CN115414978A - 无污染耐腐蚀液体化学品定量机构及其定量方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种无污染耐腐蚀液体化学品定量机构及其定量方法，包括圆柱形定量容器和驱动组件；本发明采用抽气泵抽取圆柱形定量容器内的气体，使圆柱形定量容器内形成负压，以吸入液体化学品；当化学品液位到达液位传感器监测位置时，关闭液体化学品入口的第三气动阀，即完成液体化学品的定量吸取；然后打开第四气动阀，关闭第一气动阀，打开第二气动阀，将容器内的液体化学品吹入接收容器内。本发明采用非接触式的方式设定及监测圆柱形定量容器内的液体化学品高度，可准确定量圆柱形定量容器内的液体化学品的体积，避免传感器与化学品直接接触，避免传感器的材料污染化学品，且可防止传感器被化学品腐蚀；且传感器位置可以自动连续设定。
Description
技术领域
本发明属于液体化学品定量设备的技术领域，具体涉及一种无污染耐腐蚀液体化学品定量机构及其定量方法。
背景技术
液体化学品准确定量是基本的化学操作，常见的液体化学品定量工具包括移液管（连续刻度和单一刻度移液管）、量筒、滴定管、容量瓶等；天平也可以用于液体化学品定量，即准确称取液体化学品的质量，通过密度换算为体积；此外，注射器、计量泵也可用于液体化学品定量。
高纯液体化学品在半导体、制药、食品、分析化学实验等领域有重要作用，这些高纯化学品中杂质含量极低，另一方面，有些高纯液体化学品，如硝酸、硫酸、氢氟酸、过氧化氢等具有强腐蚀性。
高纯液体化学品无污染定量操作有一定的难度，其难点有三方面：污染、腐蚀性和定量的准确性。现有定量工具移液管、量筒、滴定管、容量瓶、天平、注射器和计量泵等对高纯液体化学品定量存在的问题如下：
（1）现有的移液管、量筒、滴定管、容量瓶定量工具存在的问题：如果器皿是玻璃材料，则不能用于腐蚀性高纯化学品，因为玻璃材料在腐蚀性化学品介质中释放微量的杂质会污染高纯化学品；氢氟酸还会腐蚀玻璃材料。另一方面，即使这些器皿采用耐腐蚀高纯氟塑料（如PFA、PTFE等），虽然解决了材料杂质和腐蚀性问题，但是这些器皿需要在开放体系下进行人工操作，容易引入污染；
（2）天平定量存在的问题：开放体系下进行人工操作，容易引入污染；
（3）注射器定量存在的问题：注射器的针筒与活塞之间的摩擦作用会产生颗粒物，颗粒物会污染高纯化学品；
（4）计量泵存在的问题：计量泵有隔膜泵、柱塞泵、波纹泵等，现有的计量泵与液体化学品接触的部分有运动部件：如隔膜泵的隔膜，柱塞泵的活塞，波纹泵的波纹管，这些运动部件在运动过程中会产生微量的颗粒物，释放到高纯化学品中，会污染高纯化学品。另一方面，计量泵是通过多次小体积累计定量，即计量泵定量的累计误差较大。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术中的上述不足，提供一种无污染耐腐蚀液体化学品定量机构及其定量方法，以解决现有定量机构测量误差较大且对高纯化学品造成污染的问题。
为达到上述目的，本发明采取的技术方案是：
第一方面，一种无污染耐腐蚀液体化学品定量机构，其包括圆柱形定量容器、前面板和驱动组件；圆柱形定量容器安装于前面板上预留的贯穿槽中；圆柱形定量容器的一侧面上固定有多块固定块，多块固定块沿所述圆柱形定量容器的竖直方向等间距的分布，且多块固定块将所述圆柱形定量容器卡设于前面板上；圆柱形定量容器的另一侧面上安装有弧形传感器座，弧形传感器座内安装有一对监测圆柱形定量容器内液位的光学传感器；弧形传感器座与驱动组件相连，驱动组件带动所述弧形传感器座在前面板的贯穿槽中上下滑动；
圆柱形定量容器的两端分别与第一接头和第二接头密封连接；第一接头和第二接头分别与第一三通和第二三通相连；第一三通分别与第一气动阀和第二气动阀连接；第一气动阀与抽气泵相通；第二气动阀与外部压力气体相连；第二三通分别连接第三气动阀和第四气动阀；第三气动阀连接液体化学品，第四气动阀与收集容器连接；第二三通和第四气动阀之间的管道上安装有排液传感器。
进一步地，固定块的一面开设有与圆柱形定量容器适配的弧形槽，弧形槽的弧度大于180°；固定块和前面板上均开设有多个螺纹孔；固定块上的弧形槽紧贴于圆柱形定量容器的外侧面，并采用螺栓穿过所述螺纹孔将圆柱形定量容器紧固于所述前面板上。
进一步地，弧形传感器座的弧形面的弧度小于180°，其弧形面与圆柱形定量容器同轴心；弧形传感器座的弧形面与圆柱形定量容器的弧形面之间存在间隙；弧形传感器座内的一对光学传感器包括发射管和接收管；发射管和接收管对称分布在弧形传感器座的两侧。
进一步地，驱动组件包括电机、丝杆和传动块；电机固定于支撑架上，电机的输出轴与丝杆同轴固定，丝杆随电机同步转动；传动块的一端上安装丝杆螺母，丝杆螺母与丝杆螺纹连接；弧形传感器座固定在传动块的另一端；传动块上穿设有光轴，光轴与丝杆之间平行设置。
进一步地，圆柱形定量容器的材质为PFA氟塑料，第一接头和第二接头的材质为PFA或聚四氟乙烯材料。
第二方面，一种无污染耐腐蚀液体化学品定量机构的定量方法，包括以下步骤：
S1、启动电机正向转动，电机与丝杆同步转动，带动丝杆螺母、传动块和弧形传感器座向下运动，直至光学传感器发射的传感器发射光线被第二接头挡住时，将该位置定位为圆柱形定量容器的初始点；
然后电机反向转动，丝杆反向转动，丝杆螺母向上运动，将弧形传感器座中的传感器发射光线升至圆柱形定量容器的预设位置，该预设位置即为圆柱形定量容器将吸取的液体化学品的高度；
S2、关闭第四气动阀和第二气动阀，打开第三气动阀和第一气动阀；开启抽气泵，抽出圆柱形定量容器内的气体，圆柱形定量容器内部形成负压，液体化学品经过第三气动阀、第二三通和第二接头进入圆柱形定量容器中，圆柱形定量容器中的液位升高，当液位升高至步骤S1中的预设位置时，弧形传感器座内的光学传感器接收到该液位信息，并触发关闭第三气动阀，停止液体化学品的吸取，即完成液体化学品的定量吸取；
S3、将圆柱形定量容器中的液体化学品定量转移至收集容器中。
进一步地，步骤S3将圆柱形定量容器中的液体化学品定量转移至收集容器中，包括部分定量排放，其具体步骤为：
停止抽气泵，关闭第一气动阀，电机正向转动，将弧形传感器座向下移动至设定的排放位置，再依次打开第二气动阀和第四气动阀，压力气体经过第二气动阀、第一三通和第一接头进入圆柱形定量容器内，将圆柱形定量容器中的液体化学品经第二三通、第四气动阀压入收集容器中；随着圆柱形定量容器内液体减少，其内的液位向下移动，当液位到达弧形传感器座设定排放位置时，立即关闭第四气动阀，设定的定量体积的液体化学品完全进入收集容器。
进一步地，步骤S3将圆柱形定量容器中的液体化学品定量转移至收集容器中，包括全部定量排放，其具体步骤为：
停止抽气泵，关闭第一气动阀，电机正向转动，将弧形传感器座向下移动回到初始点，再依次打开第二气动阀和第四气动阀，压力气体经过第二气动阀、第一三通和第一接头进入圆柱形定量容器内，将圆柱形定量容器中的液体化学品经第二三通、第四气动阀压入收集容器中；随着圆柱形定量容器内液体减少，其内的液位向下移动，当液位到达排液传感器时，再延时预设的时间后，直至所有液体化学品完全进入收集容器。
进一步地，步骤S2中液体化学品的定量吸取的体积计算为：
其中，V为液体化学品定量体积，r为圆柱形定量容器的半径，h为弧形液位传感器座的当前位置与初始点位置的高度差，V o 为死体积，死体积包括第二接头内部死体积、第二接头至第二三通之间管道的死体积之和；
步骤S3中液体化学品的部分定量排放的体积计算为：
其中，V d 为液体化学品定量排放的体积，
为弧形液位传感器座的当前位置与最
近的上一次位置的高度差。
进一步地，步骤S3中液体化学品的全部定量排放的体积等于步骤S2中定量吸取的化学总体积，即等于步骤S2吸取的液体一次全部排放至收集容器中。
本发明提供的无污染耐腐蚀液体化学品定量机构及其定量方法，具有以下有益效果：
1、与现有的注射器和定量泵技术比较，注射器和定量泵与化学品接触的部分有摩擦运动件，会产生颗粒物，污染高纯化学品；
本发明的定量机构与化学品接触的部分没有摩擦运动的部件，不会产生颗粒物，不会污染高纯化学品，通过圆柱形定量容器外部的抽气泵将化学品吸入圆柱形定量容器内，提供动力的机构不接触化学品，避免污染。
2、本发明采用非接触式传感器准确设定圆柱形定量容器内的液体化学品高度，以准确定量圆柱形定量容器内化学品的体积（质量），避免传感器与化学品直接接触，避免传感器的材料污染化学品，又防止传感器被化学品腐蚀。
3、本发明的圆柱形定量容器采用耐腐蚀高纯材料（如PFA、PTFE、PCTE等氟塑料），既不污染高纯化学品，又耐受化学品腐蚀。与传统玻璃移液管、量筒、滴定管等比较，玻璃器皿会释放杂质，污染高纯化学品。
4、本发明的核心部件均为固定的静态部件，比注射器和定量泵的寿命长。
5、本发明采用高分辨液位传感器（光学传感器）控制圆柱形定量容器内的化学品的液位，其分辨率优于人眼；与传统的移液管、量筒、滴定管等量具比较，这些定量器具依赖人眼观察液位高度，分辨率低，误差大。
6、本发明是封闭结构，可避免操作过程中环境中颗粒物污染化学品，也可减少挥发性化学品对操作者的危害。与移液管、滴定管、量筒、天平等人工定容器具比较，这些敞开环境下的操作可增加环境颗粒物污染化学品的机会。
7、本发明监测液位的光学传感器安装在可上下运动的驱动组件上，可以准确控制光学传感器的高度，实现连续定量液体高度（刻度）的设定。
8、本发明采用多块弧形固定块（其弧长大于180°）卡住弹性塑料的圆柱形定量容器，以保持圆柱形定量容器竖直（不发生形变），保证管内液位与体积（质量）的准确定量关系。
9、本发明采用压力气体方式将圆柱形定量管内的液体化学品吹出至收集容器中，避免注射器用活塞推出的方式，避免了摩擦部件产生颗粒物污染高纯化学品的风险。
附图说明
图1为本发明定量结构的正视图。
图2为本发明定量结构的侧视图。
图3为本发明圆柱形定量容器结构图。
图4为本发明固定块侧视图。
图5为本发明固定块立体图。
图6为本发明弧形传感器座结构图。
其中，1、圆柱形定量容器；2、固定块；3、第二三通；4、第一三通；5、第三气动阀；6、第四气动阀；7、第一气动阀；8、第二气动阀；9、抽气泵；10、第一接头；11、第二接头；12、弧形传感器座；13、前面板；14、排液传感器；15、电机；16、丝杆；17、丝杆螺母；18、传动块；19、光轴；20、传感器发射光线。
具体实施方式
下面对本发明的具体实施方式进行描述，以便于本技术领域的技术人员理解本发明，但应该清楚，本发明不限于具体实施方式的范围，对本技术领域的普通技术人员来讲，只要各种变化在所附的权利要求限定和确定的本发明的精神和范围内，这些变化是显而易见的，一切利用本发明构思的发明创造均在保护之列。
实施例1
参考图1、图2和图3，本实施例的无污染耐腐蚀液体化学品定量机构，本实施例解决了高纯化学品无污染定量的技术难题，克服现有定量器具的缺陷：定量器具的材料或结构对高纯化学品造成的污染，其具体包括：圆柱形定量容器1、前面板13和驱动组件。
本实施例的核心部件为圆柱形定量容器1，是液体化学品定量容器。圆柱形定量容器1中液体化学品的体积与圆柱形定量容器1内液体化学品的高度成定量函数关系（如线性关系），即本实施例的原理是基于圆柱形定量容器1的内径一定，控制容器内液体化学品的高度以实现化学品定量之目的。
具体地，本实施例为了防止圆柱形定量容器1的料释放杂质污染高纯液体化学品，同时为了防止圆柱形定量容器1本身被化学品腐蚀，选用高纯PFA氟塑料作为圆柱形定量容器1材料。
但是PFA氟塑料具有弹性，容易弯曲，故本实施例将圆柱形定量容器1安装于前面板13上预留的贯穿槽中，在圆柱形定量容器1的一侧面上固定有多块固定块2，多块固定块2沿圆柱形定量容器1的竖直方向等间距的分布，且多块固定块2将圆柱形定量容器1卡设于前面板13上。
参考图4和图5，固定块2的一面开设有与圆柱形定量容器1适配的弧形槽，弧形槽的内径与圆柱形定量容器1的外径相等，弧形槽的弧度略大于180°，以保证圆柱形定量容器1能被固定块2的弧形槽紧紧地卡住，防止弹性的圆柱形定量容器1从固定块2的弧形面内弹出。
固定块2和前面板13上均开设有多个螺纹孔；固定块2上的弧形槽紧贴于圆柱形定量容器1的外侧面，并采用螺栓穿过螺纹孔将圆柱形定量容器1紧固于前面板13上。
本实施例的多块固定块2与前面板13的配合连接，使圆柱形定量容器1保持竖直，以保证圆柱形定量容器1内的内径处处一致，以确保可以准确的定量液体化学品的体积或质量。
参考图6，圆柱形定量容器1的另一侧面上安装有弧形传感器座12，弧形传感器座12内安装有一对监测圆柱形定量容器1内液位的光学传感器；弧形传感器座12内的一对光学传感器包括发射管和接收管；发射管和接收管对称分布在弧形传感器座12的两侧。发射管发射的传感器发射光线20透过圆柱形定量容器1，以监测圆柱形定量容器1内的液位。
弧形传感器座12的弧形面的弧度小于180°，其弧形面与圆柱形定量容器1同轴心；弧形传感器座12的弧形面与圆柱形定量容器1的弧形面之间存在间隙，该间隙可防止弧形传感器座12与圆柱形定量容器1之间产生摩擦。
弧形传感器座12与驱动组件相连，驱动组件作业以带动弧形传感器座12在前面板13的贯穿槽中上下滑动。
驱动组件包括电机15、丝杆16和传动块18；电机15固定于支撑架上，电机15的输出轴与丝杆16同轴固定，丝杆16随电机15同步转动；传动块18的一端上安装丝杆螺母17，丝杆螺母17与丝杆16螺纹连接；弧形传感器座12固定在传动块18的另一端；传动块18上穿设有光轴19，光轴19与丝杆16之间平行设置。
在具体作业时，丝杆16随电机15同步转动，丝杆16正反转动使丝杆螺母17、传动块18和弧形传感器座12一起沿光轴19上下运动；即带动弧形传感器座12在前面板13的贯穿槽中上下滑动。
参考图1，圆柱形定量容器1的两端分别与第一接头10和第二接头11密封连接。本实施例的第一接头10和第二接头11的材质为高纯度、耐腐蚀的PFA或聚四氟乙烯材料（PTFE）。
第一接头10和第二接头11分别与第一三通4和第二三通3相连；第一三通4分别与第一气动阀7和第二气动阀8连接；第一气动阀7与抽气泵9相通；第二气动阀8与外部压力气体相连；第二三通3分别连接第三气动阀5和第四气动阀6；第三气动阀5连接液体化学品，第四气动阀6与收集容器连接。
本实施例的压力气体可以由压缩钢瓶、空压机或吹气泵提供。
第二三通3和第四气动阀6之间的管道上安装有排液传感器14，排液传感器14用于判断排液时管内的液位。
本实施例的圆柱形定量容器1内液体化学品高度通过圆柱形定量容器1外壁的液位传感器（一对光学传感器）控制，该液位传感器上下位置（高度）的移动可由驱动组件控制。
其中，第三气动阀5和第四气动阀6用于切换液体化学品流路及方向，第一气动阀7和第二气动阀8用于切换气体流路及方向；抽气泵9用于抽取圆柱形定量容器1内的气体，使圆柱形定量容器1内形成负压，以实现从圆柱形定量容器1下端吸入液体化学品。当圆柱形定量容器1内的化学品液位到达液位传感器监测位置时，立即关闭液体化学品入口的第三气动阀5，此刻即完成液体化学品的定量吸取。然后再依次切换第一气动阀7、第二气动阀8和第四气动阀8：关闭第一气动阀，打开第二气动阀，打开第四气动阀，具有一定压力的气体进入圆柱形定量容器1上部，将容器内的液体化学品经第四气动阀6吹入接收容器内。
实施例2
参考图1~图6，本实施例一种采用无污染耐腐蚀液体化学品定量机构的定量方法，包括以下步骤：
步骤S1、设定液体化学品在圆柱形定量容器1内的定量高度，其具体包括：
启动电机15正向转动，电机15与丝杆16同步转动，带动丝杆螺母17、传动块18和弧形传感器座12向下运动，直至光学传感器发射的传感器发射光线20被第二接头11挡住时，将该位置定位为圆柱形定量容器1的初始点；
然后电机15反向转动，丝杆16反向转动，丝杆螺母17向上运动，将弧形传感器座12中的传感器发射光线20升至圆柱形定量容器1的预设位置，该预设位置即为圆柱形定量容器1将吸取的液体化学品的高度。
步骤S2、将液体化学品定量吸取至圆柱形定量容器1中，其具体包括：
关闭第四气动阀6和第二气动阀8，打开第三气动阀5和第一气动阀7；开启抽气泵9，抽出圆柱形定量容器1内的气体，圆柱形定量容器1内部形成负压，液体化学品经过第三气动阀5、第二三通3和第二接头11进入圆柱形定量容器1中，圆柱形定量容器1中的液位升高，当液位升高至步骤S1中的预设位置时，弧形传感器座12内的光学传感器接收到该液位信息，并触发立即关闭第三气动阀5，停止液体化学品的吸取，即完成液体化学品的定量吸取；
其中，液体化学品的定量吸取的体积计算为：
其中，V为液体化学品定量体积，r为圆柱形定量容器1的半径，h为弧形液位传感器座的当前位置与初始点位置的高度差，V o 为死体积，死体积包括第二接头11内部死体积、第二接头11至第二三通3之间管道的死体积之和。
步骤S3、将圆柱形定量容器1中的液体化学品定量转移至收集容器中，其具体包括两种定量排放方式：
第一种，部分定量排放方式：
停止抽气泵9，关闭第一气动阀7，电机15正向转动，将弧形传感器座12向下移动至设定的排放位置，再依次打开第二气动阀8和第四气动阀6，压力气体经过第二气动阀8、第一三通4和第一接头10进入圆柱形定量容器1内，将圆柱形定量容器1中的液体化学品经第二三通3、第四气动阀6压入收集容器中；随着圆柱形定量容器1内液体减少，其内的液位向下移动，当液位到达弧形传感器座12设定的排放位置时，立即关闭第四气动阀6，设定定量体积的液体化学品完全进入收集容器。
其中，本步骤液体化学品的部分定量排放的体积计算为：
其中，V d 为液体化学品定量排放的体积，
为弧形液位传感器座的当前位置与最
近的上一次位置的高度差，r为圆柱形定量容器1的半径。
第二种，全部定量排放方式：
停止抽气泵9，关闭第一气动阀7，电机15正向转动，将弧形传感器座12向下移动回到初始点，再依次打开第二气动阀8和第四气动阀6，压力气体经过第二气动阀8、第一三通4和第一接头10进入圆柱形定量容器1内，将圆柱形定量容器1中的液体化学品经第二三通3、第四气动阀6压入收集容器中；随着圆柱形定量容器1内液体减少，其内的液位向下移动，当液位到达排液传感器14时，再延时预设的时间后，直至所有液体化学品完全进入收集容器。
本步骤中液体化学品的全部定量排放的体积等于步骤S2中定量吸取的化学总体积，即等于步骤S2吸取的液体一次全部排放至收集容器中。
虽然结合附图对发明的具体实施方式进行了详细地描述，但不应理解为对本专利的保护范围的限定。在权利要求书所描述的范围内，本领域技术人员不经创造性劳动即可做出的各种修改和变形仍属本专利的保护范围。
Claims (10)
1.一种无污染耐腐蚀液体化学品定量机构，其特征在于：包括圆柱形定量容器、前面板和驱动组件；所述圆柱形定量容器安装于前面板上预留的贯穿槽中；所述圆柱形定量容器的一侧面上固定有多块固定块，多块所述固定块沿所述圆柱形定量容器的竖直方向等间距的分布，且多块所述固定块将所述圆柱形定量容器卡设于前面板上；所述圆柱形定量容器的另一侧面上安装有弧形传感器座，所述弧形传感器座内安装有一对监测所述圆柱形定量容器内液位的光学传感器；所述弧形传感器座与驱动组件相连，所述驱动组件带动所述弧形传感器座在前面板的贯穿槽中上下滑动；
所述圆柱形定量容器的两端分别与第一接头和第二接头密封连接；所述第一接头和第二接头分别与第一三通和第二三通相连；所述第一三通分别与第一气动阀和第二气动阀连接；所述第一气动阀与抽气泵相通；所述第二气动阀与外部压力气体相连；所述第二三通分别连接第三气动阀和第四气动阀；所述第三气动阀连接液体化学品，所述第四气动阀与收集容器连接；所述第二三通和第四气动阀之间的管道上安装有排液传感器。
2.根据权利要求1所述的无污染耐腐蚀液体化学品定量机构，其特征在于：所述固定块的一面开设有与圆柱形定量容器适配的弧形槽，所述弧形槽的弧度大于180°；所述固定块和前面板上均开设有多个螺纹孔；所述固定块上的弧形槽紧贴于圆柱形定量容器的外侧面，并采用螺栓穿过所述螺纹孔将圆柱形定量容器紧固于所述前面板上。
3.根据权利要求1所述的无污染耐腐蚀液体化学品定量机构，其特征在于：所述弧形传感器座的弧形面的弧度小于180°，其弧形面与圆柱形定量容器同轴心；所述弧形传感器座的弧形面与圆柱形定量容器的弧形面之间存在间隙；所述弧形传感器座内的一对光学传感器包括发射管和接收管；所述发射管和接收管对称分布在弧形传感器座的两侧。
4.根据权利要求3所述的无污染耐腐蚀液体化学品定量机构，其特征在于：所述驱动组件包括电机、丝杆和传动块；所述电机固定于支撑架上，所述电机的输出轴与所述丝杆同轴固定，所述丝杆随电机同步转动；所述传动块的一端上安装丝杆螺母，所述丝杆螺母与丝杆螺纹连接；所述弧形传感器座固定在传动块的另一端；所述传动块上穿设有光轴，所述光轴与丝杆之间平行设置。
5.根据权利要求4所述的无污染耐腐蚀液体化学品定量机构，其特征在于：所述圆柱形定量容器的材质为PFA氟塑料，第一接头和第二接头的材质为PFA或聚四氟乙烯材料。
6.一种采用权利要求5所述的无污染耐腐蚀液体化学品定量机构的定量方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、启动电机正向转动，电机与丝杆同步转动，带动丝杆螺母、传动块和弧形传感器座向下运动，直至光学传感器发射的传感器发射光线被第二接头挡住时，将该位置定位为圆柱形定量容器的初始点；
然后电机反向转动，丝杆反向转动，丝杆螺母向上运动，将弧形传感器座中的传感器发射光线升至圆柱形定量容器的预设位置，该预设位置即为圆柱形定量容器将吸取的液体化学品的高度；
S2、关闭第四气动阀和第二气动阀，打开第三气动阀和第一气动阀；开启抽气泵，抽出圆柱形定量容器内的气体，圆柱形定量容器内部形成负压，液体化学品经过第三气动阀、第二三通和第二接头进入圆柱形定量容器中，圆柱形定量容器中的液位升高，当液位升高至步骤S1中的预设位置时，弧形传感器座内的光学传感器接收到该液位信息，并触发关闭第三气动阀，停止液体化学品的吸取，即完成液体化学品的定量吸取；
S3、将圆柱形定量容器中的液体化学品定量转移至收集容器中。
7.根据权利要求6所述的无污染耐腐蚀液体化学品定量机构的定量方法，其特征在于，所述步骤S3将圆柱形定量容器中的液体化学品定量转移至收集容器中，包括部分定量排放，其具体步骤为：
停止抽气泵，关闭第一气动阀，电机正向转动，将弧形传感器座向下移动至设定的排放位置，再依次打开第二气动阀和第四气动阀，压力气体经过第二气动阀、第一三通和第一接头进入圆柱形定量容器内，将圆柱形定量容器中的液体化学品经第二三通、第四气动阀压入收集容器中；随着圆柱形定量容器内液体减少，其内的液位向下移动，当液位到达弧形传感器座设定排放位置时，立即关闭第四气动阀，设定的定量体积的液体化学品完全进入收集容器。
8.根据权利要求6所述的无污染耐腐蚀液体化学品定量机构的定量方法，其特征在于，所述步骤S3将圆柱形定量容器中的液体化学品定量转移至收集容器中，包括全部定量排放，其具体步骤为：
停止抽气泵，关闭第一气动阀，电机正向转动，将弧形传感器座向下移动回到初始点，再依次打开第二气动阀和第四气动阀，压力气体经过第二气动阀、第一三通和第一接头进入圆柱形定量容器内，将圆柱形定量容器中的液体化学品经第二三通、第四气动阀压入收集容器中；随着圆柱形定量容器内液体减少，其内的液位向下移动，当液位到达排液传感器时，再延时预设的时间后，直至所有液体化学品完全进入收集容器。
9.根据权利要求7所述的无污染耐腐蚀液体化学品定量机构的定量方法，其特征在于，所述步骤S2中液体化学品的定量吸取的体积计算为：
其中，V为液体化学品定量体积，r为圆柱形定量容器的半径，h为弧形液位传感器座的当前位置与初始点位置的高度差，V o 为死体积，死体积包括第二接头内部死体积、第二接头至第二三通之间管道的死体积之和；
所述步骤S3中液体化学品的部分定量排放的体积计算为：
其中，V d 为液体化学品定量排放的体积，
为弧形液位传感器座的当前位置与最近的上
一次位置的高度差。
10.根据权利要求8所述的无污染耐腐蚀液体化学品定量机构的定量方法，其特征在于：所述步骤S3中液体化学品的全部定量排放的体积等于步骤S2中定量吸取的化学总体积，即等于步骤S2吸取的液体一次全部排放至收集容器中。
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