CN115629639A - 一种退火炉用温度测量控制模块 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种退火炉用温度测量控制模块，包括蒸汽动力式液体循环驱动机构、电辅助抽水组件、肋骨式冷却排组件、散热控流组件和储液箱体组件。本发明属于温度控制技术领域，具体是指一种退火炉用温度测量控制模块；本发明以吸收了炉内热量的蒸汽作为驱动液体循环的驱动力，能够有效地降低电力消耗，实现节能的技术目标啊，通过过压排气阀排出多余的驱动源，通过内置流速表对液体流速进行实时反馈，组成了温度和流速的闭环反馈模式，在不需要加热模块工作，甚至不需要消耗能源的情况下，便实现了对退火炉降温速度的精准控制，实现了节能减排的技术目标。

Description

一种退火炉用温度测量控制模块

技术领域

本发明属于温度控制技术领域，具体是指一种退火炉用温度测量控制模块。

背景技术

半导体工艺中的退火，是指改善无序为有序，恢复结晶常数和迁移率，利用适当的时间和温度恢复晶格秩序的工艺过程，退火的方法就是把样品放到炉体里，然后设定时间和温度，常见的退火工序包括加热、保温、缓冷、激冷、空冷几种，其中空冷是指工件在空气中冷却，一般在退火的最后阶段，而缓冷和激冷的本质相同，主要区别是冷却速率，实际上，冷却速率是退火工艺中一项非常重要的参数指标。

目前的退火炉，控制温度降低，一般都是采用负反馈式，即加热和冷却模块的功率进行对抗和实时调整，从而使炉内温度等于或接近设定温度；但是实际上由于退火炉的保温结构非常完善，自然冷却的速率远远小于退火工艺炉内的温度下降率，因此这个过程中的加热步骤完全的多余的，如果能够在关闭加热模块的情况下对冷却模块的功率进行精准地调整，也能实现同样的技术效果。

并且，由于退火炉内的温度动辄几百上千度，因此冷却模块的功率也相对较大，加上机械设备在实际生产中基本是连续运转的，因此冷却模块的耗电量也是一个非常大的成本支出。

发明内容

针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本发明提出了一种几乎不需要消耗电力的、通过冷却液蒸发的水蒸汽提供驱动力的退火炉用温度测量控制模块；为了对蒸汽进行充分的回收利用，本发明创造性地提出了蒸汽动力式液体循环驱动机构，以吸收了炉内热量的蒸汽作为驱动液体循环的驱动力，能够有效地降低电力消耗，实现节能的技术目标啊，通过过压排气阀排出多余的驱动源，通过内置流速表对液体流速进行实时反馈，组成了温度和流速的闭环反馈模式，在不需要加热模块工作，甚至不需要消耗能源的情况下，便实现了对退火炉降温速度的精准控制，实现了节能减排的技术目标。

本发明采取的技术方案如下：本发明提出了一种退火炉用温度测量控制模块，包括蒸汽动力式液体循环驱动机构、电辅助抽水组件、肋骨式冷却排组件、散热控流组件和储液箱体组件，所述蒸汽动力式液体循环驱动机构设于储液箱体组件上，蒸汽动力式液体循环驱动机构能够以液体受热后汽化产生蒸汽时增大的气压作为驱动力，配合用于调速的辅助电机组件，使得冷却液在消耗极小的能量时便可高速循环，从而实现退火炉内温度的逐渐降低，所述电辅助抽水组件设于储液箱体组件上，通过电辅助抽水组件的辅助效果，能够保证当退火炉内的温度降低后，仍然能够保证循环降温所需的液体流速，所述肋骨式冷却排组件设于电辅助抽水组件上，通过肋骨式冷却排组件能够和退火炉内的空气进行充分的热量交换，从而达到使退火炉降温的技术目的，所述散热控流组件设于肋骨式冷却排组件上，所述蒸汽动力式液体循环驱动机构和肋骨式冷却排组件贯通连接。

进一步地，所述蒸汽动力式液体循环驱动机构包括蒸汽收集组件、蒸汽驱动组件和蒸汽冷凝组件，所述蒸汽收集组件设于肋骨式冷却排组件上，所述蒸汽驱动组件设于蒸汽收集组件和蒸汽冷凝组件之间，所述蒸汽冷凝组件卡合设于储液箱体组件中。

作为优选地，所述蒸汽收集组件包括排式收集管、桩式收集管和钩式蒸汽主管道，所述排式收集管阵列设于钩式蒸汽主管道上，所述桩式收集管阵列设于排式收集管的底部，所述桩式收集管和蒸汽驱动组件连接，所述排式收集管、桩式收集管和钩式蒸汽主管道之间贯通连接，电辅助抽水组件中受热蒸发的水蒸汽，在自身膨胀时增大的压强作用下，沿着桩式收集管和排式收集管进入钩式蒸汽主管道中，进而驱动蒸汽驱动组件运转。

作为本发明的进一步优选，所述蒸汽驱动组件包括过压排气阀、汽轮机壳体和蒸汽涡轮，所述过压排气阀卡合设于钩式蒸汽主管道的底部，所述汽轮机壳体设于过压排气阀上，所述汽轮机壳体和钩式蒸汽主管道之间贯通连接，所述蒸汽涡轮上设有涡轮中心主轴，所述蒸汽涡轮通过涡轮中心主轴转动设于汽轮机壳体中，所述蒸汽涡轮在涡轮中心主轴上阵列设有能够被蒸汽推动旋转的涡轮叶片，当钩式蒸汽主管道中的高压蒸汽撞击涡轮叶片时，能够带着蒸汽涡轮在汽轮机壳体中旋转，从而通过涡轮中心主轴带着水泵本体一起旋转；当钩式蒸汽主管道中的压力达到一定程度（仅靠蒸汽便足以驱动水泵本体按照目标转速旋转）时，将会有部分其他通过过压排气阀排到外界，从而保证钩式蒸汽主管道中的气压在一定范围内。

作为本发明的进一步优选，所述蒸汽冷凝组件包括冷凝管道、回收管和排气管，所述冷凝管道设于汽轮机壳体的底部，所述冷凝管道的底部设有管道底部避位孔，所述涡轮中心主轴转动设于电辅助抽水组件中，所述涡轮中心主轴和管道底部避位孔为旋转密封连接，收拾收拾回收管设于冷凝管道的底部，所述排气管设于冷凝管道的侧面，经过冷凝管道的冷凝作用，冷凝液化的水通过回收管流回水箱本体中重复利用，温度仍然较高的蒸汽则通过排气管排到外界，这部分能量可以通过外部设备以其他方式回收利用。

进一步地，所述电辅助抽水组件包括水泵组件、辅助电机组件和温控组件，所述水泵组件设于储液箱体组件中，所述辅助电机组件设于水泵组件上，所述温控组件设于水泵组件上。

作为优选地，所述水泵组件包括水泵本体和从动锥齿轮，所述水泵本体上设有输泵吸水管，所述水泵本体通过输泵吸水管设于储液箱体组件中，所述水泵本体的顶部设有外露的水泵主轴，所述水泵组件和涡轮中心主轴之间通过从动锥齿轮连接。

作为本发明的进一步优选，所述辅助电机组件包括辅助电机和主动锥齿轮，所述辅助电机设于水泵本体上，所述主动锥齿轮卡合设于辅助电机的输出轴上，所述主动锥齿轮和从动锥齿轮之间啮合连接，辅助电机组件能够在感应到流速低于设定流速时，通过自身的扭矩补偿来维持冷却液的流速，避免因炉内温度降低而导致蒸汽驱动力下降时，流速无法达标的问题；所述温控组件包括控制面板和温度传感器，所述控制面板设于水泵本体上，所述温度传感器设于控制面板上，所述温度传感器上设有温度探测头，所述温度探测头位于退火炉的内部，控制面板位于退火炉的外部，温度探测头位于退火炉中，温度探测头能够感应颅内的当前温度，从而能够反馈给控制面板、获得炉内外温差、调节冷却液流速。

进一步地，所述肋骨式冷却排组件包括进水分流管、排水分流管和中间流道，所述进水分流管设于水泵本体上，所述进水分流管的内部设有内置流速表，通过内置流速表能够实时监测水泵本体泵出的水量，从而形成闭环反馈、保证冷却速度达标；所述中间流道阵列设于进水分流管和排水分流管之间，所述排水分流管上设有排水主管道，所述中间流道上设有蒸汽管道接口，所述肋骨式冷却排组件和温度探测头位于退火炉的内部，其余组件位于退火炉的外部，肋骨式冷却排组件位于退火炉的内部，液体流过中间流道时，被快速加热，部分液体会蒸发成水蒸汽，并且沿着桩式收集管进入排式收集管中。

进一步地，所述散热控流组件包括散热装置、回流管道和限流阀，所述限流阀设于排水主管道上，限流阀能够限制水流的速度，从而避免气体通过排水分流管回流的情况，经过散热装置冷却后的液体，通过回流管道回流到水箱本体中重复利用；所述散热装置的顶端设有散热器进水管，所述散热器进水管和限流阀贯通连接，所述回流管道设于散热装置的底端。

进一步地，所述储液箱体组件包括水箱本体和非密封防溅箱盖，所述水箱本体上设有回流接头，所述回流管道卡合设于回流接头中，所述非密封防溅箱盖设于水箱本体上，所述非密封防溅箱盖上设有收集口和出水口，所述回收管卡合设于收集口中，所述输泵吸水管卡合设于出水口中。

采用上述结构本发明取得的有益效果如下：

（1）蒸汽动力式液体循环驱动机构能够以液体受热后汽化产生蒸汽时增大的气压作为驱动力，配合用于调速的辅助电机组件，使得冷却液在消耗极小的能量时便可高速循环，从而实现退火炉内温度的逐渐降低；

（2）通过电辅助抽水组件的辅助效果，能够保证当退火炉内的温度降低后，仍然能够保证循环降温所需的液体流速；

（3）通过肋骨式冷却排组件能够和退火炉内的空气进行充分的热量交换，从而达到使退火炉降温的技术目的；

（4）电辅助抽水组件中受热蒸发的水蒸汽，在自身膨胀时增大的压强作用下，沿着桩式收集管和排式收集管进入钩式蒸汽主管道中，进而驱动蒸汽驱动组件运转；

（5）当钩式蒸汽主管道中的高压蒸汽撞击涡轮叶片时，能够带着蒸汽涡轮在汽轮机壳体中旋转，从而通过涡轮中心主轴带着水泵本体一起旋转；当钩式蒸汽主管道中的压力达到一定程度（仅靠蒸汽便足以驱动水泵本体按照目标转速旋转）时，将会有部分其他通过过压排气阀排到外界，从而保证钩式蒸汽主管道中的气压在一定范围内；

（6）经过冷凝管道的冷凝作用，冷凝液化的水通过回收管流回水箱本体中重复利用，温度仍然较高的蒸汽则通过排气管排到外界，这部分能量可以通过外部设备以其他方式回收利用；

（7）辅助电机组件能够在感应到流速低于设定流速时，通过自身的扭矩补偿来维持冷却液的流速，避免因炉内温度降低而导致蒸汽驱动力下降时，流速无法达标的问题；

（8）控制面板位于退火炉的外部，温度探测头位于退火炉中，温度探测头能够感应颅内的当前温度，从而能够反馈给控制面板、获得炉内外温差、调节冷却液流速；

（9）通过内置流速表能够实时监测水泵本体泵出的水量，从而形成闭环反馈、保证冷却速度达标；

（10）肋骨式冷却排组件位于退火炉的内部，液体流过中间流道时，被快速加热，部分液体会蒸发成水蒸汽，并且沿着桩式收集管进入排式收集管中；

（11）限流阀能够限制水流的速度，从而避免气体通过排水分流管回流的情况，经过散热装置冷却后的液体，通过回流管道回流到水箱本体中重复利用。

附图说明

图1为本发明提出的一种退火炉用温度测量控制模块的立体图；

图2为本发明提出的一种退火炉用温度测量控制模块的主视图；

图3为本发明提出的一种退火炉用温度测量控制模块的俯视图；

图4为本发明提出的一种退火炉用温度测量控制模块的右视图；

图5为图2中沿着剖切线A-A的剖视图；

图6为本发明提出的一种退火炉用温度测量控制模块的蒸汽动力式液体循环驱动机构的结构示意图；

图7为本发明提出的一种退火炉用温度测量控制模块的电辅助抽水组件的结构示意图；

图8为本发明提出的一种退火炉用温度测量控制模块的肋骨式冷却排组件的结构示意图；

图9为本发明提出的一种退火炉用温度测量控制模块的散热控流组件的结构示意图；

图10为本发明提出的一种退火炉用温度测量控制模块的储液箱体组件的结构示意图；

图11为图5中Ⅰ处的局部放大图；

图12为图4中Ⅱ处的局部放大图；

图13为图5中Ⅲ处的局部放大图；

图14为本发明提出的一种退火炉用温度测量控制模块的控制简图。

其中，1、蒸汽动力式液体循环驱动机构，2、电辅助抽水组件，3、肋骨式冷却排组件，4、散热控流组件，5、储液箱体组件，6、蒸汽收集组件，7、蒸汽驱动组件，8、蒸汽冷凝组件，9、排式收集管，10、桩式收集管，11、钩式蒸汽主管道，12、过压排气阀，13、汽轮机壳体，14、蒸汽涡轮，15、冷凝管道，16、回收管，17、排气管，18、涡轮中心主轴，19、涡轮叶片，20、管道底部避位孔，21、水泵组件，22、辅助电机组件，23、温控组件，24、水泵本体，25、从动锥齿轮，26、辅助电机，27、主动锥齿轮，28、控制面板，29、温度传感器，30、输泵吸水管，31、水泵主轴，32、温度探测头，33、进水分流管，34、排水分流管，35、中间流道，36、内置流速表，37、排水主管道，38、蒸汽管道接口，39、散热装置，40、回流管道，41、散热器进水管，42、水箱本体，43、非密封防溅箱盖，44、回流接头，45、收集口，46、出水口，47、限流阀。

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例；基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

如图1~图13所示，本发明提出了一种退火炉用温度测量控制模块，包括蒸汽动力式液体循环驱动机构1、电辅助抽水组件2、肋骨式冷却排组件3、散热控流组件4和储液箱体组件5，蒸汽动力式液体循环驱动机构1设于储液箱体组件5上，蒸汽动力式液体循环驱动机构1能够以液体受热后汽化产生蒸汽时增大的气压作为驱动力，配合用于调速的辅助电机26组件，使得冷却液在消耗极小的能量时便可高速循环，从而实现退火炉内温度的逐渐降低，电辅助抽水组件2设于储液箱体组件5上，通过电辅助抽水组件2的辅助效果，能够保证当退火炉内的温度降低后，仍然能够保证循环降温所需的液体流速，肋骨式冷却排组件3设于电辅助抽水组件2上，通过肋骨式冷却排组件3能够和退火炉内的空气进行充分的热量交换，从而达到使退火炉降温的技术目的，散热控流组件4设于肋骨式冷却排组件3上，蒸汽动力式液体循环驱动机构1和肋骨式冷却排组件3贯通连接。

储液箱体组件5包括水箱本体42和非密封防溅箱盖43，水箱本体42上设有回流接头44，回流管道40卡合设于回流接头44中，非密封防溅箱盖43设于水箱本体42上，非密封防溅箱盖43上设有收集口45和出水口46，回收管16卡合设于收集口45中，输泵吸水管30卡合设于出水口46中。

蒸汽动力式液体循环驱动机构1包括蒸汽收集组件6、蒸汽驱动组件7和蒸汽冷凝组件8，蒸汽收集组件6设于肋骨式冷却排组件3上，蒸汽驱动组件7设于蒸汽收集组件6和蒸汽冷凝组件8之间，蒸汽冷凝组件8卡合设于储液箱体组件5中。

蒸汽收集组件6包括排式收集管9、桩式收集管10和钩式蒸汽主管道11，排式收集管9阵列设于钩式蒸汽主管道11上，桩式收集管10阵列设于排式收集管9的底部，桩式收集管10和蒸汽驱动组件7连接，排式收集管9、桩式收集管10和钩式蒸汽主管道11之间贯通连接，电辅助抽水组件2中受热蒸发的水蒸汽，在自身膨胀时增大的压强作用下，沿着桩式收集管10和排式收集管9进入钩式蒸汽主管道11中，进而驱动蒸汽驱动组件7运转。

蒸汽驱动组件7包括过压排气阀12、汽轮机壳体13和蒸汽涡轮14，过压排气阀12卡合设于钩式蒸汽主管道11的底部，汽轮机壳体13设于过压排气阀12上，汽轮机壳体13和钩式蒸汽主管道11之间贯通连接，蒸汽涡轮14上设有涡轮中心主轴18，蒸汽涡轮14通过涡轮中心主轴18转动设于汽轮机壳体13中，蒸汽涡轮14在涡轮中心主轴18上阵列设有能够被蒸汽推动旋转的涡轮叶片19，当钩式蒸汽主管道11中的高压蒸汽撞击涡轮叶片19时，能够带着蒸汽涡轮14在汽轮机壳体13中旋转，从而通过涡轮中心主轴18带着水泵本体24一起旋转；当钩式蒸汽主管道11中的压力达到一定程度（仅靠蒸汽便足以驱动水泵本体24按照目标转速旋转）时，将会有部分其他通过过压排气阀12排到外界，从而保证钩式蒸汽主管道11中的气压在一定范围内。

蒸汽冷凝组件8包括冷凝管道15、回收管16和排气管17，冷凝管道15设于汽轮机壳体13的底部，冷凝管道15的底部设有管道底部避位孔20，涡轮中心主轴18转动设于电辅助抽水组件2中，涡轮中心主轴18和管道底部避位孔20为旋转密封连接，收拾收拾回收管16设于冷凝管道15的底部，排气管17设于冷凝管道15的侧面，经过冷凝管道15的冷凝作用，冷凝液化的水通过回收管16流回水箱本体42中重复利用，温度仍然较高的蒸汽则通过排气管17排到外界，这部分能量可以通过外部设备以其他方式回收利用。

电辅助抽水组件2包括水泵组件21、辅助电机26组件和温控组件23，水泵组件21设于储液箱体组件5中，辅助电机26组件设于水泵组件21上，温控组件23设于水泵组件21上。

水泵组件21包括水泵本体24和从动锥齿轮25，水泵本体24上设有输泵吸水管30，水泵本体24通过输泵吸水管30设于储液箱体组件5中，水泵本体24的顶部设有外露的水泵主轴31，水泵组件21和涡轮中心主轴18之间通过从动锥齿轮25连接。

辅助电机26组件包括辅助电机26和主动锥齿轮27，辅助电机26设于水泵本体24上，主动锥齿轮27卡合设于辅助电机26的输出轴上，主动锥齿轮27和从动锥齿轮25之间啮合连接，辅助电机26组件能够在感应到流速低于设定流速时，通过自身的扭矩补偿来维持冷却液的流速，避免因炉内温度降低而导致蒸汽驱动力下降时，流速无法达标的问题；温控组件23包括控制面板28和温度传感器29，控制面板28设于水泵本体24上，温度传感器29设于控制面板28上，温度传感器29上设有温度探测头32，温度探测头32位于退火炉的内部，控制面板28位于退火炉的外部，温度探测头32位于退火炉中，温度探测头32能够感应颅内的当前温度，从而能够反馈给控制面板28、获得炉内外温差、调节冷却液流速。

肋骨式冷却排组件3包括进水分流管33、排水分流管34和中间流道35，进水分流管33设于水泵本体24上，进水分流管33的内部设有内置流速表36，通过内置流速表36能够实时监测水泵本体24泵出的水量，从而形成闭环反馈、保证冷却速度达标；中间流道35阵列设于进水分流管33和排水分流管34之间，排水分流管34上设有排水主管道37，中间流道35上设有蒸汽管道接口38，肋骨式冷却排组件3和温度探测头32位于退火炉的内部，其余组件位于退火炉的外部，肋骨式冷却排组件3位于退火炉的内部，液体流过中间流道35时，被快速加热，部分液体会蒸发成水蒸汽，并且沿着桩式收集管10进入排式收集管9中。

散热控流组件4包括散热装置39、回流管道40和限流阀47，限流阀47设于排水主管道37上，限流阀47能够限制水流的速度，从而避免气体通过排水分流管34回流的情况，经过散热装置39冷却后的液体，通过回流管道40回流到水箱本体42中重复利用；散热装置39的顶端设有散热器进水管41，散热器进水管41和限流阀47贯通连接，回流管道40设于散热装置39的底端。

如图14所示，控制面板28通过温度传感器29反馈的温度信息和设定的冷却速度，得出冷却液体需要的流速，通过内置流速表36反馈的实际流速与设定流速对比实现闭环控制，在蒸汽压力足够时，只需要调节过压排气阀12的排气阈值，即可通过水泵本体24控制液体流速，只有在过压排气阀12完全关闭后，蒸汽压力也不足以驱动水泵本体24达到目标转速时，辅助电机26才会介入；根据设定流速的不同，设置限流阀47的限流速度，能够有效避免气体进入排水分流管34中。

 具体使用时，首先用户需要通过退火炉的加热装置将炉内加热到一定温度并保温一定时间，在需要降温时，控制面板28通过温度传感器29反馈的温度信息和设定的冷却速度，得出冷却液体需要的流速；初始阶段需要先通过辅助电机26驱动水泵本体24，将水箱本体42中的低温液体通过进水分流管33输送至中间流道35中，中间流道35中的液体和炉内的高温空气进行快速的热量交换从而吸收炉内的热量的，达到为退火炉降温的目的；

在炉内温度降低的过程中，中间流道35中的液体快速升温，部分液体将会蒸发为水蒸汽，并且在自身膨胀而增大的压强作用下进入蒸汽收集组件6中；

由于限流阀47限制了排水主管道37中的流速，且限流阀47的位置较低，因此即使此时中间流道35的内压升高，排水主管道37中也仅允许液体通过；

进入蒸汽收集组件6中的气体流经过压排气阀12进入汽轮机壳体13中，如果气体的压力超过了过压排气阀12的阈值，那么过压排气阀12便会开启排气，从而限制蒸汽涡轮14的最大功率，蒸汽撞击涡轮叶片19的时候将会带着蒸汽涡轮14在汽轮机壳体13中旋转，进而通过涡轮中心主轴18到这水泵本体24一起旋转，实现驱动水泵本体24的效果；

通过蒸汽驱动组件7的气体经过冷凝管道15的冷凝作用，部分水蒸汽液化成了液态水，冷凝液化的水通过回收管16流回水箱本体42中重复利用，温度仍然较高的蒸汽则通过排气管17排到外界，这部分能量可以通过外部设备以其他方式回收利用；

当即使过压排气阀12完全关闭，蒸汽压力也不足以推动蒸汽涡轮14达到目标转速时，辅助电机26便会接入，和蒸汽压力一起驱动水泵本体24按照目标功率工作；

通过内置流速表36反馈的实际流速与设定流速对比实现闭环控制，在蒸汽压力足够时，只需要调节过压排气阀12的排气阈值，即可通过水泵本体24控制液体流速，只有在过压排气阀12完全关闭后，蒸汽压力也不足以驱动水泵本体24达到目标转速时，辅助电机26才会介入；根据设定流速的不同，设置限流阀47的限流速度，能够有效避免气体进入排水分流管34中。

以上便是本发明整体的工作流程，下次使用时重复此步骤即可。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

以上对本发明及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本发明的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本发明创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种退火炉用温度测量控制模块，其特征在于：包括蒸汽动力式液体循环驱动机构（1）、电辅助抽水组件（2）、肋骨式冷却排组件（3）、散热控流组件（4）和储液箱体组件（5），所述蒸汽动力式液体循环驱动机构（1）设于储液箱体组件（5）上，所述电辅助抽水组件（2）设于储液箱体组件（5）上，所述肋骨式冷却排组件（3）设于电辅助抽水组件（2）上，所述散热控流组件（4）设于肋骨式冷却排组件（3）上，所述蒸汽动力式液体循环驱动机构（1）和肋骨式冷却排组件（3）贯通连接；所述蒸汽动力式液体循环驱动机构（1）包括蒸汽收集组件（6）、蒸汽驱动组件（7）和蒸汽冷凝组件（8），所述蒸汽收集组件（6）设于肋骨式冷却排组件（3）上，所述蒸汽驱动组件（7）设于蒸汽收集组件（6）和蒸汽冷凝组件（8）之间，所述蒸汽冷凝组件（8）卡合设于储液箱体组件（5）中。

2.根据权利要求1所述的一种退火炉用温度测量控制模块，其特征在于：所述蒸汽收集组件（6）包括排式收集管（9）、桩式收集管（10）和钩式蒸汽主管道（11），所述排式收集管（9）阵列设于钩式蒸汽主管道（11）上，所述桩式收集管（10）阵列设于排式收集管（9）的底部，所述桩式收集管（10）和蒸汽驱动组件（7）连接，所述排式收集管（9）、桩式收集管（10）和钩式蒸汽主管道（11）之间贯通连接。

3.根据权利要求2所述的一种退火炉用温度测量控制模块，其特征在于：所述蒸汽驱动组件（7）包括过压排气阀（12）、汽轮机壳体（13）和蒸汽涡轮（14），所述过压排气阀（12）卡合设于钩式蒸汽主管道（11）的底部，所述汽轮机壳体（13）设于过压排气阀（12）上，所述汽轮机壳体（13）和钩式蒸汽主管道（11）之间贯通连接，所述蒸汽涡轮（14）上设有涡轮中心主轴（18），所述蒸汽涡轮（14）通过涡轮中心主轴（18）转动设于汽轮机壳体（13）中，所述蒸汽涡轮（14）在涡轮中心主轴（18）上阵列设有能够被蒸汽推动旋转的涡轮叶片（19）。

4.根据权利要求3所述的一种退火炉用温度测量控制模块，其特征在于：所述蒸汽冷凝组件（8）包括冷凝管道（15）、回收管（16）和排气管（17），所述冷凝管道（15）设于汽轮机壳体（13）的底部，所述冷凝管道（15）的底部设有管道底部避位孔（20），所述涡轮中心主轴（18）转动设于电辅助抽水组件（2）中，所述涡轮中心主轴（18）和管道底部避位孔（20）为旋转密封连接，收拾收拾回收管（16）设于冷凝管道（15）的底部，所述排气管（17）设于冷凝管道（15）的侧面。

5.根据权利要求4所述的一种退火炉用温度测量控制模块，其特征在于：所述电辅助抽水组件（2）包括水泵组件（21）、辅助电机（26）组件和温控组件（23），所述水泵组件（21）设于储液箱体组件（5）中，所述辅助电机（26）组件设于水泵组件（21）上，所述温控组件（23）设于水泵组件（21）上。

6.根据权利要求5所述的一种退火炉用温度测量控制模块，其特征在于：所述水泵组件（21）包括水泵本体（24）和从动锥齿轮（25），所述水泵本体（24）上设有输泵吸水管（30），所述水泵本体（24）通过输泵吸水管（30）设于储液箱体组件（5）中，所述水泵本体（24）的顶部设有外露的水泵主轴（31），所述水泵组件（21）和涡轮中心主轴（18）之间通过从动锥齿轮（25）连接。

7.根据权利要求6所述的一种退火炉用温度测量控制模块，其特征在于：所述辅助电机（26）组件包括辅助电机（26）和主动锥齿轮（27），所述辅助电机（26）设于水泵本体（24）上，所述主动锥齿轮（27）卡合设于辅助电机（26）的输出轴上，所述主动锥齿轮（27）和从动锥齿轮（25）之间啮合连接；所述温控组件（23）包括控制面板（28）和温度传感器（29），所述控制面板（28）设于水泵本体（24）上，所述温度传感器（29）设于控制面板（28）上，所述温度传感器（29）上设有温度探测头（32），所述温度探测头（32）位于退火炉的内部。

8.根据权利要求7所述的一种退火炉用温度测量控制模块，其特征在于：所述肋骨式冷却排组件（3）包括进水分流管（33）、排水分流管（34）和中间流道（35），所述进水分流管（33）设于水泵本体（24）上，所述进水分流管（33）的内部设有内置流速表（36），所述中间流道（35）阵列设于进水分流管（33）和排水分流管（34）之间，所述排水分流管（34）上设有排水主管道（37），所述中间流道（35）上设有蒸汽管道接口（38），所述肋骨式冷却排组件（3）和温度探测头（32）位于退火炉的内部，其余组件位于退火炉的外部。

9.根据权利要求8所述的一种退火炉用温度测量控制模块，其特征在于：所述散热控流组件（4）包括散热装置（39）、回流管道（40）和限流阀（47），所述限流阀（47）设于排水主管道（37）上，所述散热装置（39）的顶端设有散热器进水管（41），所述散热器进水管（41）和限流阀（47）贯通连接，所述回流管道（40）设于散热装置（39）的底端。

10.根据权利要求9所述的一种退火炉用温度测量控制模块，其特征在于：所述储液箱体组件（5）包括水箱本体（42）和非密封防溅箱盖（43），所述水箱本体（42）上设有回流接头（44），所述回流管道（40）卡合设于回流接头（44）中，所述非密封防溅箱盖（43）设于水箱本体（42）上，所述非密封防溅箱盖（43）上设有收集口（45）和出水口（46），所述回收管（16）卡合设于收集口（45）中，所述输泵吸水管（30）卡合设于出水口（46）中。

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