CN115356840A - 一种显微镜的锁焦方法及装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种显微镜的锁焦方法及装置，该方法包括：实时采集Z轴位移器的位移数据和载玻片的图像数据；根据所述位移数据和所述图像数据，经过曲线拟合处理，得到位移数据和图像数据之间的线性关系；根据所述线性关系，调整Z轴位移器的位置，实现锁焦。采用本发明实施例，曲线拟合处理以及线性关系的获取不需要用额外的硬件设备获得，在计算机上通过软件即可实现，进而降低了因使用额外硬件设备产生的成本；此外，通过对Z轴位移器的位移数据和载玻片的图像数据的实时采集，结合计算得到的线性关系，对Z轴位移器的调整可实时进行，提高了锁焦的精度。

Description

一种显微镜的锁焦方法及装置
技术领域
本发明涉及显微镜测距技术领域，尤其涉及一种显微镜的锁焦方法及装置。
背景技术
显微镜锁焦主要是锁定显微镜的物镜与样品之间的距离，也就是物镜的焦面；在锁焦过程中，一方面显微镜的探测器用于实时探测物镜与样品之间的距离，另一方面由于通常情况下物镜和样品位移量在20-50nm，因此采用精密的探测器来探测到20nm或更小的值。因此现有技术主要通过包括探测器在内的硬件测量物镜和样品的距离，判断距离是否保持在预设的锁焦距值内，产生偏移则调整物镜与样品之间的距离以实现锁焦功能；为实现这种锁焦方法，需要额外的硬件设备，进而精度较低。
发明内容
本发明提供了一种显微镜的锁焦方法及装置，以解决现有技术需要额外的硬件设备且精度较低的技术问题。
为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种显微镜的锁焦方法，包括：
实时采集Z轴位移器的位移数据和载玻片的图像数据；
根据所述位移数据和所述图像数据，经过曲线拟合处理，得到位移数据和图像数据之间的线性关系；
根据所述线性关系，调整Z轴位移器的位置，实现锁焦。
本发明中曲线拟合处理以及线性关系的获取不需要用额外的硬件设备获得，在计算机上通过软件即可实现，进而降低了因使用额外硬件设备产生的成本；此外，通过对Z轴位移器的位移数据和载玻片的图像数据的实时采集，结合计算得到的线性关系，对Z轴位移器的调整可实时进行，提高了锁焦的精度。
进一步地，所述实时采集Z轴位移器的位移数据和载玻片的图像数据，具体为：
改变Z轴位移器的位置，根据Z轴位移器的移动距离，获取若干个第一位移值；其中，所述位移数据为所述若干个第一位移值；
采集与每个所述位移值对应的载玻片的图像数据。
进一步地，所述改变Z轴位移器的位置，根据Z轴位移器的移动距离，获取若干个第一位移值，可替换为，记录载物台下沉时，Z轴位移器产生的若干个第一位移值。
本发明通过改变Z轴位移器的位置，或者，载物台因自动下沉产生Z轴位移器位置的改变，采集或记录获得Z轴的位移值，并采集每个位移值对应的图像数据，进而当载物台因下沉时，结合线性关系和实施采集的位移值和图像数据，对Z轴位移器进行实时调整，提高了锁焦精度。
进一步地，所述根据所述位移数据和所述图像数据，经过曲线拟合处理，得到位移数据和图像数据之间的线性关系，具体为：
其中，所述位移数据为Z轴位移器的若干个第一位移值；
根据与每个所述第一位移值对应的图像数据，经曲线拟合后，获取若干个第一坐标；
将与每个所述第一坐标对应的所述第一位移值设置为第二坐标，根据若干个第一坐标和若干个第二坐标，选取若干个第一坐标对；
根据所述若干个第一坐标对，计算得到线性方程；其中，所述线性关系包括所述线性方程。
本发明通过Z位移器的位移值和图像数据的质心计算获得线性方程，线性方程表示图像数据与Z轴位移器的位置的线性关系，将当前的采集数据代入线性方程中，即可得到调节Z轴位移器所需要的数据，进而实现对Z轴位移器的实时调节；此外，获取线性方程式时所需的计算，在计算机上即可实现，进而避免了使用额外的硬件设备。
进一步地，所述根据与每个所述第一位移值对应的图像数据，经曲线拟合后，获取若干个第一坐标，具体为：
选取每个图像数据中的质心区域；
对每个所述质心区域进行高斯拟合，得到单峰高斯曲线；
选取每个单峰高斯曲线的最大值对应的位置，并将所述位置设置为第一坐标。
进一步地，所述根据若干个第一坐标和若干个第二坐标，选取若干个坐标对，具体为：
将每个第一坐标与每个所述第一坐标对应的第二坐标组合，生成若干个第二坐标对；
根据一致性采样算法，剔除所述若干个第二坐标对中的误点，得到所述若干个第一坐标对。
本发明通过一致性采样算法剔除了第二坐标对中的误点，消除了采集时产生的误差，进而消除后续计算中的误差，提高了锁焦精度；此外，剔除误点的过程不需要额外的硬件设备，在计算机上即可实现，进而降低了成本。
进一步地，所述根据所述若干个第一坐标对，计算得到线性方程，具体为：
根据所述若干个第一坐标对建立拟合直线方程；
根据所述直线方程，计算得到误差值；
根据最小二乘法和所述误差值，计算得到斜率；
根据所述斜率，建立所述线性方程。
本发明根据最小二乘法和若干个第一坐标对，计算得出斜率；通过所述斜率建立的线性方程，在代入当前图像的质心和偏移量后，可计算出移动Z轴位移器所需的位移值，以实现根据所需的位移值对Z轴位移器进行调节。
进一步地，所述根据所述线性关系，调整Z轴位移器的位置，实现锁焦，具体为：
其中，所述线性关系包括线性方程；
根据要锁焦的图像的质心和Z轴位移器当前的位置，求解得到偏移量；
将所述质心和所述偏移量代入所述线性方程，求解得到锁焦需要的Z轴位移器的第二位移值；
根据所述第二位移值，调整Z轴位移器的位置，以使所述质心回到锁焦的位置。
进一步地，所述图像数据为线性CCD采集载玻片的反射光斑所生成的一维图像数据。
另一方面，本发明还提供了一种显微镜的锁焦装置，包括：采集模块、计算模块和锁焦模块；
其中，采集模块用于实时采集Z轴位移器的位移数据和载玻片的图像数据；
计算模块用于根据所述位移数据和所述图像数据，经过曲线拟合处理，得到位移数据和图像数据之间的线性关系；
锁焦模块用于根据所述线性关系，调整Z轴位移器的位置，实现锁焦。
本发明中曲线拟合处理以及线性关系的获取不需要用额外的硬件设备获得，在计算机上通过软件即可实现，进而降低了因使用额外硬件设备产生的成本；此外，通过对Z轴位移器的位移数据和载玻片的图像数据的实时采集，结合计算得到的线性关系，对Z轴位移器的调整可实时进行，提高了锁焦的精度。
附图说明
图1为本发明提供的显微镜的锁焦方法的一种实施例的流程示意图；
图2为本发明提供的显微镜的锁焦方法的另一种实施例的流程示意图；
图3为本发明提供的显微镜的锁焦方法的再一种实施例的流程示意图；
图4为本发明提供的显微镜的锁焦方法的再一种实施例的流程示意图；
图5为本发明提供的显微镜的锁焦装置的一种实施例的结构示意图；
图6为本发明提供的显微镜的锁焦装置的另一种实施例的结构示意图；
图7为本发明提供的显微镜的锁焦装置的再一种实施例的结构示意图；
图8为本发明提供的显微镜的锁焦装置的再一种实施例的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一
请参照图1，为本发明提供的显微镜的锁焦方法的一种实施例的流程示意图，其主要包括步骤101至103，具体如下：
步骤101：实时采集Z轴位移器的位移数据和载玻片的图像数据。
在本实施例中，Z轴位移器的位移数据为Z轴位移器控制物镜移动的距离，图像数据为相机通过采集载玻片上的反射光斑生成的图像。
在本实施例中，所述图像数据可以为线性CCD采集载玻片的反射光斑所生成的一维图像数据。
步骤102：根据所述位移数据和所述图像数据，经过曲线拟合处理，得到位移数据和图像数据之间的线性关系。
在本实施例中，通过Z轴位移器移动距离和图像数据之间存在的线性关系，结合当前图像数据的质心，计算得出Z轴位移器所需移动的距离，再对Z轴位移器进行调节，使质心移动到锁焦位置。
步骤103：根据所述线性关系，调整Z轴位移器的位置，实现锁焦。
请参照图2，为本发明提供的显微镜的锁焦方法的另一种实施例的流程示意图。图2与图1的主要区别在于，图2还包括步骤201和步骤202，具体如下：
在本实施例中，步骤201具体为步骤201-步骤202。
步骤201：改变Z轴位移器的位置，根据Z轴位移器的移动距离，获取若干个第一位移值；其中，所述位移数据为所述若干个第一位移值。
在本实施例中，所述改变Z轴位移器的位置，根据Z轴位移器的移动距离，获取若干个第一位移值，可替换为，记录载物台下沉时，Z轴位移器产生的若干个第一位移值。
本发明通过改变Z轴位移器的位置，或者，载物台因自动下沉产生Z轴位移器位置的改变，采集或记录获得Z轴的位移值，并采集每个位移值对应的图像数据，进而当载物台因下沉时，结合线性关系和实施采集的位移值和图像数据，对Z轴位移器进行实时调整，提高了锁焦精度。
请参照图3，为本发明提供的显微镜的锁焦方法的再一种实施例的流程示意图。图3与图1的主要区别在于，图3还包括步骤301至303，具体如下：
在本实施例中，步骤102具体包括步骤301-步骤303。
在本实施例中，所述位移数据为Z轴位移器的若干个第一位移值。
步骤301：根据与每个所述第一位移值对应的图像数据，经曲线拟合后，获取若干个第一坐标。
在本实施例中，所述根据与每个所述第一位移值对应的图像数据，经曲线拟合后，获取若干个第一坐标，具体为：选取每个图像数据中的质心区域；对每个所述质心区域进行高斯拟合，得到单峰高斯曲线；选取每个单峰高斯曲线的最大值对应的位置，并将所述位置设置为第一坐标。
步骤302：将与每个所述第一坐标对应的所述第一位移值设置为第二坐标，根据若干个第一坐标和若干个第二坐标，选取若干个第一坐标对。
在本实施例中，所述若干个第一坐标对的数量大于3个。
在本实施例中，所述根据若干个第一坐标和若干个第二坐标，选取若干个坐标对，具体为：将每个第一坐标与每个所述第一坐标对应的第二坐标组合，生成若干个第二坐标对；根据一致性采样算法，剔除所述若干个第二坐标对中的误点，得到所述若干个第一坐标对。
本发明通过一致性采样算法剔除了第二坐标对中的误点，消除了采集时产生的误差，进而消除后续计算中的误差，提高了锁焦精度；此外，剔除误点的过程不需要额外的硬件设备，在计算机上即可实现，进而降低了成本。
步骤303：根据所述若干个第一坐标对，计算得到线性方程；其中，所述线性关系包括所述线性方程。
在本实施例中，所述根据所述若干个第一坐标对，计算得到线性方程，具体为：根据所述若干个第一坐标对建立拟合直线方程；根据所述直线方程，计算得到误差值；根据最小二乘法和所述误差值，计算得到斜率；根据所述斜率，建立所述线性方程。
本发明根据最小二乘法和若干个第一坐标对，计算得出斜率；通过所述斜率建立的线性方程，在代入当前图像的质心和偏移量后，可计算出移动Z轴位移器所需的位移值，以实现根据所需的位移值对Z轴位移器进行调节。
在本实施例中，所述线性方程表示为y＝kx+b，其中，x为第一坐标的变量，y为第二坐标的变量，k为斜率，b为偏移量。
本发明通过Z位移器的位移值和图像数据的质心计算获得线性方程，线性方程表示图像数据与Z轴位移器的位置的线性关系，将当前的采集数据代入线性方程中，即可得到调节Z轴位移器所需要的数据，进而实现对Z轴位移器的实时调节；此外，获取线性方程式时所需的计算，在计算机上即可实现，进而避免了使用额外的硬件设备。
请参照图4，为本发明提供的显微镜的锁焦方法的再一种实施例的流程示意图。图4与图1的主要区别在于，图3还包括步骤301至303，具体如下：
在本实施例中，所述线性关系包括线性方程。
步骤301：根据要锁焦的图像的质心和Z轴位移器当前的位置，求解得到偏移量。
步骤302：将所述质心和所述偏移量代入所述线性方程，求解得到锁焦需要的Z轴位移器的第二位移值。
步骤303：根据所述第二位移值，调整Z轴位移器的位置，以使所述质心回到锁焦的位置。
请参照图5，为本发明提供的显微镜的锁焦装置的一种实施例的结构示意图，其主要包括：采集模块501、计算模块502和锁焦模块503。
在本实施例中，采集模块501用于实时采集Z轴位移器的位移数据和载玻片的图像数据。
计算模块502用于根据所述位移数据和所述图像数据，经过曲线拟合处理，得到位移数据和图像数据之间的线性关系。
锁焦模块503用于根据所述线性关系，调整Z轴位移器的位置，实现锁焦。
请参照图6，为本发明提供的显微镜的锁焦装置的另一种实施例的结构示意图，图6与图5的主要区别在于，图6还包括：第一采集单元601和第二采集单元602。
在本实施例中，采集模块501包括第一采集单元601和第二采集单元602。
第一采集单元601用于改变Z轴位移器的位置，根据Z轴位移器的移动距离，获取若干个第一位移值；其中，所述位移数据为所述若干个第一位移值。
第二采集单元602用于采集与每个所述位移值对应的载玻片的图像数据。
在本实施例中，第一采集单元601可替换为第三采集单元；第三采集单元用于记录载物台下沉时，Z轴位移器产生的若干个第一位移值。
请参照图7，为本发明提供的显微镜的锁焦装置的再一种实施例的结构示意图，图7与图5的主要区别在于，图7还包括：曲线拟合单元701、坐标对生成单元702和方程建立单元703。
在本实施例中，计算模块502包括：曲线拟合单元701、坐标对生成单元702和方程建立单元703。
曲线拟合单元701用于根据与每个所述第一位移值对应的图像数据，经曲线拟合后，获取若干个第一坐标。
在本实施例中，曲线拟合单元701还包括质心选取子单元、曲线拟合子单元和第一设置子单元；质心选取子单元用于选取每个图像数据中的质心区域；曲线拟合子单元用于对每个所述质心区域进行高斯拟合，得到单峰高斯曲线；第一设置子单元用于对选取每个单峰高斯曲线的最大值对应的位置，并将所述位置设置为第一坐标。
坐标对生成单元702用于将与每个所述第一坐标对应的所述第一位移值设置为第二坐标，根据若干个第一坐标和若干个第二坐标，选取若干个第一坐标对。
在本实施例中，坐标对生成单元702还包括：坐标对生成子单元和误点剔除子单元；坐标对生成子单元用于将每个第一坐标与每个所述第一坐标对应的第二坐标组合，生成若干个第二坐标对；误点剔除子单元用于根据一致性采样算法，剔除所述若干个第二坐标对中的误点，得到所述若干个第一坐标对。
方程建立单元703用于根据所述若干个第一坐标对，计算得到线性方程；其中，所述线性关系包括所述线性方程。
在本实施例中，方程建立单元703包括直线拟合子单元、误差值计算子单元、斜率计算子单元和方程建立子单元；直线拟合子单元用于根据所述若干个第一坐标对建立拟合直线方程；误差值计算子单元用于根据所述直线方程，计算得到误差值；斜率计算子单元用于根据最小二乘法和所述误差值，计算得到斜率；方程建立子单元用于根据所述斜率，建立所述线性方程。
请参照图8，为本发明提供的显微镜的锁焦装置的再一种实施例的结构示意图，图8与图5的主要区别在于，图8还包括：偏移量计算单元801、位移值计算单元802和锁焦单元803。
在本实施例中，锁焦模块503包括：偏移量计算单元801、位移值计算单元802和锁焦单元803。
偏移量计算单元801用于根据要锁焦的图像的质心和Z轴位移器当前的位置，求解得到偏移量。
位移值计算单元802用于将所述质心和所述偏移量代入所述线性方程，求解得到锁焦需要的Z轴位移器的第二位移值。
锁焦单元803用于根据所述第二位移值，调整Z轴位移器的位置，以使所述质心回到锁焦的位置。
本发明中曲线拟合处理以及线性关系的获取不需要用额外的硬件设备获得，在计算机上通过软件即可实现，进而降低了因使用额外硬件设备产生的成本；此外，通过对Z轴位移器的位移数据和载玻片的图像数据的实时采集，结合计算得到的线性关系，对Z轴位移器的调整可实时进行，提高了锁焦的精度。
以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步的详细说明，应当理解，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限定本发明的保护范围。特别指出，对于本领域技术人员来说，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种显微镜的锁焦方法，其特征在于，包括：
实时采集Z轴位移器的位移数据和载玻片的图像数据；
根据所述位移数据和所述图像数据，经过曲线拟合处理，得到位移数据和图像数据之间的线性关系；
根据所述线性关系，调整Z轴位移器的位置，实现锁焦。
2.如权利要求1所述的显微镜的锁焦方法，其特征在于，所述实时采集Z轴位移器的位移数据和载玻片的图像数据，具体为：
改变Z轴位移器的位置，根据Z轴位移器的移动距离，获取若干个第一位移值；其中，所述位移数据为所述若干个第一位移值；
采集与每个所述位移值对应的载玻片的图像数据。
3.如权利要求2所述的显微镜的锁焦方法，其特征在于，所述改变Z轴位移器的位置，根据Z轴位移器的移动距离，获取若干个第一位移值，可替换为，记录载物台下沉时，Z轴位移器产生的若干个第一位移值。
4.如权利要求1所述的显微镜的锁焦方法，其特征在于，所述根据所述位移数据和所述图像数据，经过曲线拟合处理，得到位移数据和图像数据之间的线性关系，具体为：
其中，所述位移数据为Z轴位移器的若干个第一位移值；
根据与每个所述第一位移值对应的图像数据，经曲线拟合后，获取若干个第一坐标；
将与每个所述第一坐标对应的所述第一位移值设置为第二坐标，根据若干个第一坐标和若干个第二坐标，选取若干个第一坐标对；
根据所述若干个第一坐标对，计算得到线性方程；其中，所述线性关系包括所述线性方程。
5.如权利要求4所述的显微镜的锁焦方法，其特征在于，所述根据与每个所述第一位移值对应的图像数据，经曲线拟合后，获取若干个第一坐标，具体为：
选取每个图像数据中的质心区域；
对每个所述质心区域进行高斯拟合，得到单峰高斯曲线；
选取每个单峰高斯曲线的最大值对应的位置，并将所述位置设置为第一坐标。
6.如权利要求4所述的显微镜的锁焦方法，其特征在于，所述根据若干个第一坐标和若干个第二坐标，选取若干个坐标对，具体为：
将每个第一坐标与每个所述第一坐标对应的第二坐标组合，生成若干个第二坐标对；
根据一致性采样算法，剔除所述若干个第二坐标对中的误点，得到所述若干个第一坐标对。
7.如权利要求4所述的显微镜的锁焦方法，其特征在于，所述根据所述若干个第一坐标对，计算得到线性方程，具体为：
根据所述若干个第一坐标对建立拟合直线方程；
根据所述直线方程，计算得到误差值；
根据最小二乘法和所述误差值，计算得到斜率；
根据所述斜率，建立所述线性方程。
8.如权利要求1所述的显微镜的锁焦方法，其特征在于，所述根据所述线性关系，调整Z轴位移器的位置，实现锁焦，具体为：
其中，所述线性关系包括线性方程；
根据要锁焦的图像的质心和Z轴位移器当前的位置，求解得到偏移量；
将所述质心和所述偏移量代入所述线性方程，求解得到锁焦需要的Z轴位移器的第二位移值；
根据所述第二位移值，调整Z轴位移器的位置，以使所述质心回到锁焦的位置。
9.如权利要求1-8任意一项所述的显微镜的锁焦方法，其特征在于，所述图像数据为线性CCD采集载玻片的反射光斑所生成的一维图像数据。
10.一种显微镜的锁焦装置，其特征在于，包括：采集模块、计算模块和锁焦模块；
其中，采集模块用于实时采集Z轴位移器的位移数据和载玻片的图像数据；
计算模块用于根据所述位移数据和所述图像数据，经过曲线拟合处理，得到位移数据和图像数据之间的线性关系；
锁焦模块用于根据所述线性关系，调整Z轴位移器的位置，实现锁焦。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024045889A1 (zh) * 2022-09-01 2024-03-07 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院 一种显微镜的锁焦方法及装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113795778A (zh) * 2019-04-29 2021-12-14 分子装置有限公司 用于无限远校正显微镜的自校准和定向聚焦系统和方法
CN113885189A (zh) * 2021-09-22 2022-01-04 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院 一种显微镜锁焦系统的锁焦控制方法及锁焦装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5959247B2 (ja) * 2012-03-14 2016-08-02 オリンパス株式会社 顕微鏡
CN108254853B (zh) * 2018-01-17 2023-08-11 宁波舜宇仪器有限公司 一种显微成像系统及其实时对焦方法
CN114565684A (zh) * 2022-03-03 2022-05-31 安徽工业大学 一种基于一致性采样算法的标靶单应性矩阵计算方法
CN114972240A (zh) * 2022-05-20 2022-08-30 陕西师范大学 一种数字病理学图像缺失组织的自动检测及量化方法
CN115356840A (zh) * 2022-09-01 2022-11-18 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院 一种显微镜的锁焦方法及装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113795778A (zh) * 2019-04-29 2021-12-14 分子装置有限公司 用于无限远校正显微镜的自校准和定向聚焦系统和方法
CN113885189A (zh) * 2021-09-22 2022-01-04 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院 一种显微镜锁焦系统的锁焦控制方法及锁焦装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024045889A1 (zh) * 2022-09-01 2024-03-07 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院 一种显微镜的锁焦方法及装置

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