CN115629021A - 激光粒度仪系统及其校正方法、介质和计算机设备 - Google Patents
激光粒度仪系统及其校正方法、介质和计算机设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN115629021A CN115629021A CN202211638005.8A CN202211638005A CN115629021A CN 115629021 A CN115629021 A CN 115629021A CN 202211638005 A CN202211638005 A CN 202211638005A CN 115629021 A CN115629021 A CN 115629021A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- size distribution
- particle size
- laser
- distribution data
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract description 194
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 46
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 132
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims abstract description 37
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 20
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 14
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 7
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 5
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 3
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 claims 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 abstract description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 60
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
- G01N15/0205—Investigating particle size or size distribution by optical means
- G01N15/0211—Investigating a scatter or diffraction pattern
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明公开了一种激光粒度仪系统及其校正方法、介质和计算机设备。其中，激光粒度仪系统中的发射模块用于向测量模块发射激光，测量模块在样品池进样时，通过激光照射粉体物料样品或在照射标准孔径透光板以产生散射光，接收模块用于接收散射光，方法包括：获取接收模块根据散射光生成的电信号；根据电信号得到实际粒径分布数据，其中，实际粒径分布数据在样品池停止进样且标准孔径透光板置于样品池时得到；根据实际粒径分布数据和标准孔径透光板的粒径分布真值得到激光粒度仪系统的校正系数。该方法能够解决激光粒度仪长期的现场振动造成的系统漂移，提高检测准确性。
Description
技术领域
本发明涉及激光散射测量领域，尤其涉及一种激光粒度仪系统及其校正方法、介质和计算机设备。
背景技术
激光粒度仪作为一种能够测量粉体物料粒径分布的仪器，结合自动取样、物料分散及回样装置可实现工业粉体物料的无人全自动连续在线取样测量，在如今快速发展的智能化工厂建设中，结合专家系统可以构成自动闭环控制，在节能生产方面发挥着巨大的作用。然而作为一款精密的光学测量仪器，长期的工业现场振动必然造成系统的漂移，需要定期进行校正，以确保测量结果的重复性和准确性。工业在线测量仪器，考虑到操作人员的专业能力以及维护便捷性等问题，需要一种简便可行、稳定可靠且低成本的在线校正方法用于现场仪器的校正。
发明内容
本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。
为此，本发明的第一个目的在于提出一种激光粒度仪系统的校正方法，该方法能够解决激光粒度仪长期的现场振动造成的系统漂移，提高检测准确性。
本发明的第二个目的在于提出一种计算机可读存储介质。
本发明的第三个目的在于提出一种计算机设备。
本发明的第四个目的在于提出一种激光粒度仪系统。
为达到上述目的，本发明第一方面实施例提出一种激光粒度仪系统的校正方法，所述激光粒度仪系统包括发射模块、测量模块和接收模块，所述发射模块用于向所述测量模块发射激光，所述测量模块包括样品池和标准孔径透光板，且在所述样品池进样时，通过所述激光照射粉体物料样品以产生散射光，并在所述样品池停止进样时通过所述激光照射所述标准孔径透光板以产生散射光，所述接收模块用于接收所述散射光，所述方法包括：获取所述接收模块根据所述散射光生成的电信号；根据所述电信号得到实际粒径分布数据，其中，所述实际粒径分布数据在所述样品池停止进样且所述标准孔径透光板置于所述样品池时得到；根据所述实际粒径分布数据和所述标准粒径分布数据得到所述激光粒度仪系统的校正系数。
根据本发明的一个实施例，采用反演算法对所述电信号进行处理，得到所述实际粒径分布数据。
根据本发明的一个实施例，采用反演算法对所述电信号进行处理，包括：
根据所述激光粒度仪系统的硬件参数构建光能分布系数矩阵；根据预设分布模型确定初始粒径分布数据；根据所述光能分布系数矩阵、所述初始粒径分布数据和所述电信号确定所述实际粒径分布数据。
根据本发明的一个实施例，所述根据所述光能分布系数矩阵、所述初始粒径分布数据和所述电信号确定所述粒径分布数据，包括：根据所述光能分布系数矩阵、所述初始粒径分布数据和所述电信号计算拟合残差；在所述拟合残差大于等于预设残差阈值时，优化所述初始粒径分布列向量，直至所述拟合残差小于预设残差阈值，得到所述实际粒径分布数据。
根据本发明的一个实施例，通过下式确定所述拟合残差：
R=E-T×W
其中，R为所述拟合残差，E为所述电信号，T为所述光能分布系数矩阵，W为所述初始粒径分布数据。
根据本发明的一个实施例，通过下式确定所述激光粒度仪系统的校正系数：
S=W1/W0
其中，S为所述校正系数，W1为所述实际粒径分布数据，W0为所述标准孔径透光板的粒径分布真值。
根据本发明的一个实施例，在根据所述实际粒径分布数据和所述标准粒径分布数据得到所述激光粒度仪系统的校正系数之后，所述方法还包括：根据所述校正系数对所述实际粒径分布数据进行校正。
根据本发明实施例的激光粒度仪系统的校正方法，通过计算样品池在未进样、且标准孔径透光板置于样品池时得到的实际粒径分布数据，根据实际粒径分布数据和标准孔径透光板的粒径分布真值得到激光粒度仪系统的校正系数，通过校正系数对激光粒度仪系统计算的粒径分布数据进行校正，通过在线校正方法可以实现提高激光粒度仪系统的准确性，简便可行、稳定可靠且成本较低。
为达到上述目的，本发明第二方面实施例提出一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如根据本发明第一方面实施例所述的激光粒度仪系统的校正方法。
为达到上述目的，本发明第三方面实施例提出一种计算机设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的激光粒度仪系统的校正程序，所述处理器执行所述激光粒度仪系统的校正程序时，实现根据本发明第一方面实施例所述的激光粒度仪系统的校正方法。
为达到上述目的，本发明第四方面实施例提出了一种激光粒度仪系统，包括：发射模块、测量模块、接收模块和校正模块，其中，所述发射模块用于向所述测量模块发射激光；所述测量模块包括样品池和标准孔径透光板，且在所述样品池进样时，通过所述激光照射粉体物料样品以产生散射光，并在所述样品池停止进样时通过所述激光照射所述标准孔径透光板以产生散射光；所述接收模块用于接收所述散射光；所述校正模块用于获取所述接收模块根据所述散射光生成的电信号，并根据所述电信号得到实际粒径分布数据，其中，所述实际粒径分布数据在所述样品池停止进样且所述标准孔径透光板置于所述样品池时得到；所述校正模块还用于，根据所述实际粒径分布数据和所述标准孔径透光板的粒径分布真值得到所述激光粒度仪系统的校正系数。
本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
图1是根据本发明一个实施例的激光粒度仪系统的校正方法的流程图；
图2是根据本发明第一个具体实施例的激光粒度仪系统的校正方法的流程示意图；
图3是根据本发明第二个具体实施例的激光粒度仪系统的校正方法的流程示意图；
图4是根据本发明一个实施例的计算机可读存储介质的结构示意图；
图5是根据本发明一个实施例的计算机设备的结构示意图；
图6是根据本发明一个实施例的激光粒度仪系统的结构示意图；
图7是根据本发明一个具体实施例的激光粒度仪系统的结构示意图；
图8是根据本发明一个实施例的校正组件的结构示意图。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
下面参考附图1-8描述本发明实施例的激光粒度仪系统及其校正方法、介质和计算机设备。
图1是根据本发明一个实施例的激光粒度仪系统的校正方法的流程图。
需要说明的是，本实施例中的激光粒度仪系统的校正方法应用于激光粒度仪系统。其中，激光粒度仪系统包括发射模块、测量模块和接收模块，发射模块用于向测量模块发射激光，测量模块包括样品池和标准孔径透光板，且在样品池进样时，通过激光照射粉体物料样品以产生散射光，并在样品池停止进样时通过激光照射标准孔径透光板以产生散射光，接收模块用于接收测量模块产生的散射光，并将散射光进行光电转换，将光信号转换为电信号。
如图1所示，该激光粒度仪系统的校正方法，可以包括以下步骤：
S110，获取接收模块根据散射光生成的电信号。
作为一种可能的实现方式，激光粒度仪中的发射模块可以包括激光器和扩束器，其中，激光器用于产生激光，经过扩束器准直扩束后形成不同直径的宽束平行激光出射；测量单元可以包括样品池，通常情况下在测量工业粉体物料样品时，通过样品池进样，或者在样品池未进样时，将标准孔径透光板置于样品池时，从而产生散射光；接收模块可以包括傅里叶透镜、环形探测器和单点探测器，散射光经过傅里叶透镜聚焦后照射在环形探测器上，未散射的光经过傅里叶透镜聚焦后由单点探测接收，环形探测器用于将光信号转换为电信号，从而通过接收模块得到散射光生成的电信号。
S120，根据电信号得到粒径分布数据，其中，实际粒径分布数据在样品池停止进样且标准孔径透光板置于样品池时得到。
具体地，在样品池未进样，且放置标准孔径透光板至样品池中时，接收模块接收的是标准孔径透光板的散射光，根据散射光生成的电信号得到实际粒径分布数据。
S130，根据实际粒径分布数据和标准孔径透光板的粒径分布真值得到激光粒度仪系统的校正系数。
具体地，根据实际粒径分布数据和标准孔径透光板的粒径分布真值之间的对比差异，得到激光粒度仪系统的校正系数，其中，标准孔径透光板的粒径分布真值根据标准孔径透光板的参数得到，该粒子分布真值表示标准孔径透光板的标准粒子分布数据。可以理解的是，标准孔径透光板的粒子分布真值已知，
从而根据标准孔径透光板放置在样品池中得到的实际粒径分布数据和粒子分布真值得到校正系数。
可选地，采用反演算法对电信号进行处理，得到实际粒径分布数据。
图2是根据本发明第一个具体实施例的激光粒度仪系统的校正方法的流程示意图。
如图2所示，采用反演算法对电信号进行处理，可以包括以步骤：
S210，根据激光粒度仪系统的硬件参数构建光能分布系数矩阵。
可选地，通过Mie散射理论或Fraunhofer散射理论，结合激光粒度仪系统的硬件参数构建光能分布系数矩阵。
其中，Mie散射理论表明，当光束遇到颗粒阻挡时，一部分光将发生散射现象，散射光的传播方向将与主光束的传播方向形成一个夹角θ，θ角的大小与颗粒的大小有关，颗粒越大，产生的散射光的θ角就越小；颗粒越小，产生的散射光的θ角就越大。即小角度(θ)的散射光是有大颗粒引起的；大角度(θ1)的散射光是由小颗粒引起的。Fraunhofer散射理论表明光的衍射是光波在传播过程中遇到障碍物后，偏离其原来的传播方向弯入障碍物的几何影区内，并在障碍物后的观察屏上呈现光强分布的不均匀现象。在本实施例中，通过散射理论构建激光粒度仪系统光能分布系数矩阵。
S220，根据预设分布模型确定初始粒径分布数据。
需要说明的是，初始粒径分布数据可以根据经验人员根据激光粒度系统的相关参数设定，对此发明不做出具体限制。
S230，根据光能分布系数矩阵、初始粒径分布数据和电信号确定实际粒径分布数据。
进一步地，可以根据光能分布系数矩阵、初始粒径分布数据和电信号通过反演算法确定实际粒径分布数据。
图3是根据本发明第二个具体实施例的激光粒度仪系统的校正方法的流程示意图。
如图3所示，根据光能分布系数矩阵、初始粒径分布数据和电信号确定粒径分布数据，可以包括以下步骤：
S310，根据光能分布系数矩阵、初始粒径分布数据和电信号计算拟合残差。
S320，在拟合残差大于等于预设残差阈值时，优化初始粒径分布列向量，直至拟合残差小于预设残差阈值，得到实际粒径分布数据。
具体地，根据光能分布系数矩阵、初始粒径分布数据和电信号计算拟合残差，根据拟合残差的值判断初始粒径分布数据满足条件，在拟合残差大于等于预设残差阈值时，表示初始粒径分布数据需要进行优化，从而根据预设的迭代算法优化初始粒径分布数据，在初始粒径分布数据进行优化后，重新根据光能分布系数矩阵、初始粒径分布数据和电信号计算拟合残差，直至拟合残差的值小于预设残差阈值时，得到实际粒径分布数据。
在一些实施例中，可以通过下式确定拟合残差：
R=E-T×W
其中，R为拟合残差，E为电信号，T为光能分布系数矩阵，W为初始粒径分布数据。
可以理解的是，接收模块可以将光信号转换为电信号，电信号以散射光分布列向量的形式呈现。
在一些实施例中，通过下式确定激光粒度仪系统的校正系数：
S=W1/W0
其中，S为校正系数，W1为实际粒径分布数据，W0为标准孔径透光板的粒径分布真值。
具体地，将实际粒径分布数据和粒径分布真值的比值作为校正系数。
作为一种的实现方式，在根据所述实际粒径分布数据和所述标准孔径透光板的粒径分布真值得到所述激光粒度仪系统的校正系数之后，还包括：根据校正系数对实际粒径分布数据进行校正。
具体地，在得到校正系数后，在激光粒度仪系统得到实际的粒径分布数据后，通过校正系数对实际粒径分布数据进行校正，得到校正后的粒径分布数据。
根据本发明实施例的激光粒度仪系统的校正方法，通过计算样品池在未进样、且标准孔径透光板置于样品池时得到实际粒径分布数据，根据实际粒径分布数据和标准孔径透光板的粒径分布真值得到激光粒度仪系统的校正系数，通过校正系数对激光粒度仪系统计算的粒径分布数据进行校正，通过在线校正方法可以实现提高激光粒度仪系统的准确性，简便可行、稳定可靠且成本较低。
为了实现上述实施例，本发明还提出一种计算机可读存储介质。
图4是根据本发明一个实施例的计算机可读存储介质的结构示意图。如图4所示，该计算机可读存储介质400，其上存储有计算机程序410，其特征在于，该计算机程序410被处理器执行时实现如根据本发明上述任一实施例所述的激光粒度仪系统的校正方法。
为了实现上述实施例，本发明还提出一种计算机设备。
图5是根据本发明一个实施例的计算机设备的结构示意图。如图5所示，该计算机设备500，包括存储器510、处理器520及存储在存储器510上并可在处理器520上运行的激光粒度仪系统的校正程序501，处理器520执行激光粒度仪系统的校正程序501时，实现根据本发明上述任一实施例所述的激光粒度仪系统的校正方法。
图6是根据本发明一个实施例的激光粒度仪系统的结构示意图。
如图6所示，该激光粒度仪系统600，包括：发射模块610、测量模块620、接收模块630和校正模块640。
其中，发射模块610用于向测量模块发射激光；测量模块620包括样品池和标准孔径透光板，且在样品池进样时，通过激光照射粉体物料样品以产生散射光，并在样品池停止进样时通过激光照射标准孔径透光板以产生散射光；接收模块630用于接收散射光；校正模块640用于获取接收模块根据散射光生成的电信号，并根据电信号得到实际粒径分布数据，其中，实际粒径分布数据在样品池停止进样且标准孔径透光板置于样品池时得到；校正模块640还用于，根据实际粒径分布数据和标准孔径透光板的粒径分布真值得到激光粒度仪系统的校正系数。
作为一种示例，激光粒度仪系统中的发射模块610可以包括激光器和扩束器，其中，激光器用于产生激光，经过扩束器准直扩束后形成不同直径的宽束平行激光出射；测量模块620可以包括样品池，通常情况下在测量工业粉体物料样品时，通过样品池进样，或者在样品池未进样时，将标准孔径透光板置于样品池时，从而出射光在照射粉体物料样品产生散射光；接收模块630可以包括傅里叶透镜、环形探测器和单点探测器，散射光经过傅里叶透镜聚焦后照射在环形探测器上，未散射的光经过傅里叶透镜聚焦后由单点探测器接收，环形探测器用于将光信号转换为电信号，从而通过接收模块根据散射光生成的电信号。校正模块640设置于样品池，用于在样品池未进样时，将标准孔径透光板置于样品池中，以得到实际粒径分布数据。
可选地，图7是根据本发明一个具体实施例的激光粒度仪系统的结构示意图。如图7所示，该激光粒度仪系统700可以包括：激光器701、扩束镜702、样品池703、标准粒子板704、标准粒子板支架705、气缸706、傅里叶透镜707和环形探测器708。作为一种示例，环形探测器708中心开孔，开孔直径一般在100um-300um之间。
示例性地，激光器701可以为半导体激光器，也可以为He-Ne激光器。
作为一种示例，图8是根据本发明一个实施例的校正组件的结构示意图。如图8所示，该校正组件800可以包括：标准粒子板704、标准粒子板支架705、气缸706和运动方向导轨801。其中，当激光粒度仪系统需要进行在线校正时，样品池停止进样，气缸706推动标准粒子板支架705沿着运动方向导轨801的方向移动，以将标准粒子板置于样品池中。
可选地，标准粒子板704通常是在一块镀有不透明金属膜（通常采用铬）的透明基板上，通过光刻或电子束曝光等方法腐蚀金属膜按一定的尺寸分布制作的大量透光小孔。
另外，本发明实施例的激光粒度仪的其他构成及作用对本领域的技术人员来说是已知的，为减少冗余，此处不做赘述。
需要说明的是，在流程图中表示或在此以其他方式描述的逻辑和/或步骤，例如，可以被认为是用于实现逻辑功能的可执行指令的定序列表，可以具体实现在任何计算机可读介质中，以供指令执行系统、装置或设备（如基于计算机的系统、包括处理器的系统或其他可以从指令执行系统、装置或设备取指令并执行指令的系统）使用，或结合这些指令执行系统、装置或设备而使用。就本说明书而言，“计算机可读介质”可以是任何可以包含、存储、通信、传播或传输程序以供指令执行系统、装置或设备或结合这些指令执行系统、装置或设备而使用的装置。计算机可读介质的更具体的示例（非穷尽性列表）包括以下：具有一个或多个布线的电连接部（电子装置），便携式计算机盘盒（磁装置），随机存取存储器（RAM），只读存储器（ROM），可擦除可编辑只读存储器（EPROM或闪速存储器），光纤装置，以及便携式光盘只读存储器（CDROM）。另外，计算机可读介质甚至可以是可在其上打印所述程序的纸或其他合适的介质，因为可以例如通过对纸或其他介质进行光学扫描，接着进行编辑、解译或必要时以其他合适方式进行处理来以电子方式获得所述程序，然后将其存储在计算机存储器中。
应当理解，本发明的各部分可以用硬件、软件、固件或它们的组合来实现。在上述实施方式中，多个步骤或方法可以用存储在存储器中且由合适的指令执行系统执行的软件或固件来实现。例如，如果用硬件来实现，和在另一实施方式中一样，可用本领域公知的下列技术中的任一项或他们的组合来实现：具有用于对数据信号实现逻辑功能的逻辑门电路的离散逻辑电路，具有合适的组合逻辑门电路的专用集成电路，可编程门阵列（PGA），现场可编程门阵列（FPGA）等。
在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，本发明实施例中所使用的“第一”、“第二”等术语，仅用于描述目的，而不可以理解为指示或者暗示相对重要性，或者隐含指明本实施例中所指示的技术特征数量。由此，本发明实施例中限定有“第一”、“第二”等术语的特征，可以明确或者隐含地表示该实施例中包括至少一个该特征。在本发明的描述中，词语“多个”的含义是至少两个或者两个及以上，例如两个、三个、四个等，除非实施例中另有明确具体的限定。
在本发明中，除非实施例中另有明确的相关规定或者限定，否则实施例中出现的术语“安装”、“相连”、“连接”和“固定”等应做广义理解，例如，连接可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体，可以理解的，也可以是机械连接、电连接等；当然，还可以是直接相连，或者通过中间媒介进行间接连接，或者可以是两个元件内部的连通，或者两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，能够根据具体的实施情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
Claims (10)
1.一种激光粒度仪系统的校正方法，其特征在于，所述激光粒度仪系统包括发射模块、测量模块和接收模块，所述发射模块用于向所述测量模块发射激光，所述测量模块包括样品池和标准孔径透光板，且在所述样品池进样时，通过激光照射粉体物料样品以产生散射光，并在所述样品池停止进样时通过激光照射所述标准孔径透光板以产生散射光，所述接收模块用于接收所述散射光，所述方法包括：
获取所述接收模块根据所述散射光生成的电信号；
根据所述电信号得到实际粒径分布数据，其中，所述实际粒径分布数据在所述样品池停止进样且所述标准孔径透光板置于所述样品池时得到；
根据所述实际粒径分布数据和所述标准孔径透光板的粒径分布真值得到所述激光粒度仪系统的校正系数。
2.根据权利要求1所述的激光粒度仪系统的校正方法，其特征在于，采用反演算法对所述电信号进行处理，得到所述实际粒径分布数据。
3.根据权利要求2所述的激光粒度仪系统的校正方法，其特征在于，采用反演算法对所述电信号进行处理，包括：
根据所述激光粒度仪系统的硬件参数构建光能分布系数矩阵；
根据预设分布模型确定初始粒径分布数据；
根据所述光能分布系数矩阵、所述初始粒径分布数据和所述电信号确定所述实际粒径分布数据。
4.根据权利要求3所述的激光粒度仪系统的校正方法，其特征在于，根据所述光能分布系数矩阵、所述初始粒径分布数据和所述电信号确定所述粒径分布数据，包括：
根据所述光能分布系数矩阵、所述初始粒径分布数据和所述电信号计算拟合残差；
在所述拟合残差大于等于预设残差阈值时，优化所述初始粒径分布列向量，直至所述拟合残差小于预设残差阈值，得到所述实际粒径分布数据。
5.根据权利要求4所述的激光粒度仪系统的校正方法，其特征在于，通过下式确定所述拟合残差：
R=E-T×W
其中，R为所述拟合残差，E为所述电信号，T为所述光能分布系数矩阵，W为所述初始粒径分布数据。
6.根据权利要求1所述的激光粒度仪系统的校正方法，其特征在于，通过下式确定所述激光粒度仪系统的校正系数：
S=W1/W0
其中，S为所述校正系数，W1为所述实际粒径分布数据，W0为所述标准孔径透光板的粒径分布真值。
7.根据权利要求1所述的激光粒度仪系统的校正方法，其特征在于，在根据所述实际粒径分布数据和所述标准孔径透光板的粒径分布真值得到所述激光粒度仪系统的校正系数之后，所述方法还包括：
根据所述校正系数对所述实际粒径分布数据进行校正。
8.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1-7中任一项所述的激光粒度仪系统的校正方法。
9.一种计算机设备，其特征在于，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的激光粒度仪系统的校正程序，所述处理器执行所述激光粒度仪系统的校正程序时，实现权利要求1-7中任一项所述的激光粒度仪系统的校正方法。
10.一种激光粒度仪系统，其特征在于，包括：发射模块、测量模块、接收模块和校正模块，其中，
所述发射模块用于向所述测量模块发射激光；
所述测量模块包括样品池和标准孔径透光板，且在所述样品池进样时，通过所述激光照射粉体物料样品以产生散射光，并在所述样品池停止进样时通过所述激光照射所述标准孔径透光板以产生散射光；
所述接收模块用于接收所述散射光；
所述校正模块用于获取所述接收模块根据所述散射光生成的电信号，并根据所述电信号得到实际粒径分布数据，其中，所述实际粒径分布数据在所述样品池停止进样且所述标准孔径透光板置于所述样品池时得到；
所述校正模块还用于，根据所述实际粒径分布数据和所述标准孔径透光板的粒径分布真值得到所述激光粒度仪系统的校正系数。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211638005.8A CN115629021A (zh) | 2022-12-20 | 2022-12-20 | 激光粒度仪系统及其校正方法、介质和计算机设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202211638005.8A CN115629021A (zh) | 2022-12-20 | 2022-12-20 | 激光粒度仪系统及其校正方法、介质和计算机设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN115629021A true CN115629021A (zh) | 2023-01-20 |
Family
ID=84910192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202211638005.8A Pending CN115629021A (zh) | 2022-12-20 | 2022-12-20 | 激光粒度仪系统及其校正方法、介质和计算机设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN115629021A (zh) |
Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56168532A (en) * | 1980-05-30 | 1981-12-24 | Rion Co Ltd | Automatic calibration device for light scattering fine grain meter |
| CN1121998A (zh) * | 1994-12-15 | 1996-05-08 | 复旦大学 | 激光粒度仪专用标准粒子样板制备方法 |
| CN102890050A (zh) * | 2012-07-31 | 2013-01-23 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种激光法与筛析法粒度分析数据的校正方法 |
| CN103487358A (zh) * | 2013-09-24 | 2014-01-01 | 徐州协鑫太阳能材料有限公司 | 激光粒度仪的校准方法 |
| CN105928850A (zh) * | 2016-06-24 | 2016-09-07 | 温州大学 | 一种光散射法颗粒粒径分布反演的索套回归方法 |
| CN208270376U (zh) * | 2018-06-25 | 2018-12-21 | 长沙海纳光电科技有限公司 | 一种粒度在线监测系统 |
| CN110006795A (zh) * | 2019-04-30 | 2019-07-12 | 华北电力大学（保定） | 颗粒检测装置、方法及fpga |
| CN111650100A (zh) * | 2020-06-16 | 2020-09-11 | 辽东学院 | 一种基于Mie氏散射理论的颗粒粒度测量设备 |
| CN212540052U (zh) * | 2020-07-17 | 2021-02-12 | 上海胤煌科技有限公司 | 一种可自动取样的激光粒度仪 |
| CN113092326A (zh) * | 2021-04-09 | 2021-07-09 | 珠海欧美克仪器有限公司 | 喷雾激光粒度仪双傅里叶的调试装置及调试方法 |
| CN115078190A (zh) * | 2022-06-09 | 2022-09-20 | 国家海洋信息中心 | 一种悬浮体现场激光粒度数据处理方法及其装置 |
-
2022
- 2022-12-20 CN CN202211638005.8A patent/CN115629021A/zh active Pending
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56168532A (en) * | 1980-05-30 | 1981-12-24 | Rion Co Ltd | Automatic calibration device for light scattering fine grain meter |
| CN1121998A (zh) * | 1994-12-15 | 1996-05-08 | 复旦大学 | 激光粒度仪专用标准粒子样板制备方法 |
| CN102890050A (zh) * | 2012-07-31 | 2013-01-23 | 中国石油化工股份有限公司 | 一种激光法与筛析法粒度分析数据的校正方法 |
| CN103487358A (zh) * | 2013-09-24 | 2014-01-01 | 徐州协鑫太阳能材料有限公司 | 激光粒度仪的校准方法 |
| CN105928850A (zh) * | 2016-06-24 | 2016-09-07 | 温州大学 | 一种光散射法颗粒粒径分布反演的索套回归方法 |
| CN208270376U (zh) * | 2018-06-25 | 2018-12-21 | 长沙海纳光电科技有限公司 | 一种粒度在线监测系统 |
| CN110006795A (zh) * | 2019-04-30 | 2019-07-12 | 华北电力大学（保定） | 颗粒检测装置、方法及fpga |
| CN111650100A (zh) * | 2020-06-16 | 2020-09-11 | 辽东学院 | 一种基于Mie氏散射理论的颗粒粒度测量设备 |
| CN212540052U (zh) * | 2020-07-17 | 2021-02-12 | 上海胤煌科技有限公司 | 一种可自动取样的激光粒度仪 |
| CN113092326A (zh) * | 2021-04-09 | 2021-07-09 | 珠海欧美克仪器有限公司 | 喷雾激光粒度仪双傅里叶的调试装置及调试方法 |
| CN115078190A (zh) * | 2022-06-09 | 2022-09-20 | 国家海洋信息中心 | 一种悬浮体现场激光粒度数据处理方法及其装置 |
Non-Patent Citations (7)
| Title |
|---|
| 张晓辉: "激光粒度仪标定及功能扩展研究" * |
| 杨依枫;杨晖;郑刚;蓝科;: "衍射散射式颗粒粒度测量法的研究新进展" * |
| 沈少伟 等: "基于散射原理的激光粒度测试仪研究" * |
| 王少清 等: "激光粒度仪用标准颗粒样板设计原理初探" * |
| 王慎文;谢春安;唐渊明;胡艳革;: "激光法粒度筛析校正研究" * |
| 穆明华 等: "多参数现场激光粒度分析仪校准方法研究" * |
| 郭永彩 等: "激光衍射微粒测量中的独立模式反演算法" * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7655906B2 (en) | Method and apparatus for scanning and measurement by electron beam | |
| US7732761B2 (en) | Method for measuring a pattern dimension using a scanning electron microscope | |
| KR102152487B1 (ko) | 엑스레이 계측을 사용하는 반도체 디바이스 오버레이를 측정하기 위한 방법들 및 장치 | |
| KR101958050B1 (ko) | 극자외선 레티클의 임계 치수 균일성 모니터링 | |
| US7158609B2 (en) | X-ray crystal orientation measuring method and X-ray crystal orientation measuring apparatus | |
| US11545336B2 (en) | Scanning electron microscopy system and pattern depth measurement method | |
| CN111025032B (zh) | 一种基于升空平台的天线波束测量系统及方法 | |
| US20220155693A1 (en) | System and Method for Error Reduction for Metrology Measurements | |
| JPH10325807A (ja) | 光学検査装置用の較正用標準試料およびその製造方法並びに光学検査装置における感度較正方法 | |
| CN115629021A (zh) | 激光粒度仪系统及其校正方法、介质和计算机设备 | |
| JP3717115B2 (ja) | 伝播線を用いた解析方法及びその装置 | |
| JP7268156B2 (ja) | 大量生産工程監視用に疎結合された検査及び計測システム | |
| JP2023505152A (ja) | 簡略化モデルを用いるトモグラフィ依拠半導体計測 | |
| JP2006214867A (ja) | 欠陥粒子測定装置および欠陥粒子測定方法 | |
| US6414325B1 (en) | Charged particle beam exposure apparatus and exposure method capable of highly accurate exposure in the presence of partial unevenness on the surface of exposed specimen | |
| JP2013174575A (ja) | パターン検査装置、及びこれを使用した露光装置の制御方法 | |
| JP4349146B2 (ja) | Ｘ線分析装置 | |
| US7005639B2 (en) | System and method of composition correction for beta gauges | |
| US8324571B2 (en) | Apparatus and method for measuring semiconductor device | |
| CN113008170B (zh) | 一种厚度测量方法和系统 | |
| JP2010073870A (ja) | 荷電粒子ビーム描画装置および荷電粒子ビーム描画方法 | |
| TW202405379A (zh) | 篩選邊緣安置均勻性晶圓隨機指標 | |
| JP2022526994A (ja) | Ｚ高さの絶対値を利用したツール間の相乗効果 | |
| CN116858740A (zh) | 一种提高基于激光散射的粉尘浓度测量精度的方法 | |
| KR20240011634A (ko) | 딥 러닝을 이용한 x선 산란계측 데이터의 분석 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20230120 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |