CN115522264A - 一种晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，所述扩散设备包括控制部分、推舟净化部分、炉丝加热炉体部分、气源部分；其中所述炉丝加热炉体部分包括扩散炉管、热电偶、进气管、尾排管以及炉门；其具体清理过程如下：步骤S1：升温干化；步骤S2：恒温恒压抽空清理；在所述步骤S1的扩散炉管中充入氧气氧化，控制氧气流量为0.5～2L/min，时间为30～50min；步骤S3：降温回常压。本发明具有的优点是无需拆卸清洗被污染的炉管，解决了炉管污染，缩短了炉管的清洗维护时间，节省了清洗炉管所需要的化学品及纯水，降低了生产成本。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能电池生产技术领域，尤其涉及一种晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法。
背景技术
晶硅太阳能电池是光伏发电系统中最重要的一部分，而P-N结又是晶硅太阳电池的核心部分，没有P-N结便不能将光转换为电，也就不能成为太阳电池。
磷扩散是以P型晶体硅为基底，在其表面通过高温化学反应及分子扩散形成N型层，与P型基底形成P-N结。目前行业内磷扩散是以液态的POCl3为扩散源，在密闭真空的石英炉管内与氧气、硅基体发生反应最终形成磷单质和二氧化硅。石英炉管自身的洁净程度、密封性的好坏、是否受到污染等与形成P-N的质量好坏紧密相关。
在实际生产过程中由于机台部件损坏、腐蚀生锈、机台维护、设备改造、环境洁净度不合格、磷源反应不充分、硅片表面有化学品药液残留等因素会导致石英炉管内部受到不同程度的污染。使用被污染的扩散炉管制造的产品往往存在严重的质量问题，比如电池片光电转换效率降低，EL测试图像呈现出整片发暗、局部偏暗、脏污等不良。这些被污染的炉管需要降温拆卸，使用8％浓度的氢氟酸、盐酸混酸溶液清洗炉管及其相关的石英配件，整个维护周期至少需要2-3天，严重影响车间产能释放。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，解决了炉管污染，缩短了炉管的清洗维护时间，并且能提升电池片的转换效率。
本发明是通过以下技术方案实现的：一方面，提供一种晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，所述扩散设备包括控制部分、推舟净化部分、炉丝加热炉体部分、气源部分；其中所述炉丝加热炉体部分包括扩散炉管、热电偶、进气管、尾排管以及炉门；其具体清理过程如下：
步骤S1：升温干化；将氮气分两次充入扩散炉管，控制氮气流量分别为2～10L/min，10～20L/min；并将扩散炉管的温度从850℃逐级升温至900℃，时间为30～60min；
步骤S2：恒温恒压抽空清理；在所述步骤S1的扩散炉管中充入氧气氧化，控制氧气流量为0.5～2L/min，时间为30～50min；
通过上述技术方案，900℃是炉管接近极限温度(1100℃)且综合整个设备硬件可以承受的极限温度。温度越高的时候，执行该发明工艺的清洁效果越好。通入氮气、炉管低压、泵持续工作的条件下，高纯氮气分子持续吹扫过管壁，可以使得管壁表面的附着氧化物脱落，在泵的作用力下抽离炉管。而通入氧气是为了使炉管内原来沉积上的氯化物等物质完全被反应生成氧化物不再腐蚀炉管，避免了管内环境的恶化。保证炉管在长期常规磷扩散工艺中能处于较干净的状态，保证工艺效果和工艺质量。
步骤S3：降温回常压；将经步骤S2处理的扩散炉管经830～850℃、800～830℃、780～800℃的阶梯降温至750～780℃；控制氮气流量为10～20L/min逐渐降至5～20L/min；时间为3～60min。
通过上述技术方案，能够对炉管进行清洁作用，去除炉管内壁附着的偏磷酸等。炉管温度设置的越高，通入的氮气分子的运动就会越剧烈。大量的氮气分子做无规则的热运动不停的撞击炉管内壁，此时吸附在炉管内壁的污染物在氮气分子不断的撞击下脱离，经过一定的时间起到清洁炉管的作用。
进一步地，在步骤S1中，工艺压力为1000～1060mbar。
通过上述技术方案，工艺压力为1000～1060mbar时即为常压，常压升温会缩短温度到达设置值所用的时间且通入氮气会使炉管整个温度分布更加均匀。而现有技术的低压升温，低压会抽走一定的热量减缓升温速率。
进一步地，在步骤S2中，所述恒温恒压抽空清理包括：依次循环处理的恒温恒压氮气吹扫，抽空Ⅰ，恒温恒压氧气、氮气吹扫及抽空Ⅱ。通过上述技术方案，常规工艺中是不存在该步骤的。该步骤S2是发明的核心步骤。恒温恒压、氮气吹扫、抽空I主要实现的作用就是在接近极限高温条件下，大量氮气分子的热运动加剧不断撞击石英炉管使附着在炉管上的污染物剥离，同时高温情况下，附着在石英壁上的氧化物会发生干化形变从管壁上脱落。在泵的作用下，将这些物质从炉管内抽走排放至外围系统中。根据工艺条件设置在这段时间内，持续有氮气通入，泵持续抽走从炉管上被撞击下来的污染物，最终实现清洁炉管的作用。
恒温恒压氧气、氮气吹扫及抽空Ⅱ主要作用是通入氧气，让氧气与炉管内的五氯化磷完全反应，转化成氧化物。氧化物是不会腐蚀炉管的。而常规工艺中的反应生成的五氯化磷是酸性物质长期时间累计会慢慢腐蚀炉管。另外一个作用与恒温恒压氮气吹扫，抽空Ⅰ目的相同。
进一步地，所述恒温恒压氮气吹扫的工艺温度是850～900℃，氮气流量为10～20L/min，工艺压力为50～200mbar；工艺时间为30～60min。
通过上述技术方案，主要实现的作用就是在接近极限高温条件下，大量氮气分子的热运动加剧不断撞击石英炉管使附着在炉管上的污染物剥离，同时高温情况下，附着在石英壁上的氧化物会发生干化形变从管壁上脱落。
进一步地，所述抽空Ⅰ的工艺温度是850～900℃，氮气流量为0L/min，工艺压力为0～40mbar；工艺时间为2～5min。
通过上述技术方案，在泵的作用下，持续将从炉管内壁脱落的附着物(氧化物、氯化物)抽走排放至外围系统中，改善炉管内环境的洁净程度。
进一步地，所述恒温恒压氧气、氮气吹扫的工艺温度850～900℃，氮气流量为5～10L/min，氧气流量为0.5～2L/min，工艺压力为50～200mbar；工艺时间为30～50min。
通过上述技术方案，主要作用是通入氧气，让氧气与炉管内的五氯化磷完全反应，转化成氧化物。氧化物是不会腐蚀炉管的。而常规工艺中的反应生成的五氯化磷是酸性物质长期时间累计会慢慢腐蚀炉管。
进一步地，所述抽空Ⅱ的工艺温度是850～900℃，氮气流量为0L/min，氧气流量为0L/min，工艺压力为0～40mbar；工艺时间为1～5min。
通过上述技术方案，在泵的作用下，持续将从炉管内壁脱落的附着物(氧化物、氯化物)抽走排放至外围系统中，改善炉管内环境的洁净程度。
进一步地，在步骤S3中，所述降温时间为30～60min，工艺压力为200～500mbar。
通过上述技术方案，阶梯降温可以减缓炉管降温速率，避免过快的降温速率造成炉管密封圈快速老化，降低其密封性能；机台的降温速率取决于降温时间及降温幅度设置，降温时间越短，降温幅度越大越容易导致炉管密封圈老化，密封性下降导致炉管漏率增大。
进一步地，在步骤S3中，所述回常压的时间为3～10min，氮气流量为5～20L/min。
通过上述技术方案，回常压步骤其实并没有什么特殊作用。就是炉管从低压状态要恢复到常压状态时，需要泵停止工作，然后通入大量的氮气，使炉管能够在短时间内恢复至常压，可以打开炉门即可。有时候为了节省工艺时间，该步骤就会通入20L的氮气，使炉管快速从低压状态恢复到常压，从而缩短该步骤的时间。
本发明的有益效果在于：
(1)无需将已经确认被污染的扩散炉管进行拆卸清洗这一繁重的作业流程。在扩散机台上，通过设置工艺参数，升高工艺温度、通入氮气量吹扫、通入适量的氧气与污染物进行氧化反应，加上低压抽空实现去除污染物的目的。
(2)该发明缩短了被污染炉管的停机维护时间，减少对产能得影响，且工艺程序简单，容易实现；
(3)与未执行过该高温净化工艺的炉管相比，本发明的电池片转换效率较对比组有0.02％的提升，可积极推动晶硅太阳能电池的技术创新和规模化生产，提高了晶硅太阳能电池的经济效益；
(4)该发明节省了生产成本，节省了清洗炉管所用化学品氢氟酸、盐酸及纯水，每次清洗石英管需要使用30～40L氢氟酸、20～30L盐酸、600～800L纯水。
因此，本发明提供的一种晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，无需拆卸清洗被污染的炉管，仅需通过设置执行条件参数解决或减轻炉管污染程度，从而保证炉管快速恢复生产，并能够提升电池片光电转换效率，同时节省了清洗炉管所需要的化学品及纯水，降低了生产成本；
另外，本发明所述的氮气、氧气管道是单独铺设的副管道，只用于执行清洁工艺时使用。主要是因为清洁工艺时所用的氮气、氧气流量较大才能实现清洁效果。因此配备的流量计的量程比常规工艺过程中所用的流量计量程要大。而且单独铺设的管道在不执行清洁工艺时通过阀门控制处于正压状态，里面填满气体可以避免炉管被环境气体进入到管道内部污染管道。
附图说明
图1为本发明的流程示意图；
图2为本发明体现氮气、氧气管道布置的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1
一种晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，扩散设备包括控制部分、推舟净化部分、炉丝加热炉体部分、气源部分；其中炉丝加热炉体部分包括扩散炉管、热电偶、进气管、尾排管以及炉门；其具体清理过程如下：
步骤S1：升温干化；将扩散炉管的温度逐级升温至880℃，时间为30min，保持常压，常压压力为1000～1060mbar。
步骤S2：恒温恒压抽空清理包括依次循环处理的恒温恒压氮气吹扫，抽空Ⅰ，恒温恒压氧气、氮气吹扫及抽空Ⅱ。
具体地，恒温恒压氮气吹扫的工艺温度是880℃，氮气流量为5L/min，工艺压力为100mbar；工艺时间为30min；
抽空Ⅰ的工艺温度是880℃，氮气流量为0L/min，工艺压力为30mbar；工艺时间为3min；
恒温恒压氧气、氮气吹扫的工艺温度是880℃，氮气流量为5L/min，氧气流量为0.5L/min，工艺压力为150mbar；工艺时间为30min；
抽空Ⅱ的工艺温度是880℃，氮气流量为0L/min，氧气流量为0L/min，工艺压力为30mbar；工艺时间为3min。
步骤S3：降温回常压；将经步骤S2处理的扩散炉管经阶梯降温至750℃；控制氮气流量为10～20L/min逐渐降至5～20L/min；时间为3～60min。
具体地，降温过程：扩散炉管温度750℃，时间设置为40min，氮气流量设置为10L/min，工艺压力300mbar；通过大量氮气，携带走扩散炉管内热量，降低扩散炉管温度，使扩散炉管恢复正常待机状态，等待执行生产工艺。
回常压过程：扩散炉管温度750℃，时间设置为3min，氮气流量10L/min；使扩散炉管恢复正常待机状态，等待执行生产工艺。
实施例2
一种晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，扩散设备包括控制部分、推舟净化部分、炉丝加热炉体部分、气源部分；其中炉丝加热炉体部分包括扩散炉管、热电偶、进气管、尾排管以及炉门；其具体清理过程如下：
步骤S1：升温干化；将扩散炉管的温度逐级升温至890℃，时间为50min，保持常压。
步骤S2：恒温恒压抽空清理包括依次循环处理的恒温恒压氮气吹扫，抽空Ⅰ，恒温恒压氧气、氮气吹扫及抽空Ⅱ。
具体地，恒温恒压氮气吹扫的工艺温度是890℃，氮气流量为5L/min，工艺压力为100mbar；工艺时间为30min；
抽空Ⅰ的工艺温度是890℃，氮气流量为0L/min，工艺压力为30mbar；工艺时间为3min；
恒温恒压氧气、氮气吹扫的工艺温度是890℃，氮气流量为5L/min，氧气流量为0.5L/min，工艺压力为150mbar；工艺时间为40min；
抽空Ⅱ的工艺温度是890℃，氮气流量为0L/min，氧气流量为0L/min，工艺压力为30mbar；工艺时间为3min。
步骤S3：降温回常压；将经步骤S2处理的扩散炉管经阶梯降温至780℃；控制氮气流量为10～20L/min逐渐降至5～20L/min；时间为3～60min。
具体地，降温过程：扩散炉管温度780℃，时间设置为50min，氮气流量设置为10L/min，工艺压力300mbar；通过大量氮气，携带走扩散炉管内热量，降低扩散炉管温度，使扩散炉管恢复正常待机状态，等待执行生产工艺。
回常压过程：扩散炉管温度780℃，时间设置为3min，氮气流量5L/min；使扩散炉管恢复正常待机状态，等待执行生产工艺。
实施例3
一种晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，扩散设备包括控制部分、推舟净化部分、炉丝加热炉体部分、气源部分；其中炉丝加热炉体部分包括扩散炉管、热电偶、进气管、尾排管以及炉门；其具体清理过程如下：
步骤S1：升温干化；将扩散炉管的温度逐级升温至890℃，时间为60min，氮气流量5L/min，保持常压。
步骤S2：恒温恒压抽空清理包括依次循环处理的恒温恒压氮气吹扫，抽空Ⅰ，恒温恒压氧气、氮气吹扫及抽空Ⅱ。
具体地，恒温恒压氮气吹扫的工艺温度是890℃，氮气流量为10L/min，工艺压力为200mbar；工艺时间为60min；
抽空Ⅰ的工艺温度是900℃，氮气流量为0L/min，工艺压力为30mbar；工艺时间为3min；
恒温恒压氮气吹扫的工艺温度是890℃，氮气流量为10L/min，工艺压力为200mbar；工艺时间为60min；
抽空Ⅱ的工艺温度是890℃，氮气流量为0L/min，工艺压力为30mbar；工艺时间为3min。
步骤S3：降温回常压；将经步骤S2处理的扩散炉管经阶梯降温至750℃；控制氮气流量为10～20L/min逐渐降至5～20L/min；时间为3～60min。
具体地，降温过程：扩散炉管温度750℃，时间设置为60min，氮气流量设置为15L/min，工艺压力500mbar；通过大量氮气，携带走扩散炉管内热量，降低扩散炉管温度，使扩散炉管恢复正常待机状态，等待执行生产工艺。
回常压过程：扩散炉管温度750℃，时间设置为3min，氮气流量5L/min；使扩散炉管恢复正常待机状态，等待执行生产工艺。
实施例4：
一种晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，扩散设备包括控制部分、推舟净化部分、炉丝加热炉体部分、气源部分；其中炉丝加热炉体部分包括扩散炉管、热电偶、进气管、尾排管以及炉门；其具体清理过程如下：
步骤S1：升温干化；将扩散炉管的温度逐级升温至900℃，时间为60min，氮气流量5L/min，保持常压。
步骤S2：恒温恒压抽空清理包括依次循环处理的恒温恒压氮气吹扫，抽空Ⅰ。
具体地，恒温恒压氮气吹扫的工艺温度是900℃，氮气流量为10L/min，工艺压力为200mbar；工艺时间为60min；
抽空Ⅰ的工艺温度是900℃，氮气流量为0L/min，工艺压力为30mbar；工艺时间为5min；
步骤S3：降温回常压；将经步骤S2处理的扩散炉管经阶梯降温至780℃；控制氮气流量为10～20L/min逐渐降至5～20L/min；时间为3～60min。
具体地，降温过程：扩散炉管温度780℃，时间设置为60min，氮气流量设置为15L/min，工艺压力500mbar；通过大量氮气，携带走扩散炉管内热量，降低扩散炉管温度，使扩散炉管恢复正常待机状态，等待执行生产工艺。
回常压过程：扩散炉管温度780℃，时间设置为3min，氮气流量10L/min；使扩散炉管恢复正常待机状态，等待执行生产工艺。
对比例1：
一种晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，扩散设备包括控制部分、推舟净化部分、炉丝加热炉体部分、气源部分；其中炉丝加热炉体部分包括扩散炉管、热电偶、进气管、尾排管以及炉门；其具体清理过程如下：
步骤S1：升温干化；将扩散炉管的温度逐级升温至870℃，时间为20min，氮气流量1L/min，保持常压。
步骤S2：恒温恒压抽空清理包括恒温恒压氮气吹扫。
具体地，恒温恒压氮气吹扫的工艺温度是870℃，氮气流量为3L/min，工艺压力为200mbar；工艺时间为20min；
步骤S3：降温回常压；将经步骤S2处理的扩散炉管经阶梯降温至790℃；控制氮气流量为10～20L/min逐渐降至5～20L/min；时间为3～60min。
具体地，降温过程：扩散炉管温度790℃，时间设置为20min，氮气流量设置为15L/min，工艺压力600mbar；通过大量氮气，携带走扩散炉管内热量，降低扩散炉管温度，使扩散炉管恢复正常待机状态，等待执行生产工艺。
回常压过程：扩散炉管温度790℃，时间设置为2min，氮气流量15L/min；使扩散炉管恢复正常待机状态，等待执行生产工艺。
对比例2：
一种晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，扩散设备包括控制部分、推舟净化部分、炉丝加热炉体部分、气源部分；其中炉丝加热炉体部分包括扩散炉管、热电偶、进气管、尾排管以及炉门；其具体清理过程如下：
步骤S1：升温干化；将扩散炉管的温度逐级升温至850℃，时间为20min，氮气流量1L/min，保持常压。
步骤S2：恒温恒压抽空清理包括恒温恒压氮气吹扫。
具体地，恒温恒压氮气吹扫的工艺温度是850℃，氮气流量为1L/min，工艺压力为300mbar；工艺时间为20min；
步骤S3：降温回常压；将经步骤S2处理的扩散炉管经阶梯降温至740℃；控制氮气流量为10～20L/min逐渐降至5～20L/min；时间为3～60min。
具体地，降温过程：扩散炉管温度740℃，时间设置为20min，氮气流量设置为15L/min，工艺压力600mbar；通过大量氮气，携带走扩散炉管内热量，降低扩散炉管温度，使扩散炉管恢复正常待机状态，等待执行生产工艺。
回常压过程：扩散炉管温度740℃，时间设置为2min，氮气流量15L/min；使扩散炉管恢复正常待机状态，等待执行生产工艺。
对比例3：
一种晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，扩散设备包括控制部分、推舟净化部分、炉丝加热炉体部分、气源部分；其中炉丝加热炉体部分包括扩散炉管、热电偶、进气管、尾排管以及炉门；其具体清理过程如下：
步骤S1：升温干化；将扩散炉管的温度逐级升温至850℃，时间为20min，氮气流量1L/min，保持常压。
步骤S2：恒温恒压抽空清理包括恒温恒压氮气吹扫。
具体地，恒温恒压氮气吹扫的工艺温度是850℃，氮气流量为3L/min，工艺压力为300mbar；工艺时间为20min；
步骤S3：降温回常压；将经步骤S2处理的扩散炉管经阶梯降温至740℃；控制氮气流量为10～20L/min逐渐降至5～20L/min；时间为3～60min。
具体地，降温过程：扩散炉管温度740℃，时间设置为20min，氮气流量设置为15L/min，工艺压力600mbar；通过大量氮气，携带走扩散炉管内热量，降低扩散炉管温度，使扩散炉管恢复正常待机状态，等待执行生产工艺。
回常压过程：扩散炉管温度740℃，时间设置为2min，氮气流量25L/min；使扩散炉管恢复正常待机状态，等待执行生产工艺。
对实施例1～4和对比例1～3所提供的晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法进行检验。共设7组实验组和1个空白对照组，每组3根炉管。实验组1～4分别采用实施例1～4提供的净化方案，实验组5～7分别采用对比例1～3提供的净化方案。统计各实验组中炉管所生产的电池片的良率及转换效率，计算与空白对照组相比。各实验组的产品电池片EL检测平均良率、转换效率相对值如表1、表2所示：
表一：
| 条件 | 电池片良率提升比例 |
| 实施例1 | 15.60％ |
| 实施例2 | 16.10％ |
| 实施例3 | 11.38％ |
| 实施例4 | 12.10％ |
| 对比例1 | 3.27％ |
| 实施例2 | 0％，无提升 |
| 对比例3 | 2.78％ |
从表1的结果可以得出，实施1～4中所提供的发明方案能够有效去除炉管内部未完全反应磷源、副产物、污染物等，使其生产出的电池片EL检测良率提升了10％-16％以上。
表二：
从表2的结果可以得出经过本发明方案处理过的扩散炉管生产的电池片的转换效率平均提高了0.02％左右。
从以上数据可以得出，本发明的晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法能够去除炉管内磷酸、偏磷酸、引入的污染物，起到净化清洁炉管的目的，达到了与清洗炉管相同的效果。本发明代替了繁重的拆卸清洗炉管作业流程。节省了清洗炉管所用的危化品氢氟酸、盐酸及纯水，节约了生产成本。另一方本发明还缩短了处理污染炉管的时间，相较常规处理污染的作业流程节约了40h，减少了产能损失。生产的电池片相较于转换效率提高了0.02％左右，再次说明了本发明有清洁净化炉管的作用，符合开发该工艺的初衷。
在上述方案的基础上，基于现有的石英炉管的装配，本发明采用的氮气、氧气管道是单独铺设的副管道(如图2所示)，只用于执行清洁工艺时使用。主要是因为清洁工艺时所用的氮气、氧气流量较大才能实现清洁效果；因此，配备的流量计的量程比常规工艺过程中所用的流量计量程要大，而且单独铺设的管道在不执行清洁工艺时通过阀门控制处于正压状态，里面填满气体可以避免炉管被环境气体进入到管道内部污染管道。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，其特征在于，所述扩散设备包括控制部分、推舟净化部分、炉丝加热炉体部分、气源部分；其中所述炉丝加热炉体部分包括扩散炉管、热电偶、进气管、尾排管以及炉门；其具体清理过程如下：
步骤S1：升温干化；将氮气分两次充入扩散炉管，控制氮气流量分别为2～10L/min，10～20L/min；并将扩散炉管的温度从850℃逐级升温至900℃，时间为30～60min；
步骤S2：恒温恒压抽空清理；在所述步骤S1的扩散炉管中充入氧气氧化，控制氧气流量为0.5～2L/min，时间为30～50min；
步骤S3：降温回常压；将经步骤S2处理的扩散炉管经830～850℃、800～830℃、780～800℃的阶梯降温至750～780℃；控制氮气流量为10～20L/min逐渐降至5～20L/min；时间为3～60min。
2.根据权利要求1所述的晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，其特征在于，在步骤S1中，工艺压力为1000～1060mbar。
3.根据权利要求1所述的晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，其特征在于，在步骤S2中，所述恒温恒压抽空清理包括：依次循环处理的恒温恒压氮气吹扫，抽空Ⅰ，恒温恒压氧气、氮气吹扫及抽空Ⅱ。
4.根据权利要求3所述的晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，其特征在于，所述恒温恒压氮气吹扫的工艺温度是850～900℃，氮气流量为10～20L/min，工艺压力为50～200mbar；工艺时间为30～60min。
5.根据权利要求3所述的晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，其特征在于，所述抽空Ⅰ的工艺温度是850～900℃，氮气流量为0L/min，工艺压力为0～40mbar；工艺时间为2～5min。
6.根据权利要求3所述的晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，其特征在于，所述恒温恒压氧气、氮气吹扫的工艺温度850～900℃，氮气流量为5～10L/min，氧气流量为0.5～2L/min，工艺压力为50～200mbar；工艺时间为30～50min。
7.根据权利要求3所述的晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，其特征在于，所述抽空Ⅱ的工艺温度是850～900℃，氮气流量为0L/min，氧气流量为0L/min，工艺压力为0～40mbar；工艺时间为1～5min。
8.根据权利要求1所述的晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，其特征在于，在步骤S3中，所述降温时间为30～60min，工艺压力为200～500mbar。
9.根据权利要求1所述的晶硅太阳能电池磷扩散炉管的清理方法，其特征在于，在步骤S3中，所述回常压的时间为3～10min，氮气流量为5～20L/min。
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