CN115463892B - 一种枚叶式晶圆清洗机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及存储器技术领域，具体是涉及一种枚叶式晶圆清洗机包括两组竖直翻转臂，每组竖直翻转臂上均设有清洁组件，每个清洁组件均包括两个滚筒刷、从动机构、驱动机构和离合机构，从动机构包括水平转轴和两个一号伞齿，驱动机构包括往复丝杆管、滑块、花键轴和二号伞齿，离合机构包括移动座、拉簧和提拉绳，在位于内侧的两个滚筒刷旋转对晶圆的两侧进行清洁时，两个一号电机分别驱动两个竖直旋转臂进行180°翻转，使得位于外侧且自身洁净的两个滚筒刷旋转至内侧继续对晶圆进行清洁工作，两个附着较多污垢的滚筒刷会被旋转至外侧，此时再对外侧的两个滚筒刷进行清洁，以此循环往复，即可实现每次对晶圆进行清洁的滚筒刷都处于自洁净的状态。

Description

一种枚叶式晶圆清洗机

技术领域

本发明涉及存储器技术领域，具体是涉及一种枚叶式晶圆清洗机。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，随着集成电路制造技术的不断发展，芯片特征尺寸越来越小，互连层数越来越多，晶圆直径也不断增大。要实现多层布线，晶圆表面必须具有极高的平整度、光滑度和洁净度，所以在工厂生产晶圆时，需要对晶圆的表面进行清洁，以提高晶圆表面的洁净度，传统的晶圆清洗机，通常采用能够吸附晶圆表面污垢的滚筒刷进行清洁，但是滚筒刷多次清洁后，其本身会附着大量的污垢，继而会影响后续晶圆的清洁工作，并且传统清洗机的滚筒刷不能进行快速更换，大都需要停机更换，浪费了大量的时间，部分传统清洗机则采用导电吸附的方式来对滚筒刷上的带电污垢进行吸附，但是一些不导电的污垢则还会附着于滚筒刷上，所以针对上述的问题有必要提供一种枚叶式晶圆清洗机来解决。

发明内容

基于此，有必要针对现有技术问题，提供一种枚叶式晶圆清洗机。

为解决现有技术问题，本发明采用的技术方案为：一种枚叶式晶圆清洗机，包括两组呈对称状态且转动设置的竖直翻转臂，每组竖直翻转臂上均设有清洁组件，每个清洁组件均包括：

两个呈对称状态的滚筒刷，每个滚筒刷均呈竖直转动设置；

从动机构，设于两个滚筒刷的上方，从动机构包括水平转轴和两个分别设于水平转轴两端的一号伞齿，两个一号伞齿分别用于驱动两个滚筒刷同步反向旋转，水平转轴的中心处设有传动伞齿；

驱动机构，设于从动机构的上方，驱动机构包括往复丝杆管、滑块、花键轴和二号伞齿，往复丝杆管呈竖直转动设置，滑块滑动设于往复丝杆管上，花键轴呈竖直转动设于往复丝杆管内，并且花键轴通过行星齿轮机构与往复丝杆传动相连，二号伞齿设于花键轴的下端，且二号伞齿与传动伞齿相啮合；

离合机构，包括移动座、拉簧和提拉绳，移动座设于传动伞齿的上方，且移动座能够进行自由升降，二号伞齿与移动座相连，提拉绳将滑块和移动座相连，用于滑块上移时带动移动座上行，使得二号伞齿与传动伞齿分离，拉簧与移动座相连，拉簧用于滑块下移时，拉扯移动座下移复位，且使得二号伞齿与传动伞齿再次啮合；

其中，两个花键轴共用一个驱动源，两个竖直翻转臂用于同步翻转，使得两个清洁组件中的其中一个滚筒刷相向靠近且最终位于同一水平面上，此时位于内侧的两个滚筒之间形成用于插放晶圆的空隙。

进一步的，每个竖直翻转臂均包括：

两个呈对称状态的水平转板，二者上下间隔分布，两个水平转板之间通过一个立板相连；

两个呈对称状态的竖直转轴，每个竖直转轴均转动设于两个水平转板之间，两个竖直转轴沿其中一个水平转板的长度方向间隔分布，每个滚筒刷均固定套设于对应的竖直转轴上；

容纳壳，与位于上方的水平转板相固连，从动机构和驱动机构设于容纳壳内；

其中，两个竖直翻转臂的上方和下方分别设有驱动仓和水平支撑板，每个位于下方的水平转板均与水平支撑板轴接，每个容纳壳均与驱动仓轴接，水平支撑板上固定设有两个呈对称状态且分别用于驱动两个位于下方的水平转板同步旋转的一号电机，驱动两个花键轴同步旋转的驱动源与驱动仓相连。

进一步的，每个竖直转轴的上端均向上穿入对应的容纳壳内，每个容纳壳内均固定设有两个呈对称状态的横向支板，每个横向支板均靠近对应的竖直转轴，每个水平转轴均设于对应的两个横向支板之间，且每个水平转轴的两端均分别与两个横向支板轴接，每个一号伞齿均同轴与对应的水平转轴的一端固连，每个竖直转轴的上端均同轴固定设有与对应的一号伞齿相啮合的三号伞齿，每个传动伞齿均与对应的水平转轴的中心处同轴固连。

进一步的，每个驱动机构均还包括四根呈矩阵固定设于对应的容纳壳内的限位立柱，往复丝杆管位于四个限位立柱的中心处，每个限位立柱均穿过滑块，滑块的正下方设有与四个限位立柱固连的水平承托板，水平承托板上固定设有呈水平的一号轴承，行星齿轮机构设于一号轴承的上方，且行星齿轮机构的内齿圈与一号轴承的外圈固连，往复丝杆管的下端与行星齿轮机构的内齿圈固连，行星齿轮机构的中心齿轮与一号轴承的内圈固连，花键轴同轴竖直穿过行星齿轮机构的中心齿轮。

进一步的，每个移动座均包括：

呈水平的连接板，设于对应的传动伞齿的上方；

两个呈对称状态的竖直限位轴，二者分别固定设于连接板的两端，每个竖直限位轴均竖直朝下；

二号轴承，呈水平固定嵌设于连接板的中心处；

其中，每个容纳壳内的底部均固定有两个呈对称状态的限位套，每个竖直限位轴的下端均向下插入对应的限位套内，每个移动座内的拉簧的数量为两个，每个拉簧均呈竖直设于对应的限位套内，每个拉簧的下端均与对应的限位套内的底部固连，每个拉簧的上端均与对应的竖直限位轴的底部固连，每个花键轴的底端均同轴成型有一个向下插入对应的二号轴承内且与二号轴承的内圈相固连的旋转柱，每个二号伞齿均与旋转柱同轴固连，每个移动座内的提拉绳数量为两个，两个提拉绳呈对称状态分别设于滑块的两侧，每个提拉绳的两端均分别与滑块的底部和连接板的顶部相固连。

进一步的，驱动仓为呈水平的条形壳体，驱动源为呈竖直设于驱动仓顶部的二号电机，二号电机的输出轴竖直向下穿入驱动仓内，每个花键轴的上端均向上穿入驱动仓的一端内，每个花键轴的上端均同轴套设有一个三号轴承，每个三号轴承的外圈均与对应的容纳壳的顶部固连，驱动仓内设有两个一号同步轮和两个二号同步轮，两个一号同步轮呈对称状态分别与二号电机的输出轴和其中一个花键轴的上端同轴固连，两个一号同步轮之间通过一号同步带传动相连，两个二号同步轮呈对称状态分别与二号电机的输出轴和另外一个花键轴的上端同轴固连，两个二号同步轮之间通过二号同步带传动相连。

进一步的，驱动仓的顶部正对两个花键轴上端的位置分别开设有两个避让通孔。

进一步的，每个容纳壳内的顶部均固定设有一个用于供对应的滑块上移后碰触的接近开关。

本发明与现有技术相比具有的有益效果是：相比传统的晶圆清洗机而言，本装置采用两个能够进行180°翻转的竖直翻转臂作为清洗机的主骨架，同时每个竖直翻转臂上均设有两个同步旋转的滚筒刷，在位于内侧的两个滚筒刷旋转对晶圆的两侧进行清洁时，进行往复升降的滑块会在接触接近开关后立即启动两个一号电机，同时通过离合机构停止两个滚筒刷旋转，此时两个一号电机分别驱动两个竖直旋转臂进行180°翻转，使得位于外侧且自身洁净的两个滚筒刷旋转至内侧继续对晶圆进行清洁工作，两个附着较多污垢的滚筒刷会被旋转至外侧，此时再对外侧的两个滚筒刷进行清洁，除去附着于滚筒刷上的所有污垢，以此循环往复，即可实现每次对晶圆进行清洁的滚筒刷都处于自洁净的状态，整个清洁过程无需停机，提高了清洁的效率。

附图说明

图1是实施例的立体结构示意图；

图2是图1所指A1的局部放大示意图；

图3是实施例的俯视图；

图4是图3沿A-A线的剖视图；

图5是图4所指A2的局部放大示意图；

图6是图4所指A3的局部放大示意图；

图7是图4所指A4的局部放大示意图；

图8是图4所指A5的局部放大示意图；

图9是图3沿B-B线的剖视图；

图10是实施例的竖直翻转臂和清洁组件的立体结构示意图。

图中标号为：1、滚筒刷；2、水平转轴；3、一号伞齿；4、传动伞齿；5、往复丝杆管；6、滑块；7、花键轴；8、二号伞齿；9、行星齿轮机构；10、拉簧；11、提拉绳；12、水平转板；13、立板；14、竖直转轴；15、容纳壳；16、驱动仓；17、水平支撑板；18、一号电机；19、横向支板；20、三号伞齿；21、限位立柱；22、水平承托板；23、一号轴承；24、连接板；25、竖直限位轴；26、二号轴承；27、限位套；28、旋转柱；29、二号电机；30、三号轴承；31、一号同步轮；32、二号同步轮；33、一号同步带；34、二号同步带；35、避让通孔；36、接近开关。

具体实施方式

为能进一步了解本发明的特征、技术手段以及所达到的具体目的、功能，下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述。

参考图1至图10所示的一种枚叶式晶圆清洗机，包括两组呈对称状态且转动设置的竖直翻转臂，每组竖直翻转臂上均设有清洁组件，每个清洁组件均包括：

两个呈对称状态的滚筒刷1，每个滚筒刷1均呈竖直转动设置；

从动机构，设于两个滚筒刷1的上方，从动机构包括水平转轴2和两个分别设于水平转轴2两端的一号伞齿3，两个一号伞齿3分别用于驱动两个滚筒刷1同步反向旋转，水平转轴2的中心处设有传动伞齿4；

驱动机构，设于从动机构的上方，驱动机构包括往复丝杆管5、滑块6、花键轴7和二号伞齿8，往复丝杆管5呈竖直转动设置，滑块6滑动设于往复丝杆管5上，花键轴7呈竖直转动设于往复丝杆管5内，并且花键轴7通过行星齿轮机构9与往复丝杆传动相连，二号伞齿8设于花键轴7的下端，且二号伞齿8与传动伞齿4相啮合；

离合机构，包括移动座、拉簧10和提拉绳11，移动座设于传动伞齿4的上方，且移动座能够进行自由升降，二号伞齿8与移动座相连，提拉绳11将滑块6和移动座相连，用于滑块6上移时带动移动座上行，使得二号伞齿8与传动伞齿4分离，拉簧10与移动座相连，拉簧10用于滑块6下移时，拉扯移动座下移复位，且使得二号伞齿8与传动伞齿4再次啮合；

其中，两个花键轴7共用一个驱动源，两个竖直翻转臂用于同步翻转，使得两个清洁组件中的其中一个滚筒刷1相向靠近且最终位于同一水平面上，此时位于内侧的两个滚筒之间形成用于插放晶圆的空隙。

参考图1和图4所示，每个竖直翻转臂均包括：

两个呈对称状态的水平转板12，二者上下间隔分布，两个水平转板12之间通过一个立板13相连；

两个呈对称状态的竖直转轴14，每个竖直转轴14均转动设于两个水平转板12之间，两个竖直转轴14沿其中一个水平转板12的长度方向间隔分布，每个滚筒刷1均固定套设于对应的竖直转轴14上；

容纳壳15，与位于上方的水平转板12相固连，从动机构和驱动机构设于容纳壳15内；

其中，两个竖直翻转臂的上方和下方分别设有驱动仓16和水平支撑板17，每个位于下方的水平转板12均与水平支撑板17轴接，每个容纳壳15均与驱动仓16轴接，水平支撑板17上固定设有两个呈对称状态且分别用于驱动两个位于下方的水平转板12同步旋转的一号电机18，驱动两个花键轴7同步旋转的驱动源与驱动仓16相连。

一号电机18为步进电机，每次旋转180°，使得位于下方的水平转板12每次转动180°，由于两个水平转板12通过立板13相连，那么位于两个水平转板12之间的两个滚筒刷1会被带动进行180°翻转，以此实现位置调换，那么当位于内侧的两个滚筒刷1自转对晶圆的两侧进行清洁后，此时这两个滚筒上会布满清洁后的污垢，通过启动两个一号电机18，使得每个竖直翻转臂内的两个滚筒刷1进行位置调换，此时旋转至内侧的两个滚筒刷1为清洁状态，之前布满污垢的两个滚筒刷1已旋转至外侧，此时再对两个位于外侧的滚筒刷1进行清洁，以此循环往复，确保晶圆在被两个滚筒刷1清洁前，当前进行清洁的两个滚筒刷1为自身洁净的状态。

参考图4和图10所示，每个竖直转轴14的上端均向上穿入对应的容纳壳15内，每个容纳壳15内均固定设有两个呈对称状态的横向支板19，每个横向支板19均靠近对应的竖直转轴14，每个水平转轴2均设于对应的两个横向支板19之间，且每个水平转轴2的两端均分别与两个横向支板19轴接，每个一号伞齿3均同轴与对应的水平转轴2的一端固连，每个竖直转轴14的上端均同轴固定设有与对应的一号伞齿3相啮合的三号伞齿20，每个传动伞齿4均与对应的水平转轴2的中心处同轴固连。

当传动伞齿4被二号伞齿8驱动旋转时，传动伞齿4会带动水平转轴2进行旋转，从而与水平转轴2一端同轴固连的一号伞齿3会带动对应的三号伞齿20旋转，进而两个竖直转轴14会同步旋转带动对应的滚筒刷1旋转，其中，两个三号伞齿20会被两个一号伞齿3同步驱动进行相向或者反向旋转，由于两个竖直翻转臂呈对称状态，那么位于内侧的两个滚筒刷1会进行同步的相向旋转或者反向旋转，此时将晶圆呈竖直放置于位于内侧的两个滚筒刷1之间，那么通过两个滚筒刷1同步的相向旋转或者反向旋转即可实现对晶圆两侧的清洁。

参考图4、图7和图10所示，每个驱动机构均还包括四根呈矩阵固定设于对应的容纳壳15内的限位立柱21，往复丝杆管5位于四个限位立柱21的中心处，每个限位立柱21均穿过滑块6，滑块6的正下方设有与四个限位立柱21固连的水平承托板22，水平承托板22上固定设有呈水平的一号轴承23，行星齿轮机构9设于一号轴承23的上方，且行星齿轮机构9的内齿圈与一号轴承23的外圈固连，往复丝杆管5的下端与行星齿轮机构9的内齿圈固连，行星齿轮机构9的中心齿轮与一号轴承23的内圈固连，花键轴7同轴竖直穿过行星齿轮机构9的中心齿轮。

首先滑块6在加工时，在其内加工一个与往复丝杆管5螺纹配合的螺纹槽（未在图中示出），同时由于四个限位立柱21的限位作用，那么当往复丝杆管5旋转时，滑块6会在往复丝杆管5上进行升降，当花键轴7旋转时，会驱动行星齿轮机构9的中心齿轮（中心齿轮参考图7所指a）进行旋转，那么通过行星齿轮机构9的传动减速作用，与行星齿轮机构9的内齿圈（内齿圈参考图7所指b）固连的往复丝杆管5会进行减速旋转，此时滑块6则会在往复丝杆管5上进行缓慢的升降运动，通过滑块6缓慢的上升来驱动提拉绳11牵引移动座上移，并且在滑块6缓慢下降时通过拉簧10拉扯移动座复位，以此实现二号伞齿8与传动伞齿4的离合。

参考图8至图10所示，每个移动座均包括：

呈水平的连接板24，设于对应的传动伞齿4的上方；

两个呈对称状态的竖直限位轴25，二者分别固定设于连接板24的两端，每个竖直限位轴25均竖直朝下；

二号轴承26，呈水平固定嵌设于连接板24的中心处；

其中，每个容纳壳15内的底部均固定有两个呈对称状态的限位套27，每个竖直限位轴25的下端均向下插入对应的限位套27内，每个移动座内的拉簧10的数量为两个，每个拉簧10均呈竖直设于对应的限位套27内，每个拉簧10的下端均与对应的限位套27内的底部固连，每个拉簧10的上端均与对应的竖直限位轴25的底部固连，每个花键轴7的底端均同轴成型有一个向下插入对应的二号轴承26内且与二号轴承26的内圈相固连的旋转柱28，每个二号伞齿8均与旋转柱28同轴固连，每个移动座内的提拉绳11数量为两个，两个提拉绳11呈对称状态分别设于滑块6的两侧，每个提拉绳11的两端均分别与滑块6的底部和连接板24的顶部相固连。

首先加工连接板24时，可在连接板24的中心处加工一个用于嵌设二号轴承26的嵌槽，二号轴承26的外圈与嵌槽固连，当两个滑块6下降时，两个提拉绳11处于松弛的状态，并且与花键轴7下端同轴固连的二号伞齿8处于与传动伞齿4相啮合的状态，此时两个滚筒刷1被驱动旋转，一旦当滑块6上升至两个提拉绳11处于紧绷后，滑块6继续上升时，滑块6会通过两个提拉绳11将连接板24向上提起，此时连接板24带动二号轴承26上移，二号轴承26带动花键轴7上移，花键轴7带动二号伞齿8上移，从而使得二号伞齿8与传动伞齿4相分离，此时插入限位套27内的竖直限位轴25会上移拉伸对应的拉簧10，此过程中同步启动两个一号电机18使得两个竖直翻转臂进行180°翻转，那么当滑块6下降后，两个提拉绳11处于松弛状态，此时通过两个拉簧10的复位弹力拉扯两个竖直限位轴25在两个限位套27内向下位移，从而使得连接板24下移，进而确保二号伞齿8再次与传动伞齿4啮合，此过程中花键轴7始终处于转动的状态，一旦当二号伞齿8与传动伞齿4再次啮合时，传动伞齿4即会旋转，由于滑块6为缓慢升降，那么两个拉簧10会逐步拉扯连接板24下移，二号伞齿8处于缓慢下移与传动伞齿4啮合，所以不会出现撞齿的情况。

参考图4至图6所示，驱动仓16为呈水平的条形壳体，驱动源为呈竖直设于驱动仓16顶部的二号电机29，二号电机29的输出轴竖直向下穿入驱动仓16内，每个花键轴7的上端均向上穿入驱动仓16的一端内，每个花键轴7的上端均同轴套设有一个三号轴承30，每个三号轴承30的外圈均与对应的容纳壳15的顶部固连，驱动仓16内设有两个一号同步轮31和两个二号同步轮32，两个一号同步轮31呈对称状态分别与二号电机29的输出轴和其中一个花键轴7的上端同轴固连，两个一号同步轮31之间通过一号同步带33传动相连，两个二号同步轮32呈对称状态分别与二号电机29的输出轴和另外一个花键轴7的上端同轴固连，两个二号同步轮32之间通过二号同步带34传动相连。

二号电机29在清洁的过程中始终开启，二号电机29启动后，两个一号同步轮31和两个二号同步轮32会同步转动，那么对应的两个花键轴7会同步进行旋转，当两个提拉绳11牵引连接板24上升时，花键轴7会处于旋转的状态进行上升，一旦当二号伞齿8与传动伞齿4分离后，即可通过两个一号电机18驱动两个竖直旋转臂进行180°翻转，使得两个滚筒刷1进行位置调换，由于两个竖直旋转臂在清洁时需要反复翻转，以确保滚筒刷1在清洁前，自身处于清洁的状态，所以通过离合机构使得二号电机29在两个竖直旋转臂进行翻转时不停机，从而可以有效避免短时间内反复启动和关闭二号电机29，导致二号电机29的损伤。

参考图1和图2所示，驱动仓16的顶部正对两个花键轴7上端的位置分别开设有两个避让通孔35。

避让通孔35用于防止花键轴7上升时，花键轴7的上端与驱动仓16相碰撞。

参考图4所示，每个容纳壳15内的顶部均固定设有一个用于供对应的滑块6上移后碰触的接近开关36。

两个接近开关36分别通过两个控制器（未在图中示出）与两个一号电机18电连接，当每个滑块6上移至碰触接近开关36后，对应的接近开关36会传输电信号给对应的控制器，使得控制器启动对应的一号电机18进行一次旋转，并且滑块6在往复丝杆管5上进行往复升降，所以每次滑块6上升碰触接近开关36时，对应的竖直翻转臂即会翻转一次。

工作原理：

当位于内侧的两个滚筒刷1对晶圆的两侧进行刷洗后，两个滚筒刷1上会布满污垢以及刷洗下来的碎屑，此时需要立即使两个竖直翻转臂同步进行180°翻转，使得当前进行清洁的滚筒处于自洁净的状态，那么在整个清洁的过程中，两个竖直翻转臂需要不断的进行180°的翻转，此时可通过进行往复升降的滑块6来碰触对应的接近开关36，使得接近开关36启动对应的一号电机18来驱动竖直翻转臂进行180°翻转，在竖直翻转臂翻转的过程中，由于滑块6处于上升的状态，那么通过两个提拉绳11来牵引连接板24上升，使得花键轴7带动二号伞齿8与传动伞齿4分离，以此确保每个竖直翻转臂能够进行翻转，同时一号电机18的转速相对较大，防止竖直翻转臂还未完全翻转时，滑块6已经下降，使得二号伞齿8与传动伞齿4再次啮合，此时竖直翻转臂翻转不动，并且会使二号伞齿8与传动伞齿4相互摩擦损坏，在整个清洁过程中，二号电机29始终处于开启的状态，两个花键轴7始终处于旋转的状态，那么通过离合机构确保了竖直翻转臂能够进行翻转的同时避免了反复启动和关闭二号电机29时对二号电机29造成的损伤。

以上实施例仅表达了本发明的一种或几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (8)

1.一种枚叶式晶圆清洗机，其特征在于，包括两组呈对称状态且转动设置的竖直翻转臂，每组竖直翻转臂上均设有清洁组件，每个清洁组件均包括：

两个呈对称状态的滚筒刷（1），每个滚筒刷（1）均呈竖直转动设置；

从动机构，设于两个滚筒刷（1）的上方，从动机构包括水平转轴（2）和两个分别设于水平转轴（2）两端的一号伞齿（3），两个一号伞齿（3）分别用于驱动两个滚筒刷（1）同步反向旋转，水平转轴（2）的中心处设有传动伞齿（4）；

驱动机构，设于从动机构的上方，驱动机构包括往复丝杆管（5）、滑块（6）、花键轴（7）和二号伞齿（8），往复丝杆管（5）呈竖直转动设置，滑块（6）滑动设于往复丝杆管（5）上，花键轴（7）呈竖直转动设于往复丝杆管（5）内，并且花键轴（7）通过行星齿轮机构（9）与往复丝杆传动相连，二号伞齿（8）设于花键轴（7）的下端，且二号伞齿（8）与传动伞齿（4）相啮合；

离合机构，包括移动座、拉簧（10）和提拉绳（11），移动座设于传动伞齿（4）的上方，且移动座能够进行自由升降，二号伞齿（8）与移动座相连，提拉绳（11）将滑块（6）和移动座相连，用于滑块（6）上移时带动移动座上行，使得二号伞齿（8）与传动伞齿（4）分离，拉簧（10）与移动座相连，拉簧（10）用于滑块（6）下移时，拉扯移动座下移复位，且使得二号伞齿（8）与传动伞齿（4）再次啮合；

其中，两个花键轴（7）共用一个驱动源，两个竖直翻转臂用于同步翻转，使得两个清洁组件中的其中一个滚筒刷（1）相向靠近且最终位于同一水平面上，此时位于内侧的两个滚筒之间形成用于插放晶圆的空隙。

2.根据权利要求1所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征在于，每个竖直翻转臂均包括：

两个呈对称状态的水平转板（12），二者上下间隔分布，两个水平转板（12）之间通过一个立板（13）相连；

两个呈对称状态的竖直转轴（14），每个竖直转轴（14）均转动设于两个水平转板（12）之间，两个竖直转轴（14）沿其中一个水平转板（12）的长度方向间隔分布，每个滚筒刷（1）均固定套设于对应的竖直转轴（14）上；

容纳壳（15），与位于上方的水平转板（12）相固连，从动机构和驱动机构设于容纳壳（15）内；

其中，两个竖直翻转臂的上方和下方分别设有驱动仓（16）和水平支撑板（17），每个位于下方的水平转板（12）均与水平支撑板（17）轴接，每个容纳壳（15）均与驱动仓（16）轴接，水平支撑板（17）上固定设有两个呈对称状态且分别用于驱动两个位于下方的水平转板（12）同步旋转的一号电机（18），驱动两个花键轴（7）同步旋转的驱动源与驱动仓（16）相连。

3.根据权利要求2所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征在于，每个竖直转轴（14）的上端均向上穿入对应的容纳壳（15）内，每个容纳壳（15）内均固定设有两个呈对称状态的横向支板（19），每个横向支板（19）均靠近对应的竖直转轴（14），每个水平转轴（2）均设于对应的两个横向支板（19）之间，且每个水平转轴（2）的两端均分别与两个横向支板（19）轴接，每个一号伞齿（3）均同轴与对应的水平转轴（2）的一端固连，每个竖直转轴（14）的上端均同轴固定设有与对应的一号伞齿（3）相啮合的三号伞齿（20），每个传动伞齿（4）均与对应的水平转轴（2）的中心处同轴固连。

4.根据权利要求2所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征在于，每个驱动机构均还包括四根呈矩阵固定设于对应的容纳壳（15）内的限位立柱（21），往复丝杆管（5）位于四个限位立柱（21）的中心处，每个限位立柱（21）均穿过滑块（6），滑块（6）的正下方设有与四个限位立柱（21）固连的水平承托板（22），水平承托板（22）上固定设有呈水平的一号轴承（23），行星齿轮机构（9）设于一号轴承（23）的上方，且行星齿轮机构（9）的内齿圈与一号轴承（23）的外圈固连，往复丝杆管（5）的下端与行星齿轮机构（9）的内齿圈固连，行星齿轮机构（9）的中心齿轮与一号轴承（23）的内圈固连，花键轴（7）同轴竖直穿过行星齿轮机构（9）的中心齿轮。

5.根据权利要求1所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征在于，每个移动座均包括：

呈水平的连接板（24），设于对应的传动伞齿（4）的上方；

两个呈对称状态的竖直限位轴（25），二者分别固定设于连接板（24）的两端，每个竖直限位轴（25）均竖直朝下；

二号轴承（26），呈水平固定嵌设于连接板（24）的中心处；

其中，每个容纳壳（15）内的底部均固定有两个呈对称状态的限位套（27），每个竖直限位轴（25）的下端均向下插入对应的限位套（27）内，每个移动座内的拉簧（10）的数量为两个，每个拉簧（10）均呈竖直设于对应的限位套（27）内，每个拉簧（10）的下端均与对应的限位套（27）内的底部固连，每个拉簧（10）的上端均与对应的竖直限位轴（25）的底部固连，每个花键轴（7）的底端均同轴成型有一个向下插入对应的二号轴承（26）内且与二号轴承（26）的内圈相固连的旋转柱（28），每个二号伞齿（8）均与旋转柱（28）同轴固连，每个移动座内的提拉绳（11）数量为两个，两个提拉绳（11）呈对称状态分别设于滑块（6）的两侧，每个提拉绳（11）的两端均分别与滑块（6）的底部和连接板（24）的顶部相固连。

6.根据权利要求2所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征在于，驱动仓（16）为呈水平的条形壳体，驱动源为呈竖直设于驱动仓（16）顶部的二号电机（29），二号电机（29）的输出轴竖直向下穿入驱动仓（16）内，每个花键轴（7）的上端均向上穿入驱动仓（16）的一端内，每个花键轴（7）的上端均同轴套设有一个三号轴承（30），每个三号轴承（30）的外圈均与对应的容纳壳（15）的顶部固连，驱动仓（16）内设有两个一号同步轮（31）和两个二号同步轮（32），两个一号同步轮（31）呈对称状态分别与二号电机（29）的输出轴和其中一个花键轴（7）的上端同轴固连，两个一号同步轮（31）之间通过一号同步带（33）传动相连，两个二号同步轮（32）呈对称状态分别与二号电机（29）的输出轴和另外一个花键轴（7）的上端同轴固连，两个二号同步轮（32）之间通过二号同步带（34）传动相连。

7.根据权利要求6所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征在于，驱动仓（16）的顶部正对两个花键轴（7）上端的位置分别开设有两个避让通孔（35）。

8.根据权利要求2所述的一种枚叶式晶圆清洗机，其特征在于，每个容纳壳（15）内的顶部均固定设有一个用于供对应的滑块（6）上移后碰触的接近开关（36）。

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