”。)构成的剥离膜的膜状的被检查物有无缺陷进行判断的检查方法，其中，以将光源、第一相位差滤光片、第一相位差板、以及使剥离膜侧朝向第一相位差板侧的被检查物在光源所发出的光的光路上依次排列、并且将第二相位差板、以及与第一相位差滤光片构成正交尼科耳状态的第二相位差滤光片在被被检查物反射的光的光路上依次排列的方式进行配置，第一相位差板的相对于波长550nm的光的面内相位差值(以下，有时将该相对于波长550nm的光的面内相位差值称为“Re(550)”。)与剥离膜的Re(550)大致相同，且第一相位差板对剥离膜所具有的双折射进行补偿，第二相位差板的Re(550)与第一相位差板的Re(550)大致相同，且第二相位差板对第一相位差板所具有的双折射进行补偿，使光源的光向第一相位差滤光片入射，从第二相位差滤光片侧对被被检查物反射的光进行观察，从而判断圆偏振板有无缺陷，将第一相位差板以及第二相位差板分别置换为Re(550)比剥离膜的Re(550)大50～100nm且对剥离膜所具有的双折射进行补偿的第三相位差板以及第四相位差板，在该置换后，使光向第一相位差滤光片入射，从第二相位差滤光片侧对被被检查物反射的光进行观察，从而判断圆偏振板有无缺陷。需要说明的是，在此，Re(550)中的“大致相同”是指Re(550)的差异仅±5nm左右的情况。

在本检查方法中，将第一相位差滤光片和第二相位差滤光片以构成正交尼科耳状态的方式进行配置，因此在被检查物的正常部分反射的光(例如在剥离膜的表面反射的光)被第二相位差滤光片阻断，从而能够充分地使观察视野变暗，进而容易进行缺陷部分的观察。另一方面，对于在被检查物的内部产生的缺陷部分反射的光而言，由于相位差因该缺陷而与理想相比存在偏差(成为并不希望的椭圆偏振光)，因此该偏差的量透过第二相位差滤光片，从而能够检测为被检查物的缺陷部分。在此，考虑到在缺陷部分反射的光再度透过剥离膜，剥离膜所具有的相位差成为缺陷检测的障碍，但由于第一相位差板对剥离膜所具有的双折射进行补偿，因此剥离膜所具有的双折射成为缺陷检测的障碍的情况得到抑制。另外，通过将第一相位差板以及第二相位差板分别置换为第三相位差板以及第四相位差板并对在使用第一相位差板以及第二相位差板的检查中作为黑色缺陷被观察的部位进行检查，能够对相位差进行调整以能够将该黑色缺陷观察为亮点缺陷。另外，这样的反射型的检查方法与透射型的检查方法相比而被检查物中的光路变长，因此也能够容易地检测出利用透射型的检查方法难以检测出的变形缺陷。根据以上的内容，能够利用本发明的检查方法容易地判断圆偏振板有无缺陷。

在本检查方法中，相位差膜也可以由聚合性液晶化合物的固化物构成。在相位差膜由聚合性液晶化合物的固化物构成的情况下，由于其通常的薄度，观察到黑点缺陷的可能性提高。因此，适合作为应用本发明的对象。

另外，在本检查方法中，也可以在检查中，使被检查物、第一相位差板、第二相位差板、第三相位差板、第四相位差板、第一相位差滤光片以及第二相位差滤光片中的至少一个以彼此相面对的角度不同的方式倾斜，或者，使被检查物、第一相位差板、第二相位差板、第三相位差板、第四相位差板、第一相位差滤光片以及第二相位差滤光片中的至少一个在与光路垂直的方向上旋转。通过使上述构件倾斜，能够对剥离膜或第一以及第二相位差板等的相位差进行微调整，因此能够进行更大范围的检查。另外，通过使上述构件旋转，各结构的对轴变得容易。

第一相位差板以及第三相位差板也可以配置在相同的构件内。另外，第一相位差板以及第二相位差板也可以配置在相同的构件内。

发明效果

根据本发明，能够提供一种检查方法，其是反射型的检查方法，能够容易地判断圆偏振板有无缺陷。

附图说明

图1是示出第一实施方式的检查装置的图。

图2是被检查物的剖视图。

图3是相位差板的俯视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的优选实施方式详细地进行说明。需要说明的是，在各图中对相同部分或相当部分标注相同附图标记，省略重复的说明。

(检查装置和被检查物)

本实施方式的检查装置对圆偏振板的表面、构成圆偏振板的各层之间、或内部的缺陷的有无进行检查。如图1所示，检查装置100以如下方式构成：依次配置有光源2、第一相位差滤光片3A、第一相位差板4A，并且，以排列在第一相位差滤光片3A以及第一相位差板4A的旁边的方式分别配置有第二相位差滤光片3B以及第二相位差板4B。第一相位差滤光片3A和第二相位差滤光片3B以面相互平行的方式排列在大致同一面上，第一相位差板4A和第二相位差板4B以面相互平行的方式排列在大致同一面上。

如图2所示，被检查物10为膜状，具备作为检查对象的主体的圆偏振板1、以及相对于圆偏振板1经由粘合剂层15层叠的剥离膜16a。对于圆偏振板1而言，在偏振膜11的两面贴合有保护膜12a、12b，并且，在具备剥离膜16a的一侧的保护膜12a上经由粘合剂层13形成有相位差膜14。并且，在圆偏振板1中的不具备剥离膜16a的一侧的面层叠有表面保护膜16b。圆偏振板1通常用于显示装置、例如液晶显示装置或有机EL显示装置，在使用时将剥离膜16a剥离，并经由粘合剂层15粘贴于显示装置。

需要说明的是，在本说明书中，“圆偏振板”包括圆偏振板以及椭圆偏振板。另外，“圆偏振光”包括圆偏振光和椭圆偏振光。

偏振膜11是将从表面保护膜16b侧入射的光转换为直线偏振光的膜。作为偏振膜11，例如，可以列举出碘或二色性色素吸附、取向于聚乙烯醇膜而成的膜；或二色性色素吸附、取向于取向、聚合了聚合性液晶化合物的化合物而成的膜。

保护膜12a、12b用于保护偏振膜11。作为保护膜12a、12b，出于得到具有适当的机械强度的偏振板的目的，使用在偏振板的技术领域中通用的保护膜。典型而言，有三乙酰纤维素(TAC)膜等纤维素酯系膜、环状烯烃系膜、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜等聚酯系膜：聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)膜等(甲基)丙烯酸系膜等。另外，在偏振板的技术领域中通用的添加剂也可以包含于保护膜中。

保护膜12a、12b作为圆偏振板1的构成要素而与偏振膜11一起贴合于显示装置，因此要求相位差值的严格的管理等。作为保护膜12a，典型而言，优选使用相位差值极小的膜。另外，作为保护膜12b，例如，考虑到经由偏振光太阳镜对显示装置进行视觉辨认时的易观察性，使用具有λ/4的相位差的膜或相位差值极小的膜。保护膜12a、12b经由粘接剂贴合于偏振膜11。

相位差膜14是将从表面保护膜16b侧入射并被偏振膜11转换为直线偏振光的光转换为圆偏振光的膜。若从剥离膜16a侧进行观察，则相位差膜14是将从剥离膜16a侧入射的圆偏振光转换为直线偏振光的膜。相位差膜14只要是具有相位差的膜则没有特别限制，可以是层叠λ/2膜和λ/4膜而成的膜。在该情况下，可以从接近偏振膜11一方起依次为λ/2膜、λ/4膜。

另外，相位差膜14优选由聚合性液晶化合物的固化物构成。对于由聚合性液晶化合物的固化物构成的相位差膜14而言，通常厚度薄到0.2μm～10μm左右，在含有异物等的情况下，相位差值容易在该部分降低。在这样的部位中，直线偏振光无法完全转换为理想的圆偏振光，而成为并不希望的椭圆偏振光。另外，如后所述，有时，在利用相位差板4对剥离膜16a的双折射进行了补偿时，即使是本来应作为亮点缺陷被观察到的部位也会成为黑点被观察到。

对于能够形成相位差膜14的聚合性液晶化合物而言，例如，能够列举出日本特开2009-173893号公报、日本特开2010-31223号公报、WO2012/147904号公报、WO2014/10325号公报以及WO2017-43438号公报所公开的化合物。这些公报所记载的聚合性液晶化合物能够形成可以在较宽的波长范围进行同样的偏振光转换的、具有所谓的逆波长分散性的相位差膜。例如，通过将含有该聚合性液晶化合物的溶液(聚合性液晶化合物溶液)涂布在适当的基材上并使其进行光聚合，而能够如上述那样形成极薄的相位差膜，因此具有这样的相位差膜的圆偏振板能够形成厚度极薄的圆偏振板。这样的厚度极薄的圆偏振板被用作近年瞩目的柔性显示材料用的圆偏振板。

作为涂布聚合性液晶化合物溶液的基材，能够列举出上述的公报所记载的基材。也可以在这样的基材上设置取向膜以用于使聚合性液晶化合物取向。取向膜可以是通过偏振光照射进行光取向的取向膜、或通过摩擦处理机械性地进行取向的取向膜。需要说明的是，这样的取向膜也被记载在上述公报中。

然而，在涂布聚合性液晶化合物溶液的基材中存在异物等、或基材自身存在损伤等的情况下，有时涂布聚合性液晶化合物溶液而得到的涂布膜自身会产生缺陷。另外，在对取向膜进行了摩擦处理的情况下，有时摩擦布的碎屑会残留在取向膜上，其也会导致聚合性液晶化合物溶液(液晶固化膜形成用组合物)的涂布膜产生缺陷。这样一来，由聚合性液晶化合物形成的相位差膜虽然能够形成厚度极薄的相位差膜，但也存在产生缺陷的因素。并且，如后所述，对相位差膜的缺陷而言，有时会产生成为黑点被观察到的缺陷。在对具有圆偏振板以及剥离膜的被检查物有无缺陷进行判定的检测中，本实施方式的检查方法尤其有用，其中，该圆偏振板具备具有这样的缺陷的相位差膜。

相位差膜14能够通过如下方法制作：在基材上涂布取向膜形成用组合物，并进一步在其上方涂布含有聚合性液晶化合物的液晶固化膜形成用组合物。将这样作成的相位差膜14相对于形成在保护膜12a上的粘合剂层13连同基材一起进行贴合，然后，将基材剥离，从而能够将相位差膜14转印到保护膜12a上。

剥离膜16a在向显示装置进行贴合时被从圆偏振板1剥离，通常，剥离后的剥离膜16a被废弃。因此，不同于保护膜12a、12b，并不要求相位差值的严格的管理。因此，在将市售的膜用作剥离膜16a的情况下，若不对其相位差值进行补偿，则有可能在缺陷的检查中导致误动作。即，在贴合有相位差值像这样未得到严格管理的剥离膜16a的圆偏振板1的缺陷检查中，该剥离膜16a的相位差会成为使检查装置100的检查精度降低的原因。

需要说明的是，如上述背景技术中所记载的那样，在圆偏振板1中，在剥离膜16a的相反面大多设置有作为剥离膜的一种的表面保护膜16b。在图2所示的圆偏振板1中，在保护膜12b侧贴合有表面保护膜16b。该表面保护膜16b也通常在向显示装置进行贴合时被从圆偏振板1剥离，从而不同于保护膜12a、12b，并不要求相位差值的严格的管理。需要说明的是，在图2中，保护膜12b和表面保护膜16b也可以经由适当的粘接剂层或粘合剂层而贴合(在图2中，该粘接剂层或粘合剂层未图示)。

在本实施方式中，剥离膜16a由PET系树脂构成。另外，表面保护膜16b也使用由PET系树脂构成的膜。由PET系树脂构成的膜(PET系树脂膜)作为剥离膜而通用，且具有廉价这一优点。另一方面，如上所述，廉价的PET系树脂膜并不要求相位差值的严格的管理。因此，例如，有时，相位差值按每个制品批次而存在偏差。另外，即使是同样的PET树脂系膜，有时在面内也存在相位差值的偏差。即使是将这样的廉价的PET树脂系膜作为剥离膜进行了贴合的圆偏振板，通过本实施方式的检查方法，也能够高精度地检测其有无缺陷。

在此，先示出剥离膜16a的Re(550)的求取方法。如上所述，这些剥离膜为PET系树脂膜，这样的膜能够容易从市场入手。从该膜中分取例如40mm×40mm左右大小的片(从长条膜中使用适当的切断工具进行分取等)。对该片的Re(550)进行3次测定，求取Re(550)的平均值。片的Re(550)能够使用相位差测定装置KOBRA-WPR(王子计测机器株式会社制)在测定温度室温(25℃左右)下进行测定。需要说明的是，在求取表面保护膜16b的Re(550)的情况下，也进行同样的试验即可。

光源2能够使用各种市售品，但例如激光等直线光(也包括接近于直线光的光)是有利的。光源2所发出的光是无偏振光，通过后述的第一相位差滤光片3A而成为规定方向的偏振光。

第一相位差滤光片3A以及第二相位差滤光片3B均是宽频带的圆偏振板。第二相位差滤光片3B在对被检查物10进行检查的情况下以始终与第一相位差滤光片3A构成正交尼科耳状态的方式调整其朝向。此时，注意向第二相位差滤光片3B入射的光为在被检查物10反射的反射光。并且，构成该第一以及第二相位差滤光片3A、3B的偏振板以及相位差板(构成具有相位差的层)采用所谓的无缺陷的相位差板。

第一相位差板4A对由被检查物10所具备的剥离膜16a引起的光的双折射进行补偿。作为构成第一相位差板4A的材料，只要是对由PET系树脂构成的剥离膜16a引起的光的双折射进行补偿的材料则没有特别限定。也可以是，准备具有100～200nm的Re(550)的市售的相位差板，并以将它们层叠多张而成为所希望的相位差值的方式形成第一相位差板4A。Re(550)通常具有加成性，因此能够根据层叠后的相位差板的Re(550)得到所希望的Re(550)的第一相位差板4A。第二相位差板4B对第一相位差板4A的相位差进行抵销，优选使用与第一相位差板4A相同结构的相位差板。对于由PET系树脂构成的剥离膜16a而言，通常，面内方向的相位差值或慢轴的偏差较大，因此优选预先准备多种相位差板以能够在检查时对相位差值进行多种选择。在本实施方式中，使用具有与剥离膜16a的Re(550)大致相同的相位差值的第一相位差板4A及第二相位差板4B的两张组合、以及Re(550)比剥离膜16a的Re(550)大50～100nm的第三相位差板4C及第四相位差板4D的两张组合这至少两种相位差板。在此，成对使用的第一相位差板4A和第二相位差板4B具有大致相同的Re(550)，第三相位差板4C和第四相位差板4D具有大致相同的Re(550)。需要说明的是，与上述相同地，与剥离膜16a的Re(550)大致相同的相位差值是指，剥离膜16a的Re(550)与相位差板的Re(550)的差值的绝对值为5nm以下。

并且，若考虑到剥离膜的相位差值的偏差，优选上述第一以及第二相位差板4A、4B分别相对于剥离膜的Re(550)示出±300nm左右的范围的相位差。在该相位差的范围内，进一步地优选在剥离膜的面内方向上每隔50nm～100nm发生变化。优选预先准备各种示出上述相位差的相位差板。即，作为使相位差发生变化的一系列相位差板，优选除了预先准备第一相位差板4A、第三相位差板4C之外，还预先准备相位差不同的相位差板。接下来，对该相位差板的情况进行说明。

图3示出集聚有面内相位差不同的相位差板的一系列相位差板4的概要。如图3所示，相位差板4可以构成为：在形成框体的一个保持构件41中，面内方向的相位差值不同的区域呈两列在一个方向上相连。即，若关注相位差板4中的一列(图示上下方向)，则位于端部的区域是相当于第一相位差板4A的区域a₁，且是Re(550)例如为1720nm的区域，位于该区域a₁旁边的区域是相当于第三相位差板4C的区域a₃，且是Re(550)为1790nm的区域，进一步位于该区域a₃旁边的区域是相当于第五相位差板4E的区域a₅，且是Re(550)为1860nm的区域。在相位差板4中，每一列的该区域的数量是任意的，在图3中示出至第n个区域a_2n-1。并且，在相位差板4中的另一列，以成对的方式配置有具有与相邻的各区域(a₁、a₃、a₅、…、a_2n-1)相同的Re(550)的区域(a₂、a₄、a₆、…、a_2n)。即，与第一相位差板4A(a₁)相对应的区域为第二相位差板4B(a₂)，与第三相位差板4C(a₃)相对应的区域为第四相位差板4D(a₄)，与第五相位差板4E(a₅)相对应的区域为第六相位差板4F(a₆)。需要说明的是，在各个区域中，厚度方向的相位差值能够通过欲在一个区域中进行观察的视野区域的宽窄来进行调节。

对于该相位差板4而言，如上所述在一个保持构件41中构成有各区域，因此能够在检查装置100中将具有相同的Re(550)的区域彼此成对使用。也就是说，相位差板4成为适合同时提供第一相位差板4A和第二相位差板4B的结构。能够将第一相位差板4A以及第二相位差板4B成对使用，然后，通过滑动相位差板4而将第三相位差板4C以及第四相位差板4D成对使用，并且能够将第五相位差板4E以及第六相位差板4F成对使用。

为了对在被检查物10的内部的缺陷部分反射的光进行观察，也可以在反射光的光路上且第二相位差滤光片3B的两侧中的光源2所在的一侧的位置配置包括CCD相机等的检测机构5。例如，通过组合CCD相机和图像处理装置而成的图像处理解析来自动地进行检测，由此能够进行被检查物的检查。或者也可以是，检测机构5并非构件，而由人对第二相位差滤光片3B进行目视观察。另外，也可以适当地在光源2与CCD相机之间设置分隔板。

另外，检查装置100优选具备可动装置(未图示。)，该可动装置能够使被检查物10、第一相位差板4A、第二相位差板4B、第三相位差板4C、第四相位差板4D、第一相位差滤光片3A以及第二相位差滤光片3B中的至少一个以彼此相面对的角度不同的方式倾斜，或者使被检查物10、第一相位差板4A、第二相位差板4B、第三相位差板4C、第四相位差板4D、第一相位差滤光片3A以及第二相位差滤光片3B中的至少一个在与光的光路9垂直的方向上旋转。通过使上述构件倾斜，能够对由PET系树脂构成的剥离膜16a或第一相位差板4A、第二相位差板4B、第三相位差板4C、第四相位差板4D的相位差进行微调整，因此能够进行更大范围的检查。另外，通过使上述构件旋转，由PET系树脂构成的剥离膜16a与第一相位差板4A、第二相位差板4B、第三相位差板4C、第四相位差板4D的对轴变得容易。

(检查方法)

使用检查装置100的检查方法如下所示。首先，在检查装置100的内部中的、从光源2观察为第一相位差板4A以及第二相位差板4B的对面侧的一侧配置被检查物10。此时，以上述各膜的面均为平行、且在被检查物10中的具备剥离膜16a或相位差膜14的一侧朝向光源2侧的同时圆偏振板1与第一相位差滤光片3A构成正交尼科耳状态的方式进行配置。在此，作为第一相位差板4A以及第二相位差板4B，均使用图3所示的相位差板4，以第一相位差板4A透过向被检查物10入射前的光、且第二相位差板4B供被检查物10所反射的光入射的方式进行配置。

并且，以第一相位差滤光片3A与第二相位差滤光片3B构成正交尼科耳状态的方式进行调整。在检查装置100具备上述可动装置的情况下，也可以在将被检查物10向任意的朝向插入后，利用可动装置使各膜的相对位置关系发生变化而成为正交尼科耳状态。

从光源2向第一相位差滤光片3A入射光。此时，优选将相对于被检查物10的入射角(以相对于被检查物10的表面的垂线为基准的角度)设为3°～30°，更优选将相对于被检查物10的入射角设为5°～20°。在光源2所发出的光为指向性较低的光的情况下，优选来自被检查物10的反射角(或基于检测机构5的观察角度)为上述的角度范围。

光源2所发出的光向第一相位差滤光片3A入射，透过第一相位差滤光片3A而成为圆偏振光，接着透过第一相位差板4A(光路9a)。透过了第一相位差板4A的光接着向被检查物10入射。然后，透过被检查物10中的剥离膜16a，被构成圆偏振板1的相位差膜14转换为直线偏振光，最终被偏振膜11吸收(光路9a的末端)。在此，透过了第一相位差板4A的光的一部分在被检查物10中的剥离膜16a的表面反射(光路9b)。该反射光由于第一相位差滤光片3A和第二相位差滤光片3B以构成正交尼科耳状态的方式配置而被第二相位差滤光片3B阻断(光路9b的末端)，因此，基于检测机构5的第二相位差滤光片3B的观察视野变暗。

另一方面，入射到被检查物10的光的一部分在被检查物10中存在的缺陷(存在于相位差膜14与偏振膜11的界面的缺陷D、或相位差膜14中存在的缺陷D’)的部分反射变强(光路9c)。对于该反射光而言，由于相位差因该缺陷D、D’而与理想相比存在偏差(成为并不希望的椭圆偏振光)，因此无法被偏振膜吸收，从而产生在该界面的反射光。该反射光不被第二相位差滤光片阻断而透过。当从检测机构5侧对其进行观察时，缺陷部分作为亮点被观察到。

另外，虽然第一相位差板4A被设计为尽可能与剥离膜16a所具有的相位差值和波长分散特性一致以有效地对由剥离膜16a引起的光的双折射进行补偿，但由于剥离膜16a的相位差值的面内偏差，难以在检查视野整体充分地将光阻断并进行检查。在这样的情况下，在圆偏振板1中的、相位差膜14的相位差值降低的部分配合光学补偿，本来应作为亮点被观察到的缺陷可能会成为黑点被观察到。通常，与亮点缺陷相比，黑点缺陷对视觉辨认性造成的影响较小，因此大多允许黑点缺陷的缺陷尺寸比亮点缺陷的缺陷尺寸大，因此其结果是，有时会被判断为没有问题。但是，在该黑点缺陷是本来应作为由相位差膜14的相位差值降低部位引起的亮点缺陷而被观察到的缺陷的情况下，对视觉辨认性造成的影响较大，会成为问题。

因此，在本实施方式中，对于被视觉辨认为黑点的缺陷部位使用具有与第一相位差板4A以及第二相位差板4B不同的面内相位差的第三相位差板4C以及第四相位差板4D。具体而言，使构成相位差板4的保持构件41在其面方向上滑动，代替第一相位差板4A以及第二相位差板4B而使第三相位差板4C以及第四相位差板4D位于光路9上。利用该配置进行第二次检查。

这样一来，通过使用面内相位差值不同的相位差板进行多次检查，缺陷作为亮点缺陷被观察到的可能性升高，从而容易准确地识别缺陷。需要说明的是，在使用第三相位差板4C以及第四相位差板4D的对的检查中也再次视觉辨认为黑点的情况下，使保持构件41进一步向第五相位差板4E以及第六相位差板4F的对滑动，从而进行第三次检查。

在检查中，可以使被检查物10、第一及第二相位差板4A、4B以及第一及第二相位差滤光片3A、3B中的至少一个以彼此相面对的角度不同的方式倾斜，也可以使被检查物10、第一及第二相位差板4A、4B以及第一及第二相位差滤光片3A、3B中的至少一个在与光的光路9垂直的方向上旋转。通过倾斜，能够对剥离膜16a或第一以及第二相位差板4A、4B的相位差进行微调整，因此能够进行更大范围的检查。另外，通过使上述构件旋转，由PET系树脂构成的剥离膜16a与第一以及第二相位差板4A、4B的对轴变得容易。这些操作在检查装置100具备可动装置的情况下能够尤其容易地进行。

另外，在本发明的检查方法中，使用例如单一波长的光或波长宽度为较窄范围的光作为来自光源2的光，因此也能够进行相位差值局部产生偏差的缺陷的检测。具体而言，作为光源，使用在以被检查物10所包括的圆偏振板1的偏振膜的透过轴与相位差滤光片所包括的向直线偏振光进行转换的偏振板的透过轴不成为正交尼科耳配置的方式进行配置时透射光量为最小的波长的光。此时，以第一相位差滤光片3A与相位差膜14相对的方式进行配置。在存在多个波长的情况下，尤其优选波长为500～600nm的范围的波长。并且，通过采用强度峰值的半值宽度为30nm以下的光源，检查精度提高。

根据以上所示的检查方法，使用第三相位差板4C以及第四相位差板4D对在使用第一相位差板4A以及第二相位差板4B的对的检查中观察到黑色缺陷的部位进行检查，从而能够对相位差进行调整以能够将该黑色缺陷观察为亮点缺陷。另外，由于该检查方法是反射型的检查方法，因此与透射型的检查方法相比，被检查物10中的光路变长，从而也能够容易地检测利用透射型的检查方法难以检测的褶皱等变形缺陷。根据以上的内容，能够利用本发明的检查方法容易地判断圆偏振板有无缺陷。

以上，对本发明的优选实施方式进行了说明，但本发明丝毫不被上述实施方式限定。例如，在上述实施方式中将第一相位差滤光片3A和第一相位差板4A作为相互不同的物品进行了示出，但它们也可以作为相互层叠而成的层叠体而构成一张膜。第二相位差滤光片3B和第二相位差板4B也同样可以为一个层叠体。

工业实用性

本发明能够用于圆偏振板的品质检查。

附图标记说明

1…圆偏振板；2…光源；3A…第一相位差滤光片；3B…第二相位差滤光片；4…相位差板；4A…第一相位差板；4B…第二相位差板；5…检测机构；9(9a、9b、9c)…光路；10…被检查物；11…偏振膜；12a、12b…保护膜；13…粘合剂层；14…相位差膜；15…粘合剂层；16a…剥离膜；16b…表面保护膜；41…保持构件；100…检查装置；a…区域；D、D’…缺陷。

Claims

1.一种检查方法，其是对具备层叠偏振膜和相位差膜而成的圆偏振板、以及层叠在所述圆偏振板的所述相位差膜侧且由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂构成的剥离膜的膜状的被检查物有无缺陷进行判断的检查方法，其中，

以将光源、第一相位差滤光片、第一相位差板、以及使所述剥离膜侧朝向所述第一相位差板侧的所述被检查物在所述光源所发出的光的光路上依次排列、并且将第二相位差板、以及与所述第一相位差滤光片构成正交尼科耳状态的第二相位差滤光片在被所述被检查物反射的所述光的光路上依次排列的方式进行配置，

所述第一相位差板的相对于波长550nm的光的面内相位差值与所述剥离膜的相对于波长550nm的光的面内相位差值大致相同，且所述第一相位差板对所述剥离膜所具有的双折射进行补偿，

所述第二相位差板的相对于波长550nm的光的面内相位差值与所述第一相位差板的相对于波长550nm的光的面内相位差值大致相同，且所述第二相位差板对所述第一相位差板所具有的双折射进行补偿，

使所述光源的光向所述第一相位差滤光片入射，从所述第二相位差滤光片侧对被所述被检查物反射的所述光进行观察，从而判断所述圆偏振板有无缺陷，

将所述第一相位差板以及所述第二相位差板分别置换为第三相位差板以及第四相位差板，

所述第三相位差板以及所述第四相位差板的相对于波长550nm的光的面内相位差值比所述剥离膜的相对于波长550nm的光的面内相位差值大50～100nm，且所述第三相位差板以及所述第四相位差板对所述剥离膜所具有的双折射进行补偿，

在该置换后，使光向所述第一相位差滤光片入射，从所述第二相位差滤光片侧对被所述被检查物反射的所述光进行观察，从而判断所述圆偏振板有无缺陷。

2.根据权利要求1所述的检查方法，其中，

所述相位差膜由聚合性液晶化合物的固化物构成。

3.根据权利要求1或2所述的检查方法，其中，

在检查中，使所述被检查物、所述第一相位差板、所述第二相位差板、所述第三相位差板、所述第四相位差板、所述第一相位差滤光片以及所述第二相位差滤光片中的至少一个以彼此相面对的角度不同的方式倾斜，或者使所述被检查物、所述第一相位差板、所述第二相位差板、所述第三相位差板、所述第四相位差板、所述第一相位差滤光片以及所述第二相位差滤光片中的至少一个在与所述光路垂直的方向上旋转。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的检查方法，其中，

所述第一相位差板以及所述第三相位差板配置在相同的构件内。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的检查方法，其中，

所述第一相位差板以及所述第二相位差板配置在相同的构件内。