CN115831809A - 液体储存单元及基板处理设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种液体储存单元及基板处理设备。所述液体储存单元包含：在其中界定有储存空间的罐壳；穿透至该罐壳中且在其上形成有出口的液体出口管；以及穿透至该罐壳中且在其上形成有入口的液体入口管，并且其中第一引导表面设置在该出口与该入口之间。

Description

液体储存单元及基板处理设备

相关申请的交叉引用

本申请要求于2021年09月17日提交韩国知识产权局的、申请号为10-2021-0124786的韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利的全部内容通过引用结合在本申请中。

技术领域

本文中所描述的发明构思的实施方案为关于一种液体储存单元及基板处理设备。

背景技术

为了制造半导体组件或液晶显示器，对基板执行各种工艺，诸如光微影工艺、蚀刻工艺、灰化工艺、离子植入工艺及薄膜沉积工艺。在每一工艺之前或之后进行用于清洁基板的清洁工艺，以移除在每一工艺中产生的污染物及颗粒。

针对清洁工艺，将化学品从液体供给系统供给至处理设备，且执行使用已经供给的化学品来处理基板的工艺。液体供给系统设置有用于储存化学品的化学品储罐，且化学品储罐连接至液体供给系统，且通过沿着设置有温度控制构件的循环线路循环化学品来混合化学品，且调整化学品的温度。

发明内容

本发明构思的实施方案提供一种用于使已经由循环线路循环及返回的化学品产生气泡最小化的液体储存单元及基板处理设备。

本发明构思的实施方案提供一种液体储存单元及用于均匀地混合液体储存单元中的化学品且用于稳定温度分布的基板处理设备，这是由于存在已经由循环线路循环及返回的化学品的问题，该循环线路沿着液体储存单元内的入口形成不可见的流体通道，这不会在设备内引起循环且导致在某些位置中的停滞。

本发明构思的技术目的不限于上面提及的技术目的，且其他未提及的技术目标将根据以下描述而对于本领域技术人员而言变得显而易见。

本发明构思提供一种液体储存单元。液体储存单元包含：在其中界定有储存空间的罐壳；穿透至罐壳中且在其上形成有出口的液体出口管；以及穿透至罐壳中且在其上形成有入口的液体入口管，并且其中第一引导表面设置在出口与入口之间。

在实施方案中，第一引导表面形成为使得从入口引入的液体流被引导为更远离出口。

在实施方案中，将第一引导表面界定为界定储存空间的底表面。

在实施方案中，第一引导表面设置为具有在从设置出口的零件(part)朝向设置入口的零件的方向上减小的高度。

在实施方案中，入口的一部分或全部在俯视时与第一引导表面重叠。

在实施方案中，出口定位在第一引导表面在上/下方向上突出的区的外部。

在实施方案中，第一引导表面为界定储存空间的底表面当中的部分(portion)，且底表面具有向上突起的中心及从中心朝向边缘方向减小的高度，且其中将第一引导表面界定为具有减小的高度的表面，且将液体出口管设置为穿过向上突起的中心。

在实施方案中，第一引导表面为圆形。

在实施方案中，底表面包含第二引导表面，该第二引导表面具有从第一引导表面的端部部分朝向边缘方向增加的高度。

在实施方案中，第二引导表面为圆形。

在实施方案中，液体入口管的入口定位成与储存空间的底表面相邻。

在实施方案中，入口定位在低于第一引导表面的顶端的位置处或定位在相同水平高度(位准，level)处。

在实施方案中，出口定位在高于第一引导表面的顶部部分的位置处或定位在相同水平高度处。

在实施方案中，入口定位于低于第一引导表面的顶端的位置处或定位在相同水平高度处，且出口定位在高于第一引导表面的顶部部分的位置处或定位在相同水平高度处。

在实施方案中，出口的水平高度高于定位入口的水平高度。

本发明构思提供一种液体储存单元。液体储存单元包含：在其中界定有储存空间的罐壳；穿透至罐壳中且在其上形成有出口的液体出口管；以及穿透至罐壳中且在其上形成有入口的液体入口管，并且其中出口定位于比入口的位置更高的位置处。

在实施方案中，液体储存单元进一步包含连接液体出口管及液体入口管的第一线路。

在实施方案中，液体储存单元进一步包含泵，该泵设置在第一线路处且用于产生从液体出口管至液体入口管的液体流。

在实施方案中，液体储存单元进一步包含液体充填线路，该液体充填线路经由液体供给源及第二线路连接且穿透至罐壳中。

本发明构思提供一种基板处理设备。基板处理设备包含：配置为支承基板的基板支承单元；将液体供给至支承在基板支承单元上的基板的喷嘴；以及配置为经由可转移流体的第一线路连接至喷嘴的液体储存单元，并且其中液体储存单元包含：在其中界定有储存空间的罐壳；穿透至罐壳中且在其上形成有出口的液体出口管，第一线路连接成使得可转移流体；穿透至罐壳中且在其上形成有入口的液体入口管，并且使入口设置成与储存空间的底表面相邻；经由液体供给源及第二线路连接且穿透至罐壳中的液体充填线路；连接液体出口管及液体入口管的连接线路；以及设置在连接线路处且产生从液体出口管至液体入口管的液体流的泵，并且其中第一引导表面设置在出口与入口之间，第一引导表面为界定储存空间的底表面当中的部分区，底表面具有向上突起的中心及从向上突起的零件朝向边缘方向减小的高度，将第一引导表面界定为具有减小的高度的表面，且将液体出口管设置为穿过向上突起的中心，入口定位成低于第一引导表面的顶端或定位在相同水平高度处，且出口定位在高于第一引导表面的顶部部分的位置处或定位在相同水平高度处。

根据本发明构思的实施方案，可以使由已循环及返回的化学品产生气泡最小化。

根据本发明构思的实施方案，可以均匀混合液体储存单元中的化学品，且可稳定温度分布。

本发明构思的效应不限于上面提及的效应，且其他未提及的效应将根据以下描述而对于本领域技术人员而言变得显而易见。

附图说明

以上及其他目标及特征将根据下面参考以下各图的描述而变得显而易见，其中除非另有规定，否则相同附图标记在各图中是指相同零件。

图1为说明根据本发明构思的实施方案的基板处理设施的平面图。

图2为说明包含液体供给系统5100的基板处理设备300的截面图。

图3为液体供给系统5100的放大图。

图4为根据本发明构思的实施方案的液体储存单元500的截面立体图。

图5为说明图3的实施方案中的液体出口管及液体入口管与第一壁之间的关联的放大截面图。

图6为图3至图5中所描述的实施方案的液体储存单元处的流体流动模拟。

图7为说明根据本发明构思的另一实施方案(第二实施方案)的液体储存单元的液体入口管及液体出口管与第一壁之间的关联的放大截面图。

图8为说明根据本发明构思的另一实施方案(第三实施方案)的液体储存单元的液体入口管及液体出口管与第一壁之间的关联的放大截面图。

图9为说明根据本发明构思的另一实施方案(第四实施方案)的液体储存单元的液体入口管与液体出口管之间的关联的放大截面图。

图10为根据本发明构思的另一实施方案(第五实施方案)的液体储存单元的截面图。

图11为根据本发明构思的另一实施方案(第六实施方案)的液体储存单元的截面图。

图12为根据本发明构思的另一实施方案(第七实施方案)的液体储存单元的截面图。

图13为根据本发明构思的另一实施方案(第八实施方案)的液体储存单元的截面图。

图14为说明根据第二实施方案的包含液体供给系统5200的基板处理设备300的截面图。

[符号说明]

1-基板处理设施；10-索引模块；12-第一方向；14-第二方向；16-第三方向；18-载体；20-工艺处理模块；120-装载端口；140-转移框架；142-索引轨；144-索引机械手；144a、244a-基座；144b、244b、342-主体；144c-索引臂；220-缓冲单元；240-转移腔室；242-导轨；244-主机械手；244c-主臂；260-工艺腔室；300-基板处理设备；310-处理单元；320-外壳；322-内部回收容器；322a-内部空间；322b、326b-回收线路；326-外部回收容器；326a-空间；340-自旋头；344-支承销；346-卡盘销；348、386-支承轴；349-驱动单元；360-升/降单元；362-支架；364-移动轴；366-驱动器；380-喷嘴单元；382-支承件；388-驱动构件；390-喷嘴；500、2500、3500-液体储存单元；510、2510、3510-罐壳；511-壁；511a、1511a-第一壁；511b-第二壁；512、2512、3512-储存空间；521-液体出口管；521a-出口；523-液体入口管；523a-入口；525a-排放端口；531-第二液体出口管；600-泵；610-第一泵；620-第二泵；700-化学品供给源；2531、2532、2533、3530-分隔壁；5100、5200-液体供给系统；A1-区；h1-高度；L1-供给线路；L2-流出线路；L3、L5-循环线路；L4-加液线路；L6-整合循环线路；V1-第一阀；V2-第二阀；V3-第三阀；V4-第四阀；W-基板。

具体实施方式

在下文中，将参考附图对本发明的实施方案进行详细描述，使得本发明所属技术领域中的一般领域技术人员可以容易地实施本发明。然而，本发明构思可以各种不同形式实施且不限于本文中所描述的实施方案。此外，在详细描述本发明构思的正确实施方案时，在判定对相关已知功能或构造的详细描述可能不必要地模糊本发明构思的主旨时，将省略对其的详细描述。此外，针对具有类似功能及作用的零件，在整个图式中使用相同符号。

“包含”或“包括”组件是指可以包含更多其他组件，除非另有说明，否则不排除其他组件。具体而言，术语“包含”、“包括”或“具有”应被理解为表示存在本说明书中所描述的特征、数目、步骤、操作、组件或其组合，而不排除一或多个其他特征或数目、步骤、操作、组件或其组合的存在或添加。

除非上下文另有明确暗示，否则单数表达包含复数表达。此外，为了更清楚地说明，可以夸大图示中的组件的形状及大小。

术语“及/或”包含所列项目中的任一者以及一或多者的所有组合。此外，在本说明书中，术语“连接”不仅意味构件A及构件B直接连接的情况，而且也意味构件C插入于构件A与构件B之间以间接地连接构件A及构件B的情况。

可以各种形式修改本发明构思的实施方案，且本发明构思的范围不应被解释为限于以下实施方案。提供本发明构思的实施方案是为了向一般领域技术人员更充分地说明本发明构思。因此，已经夸大了附图中的组件的形状来强调更清晰的说明。

图1为说明根据本发明构思的实施方案的基板处理设施的平面图。参照图1，基板处理设施1包含索引模块10及工艺处理模块20。索引模块10包含装载端口120及转移框架140。装载端口120、转移框架140及工艺处理模块20在一个方向上按顺序配置。在下文中，配置装载端口120、转移框架140及工艺处理模块20的方向被称为第一方向12，垂直于第一方向12的方向被称为第二方向14，且垂直于包含第一方向12及第二方向14的平面的方向被称为第三方向16。

储存基板W的载体18位于装载端口120上。提供多个装载端口120，且他们沿着第二方向14配置成一排。装载端口120的数目可以根据工艺处理模块20的工艺效率及占据面积条件而增加或减少。用于在基板W相对于地面水平安置的状态下储存基板W的多个狭槽(未示出)形成于载体18处。前开式晶圆传送盒(front opening unified pod；FOUP)可以用作载体18。

工艺处理模块20包含缓冲单元220、转移腔室240及工艺腔室260。转移腔室240的纵向方向平行于第一方向12安置。在转移腔室240的两侧中的每一侧，安置工艺腔室260。工艺腔室260设置为在转移腔室240的一侧及另一侧相对于转移腔室240对称。多个工艺腔室260设置在转移腔室240的一侧。一些工艺腔室260沿着转移腔室240的纵向方向安置。此外，一些工艺腔室260安置成彼此堆叠。也就是说，工艺腔室260可以在转移腔室240的一侧配置成A×B的配置。此处，A为沿着第一方向12设置成一列的工艺腔室260的数目，且B为沿着第三方向16设置成一列的工艺腔室260的数目。若四个或六个工艺腔室260设置在转移腔室240的一侧，则工艺腔室260可以配置成2×2或3×2的配置。工艺腔室260的数目可增加或减少。不同于以上描述，工艺腔室260可以仅设置在转移腔室240的一侧。此外，工艺腔室260可以在转移腔室240的一侧及两侧设置为单层。

缓冲单元220安置在转移框架140与转移腔室240之间。缓冲单元220提供在转移腔室240与转移框架140之间转移基板W之前保留基板W的空间。放置基板W的狭槽(未示出)设置于缓冲单元220内部。多个狭槽(未示出)设置为在第三方向16上彼此间隔开。缓冲单元220的面向转移框架140的表面及面向转移腔室240的表面是敞开的。

转移框架140在安装装置装载端口120上的载体18与缓冲单元220之间转移基板W。转移框架140设置有索引轨142及索引机械手144。索引轨142以平行于第二方向14的纵向方向设置。索引机械手144安装在索引轨142上且沿着索引轨142在第二方向14上线性移动。索引机械手144具有基座144a、主体144b及索引臂144c。基座144a安装成可以沿着索引轨142移动。主体144b联接至基座144a。主体144b设置为可以在基座144a上沿着第三方向16移动。此外，主体144b设置为可以在基座144a上旋转。索引臂144c联接至主体144b且设置为可以相对于主体144b前后移动。多个索引臂144c设置为单独驱动。索引臂144c安置成沿着第三方向16以彼此间隔开的状态堆叠。一些索引臂144c可以用于将基板W从工艺处理模块20转移至载体18，而其他索引臂可以用于将基板W从载体18转移至工艺处理模块20。这可以防止在工艺处理之前从基板W产生的颗粒在由索引机械手144吸收及取出基板W的工艺期间附接至在工艺处理之后的基板W。

转移腔室240在缓冲单元220与工艺腔室260之间及在工艺腔室260之间转移基板W。转移腔室240设置有导轨242及主机械手244。导轨242以平行于第一方向12的纵向方向安置。主机械手244安装在导轨242上且在导轨242上沿着第一方向12线性移动。主机械手244具有基座244a、主体244b及主臂244c。基座244a安装成可以沿着导轨242移动。主体244b联接至基座244a。主体244b设置为可以在基座244a上沿着第三方向16移动。此外，主体244b设置为可以在基座244a上旋转。主臂244c联接至主体244b，主臂设置为可以相对于主体244b前后移动。多个主臂244c设置为单独驱动。主臂244c安置成彼此间隔开且沿着第三方向16堆叠。

在工艺腔室260中，提供用于对基板W执行液体处理工艺的基板处理设备300(参见图2)。取决于待执行的液体处理工艺的类型，基板处理设备300可以具有不同结构。在实施方案中，基板处理设备300执行清洁工艺。与此不同，工艺处理腔室260中的每一者中的基板处理设备300可以具有相同结构。选择性地，工艺腔室260可以划分成多个群组，且工艺腔室260内的基板处理设备300属于相同群组、可以为相同的，且工艺腔室内的基板处理设备300的结构属于不同群组、可以彼此不同。

图2为说明包含液体供给系统5100的基板处理设备300的截面图。图3为液体供给系统5100的放大图。参看图2，基板处理设备300包含处理单元310。处理单元310包含外壳320、自旋头340、升/降单元360及喷嘴单元380。

外壳320具有带敞开顶部的圆柱形形状。外壳320具有内部回收容器322及外部回收容器326。回收容器(322及326)中的每一者回收在工艺中使用的不同化学品。内部回收容器322设置在包围自旋头340的圆环形状，且外部回收容器326设置在包围内部回收容器322的圆环形状。内部回收容器322的内部空间322a及内部回收容器322与外部回收容器326之间的空间326a分别充当化学品流入内部回收容器322及外部回收容器326中的入口。根据实施方案，每一入口可以定位在不同高度处。在回收容器(322及326)中的每一者的底表面下方，连接回收线路322b及326b。引入回收容器(322及326)中的每一者中的化学品可以通过经由回收线路322b及326b提供给外部化学品再生系统(未示出)来重复使用。

自旋头340在工艺期间支承及旋转基板W。自旋头340具有主体342、支承销344、卡盘销346及支承轴348。主体342在俯视时具有大致呈圆形形状的顶表面。可以由驱动单元349旋转的支承轴348固定地联接至主体342的底表面。

提供多个支承销344。支承销344安置在主体342的顶表面的边缘处来以预定间隔彼此隔开且从主体342向上突起。支承销344通过彼此组合而整体地具有圆环形状。支承销344支承基板W的底表面的边缘，使得基板W与主体342的顶表面间隔开预定距离。

提供多个卡盘销346。卡盘销346安置成比支承销344更远离主体342的中心。卡盘销346设置为从主体342向上突起。卡盘销346支承基板W的侧部部分，使得基板W不在自旋头340旋转时与在横向方向上的正常位置分离。卡盘销346设置为沿着主体342的径向方向在待命位置与支承位置之间线性移动。待命位置为比支承位置更远离主体342的中心的位置。当将基板W装载或卸除在自旋头340上时，卡盘销346定位在待命位置处，而当对基板W执行工艺时，卡盘销346定位在支承位置处。在支承位置处，卡盘销346与基板W的侧部位置接触。

升/降单元360在上/下方向上线性移动外壳320。随着外壳320上下移动，外壳320相对于自旋头340的相对高度改变。升/降单元360具有支架362、移动轴364及驱动器366。支架362固定安装在外壳320的外壁处，且由驱动器366在上/下方向上移动的移动轴364固定联接至支架362。当基板W放置在自旋头340上或抬离自旋头340时，外壳320下降，使得自旋头340从外壳320向上突起。此外，在工艺期间，将外壳320的高度调整成使得化学品可以根据供给至基板W的化学品的类型而流入预定回收容器(322及326)中。选择性地，升/降单元360可以在上/下方向上移动自旋头340。

喷嘴单元380包含支承轴386、支承件382及喷嘴390。喷嘴单元380将化学品喷射至基板W上。可以提供多个喷嘴单元380。支承轴386安置在外壳320的一侧。支承轴386具有杆形状，其纵向方向在上/下方向上设置。支承轴386可以由驱动构件388旋转及提升/降低。与此不同，支承轴386可以在水平方向上线性移动且由驱动构件388提升/降低。支承件382支承喷嘴390。支承件382联接至支承轴386，且喷嘴390固定联接至支承件382的端部部分的底表面。喷嘴390可以通过支承轴386的旋转而摇摆移动。

将参考图3描述液体供给系统5100。

液体供给系统5100包含液体储存单元500。液体储存单元500经由加液线路L4连接至化学品供给源700。液体储存单元500经由供给线路L1连接至喷嘴390。喷嘴390配置为将化学品排放至基板W。

液体储存单元500包含罐壳510。罐壳510界定储存空间512。在实施方案中，罐壳510形成储存空间512。处理液体储存在储存空间512中。

罐壳510连接至循环线路L3。罐壳510经由流出线路L2连接至循环线路L3。循环线路L3联接至罐壳510的顶部。循环线路L3在储存空间512内从顶部朝向底部延伸以形成液体入口管523，且入口523a设置在液体入口管523的端部处。第三阀V3安装在循环线路L3处。第三阀V3打开及关闭循环线路L3的流体通道。

循环线路L3连接至流出线路L2。流出线路L2联接至罐壳510的底侧。流出线路L2在储存空间512中从底侧朝向顶侧延伸以形成液体出口管521，且出口521a设置在液体出口管521的端部部分处。

泵600安装在流出线路L2处。泵600提供流动压力，使得产生从流出线路L2的出口521a至穿过循环线路L3的入口523a或至穿过供给线路L1的喷嘴390的化学品流动。同时，尽管未示出，但用于加热流过循环线路L3的处理液体的加热器可以设置在循环线路L3处。

罐壳510连接至加液线路L4。加液线路L4联接至罐壳510的顶侧。加液线路L4的排放端口525a定位在储存空间512的顶部零件处。经由加液线路L4将储存在化学品供给源700处的化学品转移至储存空间512。经由排放端口525a排放的化学品落下且填充储存空间512。第四阀V4安装在加液线路L4上。第四阀V4打开及关闭化学品朝向储存空间512的流动。

供给线路L1从流出线路L2的泵600下游与流出线路L2分支。第一阀V1安装在供给线路L1上。第一阀V1打开及关闭化学品朝向喷嘴390的流动。

图4为根据本发明构思的实施方案的液体储存单元500的截面立体图。图5为说明图3的实施方案中的液体出口管521及液体入口管523与第一壁之间的关联的放大截面图。图3将参考图4及图5来进行描述。

液体出口管521穿透至罐壳中。提供液体出口管521的端部部分作为出口521a。液体入口管523穿透至罐壳中。提供液体入口管523的端部部分作为入口523a。经由液体出口管521排放的液体可以经由流出线路L2及循环线路L3流动至液体入口管523。

界定储存空间512的壁511的底表面具有突起的中心且形成为朝向圆周方向向下倾斜，然后再次向上倾斜。在实施方案中，界定储存空间512的壁511的底表面可以形成为压成环状物的形状。

液体出口管521穿透至区的从底表面突起的中心区中。在界定储存空间512的壁511当中，将出口521a与入口523a之间的区的在上/下方向上突出的壁的一部分界定为第一壁511a。第一壁511a形成为相对于朝向入口523a的方向向下倾斜。第一壁511a可以形成为倾斜角朝向向下方向减小的圆形形状。此外，形成第二壁511b，该第二壁形成为在第一壁511a的一端处向上倾斜。第二壁511b可以形成为倾斜角随着其上升而增加的圆形形状。第一壁511a充当用于引导经由入口523a引入的化学品的引导表面。通过第一壁511a，经由入口523a引入的化学品不直接流向出口521a，而是沿着第一壁511a被引导以主要防止形成从入口523a至出口521a的不可见的直流体通道。

在上/下方向上突出的液体入口管523的一些或所有入口523a定位在第一壁511a在上/下方向上突出的区A1内。在上/下方向上突出的液体出口管521的出口521a定位在第一壁511a在上/下方向上突出的区A1外部。

液体入口管523的入口523a定位成与储存空间512的底表面相邻。在实施方案中，入口523a的位置可以设置为低于第一壁511a的最顶层部分的高度h1。在实施方案中，入口523a的位置设置为低于出口521a的位置。若入口523a的位置设置为低于出口521a的位置，则可以主要防止形成从入口523a至出口521a的不可见的流体通道。

液体出口管521可以插入储存空间512的底表面中。液体出口管521的出口521a可以设置为高于第一壁511a的最顶层部分的高度h1。

液体入口管523尽可能靠近界定储存空间512的底表面地插入，以防止由于滴落而产生气泡。液体出口管521设置在界定储存空间512的底表面处，以便平稳地吸收化学品。根据本发明构思的实施方案，液体入口管523设置成靠近底表面，以防止由于滴落而产生气泡，且平稳地将化学品吸入液体出口管521中，且防止从入口523a至出口521a的线性流体流动，从而均匀地混合储存空间512中的化学品。此外，引导从入口523a排放的化学品以在不与底表面碰撞的情况下维持流动，从而减少了因排放的化学品与底表面碰撞而引起的压力变化。

图6为图3至图5中所描述的实施方案的液体储存单元处的流体流动模拟。当如同本发明构思的实施方案中一般进行配置时，流体的流动如所示出一般改善，且储存空间内的循环流动变得活跃。当循环流动变得活跃时，可以均匀混合化学品且可以稳定温度分布。

图7为说明根据本发明构思的另一实施方案(第二实施方案)的液体储存单元的液体入口管及液体出口管与第一壁之间的关联的放大截面图。此将参考图4进行描述。在描述中，与图3至图5中所描述的实施方案相同的配置将用以上描述进行替换。形成第一壁1511a的部分区可以形成为维持在预定角度。且出口521a可以设置为等于第一壁1511a的最顶层部分的高度h1。

图8为说明根据本发明构思的另一实施方案(第三实施方案)的液体储存单元的液体入口管与液体出口管之间的关联的放大截面图。此将参考图8进行描述。在描述中，与图3至图5中所描述的实施方案相同的配置将用以上描述进行替换。且液体入口管523的入口523a可以设置为等于第一壁511a的最顶层部分的高度h1。

图9为说明根据本发明构思的另一实施方案(第四实施方案)的液体储存单元的液体入口管与液体出口管之间的关联的放大截面图。在描述中，与图3至图5中所描述的实施方案相同的配置将用以上描述进行替换。在不依赖于如上所述的第一壁的高度h1的情况下，入口523a可以定位成低于出口521a的位置。

图10为根据本发明构思的另一实施方案(第五实施方案)的液体储存单元的截面图。液体储存单元2500包含罐壳2510。罐壳2510包含储存空间2512。储存空间2512由罐壳2510的内壁界定。罐壳2510包含分隔壁2531。分隔壁2531横跨在液体入口管523的入口523a与液体出口管521的出口521a之间。分隔壁2531设置在入口523a与出口521a之间，且充当用于引导从入口523a引入的液体不直接流向出口521a的引导表面。化学品通过分隔壁2531流过储存空间2512。分隔壁2531可以形成为向上倾斜至一侧。在实施方案中，分隔壁2531设置为倾斜成使得开口侧朝上，从而使得所引入液体向上流动。

图11为根据本发明构思的另一实施方案(第六实施方案)的液体储存单元的截面图。此将参考图11进行描述。在描述中，与图10中所描述的实施方案相同的配置将用以上描述进行替换。分隔壁2532可以水平地形成。与图10中所描述的实施方案相比，可以降低化学品流过的流动性，但由分隔壁2532产生的差异减小。

图12为根据本发明构思的另一实施方案(第七实施方案)的液体储存单元的截面图。此将参考图12进行描述。在描述中，与图10中所描述的实施方案相同的配置将用以上描述进行替换。分隔壁2533可以形成为向下倾斜至一侧。在实施方案中，分隔壁2533设置为倾斜成使得开口侧朝下。与图10中所描述的实施方案相比，可以降低化学品流过的流动性，但由分隔壁2533产生的差异减小。

图13为根据本发明构思的另一实施方案(第八实施方案)的液体储存单元的截面图。液体储存单元3500包含罐壳3510。罐壳3510包含储存空间3512。储存空间3512由罐壳3510的内壁界定。罐壳3510包含分隔壁3530。分隔壁3530形成为圆柱形形状。分隔壁3530包围入口523a。分隔壁2531包围入口523a且充当用于引导从入口523a引入的液体不直接流向出口521a的引导表面。所引入化学品由于分隔2531而向上流动且流过储存空间2512。

图14为说明根据第二实施方案的包含液体供给系统5200的基板处理设备300的截面图。基板处理设备300与图2中所描述的基板处理设备相同，且将用对图2的描述进行替换。第二实施方案的液体供给系统5200包含两个罐壳510。两个罐壳510具有相同结构。

每一罐壳510界定储存空间512。在实施方案中，罐壳510形成储存空间512。处理液体储存在储存空间512中。

罐壳510中的每一者连接至循环线路L5。循环线路L5包含整合循环线路L6。第一泵610安装在整合循环线路L6处。第一泵610提供用于使处理液体循环的流动压力。用于加热流过整合循环线路L6的处理液体的加热器(未示出)可以设置在整合循环线路L6处。

循环线路L5的一端联接至罐壳510的顶侧。循环线路L5在储存空间512中从顶侧朝向底侧延伸以形成液体入口管523，且入口523a设置在液体入口管523的端部部分处。此外，循环线路L5的另一端联接至罐壳510的底侧。循环线路L5在储存空间512中从底侧朝向顶侧延伸以形成(第一)液体出口管521，且(第一)出口521a设置在(第一)液体出口管521的端部部分处。第一泵610提供压力以使得处理液体从(第一)出口521a朝向入口523a流动。

第二阀V2安装在循环线路L5上。第二阀V2打开及关闭循环线路L5的流体通道。储存在储存空间512中的处理液体根据第二阀V2的开启及第一泵610的操作而经由循环线路L5及整合循环线路L6循环。

第二液体出口管531设置为在储存空间512中从底侧朝向顶侧延伸。第二液体出口管531可以设置在(第一)液体出口管521周围。在实施方案中，若(第一)液体出口管521设置在储存空间512的底表面的中心处，则第二液体出口管531可以设置在偏离中心的位置处。若第二液体出口管531设置为从底表面以预定高度突起及延伸，则有可能防止已下沉至储存空间512的底表面的悬浮固体被供给至基板处理设备300。第二液体出口管531分别连接至供给线路L1。第二泵620安装在供给线路L1上。第二泵620提供压力以使得将处理液体供给至喷嘴390。

罐壳510连接至加液线路L4。加液线路L4联接至罐壳510的顶侧。加液线路L4的排放端口525a定位在储存空间512上方。经由加液线路L4将储存在化学品供给源700中的化学品转移至储存空间512。经由排放端口525a排放的化学品落下且填充储存空间512。第四阀V4安装在加液线路L4上。第四阀V4打开及关闭化学品朝向储存空间512的流动。

本发明构思的效应不限于上面提及的效应，且本发明构思所属领域中的本领域技术人员可以根据说明书及附图清楚地理解未提及的效应。

尽管迄今为止已说明及描述了本发明构思的较佳实施方案，但本发明构思不限于上述具体实施方案，且应注意，本发明构思所属领域中的一般领域技术人员可以在不背离申请专利范围中要求保护的发明构思的本质的情况下以各种方式实施本发明构思，且这些修改不应与本发明构思的技术精神或前景分开解释。

Claims (20)

1.一种液体储存单元，所述液体储存单元包括：

罐壳，在所述罐壳中界定有储存空间；

液体出口管，所述液体出口管穿透至所述罐壳中且在所述液体出口管上形成有出口；以及

液体入口管，所述液体入口管穿透至所述罐壳中且在所述液体入口管上形成有入口，

其中第一引导表面设置在所述出口与所述入口之间。

2.根据权利要求1所述的液体储存单元，其中所述第一引导表面形成为使得从所述入口引入的液体流被引导为更远离所述出口。

3.根据权利要求1所述的液体储存单元，其中将所述第一引导表面界定为界定所述储存空间的底表面。

4.根据权利要求1所述的液体储存单元，其中所述第一引导表面设置为具有在从设置所述出口的零件朝向设置所述入口的零件的方向上减小的高度。

5.根据权利要求1所述的液体储存单元，其中所述入口的一部分或全部在俯视时与所述第一引导表面重叠。

6.根据权利要求1所述的液体储存单元，其中所述出口定位在所述第一引导表面在上/下方向上突出的区的外部。

7.根据权利要求1所述的液体储存单元，其中所述第一引导表面为界定所述储存空间的底表面当中的部分，

所述底表面具有向上突起的中心及从所述中心朝向边缘方向减小的高度，

其中将所述第一引导表面界定为具有减小的所述高度的表面，并且

将所述液体出口管设置为穿过向上突起的所述中心。

8.根据权利要求1所述的液体储存单元，其中所述第一引导表面为圆形。

9.根据权利要求3所述的液体储存单元，其中所述底表面包含第二引导表面，所述第二引导表面具有从所述第一引导表面的端部部分朝向所述边缘方向增加的高度。

10.根据权利要求9所述的液体储存单元，其中所述第二引导表面为圆形。

11.根据权利要求1所述的液体储存单元，其中所述液体入口管的所述入口定位成与所述储存空间的底表面相邻。

12.根据权利要求11所述的液体储存单元，其中所述入口定位在低于所述第一引导表面的顶端的位置处或定位在相同水平高度处。

13.根据权利要求1所述的液体储存单元，其中所述出口定位在高于所述第一引导表面的顶部部分的位置处或定位在相同水平高度处。

14.根据权利要求1所述的液体储存单元，其中所述入口定位在低于所述第一引导表面的顶端的位置处或定位在相同水平高度处，并且

其中所述出口定位在高于所述第一引导表面的顶部部分的位置处或定位在相同水平高度处。

15.根据权利要求1所述的液体储存单元，其中所述出口的水平高度高于定位所述入口的水平高度。

16.一种液体储存单元，所述液体储存单元包括：

罐壳，在所述罐壳中界定有储存空间；

液体出口管，所述液体出口管穿透至所述罐壳中且在所述液体出口管上形成有出口；以及

液体入口管，所述液体入口管穿透至所述罐壳中且在所述液体入口管上形成有入口，

其中所述出口定位在比所述入口的位置更高的位置处。

17.根据权利要求1或16所述的液体储存单元，其进一步包括连接所述液体出口管及所述液体入口管的第一线路。

18.根据权利要求17所述的液体储存单元，其进一步包括泵，所述泵设置在所述第一线路处且用于产生从所述液体出口管至所述液体入口管的液体流。

19.根据权利要求17所述的液体储存单元，其进一步包括液体充填线路，所述液体充填线路经由液体供给源及第二线路连接且穿透至所述罐壳中。

20.一种基板处理设备，所述基板处理设备包括：

基板支承单元，所述基板支承单元配置为支承基板；

喷嘴，所述喷嘴将液体供给至支承在所述基板支承单元上的基板；以及

液体储存单元，所述液体储存单元配置为经由能够转移流体的第一线路连接至所述喷嘴，

其中所述液体储存单元包括：

罐壳，在所述罐壳中界定有储存空间；

液体出口管，所述液体出口管穿透至所述罐壳中且在所述液体出口管上形成有出口，所述第一线路连接成使得能够转移流体；

液体入口管，所述液体入口管穿透至所述罐壳中且在所述液体入口管上形成有入口，且使所述入口设置成与所述储存空间的底表面相邻；

液体充填线路，所述液体充填线路经由液体供给源及第二线路连接且穿透至所述罐壳中；

连接线路，所述连接线路连接所述液体出口管及所述液体入口管；以及

泵，所述泵设置在所述连接线路处且产生从所述液体出口管至所述液体入口管的液体流；

其中第一引导表面设置在所述出口与所述入口之间，

所述第一引导表面为界定所述储存空间的所述底表面当中的部分区，

所述底表面具有向上突起的中心及从向上突起的零件朝向边缘方向减小的高度，

将所述第一引导表面界定为具有减小的高度的表面，

将所述液体出口管设置为穿过向上突起的所述中心，

所述入口定位成低于所述第一引导表面的顶端或定位在相同水平高度处，并且

其中所述出口定位在高于所述第一引导表面的顶部部分的位置处或定位在相同水平高度处。

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