CN115781946A - 一种铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型及制备与应用 - Google Patents
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Abstract
本发明属于压电晶体应用技术领域，具体涉及一种铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型及制备与应用。本发明提供了一种铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型，切型为YXl/θ，200°≤θ≤250°。本发明针对铌酸锂晶体纵向伸缩振动模式d22，设计了适用于宽温域范围内压电性能优异且温度稳定性高的切型；对于同成分铌酸锂晶体，在室温至600℃范围内，有效压电常数d’22的绝对值大于23pC/N，d’22随温度的变化率均小于17％；对于近化学计量比铌酸锂晶体，在室温至700℃范围内，该切型有效压电常数d’22的绝对值均大于24pC/N，d’22随温度的变化率均小于16％，表明本发明的铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型适合高温压电传感器件的研制。
Description
技术领域
本发明属于压电晶体应用技术领域，具体涉及一种铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型及制备与应用。
背景技术
公开该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本发明的总体背景的理解，而不必然被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已经成为本领域一般技术人员所公知的现有技术。
以压电材料为核心部件研制的压电加速度传感器、压力传感器、声发射传感器等，在诸多领域的健康检测中发挥着日益重要的作用，但随着航空航天、核电能源、石油勘测等领域的快速发展，它们对传感器件的耐温性能提出了更高的要求，希望传感器能够在更高温度范围内服役，传感器件的高温检测灵敏度主要取决于核心元件压电材料的性能优劣，寻找一款高温压电性能优异且稳定的压电材料至关重要。
目前开发了多种压电材料，如压电薄膜、压电陶瓷和压电单晶等，它们的综合性能各不相同。对于压电薄膜材料来说，使用最多的当属PVDF-TrFE压电聚合物材料，Yehai Li等通过原位制造技术，利用喷涂等加工步骤在被测负载结构表面上直接功能化，由此制备的压电聚合物基传感器具有轻巧、适应性高的特点，但是受PVDF-TrFE压电聚合物材料自身属性的限制，所研制的传感器件只能工作在中低温环境中(<150℃)。(参见Li Y H,Feng W,Meng L,et al.Investigation on in-situ sprayed,annealed and corona poled PVDF-TrFE coatings for guided wave-based structural health monitoring:Fromcrystallization to piezoelectricity.Materials and Design.2021,199:109415)
压电陶瓷材料也是比较常见的压电材料，比如K-15型高温压电陶瓷是美国Piezo-Technologies公司的产品，陶瓷的居里温度能够达到700℃，该系列压电陶瓷材料已成功应用于美国Endevco公司生产的高温压电振动传感器(6233C-10/50/100等)，以及丹麦B&K公司生产的482℃高温压电振动传感器(8324型)，该系列传感器的工作温度相对较低(<482℃)。
相比于压电薄膜和陶瓷材料，部分压电晶体材料在高温环境中具有一定的应用优势，例如铌酸锂晶体(LiNbO3，LN)，它在宽温域范围内性能变化较为稳定，是研制高温压电传感器件的良好选材。
发明内容
为了解决现有技术的不足，本发明的目的是提供一种铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型及制备与应用。本发明的铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型具有宽适用温度、大有效压电常数和较小的有效压电常数随温度变化率，使得压电传感器件兼具高的检测灵敏度和工作温度。
为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：
第一方面，本发明提供了一种铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型，切型为YXl/θ，200°≤θ≤250°。
铌酸锂晶体属于三方晶系，3m点群，其物理学轴X、Y和Z轴分别平行于[100]、[120]和[001]的结晶方向，根据晶体物理学轴与晶体学轴之间的关系，便可确定铌酸锂晶体的物理学轴X、Y和Z的方向，三者满足右手螺旋法则。本发明所述的铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型是厚度方向为Y，长度方向为X，以长度l方向(即X方向)为旋转轴转动θ角度的晶片。
第二方面，本发明提供了上述铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型的制备方法，包括以下步骤：
(1)通过X射线定向仪，根据晶体结晶学轴和物理学轴之间的关系，对铌酸锂晶体进行标准定向，准确标定铌酸锂晶体的物理学轴X、Y和Z方向；
(2)将(1)中定向得到的晶体通过石蜡胶固定于切割机底座上，随后利用金刚石切割机对晶体进行初加工，得到合适大小的块体；对得到的块体进行解胶然后重新固定，再次利用金刚石切割机对块体进行切割，加工得到铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型毛胚；
(3)将(2)中切割得到的毛胚固定于研磨盘，然后利用双面研磨机对得到切型厚度方向的晶面进行精密抛光。
第三方面，本发明提供了上述铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型在制备压电传感元件中的应用。
本发明所述铌酸锂晶体切型样品的尺寸比例为厚度∶宽度∶长度＝1～2∶8～12∶8～12。
本发明所述铌酸锂晶体最优切型压电性能具有周期性变化规律(周期为π或2π)，周期变换范围内压电性能具有一致性，涉及到的切型均在本发明保护范围之内。
本发明保护的是铌酸锂晶体利用纵向伸缩振动模式产生压电响应的切型，而不限于本专利中切型尺寸比例、切型形状、偏转角度等因素，任何利用LN晶体纵向压缩振动模式研制的压电传感元件，均在本专利的保护范围之内。
上述本发明的一种或多种技术方案取得的有益效果如下：
1、本发明针对铌酸锂晶体纵向伸缩振动模式d22，设计了适用于宽温域范围内压电性能优异且温度稳定性高的切型。
2、对于同成分铌酸锂晶体，在室温至600℃范围内，有效压电常数d’22的绝对值大于23pC/N，d’22随温度的变化率均小于17％，适合高温压电传感器件的研制。
3、对于近化学计量比铌酸锂晶体，在室温至700℃范围内，该切型有效压电常数d’22的绝对值均大于24pC/N，d’22随温度的变化率均小于16％，同样非常适合高温压电传感器件的研制。
附图说明
构成本发明的一部分的说明书附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。
图1为本发明铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型的示意图；
图2为本发明实施例1-3有效压电常数d’22随温度变化曲线图；
图3为本发明实施例1-3有效压电常数d’22随温度变化率曲线图；
图4为本发明实施例4-6有效压电常数d’22随温度变化曲线图；
图5为本发明实施例4-6有效压电常数d’22随温度变化率曲线图。
具体实施方式
应该指出，以下详细说明都是示例性的，旨在对本发明提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本发明所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。
需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本发明的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
压电效应：某些电介质在沿一定方向上受到外力的作用时会产生变形，同时内部会产生极化现象，其两个相对表面上出现正负相反的电荷，当外力去掉后，它又会恢复到不带电的状态，这种现象称为正压电效应。相反，当在电介质的极化方向上施加电场，这些电介质也会发生变形，电场去掉后，电介质的变形随之消失，这种现象称为逆压电效应。
有效压电常数：晶体切型绕压电物理轴X、Y、Z中某一个或多个轴旋转后得到的压电常数，称为有效压电常数，记作d’ij。
本发明的第一种典型实施方式，一种铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型，铌酸锂晶体物理学轴X、Y和Z轴分别平行于[100]、[120]和[001]的结晶方向，根据晶体物理学轴与晶体学轴之间的关系，便可确定铌酸锂晶体的物理学轴X、Y和Z的方向，三者满足右手螺旋法则；如图1所示，切型为厚度方向为Y，长度方向为X，以长度l方向为旋转轴转动θ角度的晶片，记为YXl/θ，200°≤θ≤250°。
铌酸锂晶体属于三方晶系，3m点群，其物理学轴X、Y和Z轴分别平行于[100]、[120]和[001]的结晶方向，根据晶体物理学轴与晶体学轴之间的关系，便可确定铌酸锂晶体的物理学轴X、Y和Z的方向，三者满足右手螺旋法则。本发明所述的铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型是厚度方向为Y，长度方向为X，以长度l方向(即X方向)为旋转轴转动θ角度的晶片。
该实施方式的一种或多种实施例中，所述铌酸锂晶体为同成分铌酸锂、近化学计量比铌酸锂晶体中的一种。
该实施方式的一种或多种实施例中，尺寸比例为厚度∶宽度∶长度＝1～2∶8～12∶8～12。
该实施方式的一种或多种实施例中，铌酸锂晶体为同成分铌酸锂时，室温到600℃范围内，铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型有效压电常数d’22的绝对值大于23pC/N。
该实施方式的一种或多种实施例中，铌酸锂晶体为同成分铌酸锂时，室温到600℃范围内，铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型有效压电常数d’22随温度的变化率小于17％。
该实施方式的一种或多种实施例中，铌酸锂晶体为近化学计量比铌酸锂晶体时，室温到700℃范围内，铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型有效压电常数d’22的绝对值大于24pC/N。
该实施方式的一种或多种实施例中，铌酸锂晶体为近化学计量比铌酸锂晶体时，室温到700℃范围内，铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型有效压电常数d’22随温度的变化率小于16％。
本发明的第二种典型实施方式，上述铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型的制备方法，包括以下步骤：
(1)通过X射线定向仪，根据晶体结晶学轴和物理学轴之间的关系，对铌酸锂晶体进行标准定向，准确标定铌酸锂晶体的物理学轴X、Y和Z方向；
(2)将(1)中定向得到的晶体通过石蜡胶固定于切割机底座上，随后利用金刚石切割机对晶体进行初加工，得到合适大小的块体；对得到的块体进行解胶然后重新固定，再次利用金刚石切割机对块体进行切割，加工得到铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型毛胚；
(3)将(2)中切割得到的毛胚固定于研磨盘，然后利用双面研磨机对得到切型厚度方向的晶面进行精密抛光。
本发明的第三种典型实施方式，上述铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型在制备压电传感元件中的应用。
为了使得本领域技术人员能够更加清楚地了解本发明的技术方案，以下将结合具体的实施例与对比例详细说明本发明的技术方案。
实施例1
本实施例中同成分铌酸锂的压缩式高温压电敏感切型为厚度方向为Y，长度方向为X，以长度l方向(即X方向)为旋转轴转动220°角度的晶片，尺寸为厚度∶宽度∶长度＝1.5:8:8。
实施例2
与实施例1不同的是，旋转角度为230°，尺寸为厚度∶宽度∶长度＝1.6:9:9。
实施例3
与实施例1不同的是，旋转角度为240°，尺寸为厚度∶宽度∶长度＝1.8:8:8。
实施例4
本实施例中近化学计量比铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型为厚度方向为Y，长度方向为X，以长度l方向(即X方向)为旋转轴转动200°角度的晶片，尺寸为厚度∶宽度∶长度＝1.5:9:9。
实施例5
与实施例4不同的是，旋转角度为230°，尺寸为厚度∶宽度∶长度＝1.4:11:11。
实施例6
与实施例4不同的是，旋转角度为240°，尺寸为厚度∶宽度∶长度＝1.2:10:10。
实验例1
将实施例1-8得到的切型分别在厚度方向上镀铂金电极，电极厚度约为200nm，随后将镀电极样品置于准静态d33测量仪中，温度范围设置为室温至600℃(实施例1-3)或700℃(实施例4-6)，准确测定并记录样品的压电性能变化。
表1.铌酸锂晶体不同切型有效压电常数d’22大小及其变化率对比
通过表1可以看出，θ角大小对LN晶体切型的有效压电常数d’22大小以及变化率影响显著。对于同成分铌酸锂晶体，在室温至600℃范围内，如图2所示有效压电常数d’22的绝对值均大于23pC/N，如图3所示d’22随温度变化率均小于17％；对于近化学计量比铌酸锂晶体，在室温至700℃范围内，如图4所示有效压电常数d’22的绝对值均大于24pC/N，如图5所示d’22随温度变化率均小于16％。综上所述，同成分铌酸锂和近化学计量比铌酸锂晶体晶体的最优切型在宽温域范围内均具有高的压电活性和好的温度稳定性，在高温传感领域具有明朗的应用前景。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型，其特征在于，铌酸锂晶体物理学轴X、Y和Z轴分别平行于[100]、[120]和[001]的结晶方向，根据晶体物理学轴与晶体学轴之间的关系，便可确定铌酸锂晶体的物理学轴X、Y和Z的方向，三者满足右手螺旋法则；切型为厚度方向为Y，长度方向为X，以长度l方向为旋转轴转动θ角度的晶片，记为YXl/θ，200°≤θ≤250°。
2.如权利要求1所述的铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型，其特征在于，所述铌酸锂晶体为同成分铌酸锂、近化学计量比铌酸锂晶体中的一种。
3.如权利要求1所述的铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型，其特征在于，尺寸比例为厚度∶宽度∶长度＝1～2∶8～12∶8～12。
4.如权利要求2所述的铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型，其特征在于，铌酸锂晶体为同成分铌酸锂时，室温到600℃范围内，铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型有效压电常数d’22的绝对值大于23pC/N。
5.如权利要求2所述的铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型，其特征在于，铌酸锂晶体为同成分铌酸锂时，室温到600℃范围内，铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型有效压电常数d’22随温度的变化率小于17％。
6.如权利要求2所述的铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型，其特征在于，铌酸锂晶体为近化学计量比铌酸锂晶体时，室温到700℃范围内，铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型效压电常数d’22的绝对值大于24pC/N。
7.如权利要求2所述的铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型，其特征在于，铌酸锂晶体为近化学计量比铌酸锂晶体时，室温到700℃范围内，铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型有效压电常数d’22随温度的变化率小于16％。
8.权利要求1-7所述的铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)通过X射线定向仪，根据晶体结晶学轴和物理学轴之间的关系，对铌酸锂晶体进行标准定向，准确标定铌酸锂晶体的物理学轴X、Y和Z方向；
(2)将(1)中定向得到的晶体通过石蜡胶固定于切割机底座上，随后利用金刚石切割机对晶体进行初加工，得到合适大小的块体；对得到的块体进行解胶然后重新固定，再次利用金刚石切割机对块体进行切割，加工得到铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型毛胚；
(3)将(2)中切割得到的毛胚固定于研磨盘，然后利用双面研磨机对得到切型厚度方向的晶面进行精密抛光。
9.权利要求1-7任一项所述的铌酸锂晶体的压缩式高温压电敏感切型在制备压电传感元件中的应用。
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Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3858065A (en) * | 1970-12-31 | 1974-12-31 | Becton Dickinson Co | Annular 3m class piezoelectric crystal transducer |
| JPH0236608A (ja) * | 1988-07-27 | 1990-02-06 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波素子の周波数調整方法 |
| JPH03115853A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-16 | Hitachi Ltd | 微少反応検出センサ及びシステム |
| JPH1155064A (ja) * | 1997-07-29 | 1999-02-26 | Santech Co Ltd | ウェハおよび圧電素子 |
| WO2003010888A1 (fr) * | 2001-07-20 | 2003-02-06 | Thales | Dispositif a ondes acoustiques de surface a faibles pertes avec couche dielectrique de forte permittivite |
| CN101775657A (zh) * | 2010-01-07 | 2010-07-14 | 山东大学 | 硅酸镓镧系列晶体高温零温度补偿切型及应用 |
| RU2397605C1 (ru) * | 2009-02-12 | 2010-08-20 | Открытое акционерное общество "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем" (ОАО "Российские космические системы") | СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ ДЛЯ ПЬЕЗОУСТРОЙСТВ С ПЬЕЗОВИБРАТОРАМИ СРЕЗОВ yx1/+45° И yx1/-45° |
| JP5174995B2 (ja) * | 2011-02-24 | 2013-04-03 | 日本碍子株式会社 | 焦電素子 |
| CN112243567A (zh) * | 2018-06-07 | 2021-01-19 | Rf360欧洲有限责任公司 | 电声谐振器以及包括电声谐振器的rf滤波器 |
| CN113758999A (zh) * | 2021-09-07 | 2021-12-07 | 山东大学 | 铌酸锂晶体压电切型及其在高温压电超声换能器中的应用 |
-
2022
- 2022-11-29 CN CN202211507374.3A patent/CN115781946B/zh active Active
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3858065A (en) * | 1970-12-31 | 1974-12-31 | Becton Dickinson Co | Annular 3m class piezoelectric crystal transducer |
| JPH0236608A (ja) * | 1988-07-27 | 1990-02-06 | Fujitsu Ltd | 弾性表面波素子の周波数調整方法 |
| JPH03115853A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-16 | Hitachi Ltd | 微少反応検出センサ及びシステム |
| JPH1155064A (ja) * | 1997-07-29 | 1999-02-26 | Santech Co Ltd | ウェハおよび圧電素子 |
| WO2003010888A1 (fr) * | 2001-07-20 | 2003-02-06 | Thales | Dispositif a ondes acoustiques de surface a faibles pertes avec couche dielectrique de forte permittivite |
| RU2397605C1 (ru) * | 2009-02-12 | 2010-08-20 | Открытое акционерное общество "Российская корпорация ракетно-космического приборостроения и информационных систем" (ОАО "Российские космические системы") | СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КВАРЦЕВЫХ КРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ ДЛЯ ПЬЕЗОУСТРОЙСТВ С ПЬЕЗОВИБРАТОРАМИ СРЕЗОВ yx1/+45° И yx1/-45° |
| CN101775657A (zh) * | 2010-01-07 | 2010-07-14 | 山东大学 | 硅酸镓镧系列晶体高温零温度补偿切型及应用 |
| JP5174995B2 (ja) * | 2011-02-24 | 2013-04-03 | 日本碍子株式会社 | 焦電素子 |
| CN112243567A (zh) * | 2018-06-07 | 2021-01-19 | Rf360欧洲有限责任公司 | 电声谐振器以及包括电声谐振器的rf滤波器 |
| CN113758999A (zh) * | 2021-09-07 | 2021-12-07 | 山东大学 | 铌酸锂晶体压电切型及其在高温压电超声换能器中的应用 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 刘玉帅，刘康福等, 《基于铌酸锂薄膜的5G谐振器和滤波器》, vol. 2, no. 4, 31 December 2020 (2020-12-31), pages 136 - 151 * |
Also Published As
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