CN115655591B - 一种氦气质谱检漏仪的自检装置及自检方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种氦气质谱检漏仪的自检装置及自检方法，涉及氦气质谱检漏仪的自检领域。本发明包括标准漏孔、检漏口管道、标漏阀以及质谱室，标准漏孔与标漏阀之间设置氦气源以及第一气压检测组件，质谱室与氦气源之间设置连通管，连通管上设置有第二气压检测组件；检漏口管道包括主管道以及子管道，子管道直接与标漏阀连通，主管道连通第一气压检测组件，保证自检与正式检漏之间的互不影响，保证检漏结果准确，提高检漏精度，使用两个管道也提供了一个备用通路，而且流通部与密封部的设置也能够防止气体回返，保证装置的安全性。

Description

一种氦气质谱检漏仪的自检装置及自检方法

技术领域

本发明涉及氦气质谱检漏仪的自检领域，特别是涉及一种氦气质谱检漏仪的自检装置及自检方法。

背景技术

氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪，为了防止对被检工件检测结果造成误判，将不合格件判为合格件，在氦质谱检漏仪检漏之前，需要氦质谱检漏仪进行自检。

在公开号“CN110006599A”公开的“氦气质谱检漏仪信号的自检装置及自检方法”，装置包括：标漏阀，标漏阀设置于氦气质谱检漏仪的检漏口管道内；标准漏孔，标准漏孔设置于氦气质谱检漏仪的检漏口管道内，且与标漏阀相连，其中，标准漏孔的漏率值小于25百分比至40百分比间任一百分比的被检工件的不合格阈值，且大于氦气质谱检漏仪的最小可检测漏率；控制器，控制器分别与标漏阀和标准漏孔相连，以在检测被检工件时，打开标漏阀，获取标准漏孔的标漏值，并在氦气质谱检漏仪的检测值低于标漏值时，控制氦气质谱检漏仪停止检测的同时，发送报警提示。

现有氦质谱检漏仪的自检装置，在进行自检时，自检时的氦气会残留在漏口管道中，影响在正式检漏时的精度，使检漏结果不够准确，而且，在自检时，只检测质谱室之前是否有氦气泄露，检漏阀到质谱室之间是否有泄露则无法检测，导致自检结果不够准确。

发明内容

本发明的目的在于提供一种氦气质谱检漏仪的自检装置及自检方法，解决在进行自检时，自检时的氦气会残留在漏口管道中，影响在正式检漏时的精度，使检漏结果不够准确，而且，在自检时，只检测质谱室之前是否有氦气泄露，检漏阀到质谱室之间是否有泄露则无法检测，导致自检结果不够准确的问题：

本发明为一种氦气质谱检漏仪的自检装置，包括标准漏孔、检漏口管道、标漏阀以及质谱室，所述标准漏孔与标漏阀之间设置氦气源以及第一气压检测组件，所述质谱室与氦气源之间设置连通管，所述连通管上设置有第二气压检测组件；

所述检漏口管道包括主管道以及子管道，所述子管道直接与标漏阀连通，所述主管道连通第一气压检测组件；

所述氦气源包括箱体、输送管、第一泵体、第一流量计以及活动密封部，所述箱体与输送管连接，所述第一泵体以及第一流量计均安装在输送管上，所述第一泵体位于箱体与第一流量计之间，所述第一流量计用于计算输送管的气体流量，所述输送管上设有密封管，所述输送管与主管道连通，所述密封管与子管道位置对应，所述活动密封部包括固定件、第一伸缩杆、第一弹簧以及密封块，所述固定件设置在密封管内，所述第一弹簧套设在第一伸缩杆上，所述固定件上设有若干第一通孔，每个所述第一通孔内部设置有一个第一弹簧以及第一伸缩杆，所述第一伸缩杆移动端连接密封块，所述密封块的大小与子管道内径适配；

所述第一气压检测组件包括第一气压检测室、第一输入管、第一输出管以及流通部，所述第一输入管以及第一输出管均与第一气压检测室连通，所述流通部控制第一输入管的连通，所述第一输入管与主管道连通，所述第一输出管与标漏阀连通；

其中，通过检漏口管道包括主管道以及子管道，所述子管道直接与标漏阀连通，所述主管道连通第一气压检测组件，在进行自检时，第一泵体将氦气从箱体中抽出，通过输送管输送到主管道中，且气压会使顶出密封块，此时，第一伸缩杆伸长，第一弹簧拉伸，密封块伸入子管道，将子管道密封，氦气通过主管道进入质谱室，在进行检漏时，输送管中没有气压，子管道流通，此时流通部将主管道与第一输入管的这条通路封闭，氦气通过子管道进入质谱室，使氦气分别通过两个通道经过，保证自检与正式检漏之间的互不影响，保证检漏结果准确，提高检漏精度，使用两个管道也提供了一个备用通路，而且流通部与密封部的设置也能够防止气体回返，保证装置的安全性。

优选地，还包括：至少一个光学显示器和至少一个声学提醒器，用于报警；

其中，通过设置至少一个光学显示器和至少一个声学提醒器，在自检不合格时进行报警。

优选地，所述流通部包括流通塞、第二弹簧、第二伸缩杆以及流通件，所述流通塞与第一输入管适配，并设置在第一输入管内，所述第二弹簧套设在第二伸缩杆上，所述流通塞靠近第一气压检测室的一侧设有若干第二通孔，每个所述第二通孔内部设置有一个第二弹簧以及第二伸缩杆，所述第二伸缩杆移动端连接流通件，所述流通件为盖状，并与流通塞适配；

其中，在进行自检时，气压将流通件顶出，氦气通过流通件与流通塞的缝隙中导出，在进行正式检漏的过程中，由于没有较大的气压，流通件不会顶出，氦气从子管道中通过。

优选地，所述第二气压检测组件包括第二气压检测室、第二输入管以及第二输出管，所述第二输入管以及第二输出管一端均与第二气压检测室连通，所述第二输入管以及第二输出管另一端均与连通管连通；

其中，第二气压检测室在进行质谱检漏之后，再进行一次气压检测。

优选地，所述第二输出管上设置有第二泵体以及第二流量计，所述第二流量计用于计算第二输出管的气体流量，所述第二泵体位于第二气压检测室与第二流量计之间；

其中，通过第二泵体将气体抽出，抽入到箱体中进行再利用。

优选地，还包括控制器，所述控制器用于控制第一气压检测室、第二气压检测室、第一流量计、第二流量计以及标漏阀，所述控制器还控制光学显示器以及声学提醒器。

优选地，所述连通管一端与质谱室连通，所述连通管另一端与箱体连通。

优选地，所述第一气压检测室以及第二气压检测室内部均设置有气压检测模块。

一种氦气质谱检漏仪的自检方法，包括以下步骤：

S1：准备：

将氦气输入到箱体中，并检查装置的各个电气元件是否正常运转；

S2：输送氦气：

打开第一泵体，氦气从箱体中抽出，通过输送管输送到主管道中，且气压会顶出密封块，此时，第一伸缩杆伸长，第一弹簧拉伸，密封块伸入子管道，将子管道密封，氦气通过第一输入管进入到第一气压检测室，气压顶出流通件；

S3：初始气压以及流量检测：

通过第一流量计计算初始气体流量，在第一气压检测室中，通过气压检测模块进行气压检测；

S4：最终气压以及流量检测：

氦气最终进入到第二气压检测室，进行最终气压检测，并且通过第二流量计进行最终气体流量检测；

S5：报警：

控制器中设置有阈值，阈值为1.5%-11.5%，阈值应用到气压与流量，若初始流量与最终流量的差值或初始气压与最终气压的差值处于1.5%-11.5%，则控制器控制光学显示器和声学提醒器进行报警；若初始流量与最终流量的差值或初始气压与最终气压的差值小于1.5%，则自检合格；若初始流量与最终流量的差值或初始气压与最终气压的差值大于11.5%，则检测各流量计以及气压检测模块是否出现问题；

S6：回收：

第二气压检测室的气体，最终通过连通管进入到箱体内部，进行回收利用。

优选地，还包括S5中还包括利用标准漏孔以及标漏阀进行检测，以在检测所述被检工件时，打开所述标漏阀，获取所述标准漏孔的标漏值，并在氦气质谱检漏仪的检测值低于所述标漏值时，发送报警提示；

其中，通过先进行初始气压以及流量检测，在进行质谱检漏过后，再进行最终气压以及流量检测，比对初始气压以及流量检测与最终气压以及流量检测的差值，在氦气经过质谱室之后，再进行一次检测，能够检测从标漏阀到质谱室之间是否有泄露以及质谱室本身是否有泄露，都能够检测出来，保证检测效率，配合标准漏孔以及标漏阀本身的检测，提高了检测精度，提高自检结果的准确性，且气压与流量检测也能够提高自检的全面性，也提高了自检的适用性。

本发明具有以下有益效果：

1、本发明通过检漏口管道包括主管道以及子管道，所述子管道直接与标漏阀连通，所述主管道连通第一气压检测组件，在进行自检时，第一泵体将氦气从箱体中抽出，通过输送管输送到主管道中，且气压会使顶出密封块，此时，第一伸缩杆伸长，第一弹簧拉伸，密封块伸入子管道，将子管道密封，氦气通过主管道进入质谱室，在进行检漏时，输送管中没有气压，子管道流通，此时流通部将主管道与第一输入管的这条通路封闭，氦气通过子管道进入质谱室，使氦气分别通过两个通道经过，保证自检与正式检漏之间的互不影响，保证检漏结果准确，提高检漏精度，使用两个管道也提供了一个备用通路，而且流通部与密封部的设置也能够防止气体回返，保证装置的安全性。

2、本发明通过先进行初始气压以及流量检测，在进行质谱检漏过后，再进行最终气压以及流量检测，比对初始气压以及流量检测与最终气压以及流量检测的差值，在氦气经过质谱室之后，再进行一次检测，能够检测从标漏阀到质谱室之间是否有泄露以及质谱室本身是否有泄露，都能够检测出来，保证检测效率，配合标准漏孔以及标漏阀本身的检测，提高了检测精度，提高自检结果的准确性，且气压与流量检测也能够提高自检的全面性，也提高了自检的适用性。

当然，实施本发明的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一种氦气质谱检漏仪的自检装置的气路系统图；

图2为本发明一种氦气质谱检漏仪的自检装置的氦气源整体结构示意图；

图3为本发明一种氦气质谱检漏仪的自检装置的氦气源的正视结构示意图；

图4为本发明图3中A-A处的剖视图；

图5为本发明图4处C处局部放大图；

图6为本发明一种氦气质谱检漏仪的自检装置的第一气压检测组件的整体结构示意图；

图7为本发明一种氦气质谱检漏仪的自检装置的第一气压检测组件的正视结构示意图；

图8为本发明图7中B-B处的剖视图；

图9为本发明图8处D处局部放大图；

图10为本发明检漏口管道中活动密封部工作示意图；

图11本发明一种氦气质谱检漏仪的自检方法的流程图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

110、标准漏孔；120、检漏口管道；130、标漏阀；140、质谱室；210、氦气源；220、连通管；230、子管道；240、主管道；250、箱体；260、输送管；270、第一泵体；280、第一流量计；290、密封管；310、固定件；320、第一伸缩杆；330、第一弹簧；340、密封块；410、第一气压检测室；420、第一输入管；430、第一输出管；440、流通塞；450、第二弹簧；460、第二伸缩杆；470、流通件；510、第二气压检测室；520、第二输入管；530、第二输出管；540、第二泵体；550、第二流量计。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“中”、“外”、“内”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

实施例一

请参阅图1-11所示，本实施列一种氦气质谱检漏仪的自检装置，包括标准漏孔110、检漏口管道120、标漏阀130以及质谱室140，标准漏孔110与标漏阀130之间设置氦气源210以及第一气压检测组件，质谱室140与氦气源210之间设置连通管220，连通管220上设置有第二气压检测组件；

检漏口管道120包括主管道240以及子管道230，子管道230直接与标漏阀130连通，主管道240连通第一气压检测组件；

氦气源210包括箱体250、输送管260、第一泵体270、第一流量计280以及活动密封部，箱体250与输送管260连接，第一泵体270以及第一流量计280均安装在输送管260上，第一泵体270位于箱体250与第一流量计280之间，第一流量计280用于计算输送管260的气体流量，输送管260上设有密封管290，输送管260与主管道240连通，密封管290与子管道230位置对应，活动密封部包括固定件310、第一伸缩杆320、第一弹簧330以及密封块340，固定件310设置在密封管290内，第一弹簧330套设在第一伸缩杆320上，固定件310上设有若干第一通孔，每个第一通孔内部设置有一个第一弹簧330以及第一伸缩杆320，第一伸缩杆320移动端连接密封块340，密封块340的大小与子管道230内径适配；

第一气压检测组件包括第一气压检测室410、第一输入管420、第一输出管430以及流通部，第一输入管420以及第一输出管430均与第一气压检测室410连通，流通部控制第一输入管420的连通，第一输入管420与主管道240连通，第一输出管430与标漏阀130连通；

其中，通过检漏口管道120包括主管道240以及子管道230，子管道230直接与标漏阀130连通，主管道240连通第一气压检测组件，在进行自检时，第一泵体270将氦气从箱体250中抽出，通过输送管260输送到主管道240中，且气压会使顶出密封块340，此时，第一伸缩杆320伸长，第一弹簧330拉伸，密封块340伸入子管道230，将子管道230密封，氦气通过主管道240进入质谱室140，在进行检漏时，输送管260中没有气压，子管道230流通，此时流通部将主管道240与第一输入管420的这条通路封闭，氦气通过子管道230进入质谱室140，使氦气分别通过两个通道经过，保证自检与正式检漏之间的互不影响，保证检漏结果准确，提高检漏精度，使用两个管道也提供了一个备用通路，而且流通部与密封部的设置也能够防止气体回返，保证装置的安全性。

优选地，还包括：至少一个光学显示器和至少一个声学提醒器，用于报警；

其中，通过设置至少一个光学显示器和至少一个声学提醒器，在自检不合格时进行报警；

本实施例中，设置一个LED灯，可以闪烁蓝色、黄色、橙色、红色、以及绿色，设置一个蜂鸣器，且蜂鸣器的音量在八十分贝到一百二十分贝之间。

优选地，流通部包括流通塞440、第二弹簧450、第二伸缩杆460以及流通件470，流通塞440与第一输入管420适配，并设置在第一输入管420内，第二弹簧450套设在第二伸缩杆460上，流通塞440靠近第一气压检测室410的一侧设有若干第二通孔，每个第二通孔内部设置有一个第二弹簧450以及第二伸缩杆460，第二伸缩杆460移动端连接流通件470，流通件470为盖状，并与流通塞440适配；

其中，在进行自检时，气压将流通件470顶出，氦气通过流通件470与流通塞440的缝隙中导出，在进行正式检漏的过程中，由于没有较大的气压，流通件470不会顶出，氦气从子管道230中通过。

优选地，第二气压检测组件包括第二气压检测室510、第二输入管520以及第二输出管530，第二输入管520以及第二输出管530一端均与第二气压检测室510连通，第二输入管520以及第二输出管530另一端均与连通管220连通；

其中，第二气压检测室510在进行质谱检漏之后，再进行一次气压检测。

优选地，第二输出管530上设置有第二泵体540以及第二流量计550，第二流量计550用于计算第二输出管530的气体流量，第二泵体540位于第二气压检测室510与第二流量计550之间；

其中，通过第二泵体540将气体抽出，抽入到箱体250中进行再利用。

优选地，还包括控制器，控制器用于控制第一气压检测室410、第二气压检测室510、第一流量计280、第二流量计550以及标漏阀130，控制器还控制光学显示器以及声学提醒器。

优选地，连通管220一端与质谱室140连通，连通管220另一端与箱体250连通。

优选地，第一气压检测室410以及第二气压检测室510内部均设置有气压检测模块。

一种氦气质谱检漏仪的自检方法，包括以下步骤：

S1：准备：

将氦气输入到箱体250中，并检查装置的各个电气元件是否正常运转；

S2：输送氦气：

打开第一泵体270，氦气从箱体250中抽出，通过输送管260输送到主管道240中，且气压会顶出密封块340，此时，第一伸缩杆320伸长，第一弹簧330拉伸，密封块340伸入子管道230，将子管道230密封，氦气通过第一输入管420进入到第一气压检测室410，气压顶出流通件470；

S3：初始气压以及流量检测：

通过第一流量计280计算初始气体流量，在第一气压检测室410中，通过气压检测模块进行气压检测；

S4：最终气压以及流量检测：

氦气最终进入到第二气压检测室510，进行最终气压检测，并且通过第二流量计550进行最终气体流量检测；

S5：报警：

控制器中设置有阈值，阈值为1.5%-11.5%，阈值应用到气压与流量，若初始流量与最终流量的差值或初始气压与最终气压的差值处于1.5%-11.5%，则控制器控制光学显示器和声学提醒器进行报警；若初始流量与最终流量的差值或初始气压与最终气压的差值小于1.5%，则自检合格；若初始流量与最终流量的差值或初始气压与最终气压的差值大于11.5%，则检测各流量计以及气压检测模块是否出现问题；

本实施例中，对设置的阈值1.5%-11.5%进行分级检测，分级结果如下表：

从上表可得知，在若初始流量与最终流量的差值或初始气压与最终气压的差值处于1.5%-3.5%时，此时，氦气质谱仪有轻微泄露，泄露等级为一级，控制器接收到信号，控制LED灯呈蓝色，蜂鸣器发出70分贝的音量进行报警，进行处理的优先度为一级；在若初始流量与最终流量的差值或初始气压与最终气压的差值处于3.5%-5.5%时，此时，氦气质谱仪有轻微泄露，泄露等级为二级，控制器接收到信号，控制LED灯呈黄色，蜂鸣器发出80分贝的音量进行报警，进行处理的优先度为二级；在若初始流量与最终流量的差值或初始气压与最终气压的差值处于5.5%-7.5%时，此时，氦气质谱仪有中等程度泄露，泄露等级为三级，控制器接收到信号，控制LED灯呈橙色，蜂鸣器发出90分贝的音量进行报警，进行处理的优先度为三级；在若初始流量与最终流量的差值或初始气压与最终气压的差值处于7.5%-9.5%时，此时，氦气质谱仪有中等程度泄露，泄露等级为四级，控制器接收到信号，控制LED灯呈红色，蜂鸣器发出100分贝的音量进行报警，进行处理的优先度为四级；在若初始流量与最终流量的差值或初始气压与最终气压的差值处于9.5%-11.5%时，此时，氦气质谱仪有重度泄露，泄露等级为五级，控制器接收到信号，控制LED灯呈红色，蜂鸣器发出110分贝的音量进行报警，进行处理的优先度为五级；在若初始流量与最终流量的差值或初始气压与最终气压的差值大于11.5%时，此时，氦气质谱仪有重度泄露或者传感器发生了故障，控制器接收到信号，控制LED灯呈红色，蜂鸣器发出120分贝的音量进行报警，进行处理的优先度为五级；在若初始流量与最终流量的差值或初始气压与最终气压的差值小于1.5%时，此时，氦气质谱仪没有出现问题，控制器接收到信号，控制LED灯呈绿色，蜂鸣器不发出声音，能够进行正常检测；

S6：回收：

第二气压检测室510的气体，最终通过连通管220进入到箱体250内部，进行回收利用。

实施例二

本实施例与实施例一相似，不同之处在于，S5中还包括利用标准漏孔110以及标漏阀130进行检测，以在检测被检工件时，打开标漏阀130，获取标准漏孔110的标漏值，并在氦气质谱检漏仪的检测值低于标漏值时，发送报警提示。

其中，通过先进行初始气压以及流量检测，在进行质谱检漏过后，再进行最终气压以及流量检测，比对初始气压以及流量检测与最终气压以及流量检测的差值，在氦气经过质谱室140之后，再进行一次检测，能够检测从标漏阀130到质谱室140之间是否有泄露以及质谱室140本身是否有泄露，都能够检测出来，保证检测效率，配合标准漏孔110以及标漏阀130本身的检测，提高了检测精度，提高自检结果的准确性，且气压与流量检测也能够提高自检的全面性，也提高了自检的适用性。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (10)

1.一种氦气质谱检漏仪的自检装置，包括标准漏孔（110）、检漏口管道（120）、标漏阀（130）以及质谱室（140），其特征在于，所述标准漏孔（110）与标漏阀（130）之间设置氦气源（210）以及第一气压检测组件，所述质谱室（140）与氦气源（210）之间设置连通管（220），所述连通管（220）上设置有第二气压检测组件；

所述检漏口管道（120）包括主管道（240）以及子管道（230），所述子管道（230）直接与标漏阀（130）连通，所述主管道（240）连通第一气压检测组件；

所述氦气源（210）包括箱体（250）、输送管（260）、第一泵体（270）、第一流量计（280）以及活动密封部，所述箱体（250）与输送管（260）连接，所述第一泵体（270）以及第一流量计（280）均安装在输送管（260）上，所述第一泵体（270）位于箱体（250）与第一流量计（280）之间，所述第一流量计（280）用于计算输送管（260）的气体流量，所述输送管（260）上设有密封管（290），所述输送管（260）与主管道（240）连通，所述密封管（290）与子管道（230）位置对应，所述活动密封部包括固定件（310）、第一伸缩杆（320）、第一弹簧（330）以及密封块（340），所述固定件（310）设置在密封管（290）内，所述第一弹簧（330）套设在第一伸缩杆（320）上，所述固定件（310）上设有若干第一通孔，每个所述第一通孔内部设置有一个第一弹簧（330）以及第一伸缩杆（320），所述第一伸缩杆（320）移动端连接密封块（340），所述密封块（340）的大小与子管道（230）内径适配；

所述第一气压检测组件包括第一气压检测室（410）、第一输入管（420）、第一输出管（430）以及流通部，所述第一输入管（420）以及第一输出管（430）均与第一气压检测室（410）连通，所述流通部控制第一输入管（420）的连通，所述第一输入管（420）与主管道（240）连通，所述第一输出管（430）与标漏阀（130）连通。

2.根据权利要求1所述的一种氦气质谱检漏仪的自检装置，其特征在于，还包括：至少一个光学显示器和至少一个声学提醒器，用于报警。

3.根据权利要求2所述的一种氦气质谱检漏仪的自检装置，其特征在于，所述流通部包括流通塞（440）、第二弹簧（450）、第二伸缩杆（460）以及流通件（470），所述流通塞（440）与第一输入管（420）适配，并设置在第一输入管（420）内，所述第二弹簧（450）套设在第二伸缩杆（460）上，所述流通塞（440）靠近第一气压检测室（410）的一侧设有若干第二通孔，每个所述第二通孔内部设置有一个第二弹簧（450）以及第二伸缩杆（460），所述第二伸缩杆（460）移动端连接流通件（470），所述流通件（470）为盖状，并与流通塞（440）适配。

4.根据权利要求3所述的一种氦气质谱检漏仪的自检装置，其特征在于，所述第二气压检测组件包括第二气压检测室（510）、第二输入管（520）以及第二输出管（530），所述第二输入管（520）以及第二输出管（530）一端均与第二气压检测室（510）连通，所述第二输入管（520）以及第二输出管（530）另一端均与连通管（220）连通。

5.根据权利要求4所述的一种氦气质谱检漏仪的自检装置，其特征在于，所述第二输出管（530）上设置有第二泵体（540）以及第二流量计（550），所述第二流量计（550）用于计算第二输出管（530）的气体流量，所述第二泵体（540）位于第二气压检测室（510）与第二流量计（550）之间。

6.根据权利要求5所述的一种氦气质谱检漏仪的自检装置，其特征在于，还包括控制器，所述控制器用于控制第一气压检测室（410）、第二气压检测室（510）、第一流量计（280）、第二流量计（550）以及标漏阀（130），所述控制器还控制光学显示器以及声学提醒器。

7.根据权利要求6所述的一种氦气质谱检漏仪的自检装置，其特征在于，所述连通管（220）一端与质谱室（140）连通，所述连通管（220）另一端与箱体（250）连通。

8.根据权利要求7所述的一种氦气质谱检漏仪的自检装置，其特征在于，所述第一气压检测室（410）以及第二气压检测室（510）内部均设置有气压检测模块。

9.根据权利要求8所述的一种氦气质谱检漏仪的自检装置所用的自检方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：准备：

将氦气输入到箱体（250）中，并检查装置的各个电气元件是否正常运转；

S2：输送氦气：

打开第一泵体（270），氦气从箱体（250）中抽出，通过输送管（260）输送到主管道（240）中，且气压会顶出密封块（340），此时，第一伸缩杆（320）伸长，第一弹簧（330）拉伸，密封块（340）伸入子管道（230），将子管道（230）密封，氦气通过第一输入管（420）进入到第一气压检测室（410），气压顶出流通件（470）；

S3：初始气压以及流量检测：

通过第一流量计（280）计算初始气体流量，在第一气压检测室（410）中，通过气压检测模块进行气压检测；

S4：最终气压以及流量检测：

氦气最终进入到第二气压检测室（510），进行最终气压检测，并且通过第二流量计（550）进行最终气体流量检测；

S5：报警：

控制器中设置有阈值，阈值为1.5%-11.5%，阈值应用到气压与流量，若初始流量与最终流量的差值或初始气压与最终气压的差值处于1.5%-11.5%，则控制器控制光学显示器和声学提醒器进行报警；若初始流量与最终流量的差值或初始气压与最终气压的差值小于1.5%，则自检合格；若初始流量与最终流量的差值或初始气压与最终气压的差值大于11.5%，则检测各流量计以及气压检测模块是否出现问题；

S6：回收：

第二气压检测室（510）的气体，最终通过连通管（220）进入到箱体（250）内部，进行回收利用。

10.根据权利要求9所述的一种氦气质谱检漏仪的自检装置所用的自检方法，其特征在于：还包括S5中还包括利用标准漏孔（110）以及标漏阀（130）进行检测，以在检测被检工件时，打开所述标漏阀（130），获取所述标准漏孔（110）的标漏值，并在氦气质谱检漏仪的检测值低于所述标漏值时，发送报警提示。

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