CN115769060B - 测量有涂层的光学元件的反射率的测量装置和方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种测量物镜的带涂层的光学元件(105)的反射率的测量装置(100)。该测量装置(100)具有光提供装置(107)、至少一个测量装置物镜(110)和至少一个图像传感器(115)。该光提供装置(107)具有至少一个光源(117)，该光提供装置被设计用于提供至少两条光束(120)，这些光束各自具有不同的限定波长。该测量装置物镜(110)成型用于将这些光束(120)聚焦到该涂层的光学元件(105)上。该图像传感器(115)布置和被设计用于感测由该光学元件(105)反射的光束(125)的至少一种强度和/或反射波长，以便响应于这些感测到的由该光学元件(105)反射的该光束(125)的该强度和/或反射波长来测量该反射率。

Description

测量有涂层的光学元件的反射率的测量装置和方法

技术领域

本方法涉及一种测量光学元件如透镜或平面板的反射率的测量装置和方法，这些光学元件将用在例如引导光源光束的物镜中，或用作光路中的保护玻璃。

背景技术

EP 1 785 692 A2描述了一种测量内侧涂有润滑剂和疏水涂层的透明容器，特别是药品容器的层厚度和层均匀性的方法和装置。DE 11 2010 001378T5公开了一种薄膜厚度测量仪器和测量方法。

发明内容

在该背景下，本方法提出了一种测量用于光源的物镜的带涂层的光学元件的反射率的测量装置以及一种测量用于光源的物镜的带涂层的光学元件的反射率的方法。有利的实施方案从下面的描述中得出。

利用所提出的方法可实现的优势在于，可区分外观相同但涂层不同的光学元件。因此，在构造具有例如几个光学元件的物镜时，可避免混淆。

一种测量用于光源的物镜的带涂层的光学元件的反射率的测量装置具有光提供装置、至少一个测量装置物镜和至少一个图像传感器。该光提供装置具有至少一个光源，该光源被设计用于提供至少两条光束，这些光束各自具有限定波长。该测量装置物镜成型用于将这些光束聚焦到该带涂层的光学元件上。该图像传感器布置和成型用于感测由光学元件反射的光束的至少一种强度和/或反射波长，以便响应于感测到的由光学元件反射的光束的强度和/或反射波长来测量反射率。

图像传感器可为摄像头。光源在本文可理解为激光光源。光学元件在本文例如可理解为透镜、棱镜或类似物。这样的测量装置可有利地用于例如测试预期的反射率。由于光学元件的涂层对使用中为其设置的波长具有特定的大多数情况低的反射率，但对另外的波长则具有大多数情况高的反射率，因此可非常快速且容易地参照反射光束的强度和/或反射波长来识别出透镜是否有涂层以及涂层针对的是哪个波长。因此，使用这样的测量装置，只需利用非常少的且便宜的部件就可以可靠地测试出哪个光学元件针对哪个波长。

该测量装置具有评估装置，该评估装置被设计用于，如果至少一条反射光束的强度不超过阈值，则确定为正测量结果，并且/或者如果至少一条反射光束的强度超过阈值，则确定为负测量结果，并且/或者如果强度小于由光提供装置提供的，具有另外的限定波长的另外的光束的另外的强度，该另外的光束是由该光学元件反射的，则确定为正测量结果。如果例如在最大百分之20偏差的公差范围内，强度未超过由光提供装置提供的光束的强度的百分之0.5的阈值，则此类小的强度信号可表示预期的反射率为百分之0.5。这样的话，光学元件的涂层针对强度的百分之99.5是透射的，并且因此适用于限定波长。然而，如果强度超过例如由光提供装置提供的光束的强度的百分之0.5的阈值，则可识别到强的强度信号，该强的强度信号不对应于预期的百分之0.5的反射率。在这样的情况下，可得出结论，即光学元件的涂层只允许很少的强度通过，因此不适合限定波长。

根据一种实施方式，测量装置可具有布置在该光源与该测量装置物镜之间的分束器，该分束器被设计用于，将这些反射光束中的至少一条反射光束转向到该图像传感器，特别是基本上以直角转向。因此，可将照明光路与观察光路分开。

进一步有利的是，测量装置具有布置在光源与测量装置物镜之间的光圈，其中该光圈的第一孔径小于该测量装置物镜的第二孔径。因此可防止一部分光束在光学元件偏心或倾斜时到达不了图像传感器，因为这部分光束不直接返回到自身，而是需要一个更大的孔径。

测量装置还可具有该光圈或布置在光源与测量装置物镜之间的附加光圈，其中该光圈的第一孔径和该测量装置物镜的第二孔径位于对称轴线上或不同的对称轴线上。在一条对称轴线上的定向可使得一个细长的结构成为可能。如果测量或待测品系统的对称轴线无法使用，则不同的对称轴线上的定向可为有利的。

测量装置还可具有另外的测量装置物镜，该另外的测量装置物镜布置在图像传感器与用于容纳光学元件的容纳位置之间，其中该另外的测量装置物镜成型用于将反射光束聚焦到该图像传感器。因此，可使用具有更小孔径的两个测量装置物镜来代替具有更大孔径的单个物镜，以便将照明光路与观察光路完全分开。该另外的测量装置物镜可有利地具有比测量装置物镜更大的孔径，以便也可捕捉到在光学元件上被强力偏转的光束。

进一步有利的是，光提供装置具有至少一个滤光片，该滤光片被设计用于将光束的限定波长改变为经改变的限定波长，并且/或者具有至少一个另外的光源，该另外的光源被设计用于提供具有与该限定波长不同的另外的限定波长的另外的光束，其中测量装置物镜成型用于将该另外的光束聚焦到带涂层的光学元件上，并且图像传感器布置用于感测从该光学元件反射的该另外的光束的另外的强度和/或另外的反射波长中的至少一者，以便测量反射率。因此，在例如出现负测量结果之后，可用其他波长重复测试过程。为了可提供具有不同波长的光束，光提供装置例如可具有至少一个LED、激光光源和/或光谱灯。

光源也可具有至少一个光纤。因此，可有效地利用安装空间，因为光源可经由光纤灵活地定位。

根据前述的测量装置，该测量装置具有至少一个波长选择元件，该波长选择元件布置在图像传感器处或图像传感器的区域内，并且被设计用于选择限定的波长范围。波长选择元件例如可为被调整到相关波长的彩色矩阵滤光片。例如通过光栅和使用几个光电二极管的光谱分割也是可行的。因此，例如可提供白光作为光束，并选择限定的波长范围，以便如此来识别反射波长。

进一步有利的是，测量装置具有至少一个另外的图像传感器，该另外的图像传感器布置用于感测由光学元件反射的光束的强度和/或反射波长，并且/或者具有至少一个另外的波长选择元件，该另外的波长选择元件布置在该另外的图像传感器处或在该另外的图像传感器的区域内，并且被设计用于选择与该波长范围不同的另外的限定波长范围。因此，可使用几个接收器来进行平行的不同的例如光谱的分割。

光源可被设计用于，在公差范围(例如最大10％偏差的公差范围)内提供具有355nm、532nm、635nm、980nm和/或1064nm的限定波长的光束。因此，可测试用于普通扩束器(也称为“扩束镜”)和/或F-Theta物镜(也称为“扫描物镜”或“平场物镜”)的光学元件。

存在另外的光学设备应用领域，其中很可能会安装机械上相同或非常相似的光学器件和相同的机械装置，但具有不同的涂层。例如，光谱传感技术可能是这种情况(见“MKF6多光谱相机”：6个相同的摄像头并排用于不同的颜色通道)。“在场中”的应用可为测试保护玻璃是否适合相应的设备。如果光路构造得对应地小，则因此可提供手持式测量装置。

一种使用上述测量装置中的一个测量装置来测量用于光源的物镜的带涂层的光学元件的反射率的方法具有提供的步骤、感测的步骤以及确定的步骤。在提供的步骤中，在测量装置物镜上至少提供各自具有不同的限定波长的两条光束，该测量装置物镜成型用于将这些光束聚焦到带涂层的光学元件上。在感测的步骤中，至少感测由光学元件反射的光束的强度和/或反射波长，以便测量反射率。在确定的步骤中，如果至少一条反射光束的强度不超过阈值，则确定为正测量结果，并且/或者如果至少一条反射光束的强度超过阈值，则确定为负测量结果，并且/或者如果强度小于由光提供装置提供的，具有另外的限定波长的另外的光束的另外的强度，该另外的光束是由该光学元件反射的，则确定为正测量结果。

附图说明

下面参考附图示例性地详细解释该方法。其中：

图1示出了根据一个实施例的测量用于光源的物镜的带涂层的光学元件的反射率的测量装置的示意图；

图2至图4各自示出了根据一个实施例的测量装置的示意图；并且

图5示出了根据一个实施例的测量用于光源的物镜的带涂层的光学元件的反射率的方法的流程图。

具体实施方式

在本方法的有利的实施例的以下描述中，对于在不同的附图中显示的并且类似地起作用的元件使用相同或类似的附图标号，其中省去对这些元件的重复描述。

图1示出了根据一个实施例的测量用于光源的物镜的带涂层的光学元件105的反射率的测量装置100的示意图。

根据该实施例，光学元件105被容纳在测量装置100中或该测量装置处，以便测量该光学元件的涂层的反射率。根据该实施例，光学元件105仅示例性地为透镜105，该透镜针对用于光源的物镜而成型，该物镜适合用于光源材料加工，例如借助激光。根据该实施例，光学元件105可用于在扩束器和/或F-Theta物镜中使用。

测量装置100具有光提供装置107、至少一个测量装置物镜110和至少一个图像传感器115。该光提供装置107具有至少一个光源117，该光源被设计用于提供具有限定波长的至少一个光束120。该光源117被设计用于发射至少两条光束120，这些光束各自具有不同的限定波长。该测量装置物镜110成型用于将该光束120或这些光束120聚焦到该带涂层的光学元件105上。该图像传感器115布置用于感测由光学元件105反射的光束125的至少一种强度和/或反射波长，以便响应于感测到的由光学元件反射的光束的强度和/或反射波长来测量反射率。

此处所示的光束120的线标出了光束120在前往光学元件105的去路上的边缘光束，其中反射光束125的线标出了反射光束125在从光学元件105返回的回路上的相反的边缘光束。

根据该实施例，测量装置100仅示例性地具有布置在光源117与测量装置物镜110之间的分束器130，该分束器被设计用于将反射光束125转向到图像传感器115。根据该实施例，分束器130成型用于基本上以直角转向反射光束125。根据该实施例，分束器130在面向测量装置物镜110的侧面成型为反射的，并且在与该侧面相反的侧面，该侧面根据该实施例布置为面向光源117，成型为透射的。根据该实施例，光源117、测量装置物镜110、光学元件105和/或分束器130布置为在共同的轴线135上对齐和/或同轴。根据该实施例，分束器130的反射侧面布置为从光学元件105到图像传感器115倾斜45°。

根据该实施例，测量装置100仅可选地具有评估装置140、至少一个滤光片145、至少一个另外的光源155、至少一个波长选择元件160和/或至少一个另外的图像传感器115。

评估装置140被设计用于，如果至少一条反射光束120的强度不超过阈值，则确定为正测量结果，并且/或者如果至少一条反射光束120的强度超过阈值，则确定为负测量结果，并且/或者如果强度小于由光提供装置107(例如由另外的光源155的)提供的，具有由与该限定波长不同的另外的限定波长的另外的光束的另外的强度，其中该另外的光束是由光学元件105反射的，则确定为正测量结果。根据该实施例，阈值作为在最大百分之20偏差的公差范围内由光提供装置107提供的光束120的强度的百分之0.5的强度值，存储在评估装置140中，或者可由评估装置140读入。根据一个替代性的实施例，该阈值具有任意其他强度值。

滤光片145被设计用于将光束120的限定波长改变为经改变的限定波长。另外的光源155被设计用于提供具有与该限定波长不同的另外的限定波长的另外的光束，其中测量装置物镜110成型用于将该另外的光束聚焦到带涂层的光学元件105上，并且图像传感器115或另外的图像传感器115布置用于感测从光学元件105反射的该另外的光束的另外的强度和/或另外的反射波长中的至少一者，以便测量反射率。根据一个实施例，光提供装置107具有作为光源117、155的至少一个LED、光源(例如激光光源)和/或光谱灯。根据一个实施例，光源117和/或另外的光源155包括至少一个光纤。

根据该实施例，波长选择元件160布置在图像传感器115处或图像传感器115的区域内，在此布置在图像传感器115与分束器130之间，并被设计用于选择限定的波长范围。根据不同的实施例，波长选择元件160例如成型为被调整到相关波长的彩色矩阵滤光片，并且/或者被设计为用于光谱分割的光栅和/或几个光电二极管。

根据该实施例，另外的图像传感器115布置用于感测由光学元件105反射的光束120的强度和/或反射波长。根据一个实施例，另外的图像传感器115具有至少一个另外的波长选择元件，该另外的波长选择元件布置在另外的图像传感器115处或另外的图像传感器115的区域内，并且被设计用于选择与该波长范围不同的另外的限定波长范围。

根据不同的实施例，光源117被设计用于，在最大10％偏差的公差范围内提供具有355nm、532nm、635nm、980nm和/或1064nm的限定波长的光束120。

此处提出的测量装置100有利地使得涂层测试组件和质量保证过程成为可能。

在小批量生产具有非常相似的几何特性但用于不同波长范围的物镜时，相关地经常发生物流错误。外观相同，部分外观甚至完全一致的光学元件105在制造时被设有不同的涂层，并安装在同一外壳中。这有时会导致混淆，从而导致高额的后续费用。此处提出的测量装置100创造了一个简单的测试装置，利用该测试装置可在安装之前为每个光学元件105的涂层确定类型，并且因此减少错误成本。

测量装置100实现了一种光学布置，该光学布置用于确定光学元件的反射率或透射率，其中使用两个、三个或更多的波长，这些波长与制造设备中可能遇到的类似几何形状的光学元件105的标称波长相匹配，在此例如1064nm/532nm/355nm，或1064nm/980nm。在光学设备生产中，在将光学元件105安装在物镜中时可应用测量装置100。使用测量装置100，可在安装之前测试扩束器(也称为“扩束镜”)的光学元件105，从而使得很容易地识别出涂层并非针对正确波长的类似元件。在这种情况下，特别地可在扩束器生产和F-Theta生产中区分光学元件105。

测试仪形式的测量装置100由简单的元件组成，从而使得可比市面上的透射率测量仪器更便宜地提供该测量装置。另外，由于测试时间为几秒钟，因此使用成本低。根据一个实施例，光学元件105的测试在过程中导致混淆的最重要的错误都已经全部发生的点位处进行，并且纠正错误，例如重新拆卸物镜等等，这种做法只需最少的额外费用，然后例如可使用其他光学元件。测试结果，例如正测量结果或负测量结果，明确地对这些光学元件105进行分类，从而使得避免混淆和由此相关的后续成本。由于有了此处提出的测量装置100，因此在安装之前测试光学元件105的层特性也是可行的。这样可防止错误装配。随着光学元件105处的变体形成增加，若没有该测试，则错误频率将不成比例地增加。

以下是对光学元件105的层识别的描述：

用于照明材料加工的扩束镜(扩束器)和扫描物镜(F-Theta物镜)在操作中会受到例如激光的强烈光辐射。一个基本的质量标准是光学元件105和层的耐光性。根据一个实施例具有抗反射涂层(AR层)作为层的光学元件105的层，根据该实施例这样设计，使得该层保证尽可能高的透射率。但是，它仅在相应的设计波长及该波长周围的小范围内这样做。

理想地具有明场入射光的颜色印象(在环境光下观看时，该/这些光学元件105产生该颜色印象)，即使是针对标称波长，也会存在批次上的差异，因为剩余光谱强烈依赖于不受控制的公差。即使在最理想的条件下，目视检查也是不可靠的。但是，装配室中的照明为此优化，使得例如使用暗场入射光和暗场透射光让清洁度错误可见并可纠正。由此，应通过辅助装置支持测试。

测量装置100实现了区分相关的涂层的有利的测试仪。为了简化和降低制造成本，提出不使用通用的透射率测量仪器，而是使用个别的单一透射率测试的组合。放弃通用性允许使用更少的元件。

以存在几何相同(根据该实施例为355nm、635nm/1064nm)的扩束器，或者存在具有1064nm/980nm的几何相同的客户特定适配F-Theta物镜的两个波长为例，下面示出这是如何可行的。

为了使可由测量装置100执行的方法可靠地起作用，需要固有的高信噪比，简称为“SNR”。

典型的AR层(在工作波长上有0.5％的剩余反射率，并且在另一个波长上有30％的反射率)，将在反射测试中示出30:0.5＝60的SNR，并且在透射测试中示出99.5:70＝1.4的SNR。在非典型的情况下，如果非标称波长范围内的残余反射率刚好更低，则必须非常准确地实施透射测试。图1和图2各自示出了测量装置100的“轴上布置”(On Axis)。根据该实施例，使用所谓的“猫眼光路”(Cat Eye)，如为了基于AKF的光学测量技术而经常使用的那样。光源117或由光源117照亮的标记直接成像到光学元件105形式的光学组件的表面上。图像在那里被反射，并以同一路径再返回到测量装置物镜110。分束器130将照明光路与观察光路分开。源的图像在图像传感器115/摄像头形式的接收器上形成。根据该实施例，接收器上的强度便是对光学元件105形式的待测品的(剩余)反射率的衡量尺度。

根据一个实施例，信号编码按以下方式进行：

根据一个实施例，为了参考独特的反射率特性区分层，使用不同的波长。根据一个实施例，实现这一点的变体在于，使用具有明显不同光谱的光源117、155，例如LED、激光光源和/或光谱灯或类似光源，或者根据一个替代性的实施例，从具有滤光片145的至少一个宽带光源117、155如弧光灯、白炽灯和/或LED(白色)区域中选择。

编码应在传输路径上保留下来。根据一个实施例，这通过顺序触发或横向分离光源117、155来实现。

根据一个实施例，光源117、155的有利的结构型式在于使用光纤作为测试光束路径中的主源。根据一个实施例，端面彼此接近，并且可通过其布置来识别。同时，因此可行的是，光源，也可称为辐射源的光源117、155，在光纤联接处轻松交换，而不与测试结构啮合。在不同的联接点处交换145号滤光片也可很容易。

如果根据一个实施例，测试结构中的主源只由明确一个点组成，例如光圈开口、光纤出口面或类似物，则这样选择一个时间编码，使得在接收器上进行强度测量时，知道哪个波长被打开了。根据一个实施例，为了快速或自动测量，测量装置100为此具有控制器，该控制器读取开关的光源117、155和接收器。根据另一个实施例，使用白色的，无开关的光源117、155也是可行的。为此，根据一个实施例，在接收器前或在接收器上至少布置有该一个波长选择元件160。这可通过在元件160前交换或调谐另外的滤光片，或通过平行光谱分割和使用例如几个图像传感器115形式的几个接收器来实现。根据一个实施例，使用具有被调整到相关波长的彩色矩阵滤光片的摄像头。根据另一个实施例，例如通过光栅和使用几个光电二极管进行光谱分割。

根据一个实施例，信号评估按以下方式进行：

随着测试波长的选择，对于典型的层系统，在接收器上产生至少一个小的强度信号。这在该层具有抗反射作用的波长下观察到。在该波长或其他波长下将观察到更强的信号。强度的简单比较就已经提供了该层所针对的波长。这样的比较可由评估装置140执行。如果根据一个实施例，将测量值相对于源的强度进行归一化，则测量值评估将进一步地改进。这例如可由此轻松实施，方法是测量过无涂层的材料样品或镜子。如果待区分的波长彼此接近，根据一个实施例，则相对于与具有测试品的特性的已知参考样品进行参照。

受保护的波长组合为：

对于质量保证的任务，以下光谱组合是相关的，并且是需要特别提及的：

-1064nm/532nm/355nm

-1064nm/980nm

图2示出了根据一个实施例的测量装置100的示意图。其中，这可为图1中描述的测量装置100，根据该实施例，该测量装置还具有光圈200。

光圈200布置在光源117与测量装置物镜110之间，其中光圈200的第一孔径205小于测量装置物镜110的第二孔径210。根据该实施例，光圈200的第一孔径205和测量装置物镜110的第二孔径210位于对称轴线上，在此位于轴线135上。在这种情况下，根据该实施例，孔径205、210的中心点位于轴线135上。根据该实施例，光学元件105布置为偏心或倾斜的。

光路传递函数中的一个主要误差因素是光圈的影响。光学元件105的偏心，例如倾斜，通常导致一部分照明光到达不了图像传感器115，因为该部分照明光不直接返回到自身，而是需要一个更大的孔径。因此，根据该实施例，要在对这种误差有足够容忍度的情况下选择这种布置，具体是利用小孔径照明和利用大孔径检测。分布式光圈位置是这种布置的特点。

图3示出了根据一个实施例的测量装置100的示意图。其中，这可为图2中描述的测量装置100，不同在于，根据该实施例，光圈200的第一孔径205和测量装置镜片110的第二孔径210位于不同的对称轴线上。根据该实施例，第一孔径205的中心点位于另外的轴线300上，根据该实施例，该另外的轴线布置为与轴线135平行。

图3和图4示出了上述的原理，该原理适用于测量或待测品系统的对称轴线无法使用的情况。换句话说，图3和图4各自示出了测量装置100的“离轴布置”(Off Axis)。根据该实施例，示出了测量装置100的单眼结构。在这种情况下，照明的孔径也选择为明显小于观察的孔径。

图4示出了根据一个实施例的测量装置100的示意图。其中，这可为图3中描述的测量装置100，不同在于，根据该实施例，测量装置100具有另外的测量装置物镜400和/或不具有分束器。

另外的测量装置物镜400布置在图像传感器115与用于容纳光学元件105的容纳位置之间，其中另外的测量装置物镜400成型用于将反射光束125聚焦到图像传感器115。根据该实施例，测量装置物镜110的第二孔径210小于该另外的测量装置物镜400的第三孔径405。根据该实施例，轴线135布置为从光学元件105的表面的中心点出发向一侧面倾斜22.5°。根据该实施例，测量装置物镜110、400布置为与光学元件105的表面的中心点成45°角度相互倾斜。根据该实施例，图像传感器115的中心点布置在观察轴线410上，该观察轴线进一步穿过该另外的测量装置物镜400的中心点和光学元件105的表面的中心点。根据该实施例，观察轴线410布置为从光学元件105的表面的中心点出发向与该侧面相反的另一侧面倾斜22.5°。

根据该实施例，示出了测量装置100的双眼结构。在这种情况下，照明的孔径也选择为明显小于观察的孔径。

图5示出了根据一个实施例的测量用于光源的物镜的带涂层的光学元件的反射率的方法500的流程图。其中，这可为方法500，该方法可使用在前述附图中的一个附图中描述的测量装置中的一个测量装置来实施。

该方法500具有提供的步骤505和感测的步骤510。在提供的步骤505中，至少在测量装置物镜上提供具有限定波长的光束，该测量装置物镜成型用于将该光束聚焦到涂覆的光学元件上。在感测的步骤510中，至少感测由光学元件反射的光束的强度和/或反射波长，以便测量反射率。

仅示例性地选择描述的和在图中示出的实施例。不同的实施例可完全相互结合，也可就单个特征结合。一个实施例还可由另一个实施例的特征来补充。

另外，该方法的方法步骤可重复实施，例如，在提供的步骤505中，可在测量装置物镜上提供具有不同限定波长的不同光束。

如果实施例在第一特征和第二特征之间包括连词“和/或”，则这应理解为，该实施例根据一种实施方式不仅具有第一特征而且具有第二特征，并且根据另一实施方式要么仅具有第一特征，要么仅具有第二特征。

Claims (12)

1.一种测量物镜的带涂层的光学元件（105）的反射率的测量装置（100），其中所述测量装置（100）包括以下特征：

具有至少一个光源（117）的光提供装置（107），所述光提供装置被设计用于提供至少两条光束（120），这些光束各自具有不同的限定波长；

至少一个测量装置物镜（110），所述测量装置物镜成型用于将所述光束（120）聚焦到所述带涂层的光学元件（105）上；

至少一个图像传感器（115），所述图像传感器布置和被设计用于，感测由所述光学元件（105）反射的反射光束（125）的至少一种强度和/或反射波长，以便响应于感测到的由所述光学元件（105）反射的所述反射光束（125）的所述强度和/或反射波长来测量所述反射率；和

一评估装置（140），所述评估装置被设计用于，如果至少一条反射光束（125）的所述强度不超过阈值，则确定为正测量结果，并且/或者如果至少一条反射光束（125）的所述强度超过阈值，则确定为负测量结果，并且/或者如果所述强度小于由所述光提供装置（107）提供的具有另外的限定波长的另外的光束的另外的强度，所述另外的光束是由所述光学元件（105）反射的，则确定为正测量结果。

2.根据权利要求1所述的测量装置（100），所述测量装置具有布置在所述光源（117）与所述测量装置物镜（110）之间的分束器（130），所述分束器被设计用于，将所述反射光束（125）中的至少一条反射光束转向到所述图像传感器（115）。

3.根据权利要求2所述的测量装置（100），所述反射光束（125）中的至少一条反射光束以直角转向到所述图像传感器（115）。

4.根据权利要求1所述的测量装置（100），所述测量装置具有布置在所述光源（117）与所述测量装置物镜（110）之间的光圈（200），其中所述光圈（200）的第一孔径（205）小于所述测量装置物镜（110）的第二孔径（210）。

5.根据权利要求1所述的测量装置（100），所述测量装置具有布置在所述光源（117）与所述测量装置物镜（110）之间的光圈（200），其中所述光圈（200）的第一孔径（205）和所述测量装置物镜（110）的第二孔径（210）位于对称轴线（135）上或不同的对称轴线（135, 300）上。

6.根据权利要求1所述的测量装置（100），所述测量装置具有另外的测量装置物镜（400），所述另外的测量装置物镜布置在所述图像传感器（115）与用于容纳所述光学元件（105）的容纳位置之间，其中所述另外的测量装置物镜（400）成型用于将所述反射光束（135）聚焦到所述图像传感器（115）。

7.根据权利要求1所述的测量装置（100），在所述测量装置中所述光提供装置（107）具有至少一个滤光片（145），所述滤光片被设计用于将所述光束（120）的所述限定波长改变为经改变的限定波长，并且/或者所述光提供装置具有至少一个另外的光源（155），所述另外的光源被设计用于提供具有与所述限定波长不同的另外的限定波长的另外的光束，其中所述测量装置物镜（110）成型用于将所述另外的光束聚焦到所述带涂层的光学元件（105）上，并且所述图像传感器（115）布置用于感测从所述光学元件（105）反射的所述另外的光束的另外的光束和/或另外的反射波长中的至少一者，以便测量所述反射率。

8.根据权利要求1所述的测量装置（100），在所述测量装置中所述光源（117）具有至少一个光纤。

9.根据权利要求1所述的测量装置（100），所述测量装置具有至少一个波长选择元件（160），所述波长选择元件布置在所述图像传感器（115）处或所述图像传感器（115）的区域内，并且被设计用于选择限定的波长范围。

10.根据权利要求9所述的测量装置（100），所述测量装置具有至少一个另外的图像传感器（115），所述另外的传感器布置用于感测由所述光学元件（105）反射的所述光束（125）的所述强度和/或反射波长，并且/或者具有至少一个另外的波长选择元件，所述另外的波长选择元件布置在所述另外的图像传感器（115）处或在所述另外的图像传感器（115）的区域内，并且被设计用于选择与所述波长范围不同的另外的限定波长范围。

11.根据权利要求1所述的测量装置（100），在所述测量装置中所述光源（117）被设计用于在公差范围内提供具有355nm、532nm、635nm、980nm和/或1064nm的所述限定波长的所述光束（120）。

12.一种使用根据前述权利要求中的一项所述的测量装置（100）来测量物镜的带涂层的光学元件（105）的反射率的方法（500），其中所述方法（500）具有以下步骤：

对所述测量装置物镜（110）提供（505）具有限定波长的至少两条光束（120），所述测量装置物镜成型用于将所述光束（120）聚焦到所述带涂层的光学元件（105）上；以及

至少感测（510）由所述光学元件（105）反射的所述反射光束（125）的所述强度和/或反射波长，以便测量所述反射率；和

如果至少一条反射光束（125）的所述强度不超过阈值，则确定为正测量结果，并且/或者如果至少一条反射光束（125）的所述强度超过阈值，则确定为负测量结果，并且/或者如果所述强度小于由所述光提供装置（107）提供的具有另外的限定波长的另外的光束的另外的强度，所述另外的光束是由所述光学元件（105）反射的，则确定为正测量结果。