CN115652265A - 多弧离子镀用输送系统及多弧离子镀膜工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明属于输送领域,具体涉及一种多弧离子镀用输送系统及多弧离子镀膜工艺,其中,一种多弧离子镀用输送系统包括:炉体真空腔、支架、机械臂、转动机构以及输送机构;所述输送机构设置在所述支架侧,且适于将待镀膜工件输送至靠近支架;所述机械臂适于将所述输送机构输送的待镀膜工件抓取后放至所述转动机构上;所述转动机构适于在待镀膜工件装载完毕之后,从所述支架滑动进入所述炉体真空腔中;所述炉体真空腔适于对待镀膜工件进行离子镀。通过将转动机构设置成滑动在支架以及炉体真空腔内,从而便于后续的机械臂抓取,同时,设置输送机构对待镀膜工件进行输送,提高了工件的镀膜效率,减少了人工成本。
Description
技术领域
本发明涉及输送领域,具体涉及一种多弧离子镀用输送系统及多弧离子镀膜工艺。
背景技术
离子镀,即,在真空条件下,利用气体放电使气体或被蒸发物质部分电离,并在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下,将蒸发物质或其反应物沉积在基片上。
现有技术中的离子镀设备,由于转动架固定在炉体真空室内,只能人工将待镀膜工件套设在转动架,无法通过机械设备进行输送,从而导致工件的镀膜效率非常低。
上述问题是目前亟待解决的。
发明内容
本发明的目的是提供一种多弧离子镀用输送系统及多弧离子镀膜工艺。
为了解决上述技术问题,本发明提供了一种多弧离子镀用输送系统,包括:
炉体真空腔、支架、机械臂、转动机构以及输送机构;
所述炉体真空腔设置在所述支架上;
所述转动机构滑动设置在支架上;
所述输送机构设置在所述支架侧,且适于将待镀膜工件输送至靠近支架;
所述机械臂适于将所述输送机构输送的待镀膜工件抓取后放至所述转动机构上;
所述转动机构适于在待镀膜工件装载完毕之后,从所述支架滑动进入所述炉体真空腔中;
所述炉体真空腔适于对待镀膜工件进行离子镀。
进一步的,所述炉体真空腔包括:腔本体、密封门以及真空恒压机构;
所述密封门转动连接在所述腔本体的开口处;
所述真空恒压机构适于将密封后的腔本体进行抽真空并保持恒压;
所述腔本体适于对待镀膜工件进行离子镀。
进一步的,所述输送机构包括输送架、输送带以及驱动电机;
所述输送带设置在所述输送架上;
所述驱动电机适于驱动所述输送带运行。
进一步的,所述转动机构包括滑动底座、转动盘、固定齿条盘、转动主轴以及多个防漏装载组件;
所述滑动底座滑动设置在所述支架上;
所述固定齿条盘固定设置在所述滑动底座上方;
所述转动盘转动连接在所述固定齿条盘上方;
所述转动主轴穿过所述滑动底座以及所述固定齿条盘与所述转动盘固定连接,且所述转动主轴适于在转动时带动转动盘进行转动;
多个所述防漏装载组件呈圆周阵列转动设置在所述转动盘上,且穿过所述转动盘与所述固定齿条盘上的齿条啮合;
所述转动盘适于在转动时带动所述防漏装载组件沿所述固定齿条盘的齿条转动,从而带动所述防漏装载组件发生自转。
进一步的,所述防漏装载组件包括转动副轴以及防漏子组件;
所述防漏子组件一端连接在所述转动副轴的侧壁,另一端滑动连接在所述转动副轴上;
所述机械臂适于将所述输送机构输送的待镀膜工件抓取后套设在所述转动副轴上,且挤压所述防漏子组件,使防漏子组件打开,对离子镀过程中掉落的金属粉末进行收集。
进一步的,所述防漏子组件包括收集盘、升降套、伞面以及多根伞骨;
所述收集盘固定设置在所述转动副轴的侧壁,且位于所述转动盘的上方;
所述升降套套设在所述转动副轴上,且位于所述收集盘的上方;
多根所述伞骨一端转动连接在所述收集盘的上,另一端转动连接在所述升降套上;
所述伞面固定设置在多根伞骨上;
所述升降套适于在待镀膜工件套设在所述转动副轴上,被待镀膜工件挤压后沿所述转动副轴向下滑动,从而使多根伞骨沿所述收集盘的径向向外打开,从而将所述伞面打开,对离子镀过程中掉落的金属粉末进行收集。
进一步的,所述升降套为圆台形,且所述升降套的截面为直角梯形;
所述升降套适于在待镀膜工件从转动副轴上取出时,发生回弹,对所述转动副轴的侧壁进行清理。
进一步的,所述伞骨包括支撑臂以及连接臂;
所述支撑臂的一端通过复位扭簧转动连接在所述收集盘上;
所述连接臂的一端转动连接在所述升降套上,另一端转动连接在所述支撑臂上;
所述防漏子组件还包括多个弹性柱;
所述弹性柱沿所述升降套的轴线插入所述升降套的侧壁中,且从所述升降套的中伸出;
所述弹性柱通过复位弹簧弹性连接在所述升降套上;
所述弹性柱的底部设置有压料环;
所述压料环适于在所述升降套沿所述转动副轴向下滑动时,对所述收集盘中的金属粉末进行压实;
所述弹性柱适于在待镀膜工件从所述转动副轴上取出后,向上发生回弹,并反复晃动,从而使所述压料环发生晃动,进而使压料环上残留金属粉末脱落。
进一步的,所述滑动底座的两侧壁设置有滑动滚轮;
所述炉体真空腔与所述滑动滚轮适配处设置有固定板;
所述滑动底座适于从所述支架上滑动至所述炉体真空腔的固定板上。
本发明还提供了一种多弧离子镀膜工艺,所述工艺包括:
拔刀、前处理、超声清洗、装夹、上挂、入炉、镀膜、出炉冷却、下挂以及后处理;
所述装夹、上挂、入炉、镀膜的工序采用如上述的多弧离子镀用输送系统进行;
其中,拔刀:将待镀膜工件的外包装去除,对产品进行外观检验,是否存在质量问题;
前处理:将装有待镀膜工件的清洗篮,放入水喷砂设备中,根据要求调整喷砂压力,对产品进行处理,完成水喷砂处理后,放入消磁设备中,进行磁性消除处理,完成后放在周转小车上流转至下一工序;
超声清洗:将清洗栏放入超声清洗工装中,置于超声清洗机入口,等待超声清洗设备自动抓取进入设备,完成清洗;
装夹,即:将清洗完成的待镀膜工件,装入相应的夹具工装内,并通过输送机构进行输送;
上挂,即:通过机械臂将所述输送机构输送的待镀膜工件抓取后放至所述转动机构上;
入炉,即:所述转动机构适于在待镀膜工件装载完毕之后,从所述支架滑动进入所述炉体真空腔中;
镀膜,即:照预先导入的工艺程序,进行自动镀膜;
下挂,即:将降温好的转动机构,使用压缩空气进行吹灰清洁,完成后,将装有镀膜后的工件从转动机构上取出;
后处理:将完成镀膜的工件从工装夹具上取出,使用磨抛机,以氧化铝软毛刷或百洁布进行抛光处理。
本发明的有益效果是,本发明提供了一种多弧离子镀用输送系统及其多弧离子镀膜工艺,其中,一种多弧离子镀用输送系统包括:炉体真空腔、支架、机械臂、转动机构以及输送机构;所述炉体真空腔设置在所述支架上;所述转动机构滑动设置在支架上;所述输送机构设置在所述支架侧,且适于将待镀膜工件输送至靠近支架;所述机械臂适于将所述输送机构输送的待镀膜工件抓取后放至所述转动机构上;所述转动机构适于在待镀膜工件装载完毕之后,从所述支架滑动进入所述炉体真空腔中;所述炉体真空腔适于对待镀膜工件进行离子镀。通过将转动机构设置成滑动在支架以及炉体真空腔内,从而便于后续的机械臂抓取,同时,设置输送机构对待镀膜工件进行输送,提高了工件的镀膜效率,减少了人工成本。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明实施例所提供的多弧离子镀用输送系统的结构示意图。
图2是本发明实施例所提供的转动机构的结构示意图。
图3是本发明实施例所提供的转动机构的剖视图。
图4是本发明实施例所提供的防漏装载组件的结构示意图。
图5是本发明实施例所提供的防漏装载组件的剖视图。
图6是本发明实施例所提供的防漏装载组件的另一视角的结构示意图。
图7是本发明实施例所提供的炉体真空腔的部分结构示意图。
图中:100、炉体真空腔;110、腔本体;120、密封门;130、真空恒压机构;140、固定板;200、支架;300、转动机构;310、滑动底座;311、滑动滚轮;320、转动盘;330、固定齿条盘;340、转动主轴;350、防漏装载组件;351、转动副轴;352、防漏子组件;3521、收集盘;3522、升降套;3523、伞骨;3523a、支撑臂;3523b、连接臂;3524、弹性柱;3525、压料环;400、输送机构;410、输送架;420、输送带。
具体实施方式
现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本发明的基本结构,因此其仅显示与本发明有关的构成。
实施例1
请参阅图1-图7,本实施例提供了一种多弧离子镀用输送系统,包括:炉体真空腔100、支架200、机械臂、转动机构300以及输送机构400;所述炉体真空腔100设置在所述支架200上;所述转动机构300滑动设置在支架200上;所述输送机构400设置在所述支架200侧,且适于将待镀膜工件输送至靠近支架200;所述机械臂适于将所述输送机构400输送的待镀膜工件抓取后放至所述转动机构300上;所述转动机构300适于在待镀膜工件装载完毕之后,从所述支架200滑动进入所述炉体真空腔100中;所述炉体真空腔100适于对待镀膜工件进行离子镀。通过将转动机构300设置成滑动在支架200以及炉体真空腔100内,从而便于后续的机械臂抓取,同时,设置输送机构400对待镀膜工件进行输送,提高了工件的镀膜效率,减少了人工成本。
在本实施例中,所述炉体真空腔100包括:腔本体110、密封门120以及真空恒压机构130;所述密封门120转动连接在所述腔本体110的开口处;所述真空恒压机构130适于将密封后的腔本体110进行抽真空并保持恒压;所述腔本体110适于对待镀膜工件进行离子镀。
具体来说,腔本体110内设置有用于离子镀的相关设备,该部分为现有技术,在本实施例中不在进行陈述。
在本实施例中,所述输送机构400包括输送架410、输送带420以及驱动电机;所述输送带420设置在所述输送架410上;所述驱动电机适于驱动所述输送带420运行。
在本实施例中,所述转动机构300包括滑动底座310、转动盘320、固定齿条盘330、转动主轴340以及多个防漏装载组件350;所述滑动底座310滑动设置在所述支架200上;所述固定齿条盘330固定设置在所述滑动底座310上方;所述转动盘320转动连接在所述固定齿条盘330上方;所述转动主轴340穿过所述滑动底座310以及所述固定齿条盘330与所述转动盘320固定连接,且所述转动主轴340适于在转动时带动转动盘320进行转动;多个所述防漏装载组件350呈圆周阵列转动设置在所述转动盘320上,且穿过所述转动盘320与所述固定齿条盘330上的齿条啮合;所述转动盘320适于在转动时带动所述防漏装载组件350沿所述固定齿条盘330的齿条转动,从而带动所述防漏装载组件350发生自转。通过转动主轴340带动转动盘320转动,同时驱动转动盘320上的多个防漏装载组件350旋转,使工件在镀膜时可以均匀的镀膜,减少了驱动源的使用,可以同时对多个待镀膜工件进行,提高了工件镀膜的效率。
在本实施例中,所述滑动底座310的两侧壁设置有滑动滚轮311;所述炉体真空腔100与所述滑动滚轮311适配处设置有固定板140;所述滑动底座310适于从所述支架200上滑动至所述炉体真空腔100的固定板140上。
由于防漏装载组件350需要与转动盘320之间开设间隙,从而避免防漏装载组件350与转动盘320发生短路,然而,在实际镀膜过程中,会掉落许多金属粉末,可能会导致防漏装载组件350与转动盘320之间短路。因此,本申请通过防漏装载组件350来对金属粉末进行收集,从而避免发生短路。
具体来说,所述防漏装载组件350包括转动副轴351以及防漏子组件352;所述防漏子组件352一端连接在所述转动副轴351的侧壁,另一端滑动连接在所述转动副轴351上;所述机械臂适于将所述输送机构400输送的待镀膜工件抓取后套设在所述转动副轴351上,且挤压所述防漏子组件352,使防漏子组件352打开,对离子镀过程中掉落的金属粉末进行收集。
在本实施例中,所述防漏子组件352包括收集盘3521、升降套3522、伞面以及多根伞骨3523;所述收集盘3521固定设置在所述转动副轴351的侧壁,且位于所述转动盘320的上方;所述升降套3522套设在所述转动副轴351上,且位于所述收集盘3521的上方;多根所述伞骨3523一端转动连接在所述收集盘3521的上,另一端转动连接在所述升降套3522上;所述伞面固定设置在多根伞骨3523上;所述升降套3522适于在待镀膜工件套设在所述转动副轴351上,被待镀膜工件挤压后沿所述转动副轴351向下滑动,从而使多根伞骨3523沿所述收集盘3521的径向向外打开,从而将所述伞面打开,对离子镀过程中掉落的金属粉末进行收集。在需要对待镀膜工件进行镀膜时,待镀膜工件将会挤压升降套3522,使伞面打开,在镀膜完毕之后,镀膜工件从转动副轴351取出,此时伞面合拢,将金属粉末收集在收集盘3521中,从而便于后续对金属粉末进行清理。
在本实施例中,所述升降套3522为圆台形,且所述升降套3522的截面为直角梯形;所述升降套3522适于在待镀膜工件从转动副轴351上取出时,发生回弹,对所述转动副轴351的侧壁进行清理。通过升降套3522的上升和下降,对转动副轴351上的金属粉末进行清理。
在本实施例中,所述伞骨3523包括支撑臂3523a以及连接臂3523b;所述支撑臂3523a的一端通过复位扭簧转动连接在所述收集盘3521上;所述连接臂3523b的一端转动连接在所述升降套3522上,另一端转动连接在所述支撑臂3523a上;所述防漏子组件352还包括多个弹性柱3524;所述弹性柱3524沿所述升降套3522的轴线插入所述升降套3522的侧壁中,且从所述升降套3522的中伸出;所述弹性柱3524通过复位弹簧弹性连接在所述升降套3522上;所述弹性柱3524的底部设置有压料环3525;所述压料环3525适于在所述升降套3522沿所述转动副轴351向下滑动时,对所述收集盘3521中的金属粉末进行压实;所述弹性柱3524适于在待镀膜工件从所述转动副轴351上取出后,向上发生回弹,并反复晃动,从而使所述压料环3525发生晃动,进而使压料环3525上残留金属粉末脱落。通过设置弹性柱3524,一方面对插入转动副轴351的待镀膜工件进行限位,另一方面,将压料环3525推入到收集盘3521中,将金属粉末压实,便于后续清理。
本发明实施例还提供了一种多弧离子镀膜工艺,所述方法包括:所述工艺包括:
拔刀、前处理、超声清洗、装夹、上挂、入炉、镀膜、出炉冷却、下挂以及后处理;所述装夹、上挂、入炉、镀膜的工序采用如上述的多弧离子镀用输送系统进行。
拔刀:将待镀膜工件的外包装去除,对产品进行外观检验,是否存在质量问题。完成检验后,根据待镀膜工件规格选择合适的清洗篮。随后放入周转小车进入下一工序。
前处理:将装有待镀膜工件的清洗篮,放入水喷砂设备中,根据要求调整喷砂压力,对产品进行处理。完成水喷砂处理后,放入消磁设备中,进行磁性消除处理。完成后放在周转小车上流转至下一工序。
超声清洗:将清洗栏放入超声清洗工装中,置于超声清洗机入口,等待超声清洗设备自动抓取进入设备,完成清洗。
装夹:将清洗完成的待镀膜工件,装入相应的夹具工装内,并通过输送机构进行输送。
上挂:通过机械臂将所述输送机构输送的待镀膜工件抓取后放至所述转动机构上。
入炉:所述转动机构适于在待镀膜工件装载完毕之后,从所述支架滑动进入所述炉体真空腔中。设备检查无异常后,关闭炉门,进行镀膜处理。
镀膜:设备按照预先导入的工艺程序,进行自动镀膜。
出炉冷却:镀膜完成后,待炉腔降温至适宜的温度后,打开炉门,将转动机构从炉体真空腔滑出,并通过外部风扇进行进一步降温。
下挂:首先将降温好的转动机构,使用压缩空气进行吹灰清洁。完成后,将装有镀膜后的工件从转动机构上取出。
后处理:将完成镀膜的工件从工装夹具上取出,使用磨抛机,以氧化铝软毛刷或百洁布进行抛光处理。
综上所述,本发明提供了一种多弧离子镀用输送系统及多弧离子镀膜工艺,其中,一种多弧离子镀用输送系统包括:炉体真空腔100、支架200、机械臂、转动机构300以及输送机构400;所述炉体真空腔100设置在所述支架200上;所述转动机构300滑动设置在支架200上;所述输送机构400设置在所述支架200侧,且适于将待镀膜工件输送至靠近支架200;所述机械臂适于将所述输送机构400输送的待镀膜工件抓取后放至所述转动机构300上;所述转动机构300适于在待镀膜工件装载完毕之后,从所述支架200滑动进入所述炉体真空腔100中;所述炉体真空腔100适于对待镀膜工件进行离子镀。通过将转动机构300设置成滑动在支架200以及炉体真空腔100内,从而便于后续的机械臂抓取,同时,设置输送机构400对待镀膜工件进行输送,提高了工件的镀膜效率,减少了人工成本。
本申请中选用的各个器件(未说明具体结构的部件)均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件,其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。并且,本申请所涉及的软件程序均为现有技术,本申请不涉及对软件程序作出任何改进。
在本发明实施例的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本申请所提供的几个实施例中,应该理解到,所揭露的系统、装置和方法,可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的,例如,所述单元的划分,仅仅为一种逻辑功能划分,实际实现时可以有另外的划分方式,又例如,多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统,或一些特征可以忽略,或不执行。另一点,所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口,装置或单元的间接耦合或通信连接,可以是电性,机械或其它的形式。
所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的,作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元,即可以位于一个地方,或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
另外,在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中,也可以是各个单元单独物理存在,也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。
以上述依据本发明的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (10)
1.一种多弧离子镀用输送系统,其特征在于,包括:
炉体真空腔、支架、机械臂、转动机构以及输送机构;
所述炉体真空腔设置在所述支架上;
所述转动机构滑动设置在支架上;
所述输送机构设置在所述支架侧,且适于将待镀膜工件输送至靠近支架;
所述机械臂适于将所述输送机构输送的待镀膜工件抓取后放至所述转动机构上;
所述转动机构适于在待镀膜工件装载完毕之后,从所述支架滑动进入所述炉体真空腔中;
所述炉体真空腔适于对待镀膜工件进行离子镀。
2.如权利要求1所述的多弧离子镀用输送系统,其特征在于,
所述炉体真空腔包括:腔本体、密封门以及真空恒压机构;
所述密封门转动连接在所述腔本体的开口处;
所述真空恒压机构适于将密封后的腔本体进行抽真空并保持恒压;
所述腔本体适于对待镀膜工件进行离子镀。
3.如权利要求1所述的多弧离子镀用输送系统,其特征在于,
所述输送机构包括输送架、输送带以及驱动电机;
所述输送带设置在所述输送架上;
所述驱动电机适于驱动所述输送带运行。
4.如权利要求1所述的多弧离子镀用输送系统,其特征在于,
所述转动机构包括滑动底座、转动盘、固定齿条盘、转动主轴以及多个防漏装载组件;
所述滑动底座滑动设置在所述支架上;
所述固定齿条盘固定设置在所述滑动底座上方;
所述转动盘转动连接在所述固定齿条盘上方;
所述转动主轴穿过所述滑动底座以及所述固定齿条盘与所述转动盘固定连接,且所述转动主轴适于在转动时带动转动盘进行转动;
多个所述防漏装载组件呈圆周阵列转动设置在所述转动盘上,且穿过所述转动盘与所述固定齿条盘上的齿条啮合;
所述转动盘适于在转动时带动所述防漏装载组件沿所述固定齿条盘的齿条转动,从而带动所述防漏装载组件发生自转。
5.如权利要求4所述的多弧离子镀用输送系统,其特征在于,
所述防漏装载组件包括转动副轴以及防漏子组件;
所述防漏子组件一端连接在所述转动副轴的侧壁,另一端滑动连接在所述转动副轴上;
所述机械臂适于将所述输送机构输送的待镀膜工件抓取后套设在所述转动副轴上,且挤压所述防漏子组件,使防漏子组件打开,对离子镀过程中掉落的金属粉末进行收集。
6.如权利要求5所述的多弧离子镀用输送系统,其特征在于,
所述防漏子组件包括收集盘、升降套、伞面以及多根伞骨;
所述收集盘固定设置在所述转动副轴的侧壁,且位于所述转动盘的上方;
所述升降套套设在所述转动副轴上,且位于所述收集盘的上方;
多根所述伞骨一端转动连接在所述收集盘的上,另一端转动连接在所述升降套上;
所述伞面固定设置在多根伞骨上;
所述升降套适于在待镀膜工件套设在所述转动副轴上,被待镀膜工件挤压后沿所述转动副轴向下滑动,从而使多根伞骨沿所述收集盘的径向向外打开,从而将所述伞面打开,对离子镀过程中掉落的金属粉末进行收集。
7.如权利要求6所述的多弧离子镀用输送系统,其特征在于,
所述升降套为圆台形,且所述升降套的截面为直角梯形;
所述升降套适于在待镀膜工件从转动副轴上取出时,发生回弹,对所述转动副轴的侧壁进行清理。
8.如权利要求6所述的多弧离子镀用输送系统,其特征在于,
所述伞骨包括支撑臂以及连接臂;
所述支撑臂的一端通过复位扭簧转动连接在所述收集盘上;
所述连接臂的一端转动连接在所述升降套上,另一端转动连接在所述支撑臂上;
所述防漏子组件还包括多个弹性柱;
所述弹性柱沿所述升降套的轴线插入所述升降套的侧壁中,且从所述升降套的中伸出;
所述弹性柱通过复位弹簧弹性连接在所述升降套上;
所述弹性柱的底部设置有压料环;
所述压料环适于在所述升降套沿所述转动副轴向下滑动时,对所述收集盘中的金属粉末进行压实;
所述弹性柱适于在待镀膜工件从所述转动副轴上取出后,向上发生回弹,并反复晃动,从而使所述压料环发生晃动,进而使压料环上残留金属粉末脱落。
9.如权利要求4所述的多弧离子镀用输送系统,其特征在于,
所述滑动底座的两侧壁设置有滑动滚轮;
所述炉体真空腔与所述滑动滚轮适配处设置有固定板;
所述滑动底座适于从所述支架上滑动至所述炉体真空腔的固定板上。
10.一种多弧离子镀膜工艺,其特征在于,所述工艺包括:
拔刀、前处理、超声清洗、装夹、上挂、入炉、镀膜、出炉冷却、下挂以及后处理;
所述装夹、上挂、入炉、镀膜的工序采用如权利要求1-9任一项所述的多弧离子镀用输送系统进行;
其中,拔刀:将待镀膜工件的外包装去除,对产品进行外观检验,是否存在质量问题;
前处理:将装有待镀膜工件的清洗篮,放入水喷砂设备中,根据要求调整喷砂压力,对产品进行处理,完成水喷砂处理后,放入消磁设备中,进行磁性消除处理,完成后放在周转小车上流转至下一工序;
超声清洗:将清洗栏放入超声清洗工装中,置于超声清洗机入口,等待超声清洗设备自动抓取进入设备,完成清洗;
装夹,即:将清洗完成的待镀膜工件,装入相应的夹具工装内,并通过输送机构进行输送;
上挂,即:通过机械臂将所述输送机构输送的待镀膜工件抓取后放至所述转动机构上;
入炉,即:所述转动机构适于在待镀膜工件装载完毕之后,从所述支架滑动进入所述炉体真空腔中;
镀膜,即:照预先导入的工艺程序,进行自动镀膜;
下挂,即:将降温好的转动机构,使用压缩空气进行吹灰清洁,完成后,将装有镀膜后的工件从转动机构上取出;
后处理:将完成镀膜的工件从工装夹具上取出,使用磨抛机,以氧化铝软毛刷或百洁布进行抛光处理。
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