CN115505978A - 涂布装置、涂布系统及电池片的铜电镀方法 - Google Patents

Abstract

一种涂布装置、涂布系统及电池片的铜电镀方法，属于光伏技术领域。电池片的铜电镀方法包括：获取设置有铜种子层的预处理电池片，利用涂布系统，使预处理电池片通过输送机构依次经过吹扫部、喷淋部和干燥部，然后直接放置于印刷台；对位于印刷台的预处理电池片涂布感光胶，然后进行曝光、显影和电镀。利用本申请提供的涂布系统进行电池片的涂布，在涂布前，对电池片依次进行氮气吹扫除尘、酸洗去污和烘干，然后将烘干后的电池片直接传递至印刷台上进行涂布，可以减小位于印刷台上的预处理电池片表面的杂质，提高涂布质量，减少后续电镀工序后形成的金属栅线电极出现断栅的几率。

Description

涂布装置、涂布系统及电池片的铜电镀方法

技术领域

本申请涉及光伏技术领域，具体而言，涉及涂布装置、涂布系统及电池片的铜电镀方法。

背景技术

光伏电池的制备工艺包括金属电极的制备。目前，金属电极的制备方法包括丝网印刷法和铜电镀法。

银浆作为光伏电池丝网印刷制备金属电极的关键原材料，其是由高纯度(99％)的银粉、玻璃氧化物、有机材料等所组成的机械混合物的粘稠状浆料。通过丝网印刷法制备金属电极，银浆的消耗量大，增加电池片生产成本。

铜电镀是一种非接触式的电极金属化技术，在基体金属表面通过电解方法沉积金属铜制作铜栅线，收集光伏效应产生的载流子。为解决电镀铜与透明导电薄膜(TCO)之间的接触与附着性问题，需先使用PVD设备镀一层极薄的铜种子层，衔接前序的TCO和后序的电镀铜。

当前的铜电镀技术中，工序的流程如下：镀铜种子层→涂布(正面或背面)→烘干→涂布(背面或正面)→烘干→打印→显影→电镀→去膜。利用现有技术的制备工艺进行电镀铜后，所形成的金属栅线电极往往会存在断栅的情况，影响电池片的电学性能。

发明内容

基于上述的不足，本申请提供了一种涂布装置、涂布系统及电池片的铜电镀方法，以部分或全部地改善相关技术铜电镀断栅的问题。

本申请是这样实现的：

在第一方面，本申请的示例提供了一种涂布装置，包括：

清洗机构；清洗机构包括依次设置的吹扫部、喷淋部和干燥部；吹扫部设置有第一喷嘴，用于向电池片吹扫氮气；喷淋部设置有第一清洗槽和第二喷嘴，第二喷嘴配备为向第一清洗槽喷淋酸洗液；干燥部配备为对喷淋部喷淋后的电池片进行干燥；

涂布机构；涂布机构包括印刷台，印刷台与干燥部的后端直接相连；

输送机构；输送机构配备为输送电池片依次经过吹扫部、喷淋部和干燥部至印刷台。

在上述实现过程中，依次设置吹扫部、喷淋部和烘干部，可以将待处理的电池片放置于输送机构，在输送机构的作用下使待涂布的电池片依次经过吹扫部进行氮气吹扫，经过喷淋部进行酸洗，经过烘干部进行烘干，然后直接输送至印刷台进行涂胶。

利用本示例提供的涂布装置进行涂胶，由于在电池片进入印刷台之前，电池片会依次经过吹扫部进行氮气吹扫和经过喷淋部进行酸洗，可以去除电池片表面的灰尘等杂质以及油污等黏着物。并且，将印刷台直接设置于烘干部的后端，可以在通过吹扫和清洗等去除电池片表面的杂质及黏着物后，可以对清洗后的干燥的电池片及时进行涂胶，进一步减少电池片输送过程中重新附着杂质的几率，减少涂布后的胶层与铜种子层之间的杂质。

结合第一方面，在本申请第一方面提供的第一种可能的实施方式中，喷淋部还包括设置于第一清洗槽后端的第二清洗槽，以及设置于第二清洗槽的第三喷嘴；第三喷嘴配备为向第二清洗槽喷淋水洗液。

在上述实现过程中，在第一清洗槽的后端设置第二清洗槽，以及在第二清洗槽处设置第三喷嘴，可以对第一清洗槽酸洗后的电池片进行水洗，去除电池片处残留的酸洗液。

结合第一方面，在本申请第一方面提供的第二种可能的实施方式中，干燥部包括设置于第二清洗槽后端的烘干槽，以及设置于烘干槽的第四喷嘴；第四喷嘴配备为向烘干槽吹入烘干气体。

在上述实现过程中，在第二清洗槽的后端设置烘干槽，可以对水洗后的电池片进行烘干，去除电池片表面的水渍。并且，在烘干槽中设置用于吹入烘干气体的第四喷嘴，可以在将放置于烘干槽中的电池片吹干的同时，还能进一步吹除在输送过程中附着于电池片表面的灰尘等杂质。

结合第一方面，在本申请第一方面提供的第三种可能的实施方式中，吹扫部还包括吹扫槽，吹扫槽、第一清洗槽、第二清洗槽和烘干槽依次连通。

在上述实现过程中，将吹扫槽、第一清洗槽、第二清洗槽和烘干槽依次连通，可以使待涂胶的电池片依次经过吹扫槽进行吹扫氮气，然后从吹扫槽和第一清洗槽连通的通道直接进入第一清洗槽，进行酸洗；然后从第一清洗槽和第二清洗槽连通的通道直接进入第二清洗槽，进行水洗；然后从第二清洗槽和烘干槽连通的通道直接进入烘干槽，进行烘干。

设置依次连通的吹扫槽、第一清洗槽、第二清洗槽和烘干槽，可以使电池片直接从上一处理段的槽体内直接输送至下一处理段的槽体内，减小电池片在进出相应的槽体内外的过程中重新附着杂质的几率。

结合第一方面，在本申请第一方面提供的第四种可能的实施方式中，输送机构包括链式滚轮输送机，链式滚轮输送机从吹扫槽延伸至印刷台。

在上述实现过程中，将链式滚轮输送机从吹扫槽延伸至印刷台，可以将电池片放置于链式滚轮输送机上，然后由链式滚轮输送机输送至吹扫槽进行氮气吹扫除灰，然后从连通吹扫槽和第一清洗槽的通道直接输送至第一清洗槽进行酸洗去污，然后从连通第一清洗槽和第二清洗槽的通道直接输送至第二清洗槽进行水洗，然后从连通第二清洗槽和烘干槽的通道直接进入烘干槽进行烘干去除水渍，然后输送至与烘干槽的后端直接相连的印刷台进行涂胶，可以进一步减少输送至印刷台上的电池片的杂质。

链式输送机穿过依次连通的吹扫槽、第一清洗槽、第二清洗槽和烘干槽到达印刷台，可以防止电池片出入相应的清洗槽而接触清洗槽外的杂质。

结合第一方面，在本申请第一方面提供的第五种可能的实施方式中，第一喷嘴、第二喷嘴、第三喷嘴和第四喷嘴通过连接件沿预设方向在相应的槽体内往复运动；预设方向与链式滚轮输送机的延伸方向相交。

在上述实现过程中，第一喷嘴、第二喷嘴、第三喷嘴和第四喷嘴通过连接件沿预设方向在相应的槽体内往复运动，且预设方向与链式滚轮输送机的延伸方向相交，可以在对电池片沿链式滚轮输送机的长度方向进行吹扫、喷淋或吹干的同时，还可以对电池片垂直于输送方向的宽度方向进行相应的往复吹扫、喷淋或吹干等操作，可以进一步提升清洗效果。

结合第一方面，在本申请第一方面提供的第六种可能的实施方式中，涂布装置还包括加料机构；加料机构包括与第一清洗槽液体连通的回流槽；回流槽与第二喷嘴连接，用于将回流槽中的酸洗液喷淋至第一清洗槽。

在上述实现过程中，设置与第一清洗槽连通的回流槽，可以通过回流槽对清洗后的酸洗液进行收集，重新输入第二喷嘴再次进行电池片的冲洗，以重复利用酸洗液，减少清洗成本。

在第二方面，本申请的示例提供了一种涂布系统，包括：

第一方面提供的涂布装置；

氮气储气罐和CDS供液机；氮气储气罐与第一喷嘴连接，CDS供液机配备为向第二喷嘴输送酸洗液。

在上述实现过程中，利用氮气储气罐向第一喷嘴输送氮气，以及利用CDS供液机向第二喷嘴输送酸洗液，可以对涂布前的电池片进行吹扫除灰和酸洗去污，减小涂布后的胶层与铜种子层之间的杂质。

并且，在涂布装置中设置与印刷台的前端直接相连的干燥部，可以对清洗后的干燥的电池片及时进行涂胶，能够减少清洗后的电池片重新附着杂质的几率。

在第三方面，本申请的示例提供一种电池片的铜电镀方法，包括：

获得设置有铜种子层的预处理电池片；

利用第二方面提供的涂布系统，使预处理电池片通过输送机构依次经过吹扫部、喷淋部和干燥部，然后直接放置于印刷台；

对位于印刷台的预处理电池片涂布感光胶，然后进行曝光、显影和电镀。

在上述实现过程中，利用第二方面提供的涂布系统，使预处理电池片通过输送机构依次经过吹扫部进行氮气吹扫除尘和经过第一清洗槽进行酸洗去污，然后在干燥部进行烘干去除水渍，将烘干后的电池片直接放置于与干燥部的后端直接相连的印刷台上进行涂胶，可以避免烘干后的电池片利用花蓝装载以及通过运转小车等中间输送装置输送至涂布装置，进而减少胶层与铜种子层之间的杂质，减少后续电镀工艺后形成的栅线出现断栅的几率，提高铜电镀电池片的电学性能。

结合第三方面，在本申请第三方面提供的第一种可能的实施方式中，第一喷嘴的氮气吹扫压力为3bar-6bar；第二喷嘴中的酸洗液包括质量浓度为0.1％-2％的硫酸溶液。

在上述实现过程中，利用吹扫压力为3bar-6bar的第一喷嘴吹扫电池片，可以提升第一喷嘴去除电池片铜种子层的灰尘等颗粒物杂质的效率；利用0.1％-2％浓度的硫酸溶液喷淋电池片，可以进一步增加电池片表面黏着物的去除效果。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，以下将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为现有技术涂布前的工艺示意图；

图2为本申请示例提供的涂布系统的俯视图；

图3为本申请示例提供的涂布装置的剖视图。

图标：

1-涂布系统；10-涂布装置；11-清洗机构；111-吹扫部；1111-第一喷嘴；1112-吹扫槽；112-喷淋部；1121-第一清洗槽；1122-第二喷嘴；1123-第二清洗槽；1124-第三喷嘴；113-干燥部；1131-烘干槽；1132-第四喷嘴；114-连接件；12-涂布机构；121-印刷台；13-输送机构；14-加料机构；141-回流槽；20-氮气储气罐；30-CDS供液机；

2-种子层电镀台；3-花篮；4-传输皮带；5-搬运小车；6-涂布机。

具体实施方式

下面将结合实施例对本申请的实施方案进行详细描述，但是本领域技术人员将会理解，下列实施例仅用于说明本申请，而不应视为限制本申请的范围。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。

以下针对本申请示例提供的涂布装置、涂布系统及电池片的铜电镀方法进行具体说明：

铜电镀是一种非接触式的电极金属化技术，在基体金属表面通过电解方法沉积金属铜制作铜栅线，收集光伏效应产生的载流子。为解决电镀铜与透明导电薄膜之间的接触与附着性问题，需先使用PVD设备镀一层极薄的铜种子层，衔接前序的透明导电薄膜和后序的电镀铜。

当前光伏电池的铜电镀技术中，图形化工序的流程如下：镀铜种子层→涂布(正面或背面)→烘干→涂布(背面或正面)→烘干→打印→显影→电镀→去膜。利用现有技术的制备工艺进行电镀铜时后，所形成的金属栅线电极往往会存在断栅的情况，影响电池片的电学性能。

发明人分析出现断栅的原因，认为，在现有的一些生产工艺中，请参阅图1，将电池片放置在种子层电镀台2上制备铜种子层，然后将镀铜种子层后的电池片装入花篮3中，经过传输皮带4、搬运小车5等中间运输工序，将电池片下传到涂布机6中进行涂胶，在中间工序中转时会接触到电池片的铜种子层，导致在进行涂布时，胶与电池片的铜种子层之间会出现粉尘等杂质以及油污等粘着物，在后续进入电镀工序后会导致电镀铜与铜种子层之间附着有异物，出现电池片的断栅，降低电池片的电学性能。

基于此，请参阅图2，发明人提供了一种涂布系统1和涂布装置10，涂布系统1包括涂布装置10。

其中，涂布装置10包括：

清洗机构11；清洗机构11包括依次设置的吹扫部111、喷淋部112和干燥部113；吹扫部111设置有第一喷嘴1111，用于向电池片吹扫氮气；喷淋部112设置有第一清洗槽1121和第二喷嘴1122，第二喷嘴1122配备为向第一清洗槽1121喷淋酸洗液；干燥部113配备为对喷淋部112喷淋后的电池片进行干燥；

涂布机构12；涂布机构12包括印刷台121，印刷台121与干燥部113的后端直接相连；

输送机构13；输送机构13配备为输送电池片依次经过吹扫部111、喷淋部112和干燥部113至印刷台121。

在涂布装置10中设置清洗机构11和涂布机构12，在利用涂布机构12给镀铜种子层后的电池片进行涂胶前，可以利用涂布装置10中的清洗机构11对该电池片进行清洗。

并且，在清洗机构11中依次设置吹扫部111、喷淋部112和干燥部113，可以通过输送机构13使镀铜种子层后的电池片依次经过吹扫部111进行吹扫除尘和经过第一清洗槽1121进行酸洗去污，然后输送至干燥部113进行干燥，然后输送至与干燥部113的后端直接相连的印刷台121进行涂胶，可以避免干燥后的电池片经过花篮装载、搬运小车、传输皮带等中间转运工序，进一步减少位于印刷台121上电池片的铜种子层表面的杂质。

在电池片的铜电镀工艺中，可以先将电池片放置于种子层电镀台2上镀铜种子层，然后将镀铜种子层后的电池片装载于花篮3中，通过传输皮带4和搬运小车5等输送装置运输至本示例提供的涂布装置10中，然后利用本示例提供的涂布装置10中的输送机构13使电池片依次进行吹扫除尘、酸洗去污、干燥和涂胶。

即现有技术的涂布工艺为：镀铜种子层→转运→涂布。利用本示例提供的涂布装置进行涂布的工艺为：镀铜种子层→转运→清洗、涂布。

利用本示例提供的涂布装置10，可以对镀铜种子层后的电池片进行清洗，然后将清洗后的电池片直接输送至印刷台121进行涂胶，避免清洗后的电池片在利用花篮3转运等中间输送过程中重新附着杂质，减少后续涂布后的胶层与铜种子层之间的杂质，提高电池片的电学性能。

以下结合附图对本申请示例提供的涂布装置10作进一步的详细描述。

请参阅图2和图3，清洗机构11包括依次设置的吹扫部111、喷淋部112和干燥部113；吹扫部111设置有第一喷嘴1111，用于向电池片吹扫氮气；喷淋部112设置有第一清洗槽1121和第二喷嘴1122，第二喷嘴1122配备为向第一清洗槽1121喷淋酸洗液；干燥部配备为对喷淋部112喷淋后的电池片进行干燥。

本申请不限制吹扫部111的具体设置形式，相关人员可以根据需要进行相应的调整。

在一些可能的实施方式中，吹扫部111还包括用于容纳电池片的吹扫槽1112，第一喷嘴1111向吹扫槽1112吹扫氮气，以吹除放置于吹扫槽1112内的电池片表面的颗粒物等杂质。

或者，吹扫部111包括用于放置电池片的放置板，第一喷嘴1111设置于放置板的上方，将电池片放置于放置板上进行吹扫除尘。

进一步的，本申请不限制第一喷嘴1111的具体设置形式，在一些可能的实施方式中，第一喷嘴1111包括多个间隔设置的喷头。

本申请不限制喷淋部112的具体设置形式，在一些可能的实施方式中，喷淋部112还包括设置于所述第一清洗槽1121后端的第二清洗槽1123，以及设置于第二清洗槽的第三喷嘴1124。第三喷嘴1124可以向第二清洗槽1123内喷淋水洗液，对经过酸洗液酸洗后的电池片进行水洗，避免酸洗液残留于电池片。

进一步的，本申请不限制第二喷嘴1122和第三喷嘴1124的具体设置形式，相关人员可以根据需要进行相应的选择。示例性的，第二喷嘴1122和第三喷嘴1124均包括多个间隔设置的喷头，以对电池片的多个位置同时进行冲洗。

或者，可以在第一清洗槽1121内间隔设置第二喷嘴1122和第三喷嘴1124，可选择的打开第二喷嘴1122进行酸洗或打开第三喷嘴1124进行水洗。但是，在第一清洗槽1121内同时设置第二喷嘴1122和第三喷嘴1124，第二喷嘴1122和第三喷嘴1124喷淋出的酸洗液和水洗液会在第一清洗槽1121内混合，不利于酸洗液或者水洗液的循环利用。

进一步的，为了便于酸洗液的重复利用，本示例提供的涂布装置10还包括加料机构14。加料机构14包括回流槽141，回流槽141与第一清洗槽1121连通，使得第一清洗槽1121内的酸洗液流入回流槽141进行收集。将回流槽141与第二喷嘴1122连接，使回流槽141内的酸洗液流向第二喷嘴1122，从第二喷嘴1122处对第一清洗槽1121内的电池片进行喷淋。

进一步的，可以利用抽水泵，将回流槽141内的酸洗液抽回第二喷嘴1122。

进一步的，可以在第一清洗槽1121的底部设置滤网，对第一清洗槽1121内的酸洗液进行过滤，然后将过滤后的酸洗液流入回流槽141。

进一步的，可以将酸洗液加料机或储液罐与回流槽141连接，待回流槽141内的酸洗液不足或者更换回流槽141内的酸洗液时，将新的酸洗液加入回流槽141，然后输入第二喷嘴1122。

进一步的，回流机构14还可以设置有第二回流槽，将第二回流槽与第二清洗槽1123连通，收集第二清洗槽1123内的水洗液，然后将第二回流槽内的水洗液输送至第三喷嘴1124，重复利用水洗液。

本申请不限制干燥部113的具体设置形式，在一些可能的实施方式中，干燥部113包括烘干槽1131，和设置于烘干槽1131的第四喷嘴1132。

第四喷嘴1132用于向烘干槽1131内吹扫烘干气体(例如热气)，可以在吹干电池片表面的水渍进行干燥的同时，还能对电池片进行第二次吹扫，进一步去除电池片表面的杂质。

或者，可以在烘干槽1131内设置加热元件，对烘干槽1131内的电池片进行烘干。加热元件可以时电阻丝。

进一步的，为了便于吹扫槽1112、第一清洗槽1121、第二清洗槽1123和烘干槽1131的设置，可以将吹扫槽1112、第一清洗槽1121、第二清洗槽1123和烘干槽1131呈“一”字形排列，且吹扫槽1112、第一清洗槽1121、第二清洗槽1123和烘干槽1131依次连通。

进一步的，为了便于输送机构13输送电池片依次经过吹扫槽1112、第一清洗槽1121、第二清洗槽1123和烘干槽1131，然后输送至印刷台121，可以将输送机构13设置为链式滚轮输送机。链式滚轮输送机从吹扫槽1112延伸至印刷台121。

进一步的，链式滚轮输送机从吹扫槽1112与第一清洗槽1121连通的通道穿入第一清洗槽1121，然后从第一清洗槽1121与第二清洗槽1123连通的通道穿入第二清洗槽1123，然后从第二清洗槽1123与烘干槽1131连通的通道穿入烘干槽1131，最后从烘干槽1131穿出至印刷台121，将电池片直接输送至印刷台121。

进一步的，为了增加电池片在垂直于输送方向的宽度方向的清洁效果，可以将第一喷嘴1111、第二喷嘴1122、第三喷嘴1124和第四喷嘴1132通过连接件114沿预设方向在相应的槽体内往复运动；预设方向与链式滚轮输送机的延伸方向相交。

本申请不限制连接件114的具体设置形式，在一些可能的实施方式中，连接件114包括沿链式滚轮输送机的延伸方向设置的连接杆。连接杆设置于吹扫槽1112、第一清洗槽1121、第二清洗槽1123和烘干槽1131的上方。在连接杆对应于吹扫槽1112、第一清洗槽1121、第二清洗槽1123和烘干槽1131上方的位置处分别设置一个往复件，往复件沿垂直于链式滚轮输送机的延伸方向往复运动。分别在对应的往复件处安装第一喷嘴1111、第二喷嘴1122、第三喷嘴1124和第四喷嘴1132，使第一喷嘴1111、第二喷嘴1122、第三喷嘴1124和第四喷嘴1132可以单独的进行往复运动。往复件可以为丝杆往复结构，丝杆的延伸方向与链式滚轮输送机的延伸方向垂直或者相交，且丝杆的往复运动范围不超过相应槽体的宽度(宽度为槽体沿链式滚轮输送机的延伸方向的垂向的长度)。

涂布机构12包括印刷台121，印刷台121用于放置电池片进行涂胶。

印刷台121设置于烘干槽1131远离第二清洗槽1123的一侧。

进一步的，印刷台121用于放置电池片的表面与链式滚轮输送机用于输送电池片的表面平齐，使得链式滚轮输送机上的电池片在传输至烘干槽1131之外时可以直接送入印刷台121上。

本申请不限制涂布机构12的具体设置形式，相关人员可以根据需要进行相应的调整。示例性的，涂布机构还包括设置于印刷台121上方的刷头，以便于将感光胶涂布于印刷台121上的电池片处。

本申请提供的涂布系统1还包括氮气储气罐20和CDS供液机30(Control andDynamical System，CDS)。氮气储气罐20与第一喷嘴1111连接，CDS供液机30配备为向第二喷嘴1122输送酸洗液。CDS供液机30为常规的自动控制系统，本申请不做限制。

进一步的，CDS供液机30向回流槽141输送酸洗液，通过回流操141将酸洗液输送至第二喷嘴1122。

本申请的示例还提供一种电池片的铜电镀方法，包括：

获得设置有铜种子层的预处理电池片；

利用上述涂布系统1，使预处理电池片通过输送机构13依次经过吹扫部111、喷淋部112和干燥部113，然后直接放置于印刷台121；

对位于印刷台121的预处理电池片涂布感光胶，然后进行曝光、显影和电镀。

将设置有铜种子层的预处理电池片放置于涂布系统1中的输送机构13上，利用输送机构13使预处理电池片依次经过吹扫部111进行氮气吹扫除尘、经过喷淋部112酸洗去污和经过干燥部113干燥，然后将干燥后的预处理电池片放置于与干燥部113的后端直接相连的印刷台121上进行涂胶，可以减少印刷台121上的预处理电池片的表面杂质，提高涂布质量，进一步提高后续电镀形成栅线电极的质量，减少断栅的出现几率。

进一步的，在进入吹扫部111进行氮气吹扫除尘时，第一喷嘴1111喷出的氮气压力可以设置为3-6bar。氮气的浓度可以为99.9％。

进一步的，在进入喷淋部112进行酸洗去污时，第二喷嘴1122喷出的酸洗液为硫酸溶液。硫酸溶为低浓度硫酸溶液，体积浓度可以为0.1％-2％。

进一步的，在进入干燥部113及逆行干燥时，干燥温度为50-80℃。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种涂布装置，其特征在于，包括：

清洗机构；所述清洗机构包括依次设置的吹扫部、喷淋部和干燥部；所述吹扫部设置有第一喷嘴，用于向电池片吹扫氮气；所述喷淋部设置有第一清洗槽和第二喷嘴，所述第二喷嘴配备为向所述第一清洗槽喷淋酸洗液；所述干燥部配备为对所述喷淋部喷淋后的电池片进行干燥；

涂布机构；所述涂布机构包括印刷台，所述印刷台与所述干燥部的后端直接相连；

输送机构；所述输送机构配备为输送电池片依次经过所述吹扫部、所述喷淋部和所述干燥部至所述印刷台。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述喷淋部还包括设置于所述第一清洗槽后端的第二清洗槽，以及设置于所述第二清洗槽的第三喷嘴；所述第三喷嘴配备为向所述第二清洗槽喷淋水洗液。

3.根据权利要求2所述的涂布装置，其特征在于，所述干燥部包括设置于所述第二清洗槽后端的烘干槽，以及设置于所述烘干槽的第四喷嘴；所述第四喷嘴配备为向所述烘干槽吹入烘干气体。

4.根据权利要求3所述的涂布装置，其特征在于，所述吹扫部还包括吹扫槽，所述吹扫槽、所述第一清洗槽、所述第二清洗槽和所述烘干槽依次连通。

5.根据权利要求4所述的涂布装置，其特征在于，所述输送机构包括链式滚轮输送机，所述链式滚轮输送机从所述吹扫槽延伸至所述印刷台。

6.根据权利要求5所述的涂布装置，其特征在于，所述第一喷嘴、所述第二喷嘴、所述第三喷嘴和所述第四喷嘴通过连接件在相应的槽体内沿预设方向往复运动；所述预设方向与所述链式滚轮输送机的延伸方向相交。

7.根据权利要求1-6任一项所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布装置还包括加料机构；所述加料机构包括与所述第一清洗槽液体连通的回流槽，所述回流槽与所述第二喷嘴连接，用于将所述回流槽中的酸洗液喷淋至所述第一清洗槽。

8.一种涂布系统，其特征在于，所述涂布系统包括：

权利要求1-7任一项所述的涂布装置；

氮气储气罐和CDS供液机；所述氮气储气罐与所述第一喷嘴连接，所述CDS供液机配备为向所述第二喷嘴输送酸洗液。

9.一种电池片的铜电镀方法，其特征在于，包括：

获得设置有铜种子层的预处理电池片；

利用权利要求8所述的涂布系统，使所述预处理电池片通过所述输送机构依次经过所述吹扫部、所述喷淋部和所述干燥部，然后直接放置于所述印刷台；

对位于所述印刷台的所述预处理电池片涂布感光胶，然后进行曝光、显影和电镀。

10.根据权利要求9所述的电池片的铜电镀方法，其特征在于，所述第一喷嘴的氮气吹扫压力为3bar-6bar；所述第二喷嘴中的酸洗液包括质量浓度为0.1％-2％的硫酸溶液。

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