CN115582308A - 一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备 - Google Patents

Abstract

本发明属于集成电路芯片清洁领域，尤其是一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备，针对现有的集成电路芯片在加工过程中产生的碎屑粉尘大多通过人工手动清洁，容易对芯片造成损坏，且降低了清洁效率和质量的问题，现提出如下方案，其包括底座，所述底座的顶部通过焊接固定安装有固定罩，固定罩内通过焊接固定安装有隔板，固定罩的一侧通过焊接固定安装有除尘箱，除尘箱的一侧开设有出风口，除尘箱的一侧内壁开设有安装孔，安装孔内通过焊接固定安装有吸尘管，本发明能够在使用过程中，便于对集成电路芯片上的碎屑粉尘进行自动清洁，避免人工手动清洁费事费力，提高清洁效率和质量，结构简单，使用方便。

Description

一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备

技术领域

本发明涉及集成电路芯片清洁技术领域，尤其涉及一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备。

背景技术

集成电路自问世以来发展迅速，被广泛用于各个领域，大到各类高精度计算机，小到插排、手电筒，均离不开集成电路芯片的作用，集成电路芯片的制造过程也就显得尤为重要。在集成电路芯片的制造过程中，会在集成电路芯片的上形成大量的金属尖刺，工作人员对这些金属尖刺进行剪除，会形成大量的金属碎屑，但由于集成电路芯片表面的大量集成元件，使得这些金属碎屑会遗留在元件之间的缝隙内，且不易清洁。

现有技术中，集成电路芯片在加工过程中产生的碎屑粉尘大多通过人工手动清洁，容易对芯片造成损坏，且降低了清洁效率和质量，为此我们提出了一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备用于解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在集成电路芯片在加工过程中产生的碎屑粉尘大多通过人工手动清洁，容易对芯片造成损坏，且降低了清洁效率和质量的缺点，而提出的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备，包括底座，所述底座的顶部通过焊接固定安装有固定罩，固定罩内通过焊接固定安装有隔板，固定罩的一侧通过焊接固定安装有除尘箱，除尘箱的一侧开设有出风口，除尘箱的一侧内壁开设有安装孔，安装孔内通过焊接固定安装有吸尘管，隔板上设置有清洁机构，除尘箱内通过螺栓固定安装有滤尘板，除尘箱内通过焊接固定安装有固定杆，底座的顶部开设有滑槽，滑槽内滑动安装有滑座，滑座内开设有安装槽，底座内开设有空槽，固定罩的一侧开设有矩形口。

优选的，所述固定杆上开设有第二通孔，第二通孔内转动安装有蜗杆，蜗杆的外侧通过焊接固定套设有叶轮，固定杆的外侧固定安装有电机，电机的输出轴与蜗杆的一端固定连接。

优选的，所述清洁机构包括连接管，隔板上开设有旋转孔，连接管转动安装在旋转孔内，连接管的一端通过焊接固定连通有圆盒，圆盒的底部固定连接有毛刷，圆盒的外侧开设有多个吸尘孔。

优选的，所述空槽的一侧内壁开设有滑孔，滑孔与滑槽相通，滑孔内滑动安装有导杆，导杆的一端与滑座的一侧通过焊接固定连接，导杆的外侧通过焊接固定安装有连接柱，转杆的另一端通过焊接固定安装有偏心转盘，偏心转盘的底部开设有第二环形槽，连接柱滑动安装在第二环形槽内。

优选的，所述连接管的外侧和转杆的外侧分别通过焊接固定套设有小链轮和大链轮，小链轮和大链轮上啮合有同一个链条。

优选的，所述吸尘管的外侧开设有第四通孔，连接管转动安装在第四通孔内，第四通孔的内壁开设有第一环形槽，第一环形槽内转动安装有密封圈，密封圈的内圈与连接管的外侧通过焊接固定连接。

优选的，所述除尘箱的底部和底座的顶部均开设有第三通孔，第三通孔与空槽相通，两个第三通孔内转动安装有同一个转杆，转杆的一端通过焊接固定安装有蜗轮，蜗轮与蜗杆啮合。

优选的，所述安装槽的底部内壁固定安装有气缸，安装槽的顶部内壁开设有第一通孔，气缸的输出轴固定连接有支座，支座的顶部开设有放置槽。

本发明中，所述一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备的有益效果：

1、本方案当开启电机时，电机带动蜗杆转动，蜗杆带动叶轮旋转，叶轮旋转产生的吸力通过吸尘管、连接管和圆盒上多个吸尘孔可以将集成电路芯片上的粉尘碎屑吸除，滤尘板可以对粉尘碎屑进行拦截收集。

2、本方案当蜗杆转动时，蜗杆带动蜗轮转动，转杆带动大链轮转动，大链轮通过链条带动小链轮转动，连接管带动圆盒和毛刷旋转，从而毛刷可以对集成电路芯片上的粉尘碎屑进行清洁。

3、本方案当转杆转动时，转杆带动偏心转盘旋转，通过连接柱与第二环形槽相配合的设置，偏心转盘可以带动连接柱和导杆水平往复移动，导杆带动滑座和支座水平往复运动，从而使支座上的集成电路芯片进行充分清洁。

本发明能够在使用过程中，便于对集成电路芯片上的碎屑粉尘进行自动清洁，避免人工手动清洁费事费力，提高清洁效率和质量，结构简单，使用方便。

附图说明

图1为本发明提出的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备主视的结构示意图；

图2为本发明提出的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备图1中A部分放大的结构示意图；

图3为本发明提出的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备图1中B部分放大的结构示意图；

图4为本发明提出的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备图1中C部分放大的结构示意图；

图5为本发明提出的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备偏心转盘立体的结构示意图。

图中：1、底座；2、固定罩；3、隔板；4、除尘箱；5、滑槽；6、滑座；7、气缸；8、支座；9、吸尘管；10、连接管；11、圆盒；12、毛刷；13、吸尘孔；14、滤尘板；15、固定杆；16、电机；17、密封圈；18、蜗杆；19、叶轮；20、转杆；21、蜗轮；22、大链轮；23、小链轮；24、链条；25、空槽；26、导杆；27、偏心转盘；28、第二环形槽；29、连接柱。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例一

参照图1，一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备，包括底座1，底座1的顶部通过焊接固定安装有固定罩2，固定罩2内通过焊接固定安装有隔板3，固定罩2的一侧通过焊接固定安装有除尘箱4，除尘箱4的一侧开设有出风口，除尘箱4的一侧内壁开设有安装孔，安装孔内通过焊接固定安装有吸尘管9，隔板3上设置有清洁机构，清洁机构包括连接管10，隔板3上开设有旋转孔，连接管10转动安装在旋转孔内，连接管10的一端通过焊接固定连通有圆盒11，圆盒11的底部固定连接有毛刷12，圆盒11的外侧开设有多个吸尘孔13，除尘箱4内通过螺栓固定安装有滤尘板14，除尘箱4内通过焊接固定安装有固定杆15，底座1的顶部开设有滑槽5，滑槽5内滑动安装有滑座6，滑座6内开设有安装槽，底座1内开设有空槽25，固定罩2的一侧开设有矩形口，连接管10的外侧和转杆20的外侧分别通过焊接固定套设有小链轮23和大链轮22，小链轮23和大链轮22上啮合有同一个链条24，当转杆20转动时，大链轮22可以通过链条24带动小链轮23转动，安装槽的底部内壁固定安装有气缸7，安装槽的顶部内壁开设有第一通孔，气缸7的输出轴固定连接有支座8，支座8的顶部开设有放置槽。

参照图2，固定杆15上开设有第二通孔，第二通孔内转动安装有蜗杆18，蜗杆18的外侧通过焊接固定套设有叶轮19，固定杆15的外侧固定安装有电机16，电机16的输出轴与蜗杆18的一端固定连接，除尘箱4的底部和底座1的顶部均开设有第三通孔，第三通孔与空槽25相通，两个第三通孔内转动安装有同一个转杆20，转杆20的一端通过焊接固定安装有蜗轮21，蜗轮21与蜗杆18啮合，当开启电机16时，蜗杆18可以带动蜗轮21转动。

参照图3，吸尘管9的外侧开设有第四通孔，连接管10转动安装在第四通孔内，第四通孔的内壁开设有第一环形槽，第一环形槽内转动安装有密封圈17，密封圈17的内圈与连接管10的外侧通过焊接固定连接，当连接管10转动时，密封圈17可以起到稳固连接管10转动的作用。

参照图4和图5，空槽25的一侧内壁开设有滑孔，滑孔与滑槽5相通，滑孔内滑动安装有导杆26，导杆26的一端与滑座6的一侧通过焊接固定连接，导杆26的外侧通过焊接固定安装有连接柱29，转杆20的另一端通过焊接固定安装有偏心转盘27，偏心转盘27的底部开设有第二环形槽28，连接柱29滑动安装在第二环形槽28内，当偏心转盘27转动时，偏心转盘27可以带动连接柱29水平往复运动。

本实施例中，在使用时，可以将集成电路芯片放置在支座8顶部的放置槽内，开启气缸7，气缸7带动支座8竖直移动，当支座8移动至与毛刷12接触时，开启电机16，电机16带动蜗杆18转动，蜗杆18带动蜗轮21转动，蜗轮21带动转杆20转动，转杆20带动大链轮22转动，大链轮22通过链条24带动小链轮23转动，小链轮23带动连接管10转动，连接管10带动圆盒11和毛刷12旋转，进而毛刷12可以对集成电路芯片上的粉尘和碎屑进行清洁，同时蜗杆18带动叶轮19旋转，叶轮19旋转产生的吸力通过吸尘管9、连接管10和圆盒11上多个吸尘孔13可以将集成电路芯片上溅起的粉尘碎屑吸入至除尘箱4内，滤尘板14可以对粉尘碎屑进行拦截收集，同时转杆20带动偏心转盘27转动，通过第二环形槽28与连接柱29相配合的设置，偏心转盘27可以带动连接柱29和导杆26水平往复运动，导杆26带动滑座6水平往复运动，滑座6带动气缸7和支座8水平往复运动，支座8带动集成电路芯片水平往复运动，从而使集成电路芯片上的粉尘碎屑进行充分清洁，避免人工手动清洁费事费力，提高清洁效率和质量。

实施例二

本实施例与实施例一的区别在于：除尘箱4的外侧开设有清理口，出风口内安装有空气流速传感器，除尘箱4上安装有控制器和警示灯，空气流速传感器、控制器和警示灯依次连接，空气流速传感器可以对除尘箱4内的空气流速进行检测，当除尘箱4内的空气流速降低至一定阈值时，说明滤尘板14过滤较多粉尘碎屑，进而空气流速传感器发送指令至控制器，控制器控制警示灯亮起，从而可以提醒工作人员及时通过清理口清理滤尘板14拦截收集的粉尘碎屑。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的顶部固定安装有固定罩(2)，固定罩(2)内固定安装有隔板(3)，固定罩(2)的一侧固定安装有除尘箱(4)，除尘箱(4)的一侧开设有出风口，除尘箱(4)的一侧内壁开设有安装孔，安装孔内固定安装有吸尘管(9)，隔板(3)上设置有清洁机构，除尘箱(4)内固定安装有滤尘板(14)，除尘箱(4)内固定安装有固定杆(15)，底座(1)的顶部开设有滑槽(5)，滑槽(5)内滑动安装有滑座(6)，滑座(6)内开设有安装槽，底座(1)内开设有空槽(25)，固定罩(2)的一侧开设有矩形口。

2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备，其特征在于，所述安装槽的底部内壁固定安装有气缸(7)，安装槽的顶部内壁开设有第一通孔，气缸(7)的输出轴固定连接有支座(8)，支座(8)的顶部开设有放置槽。

3.根据权利要求2所述的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备，其特征在于，所述固定杆(15)上开设有第二通孔，第二通孔内转动安装有蜗杆(18)，蜗杆(18)的外侧固定套设有叶轮(19)，固定杆(15)的外侧固定安装有电机(16)，电机(16)的输出轴与蜗杆(18)的一端固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备，其特征在于，所述除尘箱(4)的底部和底座(1)的顶部均开设有第三通孔，第三通孔与空槽(25)相通，两个第三通孔内转动安装有同一个转杆(20)，转杆(20)的一端固定安装有蜗轮(21)，蜗轮(21)与蜗杆(18)啮合。

5.根据权利要求4所述的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备，其特征在于，所述清洁机构包括连接管(10)，隔板(3)上开设有旋转孔，连接管(10)转动安装在旋转孔内，连接管(10)的一端固定连通有圆盒(11)，圆盒(11)的底部固定连接有毛刷(12)，圆盒(11)的外侧开设有多个吸尘孔(13)。

6.根据权利要求5所述的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备，其特征在于，所述吸尘管(9)的外侧开设有第四通孔，连接管(10)转动安装在第四通孔内，第四通孔的内壁开设有第一环形槽，第一环形槽内转动安装有密封圈(17)，密封圈(17)的内圈与连接管(10)的外侧固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备，其特征在于，所述空槽(25)的一侧内壁开设有滑孔，滑孔与滑槽(5)相通，滑孔内滑动安装有导杆(26)，导杆(26)的一端与滑座(6)的一侧固定连接，导杆(26)的外侧固定安装有连接柱(29)，转杆(20)的另一端固定安装有偏心转盘(27)，偏心转盘(27)的底部开设有第二环形槽(28)，连接柱(29)滑动安装在第二环形槽(28)内。

8.根据权利要求7所述的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备，其特征在于，所述连接管(10)的外侧和转杆(20)的外侧分别固定套设有小链轮(23)和大链轮(22)，小链轮(23)和大链轮(22)上啮合有同一个链条(24)。

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