CN115668027A - 光照射装置和试样观察装置 - Google Patents

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Abstract

光照射装置(2)包括：输出具有干涉性的光(L0)的光源(21)；具有聚光轴(F1)和与聚光轴(F1)交叉的非聚光轴(F2)，将光(L0)聚光于聚光线(K)上而生成面状光(L1)的聚光元件(23)；和具有限制从光源(21)朝向聚光元件(23)的光(L0)的光束的一部分的开口部(24)的孔遮罩(22)。孔遮罩(22)的开口部(24)具有以向沿着聚光元件(23)的聚光轴(F1)的方向延伸的方式配置的开口缘(25A)，在将开口缘(25A)投影于聚光线(K)上的情况下，该投影部分(P)具有线状的扩展。

Description

光照射装置和试样观察装置
技术领域
本发明涉及光照射装置和试样观察装置。
背景技术
作为观察细胞等具有三维立体结构的试样的内部的一个方法，已知有SPIM(Selective Plane Illumination Microscopy：平面光显微镜)。作为与该方法相关的技术，例如有专利文献1中记载的试样观察装置。该专利文献1的试样观察装置具有向试样照射面状光的照射光学系统、对面状光的照射面扫描试样的扫描部和相对于照射面倾斜的观察轴，包括将通过面状光的照射而在试样产生的观察光成像的成像光学系统。而且，取得多个与通过成像光学系统成像的基于观察光的光像的一部分对应的部分图像数据，基于这些部分图像数据生成试样的观察图像数据。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2018-063292号公报
发明内容
发明所要解决的问题
上述的试样观察装置中使用的面状光，例如通过利用柱面透镜等聚光元件将从光源射出的光聚光而形成。优选在将面状光向试样照射时，以在试样不向相邻的观察区域照射面状光的方式，在光路上配置孔遮罩(aperture mask)，限制面状光的照射范围。但是，例如激光那样的相干光，由于是具有干涉性的光，所以存在产生起因于在孔遮罩的边缘的衍射的干涉条纹，面状光的辐射照度分布不均匀的问题。
本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于，提供能够输出具有均匀化了的辐射照度分布的面状光的光照射装置和试样观察装置。
用于解决问题的方式
本发明的一个方面的光照射装置包括：输出具有干涉性的光的光源；具有聚光轴和与聚光轴交叉的非聚光轴，将光聚光于聚光线上而生成面状光的聚光元件；和孔遮罩，其具有限制从光源朝向聚光元件的光的光束的一部分的开口部，孔遮罩的开口部具有以向沿着聚光元件的聚光轴的方向延伸的方式配置的开口缘，在将开口缘投影于聚光线上的情况下，该投影部分具有线状的扩展。
在该光照射装置中，在孔遮罩的开口部，将以向沿着聚光元件的聚光轴的方向延伸的方式配置的开口缘投影于聚光线上的情况下，该投影部分具有线状的扩展。在将开口缘投影于聚光线上的情况下该投影部分成为点状那样的孔遮罩，存在起因于在开口缘的衍射的干涉条纹互相增强，面状光的辐射照度分布不均匀的趋势。与此相对，在该投影部分具有线状的扩展的孔遮罩，起因于在开口缘的衍射的干涉条纹不相互增强，能够将面状光的辐射照度分布均匀化。因此，在该光照射装置中，能够输出具有均匀化了的辐射照度分布的面状光。
开口部也可以关于聚光线成为不对称的形状。此外，开口缘也可以具有向聚光线的外侧凸出的形状。开口部也可以成为六边形形状。根据这些结构，起因于在开口缘的衍射的干涉条纹被进一步抑制，实现面状光的辐射照度分布的进一步均匀化。
开口部也可以成为梯形形状。开口缘成为之字形形状。开口缘也可以具有向聚光线的外侧凸出的形状。在这些结构中，也进一步抑制起因于在开口缘的衍射的干涉条纹，实现面状光的辐射照度分布的进一步均匀化。
也可以开口部为四边形形状，开口缘相对于聚光轴以规定角度交叉。在这样的结构中，也进一步抑制起因于在开口缘的衍射的干涉条纹，实现面状光的辐射照度分布的进一步均匀化。
光源也可以为输出激光的光源。激光虽然能够获得大的辐射照度，但是是具有强的干涉性的光，容易产生起因于在孔遮罩的边缘的衍射的干涉条纹。因此，能够通过对激光使用具有上述结构的孔遮罩，适当地输出具有均匀化了的辐射照度分布的面状光。
本发明的一个方面的试样观察装置包括上述光照射装置和检测因来自光照射装置的面状光的照射而在试样产生的观察光的检测部。
在该试样观察装置中，起因于在孔遮罩的开口缘的衍射的干涉条纹不会互相增强，能够将面状光的辐射照度分布均匀化。因此，在该试样观察装置中，能够通过对试样照射辐射照度分布均匀化了的面状光，高精度地实施试样的观察。
发明的效果
根据本发明，能够输出具有均匀化了的辐射照度分布的面状光。
附图说明
图1是表示试样观察装置的一个实施方式的概略结构图。
图2是表示光照射装置的结构的一个例子的概略图。
图3的(a)是表示比较例的孔遮罩的开口部的形状的图，(b)是表示使用该孔遮罩的情况下的面状光的辐射照度分布的图表。
图4的(a)是表示实施例的孔遮罩的开口部的形状的图，(b)是表示使用该孔遮罩的情况下的面状光的辐射照度分布的图表。
图5的(a)是表示另一实施例的孔遮罩的开口部的形状的图，(b)是表示使用该孔遮罩的情况下的面状光的辐射照度分布的图表。
图6的(a)是表示又一实施例的孔遮罩的开口部的形状的图，(b)是表示使用该孔遮罩的情况下的面状光的辐射照度分布的图表。
图7的(a)是表示又一实施例的孔遮罩的开口部的形状的图，(b)是表示使用该孔遮罩的情况下的面状光的辐射照度分布的图表。
图8的(a)是表示又一实施例的孔遮罩的开口部的形状的图，(b)是表示使用该孔遮罩的情况下的面状光的辐射照度分布的图表。
图9的(a)是表示又一实施例的孔遮罩的开口部的形状的图，(b)是表示使用该孔遮罩的情况下的面状光的辐射照度分布的图表。
图10的(a)是表示又一实施例的孔遮罩的开口部的形状的图，(b)是表示使用该孔遮罩的情况下的面状光的辐射照度分布的图表。
图11的(a)是表示又一实施例的孔遮罩的开口部的形状的图，(b)是表示使用该孔遮罩的情况下的面状光的辐射照度分布的图表。
具体实施方式
以下，参照附图，对本发明的一个方面的光照射装置和试样观察装置的优选实施方式进行详细说明。
图1是表示试样观察装置的一实施方式的概略结构图。该试样观察装置1是对试样S照射面状光L1，使因面状光L1的照射而在试样S的内部产生的光(例如荧光、散射光等)在成像面成像并取得试样S内部的观察图像数据的装置。作为这种试样观察装置1，能够列举取得并显示保持于载玻片的试样S的图像的玻片扫描仪(slide scanner)，或者取得保持于微板的试样S的图像数据，对图像数据进行分析的读盘器等。作为被作为观察对象的试样S，例如能够列举人或动物的细胞、组织、脏器、动物或植物自身、植物的细胞、组织等。此外，试样S也可以包含于溶液、凝胶或折射率与试样S不同的物质。
如图1所示，试样观察装置1包括光照射装置2、扫描部4、成像光学系统5、图像取得部(检测部)6和计算机7。光照射装置2是输出向试样S照射的面状光L1的装置。面状光L1是能够将激光或低相干光整形成面状的光。从光照射装置2输出的面状光L1沿光轴P1行进，照射到试样S。在被照射面状光L1的试样S，在面状光L1的照射面R产生观察光L2。观察光L2例如是由面状光L1激发的荧光、面状光L1的散射光或面状光L1的扩散反射光。
扫描部4是对面状光L1的照射面R扫描试样S的机构。在本实施方式中，扫描部4由使保持试样S的试样容器11移动的移动台12构成。试样容器11例如是微板、载玻片、培养皿等。在本实施方式中，例示微板。在试样容器11中，例如呈一条直线的形状(或矩阵状)排列有配置试样S的多个深槽13。试样容器11也可以固定于移动台12。深槽13的底面成为对于配置在深槽13内的试样S的、面状光L1的输入面。试样容器11以使得该输入面与面状光L1的光轴P1正交的方式相对于移动台12配置。
如图1所示，移动台12根据来自计算机7的控制信号，在预先设定的方向上扫描试样容器11。在本实施方式中，移动台12向与面状光L1的光轴P1正交的平面内的一个方向扫描试样容器11。此处，将以面状光L1的光轴P1方向称为Z轴，将移动台12带动的试样容器11的扫描方向称为Y轴，将在与面状光L1的光轴P1正交的平面内与Y轴正交的方向称为X轴。面状光L1对于试样S的照射面R成为XZ平面内的面。
成像光学系统5是将通过面状光L1的照射在试样S产生的观察光L2成像的光学系统。成像光学系统5例如包括物镜和成像透镜等。成像光学系统5的光轴成为观察光L2的观察轴P2。在图1的例子中，成像光学系统5的观察轴P2相对于试样S的面状光L1的照射面R以规定的角度倾斜。观察轴P2的倾斜角度成为与朝向试样S的面状光L1的光轴P1与观察轴P2形成的角也一致的状态。
图像取得部6是检测由成像光学系统5成像的观察光L2的部分。图像取得部6例如包括拍摄基于观察光L2的光像的摄像装置。作为摄像装置，例如能够列举CMOS图像传感器、CCD图像传感器之类的区域图像传感器。这些区域图像传感器配置在成像光学系统5的成像面，例如利用全局快门或滚动快门拍摄光像，并将二维图像的数据输出到计算机7。
计算机7在物理上包括RAM、ROM等存储器和CPU等处理器(运算电路)、通信接口、硬盘等存储部、显示器等显示部。作为计算机7，例如能够列举个人电脑、云服务器、智能器具(智能手机，平板终端等)等。计算机7通过利用的程序计算机系统的CPU执行存储器中存储，作为控制光照射装置2和移动台12的动作的控制器、生成试样S的观察图像数据的图像生成部和观察图像数据分析的分析部等发挥作用。
接着，更详细地说明上述的光照射装置2。
图2是表示光照射装置的结构的一个例子的概略图。如该图所示，光照射装置2包括输出光L0的光源21、限制光L0的光束的一部分的孔遮罩22和将光L0聚光而生成面状光L1的聚光元件23，不过详细情况后述。作为光源21，例如能够列举激光二极管、固体激光源之类的激光源。光源21并不限定于输出激光的光源，例如也可以为SLD(Super luminescentdiode：超发光二极管)等输出低相干光的光源。激光和低相干光均是具有干涉性的光。孔遮罩22A具有限制从光源21朝向聚光元件23的光L0的光束的一部分的开口部24。通过利用开口部24限制光L0的光束的一部分，能够从限制光照射装置2输出的面状光L1的照射范围，以在配置在试样观察装置1的试样容器11的试样S使得面状光不向相邻的观察区域照射。
聚光元件23例如圆柱透镜、轴心透镜、自由曲面透镜或空间光调制器等构成，与光源21光学耦合。该聚光元件23具有聚光轴F1和与聚光轴F1交叉(此处为正交)的非聚光轴F2，将从开口部24通过后的光L0聚光至聚光线K上，生成面状光L1的在。图2的例子中，聚光元件23为柱面透镜。在图2的(a)，表示聚光元件23的聚光轴侧截面(YZ截面)中的光L0的光轴，在图2的(b)，表示聚光元件23的非聚光轴侧截面(XZ截面)中的光L0的光轴。
如图2的(a)所示，在从聚光轴侧截面(YZ截面)观察时，从开口部24通过后的光L0从聚光元件23通过，由此，沿聚光元件23的聚光轴F1聚光。另一方面，如图2的(b)所示，在从非聚光轴侧截面(XZ截面)观察时，从开口部24通过后的光L0并不在聚光元件23聚光，而维持向聚光元件23入射前的状态。因此，光L0通过从聚光元件23通过而仅对聚光轴F1的一轴(Y轴)聚光，在X轴方向上成为保持一定的宽度的面状光L1。
此处，如上所述，在激光那样的相干光的光路上配置有孔遮罩的情况下，相干光一般是具有强干涉性的光，因此起因于在孔遮罩的开口缘的衍射，在从开口部通过后的激光产生干涉条纹，这成为问题。即使从孔遮罩的开口部通过的光为低相干光，该问题也同样可能产生。起因于在孔遮罩的开口缘的衍射的干涉条纹在光被聚光元件向沿着聚光轴的方向聚光时发生重叠而相互增强，因此认为通过光的聚光得到的面状光的辐射照度分布会不均匀。
图3的(a)是表示比较例的孔遮罩的开口部的形状的图。该比较例的孔遮罩122具有包含与长边对应的开口缘125A和与短边对应的开口缘125B的长方形(四边形形状)的开口部124。孔遮罩122，以在从光L0的光轴方向观察的情况下，开口缘125A向与聚光元件23的聚光轴F1平行的方向延伸，且开口缘125B向与聚光元件23的聚光轴正交的方向延伸的方式，配置在光L0的光路上。聚光元件23聚光的光L0的聚光线K，在从光L0的光轴方向观察的情况下，位于连结左右的开口缘125A、125A的中心彼此的线上。
在该比较例的孔遮罩122中，如图3的(a)所示，在将开口缘125A投影于聚光线上的情况下，开口缘125A的聚光线K上的投影部分P成为点状。因此，在孔遮罩122，从开口部124通过后的光L0在聚光元件23聚光时，起因于在开口缘125A的衍射的干涉条纹在聚光线K上的1个点重叠而相互增强。
图3的(b)是表示使用比较例的孔遮罩的情况下的面状光的辐射照度分布的图表。在该图中，在横轴表示聚光线(X轴)上的坐标值，在纵轴表示面状光的辐射照度。如该图所示，在使用比较例的孔遮罩的情况下的面状光L1，X轴方向的两端附近的辐射照度分布的振幅大到5W/mm2以上。辐射照度分布的振幅随着向X轴方向的中央去而变小，中央附近的辐射照度分布的振幅也达到1W/mm2程度。另外，辐射照度分布的振幅是指，辐射照度大致均匀的区域的最大值与最小值之间的幅度。
另一方面，图4的(a)是表示实施例的孔遮罩的开口部的形状的图。该孔遮罩22A与比较例一样，具有包含与长边对应的开口缘25A和与短边对应的开口缘25B的长方形(四边形形状)的开口部24A。在孔遮罩22A，开口部24A的形状自身为与比较例的开口部124相同的形状，不过与比较例不同，成为将长方形的开口部24A绕光L0的光轴以规定角度旋转后的状态。由此，在该孔遮罩22A，从光L0的光轴方向观察的情况下，成为开口缘25A相对于与聚光轴F1平行的方向以规定角度交叉，且开口缘25B相对于与非聚光轴平行的方向以规定角度交叉的状态。
规定角度例如为1°以上～5°以下。通过令规定角度为1°以上，能够充分发挥干涉条纹的降低效果。此外，通过令规定角度为5°以下，能够抑制辐射照度分布的下摆的过度扩展，能够充分确保辐射照度平坦的区域。另外，关于最优的规定角度的设定，还能够考虑聚光轴F1的方向上的开口部24A的长度。
在该实施例的孔遮罩22A，如图4的(a)所示，在将开口缘25A投影于聚光线上的情况下，开口缘25A的聚光线K上的投影部分P具有线状的扩展。因此，在孔遮罩22A，从开口部24A通过后的光L0在聚光元件23聚光时，能够抑制起因于在开口缘25A的衍射的干涉条纹在聚光线K上重叠而相互增强。
图4的(b)是表示使用实施例的孔遮罩的情况下的面状光的辐射照度分布的图表。在该图中，与图3的(b)一样，在横轴表示聚光线(X轴)上的坐标值，在纵轴表示面状光的辐射照度。如该图所示，在使用实施例的孔遮罩的情况下的面状光L1，X轴方向的两端附近的辐射照度分布的振幅被抑制为1W/mm2左右，中央附近的辐射照度分布的振幅被抑制为大致0W/mm2。
如以上说明的那样，在光照射装置2中，在孔遮罩22A的开口部24A，将以向沿着聚光元件23的聚光轴F1的方向延伸的方式配置的开口缘25A投影于聚光线K上的情况下，该投影部分P具有线状的扩展。在将开口缘25A投影于聚光线K上的情况下该投影部分P成为点状那样的比较例的孔遮罩22，存在起因于在开口缘25A的衍射的干涉条纹相互增强，面状光L1的辐射照度分布不均匀的趋势。与此相对，在该投影部分P具有线状的扩展的实施例的孔遮罩22A，起因于在开口缘25A的衍射的干涉条纹并不相互增强，能够将面状光L1的辐射照度分布均匀化。因此，在该光照射装置2，能够输出具有均匀化了的辐射照度分布的面状光L1。
另外，作为抑制起因于在孔遮罩的开口缘的光的衍射的干涉条纹的技术，例如有在光路上配置被称为变迹滤镜或软光圈的滤光器的方法。此外，取代滤光器，还有在光路上配置非球面透镜来抑制衍射成分的方法。但是，在这些方法中，需要根据使用的激光的波长及光束直径将光学元件最优化，在使用不适合光学元件的特性的激光的情况下，存在不能充分发挥抑制起因于在开口缘的光的衍射的干涉条纹的效果的问题。
与此相对，在光照射装置2中，通过孔遮罩22A的开口缘25A的结构抑制起因于在开口缘25A的光L0的衍射的干涉条纹。在该方法中，需要根据使用的光L0的波长及光束直径将光学元件最优化，对各种光L0获得作用效果。这在应用至如上述实施方式所示的试样观察装置1那样，设想将波长及光束直径不同的光L0作为面状光L1以同轴照射到试样S的装置时特别显著。
图5的(a)是表示另一实施例的孔遮罩的开口部的形状的图。在该图所示的孔遮罩22B，取代使长方形的开口部24A绕光L0的光轴以规定角度旋转的结构(参照图4的(a))，开口部24B的形状为平行四边形(四边形形状)。由此，在该孔遮罩22B，从光L0的光轴方向观察时，成为开口缘25A相对于与聚光轴F1平行的方向以规定角度倾斜，且开口缘25B与非聚光轴平行的状态。
在这样的孔遮罩22B，如图5的(a)所示那样，也在将开口缘25A投影于聚光线上的情况下，开口缘25A的聚光线K上的投影部分P具有线状的扩展。因此，在孔遮罩22B，也能够抑制从开口部24B通过后的光L0被聚光元件23聚光时，起因于在开口缘25A的衍射的干涉条纹在聚光线K上重叠而相互增强的情况。如图5的(b)所示，使用孔遮罩22B时的面状光L1的辐射照度分布成为与使用孔遮罩22A时大致相同的结果。
图6的(a)是表示又一实施例的孔遮罩的开口部的形状的图。在该图所示的孔遮罩22C，开口部24C成为关于聚光线K不对称的形状。更具体而言，在图6的(a)的例子中，开口部24C的形状成为等腰梯形形状(四边形形状)。由此，在该孔遮罩22C，从光L0的光轴方向观察时，成为开口缘25A相对于与聚光轴F1平行的方向以规定角度倾斜，且开口缘25B与非聚光轴平行的状态。另外，在该图中，开口部24C的下底的非聚光轴F2方向的长度比上底的非聚光轴F2方向的长度长，不过该长度关系也可以反转。
在这样的孔遮罩22C，如图6的(a)所示那样，也在将开口缘25A投影于聚光线上的情况下，开口缘25A的聚光线K上的投影部分P具有线状的扩展。因此，在孔遮罩22C，也能够抑制从开口部24C通过后的光L0被聚光元件23聚光时，起因于在开口缘25A的衍射的干涉条纹在聚光线K上重叠而相互增强的情况。如图6的(b)所示，使用孔遮罩22C时的面状光L1的辐射照度分布成为与使用孔遮罩22A时大致相同的结果。
图7的(a)是表示又一实施例的孔遮罩的开口部的形状的图。在该图所示的孔遮罩22D，不仅与孔遮罩22C一样，开口部24D的形状成为等腰梯形形状，而且其开口缘25A成为之字形形状。在这样的孔遮罩22D，将开口缘25A投影于聚光线上的情况下，开口缘25A的聚光线K上的投影部分P具有线状的扩展。因此，在孔遮罩22D，也能够抑制从开口部24D通过后的光L0被聚光元件23聚光时，起因于在开口缘25A的衍射的干涉条纹在聚光线K上重叠而相互增强的情况。
如图7的(b)所示，使用孔遮罩22D时的面状光L1的辐射照度分布成为与使用孔遮罩22A时大致相同的结果。对图7的(b)的结果与图4的(b)的结果进行比较，图7的(b)的结果的面状光L1的X轴方向的两端附近的辐射照度分布的上升沿部分更陡，该X轴方向的两端附近的辐射照度分布的振幅也稍小。另外，在图7的(a)的例子中，之字形形状的开口缘25A的凹凸成为尖头形状，不过开口缘25A的凹凸也可以成为圆弧形或正弦波形等弯曲形状。
此外，也可以如图8的(a)所示的孔遮罩22E那样，使长方形(四边形形状)的开口部24E绕光L0的光轴以规定角度旋转，并且使开口缘25A为之字形形状。在使用这样的孔遮罩22E的情况下，也像图8的(b)所示那样，能够获得与使用孔遮罩22D时大致相同的面状光L1的辐射照度分布。
图9的(a)是表示又一实施例的孔遮罩的开口部的形状的图。在该图所示的孔遮罩22F，开口部24F的开口缘25A具有向聚光线K的外侧凸出的形状。更具体而言，在图9的(a)的例子中，开口部24F的形状为六边形形状，以彼此相对的2条边沿着与非聚光轴F2平行的方向的方式配置。开口部24F的形状不是正六边形形状，在开口缘25A，成为六边形形状的角部的位置偏向聚光线K的一侧(此处为纸面下侧)的状态。因此，该开口部24F与孔遮罩22C的开口部24C一样，成为关于聚光线K不对称的形状。六边形形状的角部的位置也可以成为偏向聚光线K的另一侧(纸面上侧)的状态。
在这样的孔遮罩22F，也在将开口缘25A投影于聚光线上的情况下，开口缘25A的聚光线K上的投影部分P具有线状的扩展。因此，在孔遮罩22F，也能够抑制从开口部24F通过后的光L0被聚光元件23聚光时，起因于在开口缘25A的衍射的干涉条纹在聚光线K上重叠而相互增强的情况。如图9的(b)所示，使用孔遮罩22C时的面状光L1的辐射照度分布成为与使用孔遮罩22A时大致相同的结果，不过X轴方向的两端附近的辐射照度分布的振幅受到进一步抑制。
作为开口缘25A具有向聚光线K的外侧凸出的形状的方式，例如也可以如图10的(a)所示的孔遮罩22G那样，采用使使长方形的开口部24G的开口缘25A以向外侧凸出的方式缓慢弯曲的形状。在这种情况下，如图10的(b)所示，在面状光L1的辐射照度分布中，虽然在X轴方向的两端附近的辐射照度分布的上升沿部分产生微小的振幅，但是作为整体成为与使用孔遮罩22A时大致相同的结果。
此外，作为开口缘25A具有向聚光线K的外侧凸出的形状的另一个方式，例如也可以如图11的(a)所示的孔遮罩22H那样，采用使长方形的开口部24H绕光L0的光轴以规定角度旋转，并且使开口缘25A以向外侧凸出的方式缓慢弯曲的形状。在这种情况下，如图11的(b)所示那样，也在面状光L1的辐射照度分布中，虽然在X轴方向的两端附近的辐射照度分布的上升沿部分产生微小的振幅，但是作为整体成为与使用孔遮罩22A时大致相同的结果。
附图标记的说明
1……试样观察装置；6……图像取得部(检测部)；21……光源；22(22A～22H)……孔遮罩；23……聚光元件；24(24A～24H)……开口部；25A……开口缘；F1……聚光轴；F2……非聚光轴；K……聚光线；L0……光；L1……面状光；P……投影部分；S……试样。

Claims (9)

1.一种光照射装置，其中：
具备：
光源，其输出具有干涉性的光；
聚光元件，其具有聚光轴和与所述聚光轴交叉的非聚光轴，将所述光聚光于聚光线上而生成面状光；和
孔遮罩，其具有限制从所述光源朝向所述聚光元件的所述光的光束的一部分的开口部，
所述孔遮罩的所述开口部具有以向沿着所述聚光元件的所述聚光轴的方向延伸的方式配置的开口缘，在将所述开口缘投影于所述聚光线上的情况下，该投影部分具有线状的扩展。
2.如权利要求1所述的光照射装置，其中：
所述开口部为关于所述聚光线不对称的形状。
3.如权利要求1或2所述的光照射装置，其中：
所述开口缘具有朝向所述聚光线的外侧凸出的形状。
4.如权利要求1～3中任一项所述的光照射装置，其中：
所述开口部为六边形形状。
5.如权利要求1或2所述的光照射装置，其中：
所述开口部为梯形形状。
6.如权利要求1～5中任一项所述的光照射装置，其中：
所述开口缘为之字形形状。
7.如权利要求1所述的光照射装置，其中：
所述开口部为四边形形状，
所述开口缘以规定角度与所述聚光轴交叉。
8.如权利要求1～7中任一项所述的光照射装置，其中：
所述光源是输出激光作为所述光的光源。
9.一种试样观察装置，其中，
具备：
权利要求1～8中任一项所述的光照射装置；和
检测部，其对因来自所述光照射装置的所述面状光的照射而在试样产生的观察光进行检测。
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