CN115717862A - 一种涂炭箔的在线检测装置及检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种涂炭箔的在线检测装置，其与涂炭箔生产设备配套使用，包括：底板；测厚单元，其设置于底板上，用于测量箔片上多点位的涂层厚度；标记单元，其设置于底板上，用于对不合格测量区域进行标记；以及控制器。本发明还公开了一种涂炭箔的在线检测方法，可实时对箔片上的多点位进行涂层厚度测量，通过控制器判断测量区域中各点位涂层厚度是否均落入预设范围值h₀内，以及判断测量区域中各点位涂层厚度方差是否小于偏离阈值P，从而自动判定测量区域的涂层厚度是否合格，可以实现对涂炭箔的不停机高效检测，检测精度高；经检测判断不合格的测量区域通过标记单元进行标记，便于后续统一剔除，保证成品合格率。

Description

一种涂炭箔的在线检测装置及检测方法

技术领域

本发明涉及涂炭箔检测技术领域，具体为一种涂炭箔的在线检测装置及检测方法。

背景技术

涂炭箔主要应用于电池领域，尤其应用在高能量密度的锂离子电池，涂炭箔是在铝或者铜集流体上涂覆导电浆料涂层，用来降低电池阻抗，增强涂层粘结强度，减小粘结剂导电剂使用量，提高电池循环寿命，同时提高集流体的抗氧化能力的一种复合箔材。

涂炭箔上导电浆料涂层分布的分散度直接决定成品电池的性能，因此要求涂炭箔表面不同点位的涂层厚度均处在一定预设范围内，防止涂层厚度存在较大跳动影响电池性能；由于目前涂炭箔的生产通常为连续不停机生产，针对涂炭箔表面涂层主要采用的检测方法是在涂覆导电浆料并固化处理后抽样进行检测，或者仅抽取开机前和结束后的一段成品箔材进行涂层检测，无法对整个生产过程进行持续性监控，检测覆盖面有限，很容易造成检测结果的失真，从而影响成品质量。

发明内容

本发明的目的在于提供一种涂炭箔的在线检测装置及检测方法，以解决上述背景技术提出的问题。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种涂炭箔的在线检测装置，其与涂炭箔生产设备配套使用，包括：

底板；

测厚单元，其设置于底板上，用于测量箔片上多点位的涂层厚度h_i；

标记单元，其设置于底板上，用于对不合格测量区域进行标记；

控制器，其与测厚单元以及标记单元电性连接，用于获取外部的涂层厚度预设范围值h₀和涂层厚度偏离阈值P；并每隔周期T获取一次涂层厚度h_i，其中，预设范围值h₀、偏离阈值P和周期T均根据实际经验设定；判断各点位涂层厚度h_i是否均处于预设范围值h₀内；当存在一个或多个点位涂层厚度不处于预设范围值h₀内时，则判定该区域涂层厚度不合格，并延迟滞后期t向驱动组件发送驱动信号，对该区域进行标记；

当该区域所有点位涂层厚度均处于预设范围值h₀内时，计算测量区域内所有点位涂层厚度的平均值M和方差S²；判断方差S²是否小于偏离阈值P；若是，判定该测量区域涂层厚度合格，标记单元不动作；若否，判定该测量区域涂层厚度不合格，控制器延迟滞后期t向驱动组件发送驱动信号，对该测量区域进行标记。

作为本发明进一步的方案：测厚单元包括：

第二支架，其固定安装于底板上；以及

测厚仪组件，其安装于第二支架上；

其中，测厚仪组件设置有两组且对称分布于箔片上下两侧，每组测厚仪组件包括若干个并排等距排列的测厚仪。

作为本发明进一步的方案：每组测厚仪组件中的各测厚仪的排列方向与箔片的进给方向垂直。

作为本发明进一步的方案：测厚仪为激光测厚仪或超声波测厚仪。

作为本发明进一步的方案：测量区域内各点处涂层厚度h_i的计算公式为：

h_i=[(H_1i+H_2i)-(H_3i+H_4i)]/2；

其中，H_1i为上侧各测厚仪与涂覆前的箔片上表面之间的基准距离，H_2i为下侧各测厚仪与涂覆前的箔片下表面之间的基准距离；H_3i为上侧各测厚仪与涂覆后的箔片上表面之间的基准距离，H_4i为下侧各测厚仪与涂覆后的箔片下表面之间的基准距离；i为每组测厚仪组件中各测厚仪的序号。

作为本发明进一步的方案：标记单元包括：

安装板，其通过第三支架固定于底板上；

标记头，用于对箔片上不合格区域进行标记；以及

驱动组件，其设置于安装板上，用于驱动标记头。

作为本发明进一步的方案：标记头为印章或穿刺针头。

作为本发明进一步的方案：滞后期t的计算公式为：

t=L/v；

其中，L为标记单元与测厚单元之间的距离，v为箔片的运动速率。

作为本发明进一步的方案：驱动组件包括：

驱动电机，其安装于安装板上，驱动电机输出端连接有齿轮；

滑轨，其固定于安装板上，滑轨设有两组且中心对称分布于齿轮两侧；

齿条滑板，其滑动设置于滑轨上，齿条滑板与齿轮啮合；以及

连接板，其安装于齿条滑板上，连接板上设置有标记头。

作为本发明进一步的方案：上下两个标记头竖直共线。

作为本发明进一步的方案：测量区域内所有点位涂层厚度的方差S²计算公式为：

S²=[(h₁-M)²+(h₂-M)²+…+(h_i-M)²]/n；

其中，M为该区域所有点位涂层厚度的平均值M，即M=(h₁+h₂+…+h_i)/n,n为该区域的测量点位总数量。

本发明还公开了一种涂炭箔的在线检测方法，其应用于上述的一种涂炭箔的在线检测装置，包括以下步骤：

步骤一、测厚单元实时测量计算箔片上各点位的涂层厚度h_i，控制器获取外部的涂层厚度预设范围值h₀和涂层厚度偏离阈值P；

步骤二、控制器每隔周期T获取一次测量区域各点位涂层厚度h_i；

步骤三、判断各点位涂层厚度h_i是否均处于预设范围值h₀内；若是，执行步骤四；若否，执行步骤七；

步骤四、计算测量区域内所有点位涂层厚度的平均值M和方差S²；

步骤五、判断方差S²是否小于偏离阈值P；若是，执行步骤六；若否，执行步骤七；

步骤六、判定该测量区域涂层厚度合格，标记单元不动作；

步骤七、判定该测量区域涂层厚度不合格，控制器延迟滞后期t向驱动组件发送驱动信号，对该测量区域进行标记。

本发明的有益效果：

本发明设置测厚单元，可实时对箔片上的多点位进行涂层厚度测量，通过控制器判断测量区域中各点位涂层厚度是否均落入预设范围值h₀内，以及判断测量区域中各点位涂层厚度方差是否小于偏离阈值P，从而自动判定测量区域的涂层厚度是否合格，可以实现对涂炭箔的不停机高效检测，检测精度高；

经检测判断不合格的测量区域通过标记单元进行标记，便于后续统一剔除，保证成品合格率。

附图说明

下面结合附图对本发明作进一步的说明。

图1为本发明的结构示意图；

图2为本发明中喷涂单元的结构示意图；

图3为本发明中烘干单元的结构示意图；

图4为本发明中测厚单元的结构示意图；

图5为本发明中标记单元的结构示意图；

图6为本发明流程示意图。

图中：1、底板；2、收卷支撑架；3、放卷支撑架；4、收卷辊；5、放卷辊；6、收卷电机；7、箔片；8、储料箱；9、输出泵；10、输出管；11、喷头；12、烘干箱；13、第一支架；14、入口；15、出口；16、安装架；17、电热管；18、第二支架；19、测厚仪；20、安装板；21、第三支架；22、齿轮；23、滑轨；24、齿条滑板；25、连接板；26、标记头；27、控制器。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1所示，本实施例公开了一种涂炭箔的在线检测装置，其与涂炭箔生产设备配套使用，两者均安装于底板1上，用于涂炭箔生产时对涂炭箔进行不停线检测，既不影响涂炭箔的正常生产节拍，同时可以实现涂炭箔的连续检测，以提高检测效率。

需要说明的是，上述涂炭箔生产设备包括输送单元、喷涂单元和烘干单元，其中输送单元用于输送箔片7，喷涂单元用于对箔片7的双面进行导电浆料喷涂，烘干单元用于对箔片7上喷涂的涂层进行烘干固化处理。

具体地，请参阅图1所示，输送单元包括收卷支撑架2和放卷支撑架3，收卷支撑架2和放卷支撑架3分别固定于底板1两侧，收卷支撑架2上转动安装有收卷辊4，放卷支撑架3上转动安装有放卷辊5，收卷辊4和放卷辊5之间卷绕有箔片7，收卷支撑架2上还安装有用于驱动收卷辊4的收卷电机6；具体地，放卷辊5上卷绕待喷涂导电浆料的箔片7，通过收卷电机6驱动收卷辊4转动，放卷辊5被动放卷，从而将放卷辊5上的箔片7逐步卷绕到收卷辊4上，箔片7在输送过程中依次经过喷涂单元喷涂导电浆料和烘干单元烘干固化，最终形成涂炭箔并卷绕到收卷辊4上。

请参阅图2所示，喷涂单元包括储料箱8，储料箱8安装于底板1上，储料箱8位于收卷辊4和放卷辊5之间，储料箱8侧壁上安装有两组输出泵9，各输出泵9输出端均连接有输出管10，输出管10远离输出泵9的末端设置有若干喷头11，上下两侧的喷头11均正对箔片7表面；具体地，输出泵9将储料箱8内的导电浆料泵出到输出管10内并从喷头11喷出，从而对箔片7的双面进行导电浆料喷涂。

需要说明的是，各喷头11排列方向与箔片7的进给方向垂直，而且两端部的喷头11之间的距离大于箔片7的宽度，从而使得各喷头11喷出的导电浆料能够覆盖到整个箔片7的表面，保证涂覆均匀，避免存在死角。

请参阅图3所示，烘干单元包括烘干箱12，烘干箱12通过第一支架13固定于底板1上，烘干箱12两侧分别开设有入口14和出口15，箔片7贯穿入口14和出口15，烘干箱12内上下两侧对称设置有安装架16，安装架16上等距设置有若干电热管17；具体地，涂覆有导电浆料的箔片7穿过烘干箱12时，上下两侧的电热管17对箔片7上下表面的导电浆料进行烘烤并使其固化，经固化处理后的箔片7从出口15输出。

需要说明的是，电热管17的排布方向与箔片7的进给方向垂直，而且电热管17的长度大于箔片7的宽度，以保证箔片7在经过电热管17时，整个箔片7都能被热辐射覆盖到。

在本实施例中，所述涂炭箔的在线检测装置包括测厚单元、标记单元和控制器27。

其中，请参阅图4所示，测厚单元位于收卷辊4与烘干单元之间，用于测量箔片7上经固化处理后的涂层厚度。具体地，测厚单元包括第二支架18和测厚仪组件。第二支架18固定安装于底板1上。第二支架18上安装有上下两组测厚仪组件，两组测厚仪组件分别对称分布于箔片7上下两侧。每组测厚仪组件包含若干个并排等距排列的测厚仪19，用于对箔片7一条线上的各点位进行测量，测厚仪19的排列方向与箔片7的进给方向垂直。测厚仪19的具体类型不做限制，可以是激光测厚仪，也可以是超声波测厚仪。具体地，本实施例中，测厚仪19的型号为深达威 SW6310A，精度0.001mm。

具体地，在测量前，需要对测厚仪19进行校零，箔片7未涂覆导电浆料前，先用各测厚仪19分别测量与箔片7上下表面之间的基准距离，上方各测厚仪19与箔片7上表面之间的基准距离记为H_1i，下方各测厚仪19与箔片7下表面之间的基准距离记为H_2i；其中i为每组测厚仪组件中各测厚仪19的序号，例如每组测厚仪组件包括八个测厚仪19，则H₁₁表示上方测厚仪组件中第一个测厚仪19测得的与箔片7上表面之间的基准距离，…，H₁₈表示上方测厚仪组件中第八个测厚仪19测得的与箔片7上表面之间的基准距离。

可以理解的是，上下每组测厚仪组件中对应的测厚仪19的基准距离和为H_1i+H_2i，例如上方测厚仪组件中第一个测厚仪19与下方测厚仪组件中的第一个测厚仪19测得的基准距离之和为H₁₁+H₂₁，…，上方测厚仪组件中第八个测厚仪19与下方测厚仪组件中的第八个测厚仪19测得的基准距离之和为H₁₈+H₂₈。

同样地，在箔片7涂覆导电浆料并经固化处理后，上下两组测厚仪组件分别实时测量与箔片7上下表面之间的距离，上方各测厚仪19与箔片7上表面之间的实际距离记为H_3i，下方各测厚仪19与箔片7下表面之间的实际距离记为H_4i；其中i为每组测厚仪组件中各测厚仪19的序号，例如每组测厚仪组件包括八个测厚仪19，则H₃₁表示上方测厚仪组件中第一个测厚仪19测得的与箔片7上表面之间的实际距离，…，H₃₈表示上方测厚仪组件中第八个测厚仪19测得的与箔片7上表面之间的实际距离。

可以理解的是，上下每组测厚仪组件中对应的测厚仪19的实际距离和为H_3i+H_4i，例如上方测厚仪组件中第一个测厚仪19与下方测厚仪组件中的第一个测厚仪19测得的实际距离之和为H₃₁+H₄₁，…，上方测厚仪组件中第八个测厚仪19与下方测厚仪组件中的第八个测厚仪19测得的实际距离之和为H₃₈+H₄₈。

由此可知，箔片7一条线上各点处的基准距离之和与实际距离之和的差值即为上下表面涂层的厚度和。

需要说明的是，由于上下两组喷头11与箔片7之间的距离一致，在保证喷涂量一致的情况下，箔片7上下表面的涂层厚度也是一致的。这样一来，各点处涂层厚度h_i即为该点处的基准距离之和与实际距离之和的差值的一半，也即h_i=[(H_1i+H_2i)-(H_3i+H_4i)]/2，例如第一点的涂层厚度h₁=[(H₁₁+H₂₁)-(H₃₁+H₄₁)]/2，…，第八点的涂层厚度h₈=[(H₁₈+H₂₈)-(H₃₈+H₄₈)]/2；各点处涂层厚度h_i的具体数值均在测厚仪组件内部自动计算完成，以便控制器27直接获取。

另外，需要进一步说明的是，随着收卷辊4的收卷，收卷辊4上的箔片7会逐渐变多，而放卷辊5上的箔片7会逐渐变少，箔片7穿过上下两组喷头11时的高度会发生些微变化，但是由于箔片7的厚度很薄，其高度变化幅度并不会影响到喷涂单元的正常喷涂，也就是说，喷头11始终可以保证箔片7上下表面上的涂层厚度保持一致。另外，箔片7在经过测厚仪19时，即使箔片7的高度发生变化，也只会导致各点处的数值H_3i和H_4i发生变化，但是实际距离之和H_3i+H_4i始终都是准确的，从而使得测得的各点处的涂层厚度h_i也是准确的。

在本实施例中，请参阅图5所示，标记单元位于收卷辊4与测厚单元之间，用于对箔片7上检测不合格的部分进行标记，以便后续进行剔除；具体地，标记单元包括安装板20、驱动组件和标记头26，安装板20通过第三支架21固定于底板1上，安装板20上设置有驱动组件，驱动组件输出端连接有标记头26，当驱动组件接收到控制器27的驱动信号时，驱动标记头26运动，从而对箔片7上的指定区域进行标记，以便后续进行剔除。

标记头26的具体形式不做限制，可以是印章，在箔片7上印上可以起到提示作用的图案；也可以是穿刺针头等，将箔片7上的不合格区域刺穿；还可以在箔片7上产生划痕；总之，只要能将箔片7上合格区域与不合格区域区分开即可。

需要说明的是，由于测厚单元与标记单元在箔片7进给方向上存在一定距离，箔片7上经测厚单元测量的区域需要经过一定时间才能运动到标记单元处，也就是说，标记单元在标记不合格区域时存在一定的滞后期，该滞后期与箔片7的运动速率有关；沿着箔片7的进给方向，将标记头26与测厚仪19之间的距离记为L，将箔片7的运动速率记为v，则滞后期t=L/v。其中，箔片7的运动速率v由收卷电机6的转速决定。

也就是说，当需要对经测厚单元测量的箔片7上某不合格区域进行标记时，控制器27延迟滞后期t给驱动组件发生驱动信号，以保证标记头26标记的区域确实为不合格区域。

进一步地，驱动组件的具体结构不做限制，只要能驱动标记头26与箔片7接触并打出标记即可，可以通过气缸驱动或者多连杆驱动，本实施例中，可选地，驱动组件包括驱动电机、齿轮22、滑轨23和齿条滑板24，驱动电机（图中未示出）安装于安装板20上，驱动电机输出端连接有齿轮22，滑轨23设有两组且中心对称分布于齿轮22两侧，各滑轨23上均滑动设置有齿条滑板24，齿条滑板24与齿轮22啮合，两个齿条滑板24相互远离的末端安装有连接板25，连接板25上安装有标记头26；具体地，通过驱动电机驱动齿轮22转动，通过齿轮22与齿条滑板24的啮合传动，带动齿条滑板24在滑轨23上直线滑动，从而带动上下两侧的标记头26运动；当需要对箔片7进行标记时，使两个标记头26与箔片7接触即可打出标记。

需要说明的是，上下两个标记头26竖直共线，从而使得两个标记头26同时与箔片7接触，以对箔片7的同一个区域的双面进行标记。

在本实施例中，控制器27设置于底板1上，其与测厚单元以及标记单元电性连接，用于获取外部的涂层厚度预设范围值h₀和涂层厚度偏离阈值P，再每隔周期T获取一次测厚单元测量计算的对应区域各点位的涂层厚度h_i，判断各点位涂层厚度h_i是否均处于预设范围值h₀内。

其中，预设范围值h₀、偏离阈值P和周期T均根据实际经验设定，周期T可选择1秒钟、5秒钟或10秒钟等，箔片7的运动速率v越大，周期T越小，以保证取样检测精度。

若存在一个或多个点位涂层厚度不处于预设范围值h₀内，则判定该区域涂层厚度不合格，并延迟滞后期t向驱动组件发送驱动信号，对该区域进行标记；

若该区域所有点位涂层厚度均处于预设范围值h₀内，则继续计算该区域所有点位涂层厚度的平均值M，其中M=(h₁+h₂+…+h_i)/n,n为该区域的点位总数量；再计算该区域所有点位涂层厚度的方差S²，其中S²=[(h₁-M)²+(h₂-M)²+…+(h_i-M)²]/n,n为该区域的点位总数量；

判断方差S²是否小于偏离阈值P，若是，则判定该区域涂层厚度合格，标记单元不动作；若否，则判定该区域涂层厚度不合格，并延迟滞后期t向驱动组件发送驱动信号，对该区域进行标记。

综上所述，本实施例中涂炭箔的在线检测装置具有以下优点：

设置测厚单元，可实时对箔片7上的多点位进行涂层厚度测量，通过控制器27判断测量区域中各点位涂层厚度是否均落入预设范围值h₀内，以及判断测量区域中各点位涂层厚度方差是否小于偏离阈值P，从而自动判定测量区域的涂层厚度是否合格，可以实现对涂炭箔的不停机高效检测，检测精度高；

经检测判断不合格的测量区域通过标记单元进行标记，便于后续统一剔除，保证成品合格率。

实施例2

请参阅图6所示，本实施例提供了一种涂炭箔的在线检测方法，其应用于上述实施例1中的一种涂炭箔的在线检测装置，具体包括以下步骤：

步骤一、测厚单元实时测量计算箔片7上各点位的涂层厚度h_i，控制器27获取外部的涂层厚度预设范围值h₀和涂层厚度偏离阈值P；

步骤二、控制器27每隔周期T获取一次测量区域各点位的涂层厚度h_i；

步骤三、判断各点位涂层厚度h_i是否均处于预设范围值h₀内；若是，执行步骤四；若否，执行步骤七；

步骤四、计算测量区域内所有点位涂层厚度的平均值M和方差S²；

步骤五、判断方差S²是否小于偏离阈值P；若是，执行步骤六；若否，执行步骤七；

步骤六、判定该测量区域涂层厚度合格，标记单元不动作；

步骤七、判定该测量区域涂层厚度不合格，控制器27延迟滞后期t向驱动组件发送驱动信号，对该测量区域进行标记。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简介修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种涂炭箔的在线检测装置，其与涂炭箔生产设备配套使用，其特征在于，包括：

底板（1）；

测厚单元，其设置于底板（1）上，用于测量箔片（7）上多点位的涂层厚度h_i；

标记单元，其设置于底板（1）上，用于对不合格测量区域进行标记；

控制器（27），其与测厚单元以及标记单元电性连接，用于获取外部的涂层厚度预设范围值h₀和涂层厚度偏离阈值P，并每隔周期T获取一次涂层厚度h_i，其中，预设范围值h₀、偏离阈值P和周期T均根据实际经验设定；判断各点位涂层厚度h_i是否均处于预设范围值h₀内；当存在一个或多个点位涂层厚度不处于预设范围值h₀内时，则判定该区域涂层厚度不合格，并延迟滞后期t向驱动组件发送驱动信号，对该区域进行标记；

当该区域所有点位涂层厚度均处于预设范围值h₀内时，计算测量区域内所有点位涂层厚度的平均值M和方差S²；判断方差S²是否小于偏离阈值P；若是，判定该测量区域涂层厚度合格，标记单元不动作；若否，判定该测量区域涂层厚度不合格，控制器（27）延迟滞后期t向驱动组件发送驱动信号，对该测量区域进行标记。

2.根据权利要求1所述的一种涂炭箔的在线检测装置，其特征在于，所述测厚单元包括：

第二支架（18），其固定安装于底板（1）上；以及

测厚仪组件，其安装于第二支架（18）上；

其中，测厚仪组件设置有两组且对称分布于箔片（7）上下两侧，每组测厚仪组件包括若干个并排等距排列的测厚仪（19）。

3.根据权利要求2所述的一种涂炭箔的在线检测装置，其特征在于，每组所述测厚仪组件中的各测厚仪（19）的排列方向与箔片（7）的进给方向垂直。

4.根据权利要求2所述的一种涂炭箔的在线检测装置，其特征在于，测量区域内各点处涂层厚度h_i的计算公式为：

h_i=[(H_1i+H_2i)-(H_3i+H_4i)]/2；

其中，H_1i为上侧各测厚仪（19）与涂覆前的箔片（7）上表面之间的基准距离，H_2i为下侧各测厚仪（19）与涂覆前的箔片（7）下表面之间的基准距离；H_3i为上侧各测厚仪（19）与涂覆后的箔片（7）上表面之间的基准距离，H_4i为下侧各测厚仪（19）与涂覆后的箔片（7）下表面之间的基准距离；i为每组测厚仪组件中各测厚仪（19）的序号。

5.根据权利要求1所述的一种涂炭箔的在线检测装置，其特征在于，所述标记单元包括：

安装板（20），其通过第三支架（21）固定于底板（1）上；

标记头（26），用于对箔片（7）上不合格区域进行标记；以及

驱动组件，其设置于安装板（20）上，用于驱动标记头（26）。

6.根据权利要求1所述的一种涂炭箔的在线检测装置，其特征在于，滞后期t的计算公式为：

t=L/v；

其中，L为标记单元与测厚单元之间的距离，v为箔片（7）的运动速率。

7.根据权利要求5所述的一种涂炭箔的在线检测装置，其特征在于，上下两个标记头（26）竖直共线。

8.根据权利要求5所述的一种涂炭箔的在线检测装置，其特征在于，所述驱动组件包括：

驱动电机，其安装于安装板（20）上，驱动电机输出端连接有齿轮（22）；

滑轨（23），其固定于安装板（20）上，滑轨（23）设有两组且中心对称分布于齿轮（22）两侧；

齿条滑板（24），其滑动设置于滑轨（23）上，齿条滑板（24）与齿轮（22）啮合；以及

连接板（25），其安装于齿条滑板（24）上，连接板（25）上设置有标记头（26）。

9.根据权利要求4所述的一种涂炭箔的在线检测装置，其特征在于，测量区域内所有点位涂层厚度的方差S²计算公式为：

S²=[(h₁-M)²+(h₂-M)²+…+(h_i-M)²]/n；

其中，M为该区域所有点位涂层厚度的平均值M，即M=(h₁+h₂+…+h_i)/n,n为该区域的测量点位总数量。

10.一种涂炭箔的在线检测方法，其应用于权利要求1-9任一所述的一种涂炭箔的在线检测装置，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、测厚单元实时测量计算箔片（7）上各点位的涂层厚度h_i，控制器（27）获取外部的涂层厚度预设范围值h₀和涂层厚度偏离阈值P；

步骤二、控制器（27）每隔周期T获取一次测量区域各点位涂层厚度h_i；

步骤三、判断各点位涂层厚度h_i是否均处于预设范围值h₀内；若是，执行步骤四；若否，执行步骤七；

步骤四、计算测量区域内所有点位涂层厚度的平均值M和方差S²；

步骤五、判断方差S²是否小于偏离阈值P；若是，执行步骤六；若否，执行步骤七；

步骤六、判定该测量区域涂层厚度合格，标记单元不动作；

步骤七、判定该测量区域涂层厚度不合格，控制器（27）延迟滞后期t向驱动组件发送驱动信号，对该测量区域进行标记。

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