CN115343918A - 一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，涉及光刻机装调技术领域，其技术方案要点是结构包括夹持板，所述夹持板的中心处内部设置有第二空腔，所述夹持板的外侧内部对称设置有四个第一空腔，所述夹持板的顶部中心处固定安装有安装架，所述安装架上固定安装有电机，效果是本发明通过启动电机，电机会带转主锥齿轮，主锥齿轮通过啮合关系同步带转四个从锥齿轮，从而使四个从锥齿轮各自连接的丝杆同步转动，丝杆转动时，丝杆外壁螺纹套接的方形套会在第一空腔的内部水平移动，并分别通过第一鹅颈管带动四个真空吸盘同时向内侧或向外侧移动，从而根据需要夹持镜片的尺寸大小，灵活调节真空吸盘的位置。

Description

一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置

技术领域

本发明涉及光刻机装调技术领域，更具体地说，它涉及一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置。

背景技术

光刻机是制造芯片的核心装备，光刻机在装配过程中需要频繁地将镜片在不同的加工设备和检测设备之间来回搬运，在此过程中要严格保证不会对镜片的光学表面产生损伤。

目前，市场上通常采用真空吸盘夹持镜片，但是现有的真空吸盘无法调节吸盘的位置，从而不利于夹持不同尺寸的镜片，不够灵活。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置。

为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，包括夹持板，所述夹持板的中心处内部设置有第二空腔，所述夹持板的外侧内部对称设置有四个第一空腔，所述夹持板的顶部中心处固定安装有安装架，所述安装架上固定安装有电机，所述电机的顶部固定安装有用于外接真空设备的接头，所述电机的输出端转动贯穿第二空腔的顶部内壁，并固定套接有主锥齿轮，四个所述第一空腔的上下两侧壁分别设置有第一滑槽和第二滑槽，四个所述第一空腔远离及靠近第二空腔的两侧内壁之间均转动连接有丝杆，四根所述丝杆靠近主锥齿轮的一端转动延伸至第二空腔的内部，并固定套接有与主锥齿轮相啮合的从锥齿轮，所述丝杆的外壁螺纹套接有一侧面滑动安装在第一空腔内壁上的方形套，所述方形套的底部嵌入连接有第一鹅颈管，所述第一鹅颈管的底端活动贯穿第二滑槽，并固定连接有用于吸附镜片的真空吸盘，所述方形套的顶部嵌入连接有第二鹅颈管，所述第二鹅颈管的顶端活动贯穿第一滑槽，并与接头固定连接，所述方形套的内部嵌入安装有两根连接管，所述第一鹅颈管与第二鹅颈管位于方形套内部的一端通过两根连接管固定连接。

优选地，所述方形套的底部内部设置有安装腔，所述安装腔的两侧内壁之间转动连接有转轴，所述转轴的中心处设置有旋转槽，所述旋转槽的内部活动套接有与旋转槽相适配的螺旋棒，所述第一空腔靠近螺旋棒的一侧内壁固定设置有楔形板，所述螺旋棒靠近楔形板的一端滑动贯穿安装腔的一侧壁，并滑动连接在楔形板上，所述转轴的外壁固定套接有用于压弯第一鹅颈管以转动真空吸盘的蜗形套。

优选地，所述安装腔的上下内壁之间固定连接有用于限位并回弹第一鹅颈管的弹性板。

优选地，所述丝杆的顶部固定安装有四块与真空吸盘位置相适配的安装板，所述安装板的一侧面滑动安装有用于松放第二鹅颈管的限位板，所述安装板上设置有限位孔，所述第二鹅颈管远离方形套的一端搭接在限位板上，并穿过限位孔，最后与接头固定连接，所述安装板靠近限位板的一侧面固定安装有润滑箱，所述润滑箱与限位板之间固定连接有弹簧。

优选地，所述限位板的两端对称固定安装有与第二鹅颈管外壁相接触的导向轮。

优选地，所述润滑箱的内部放置有浸有润滑剂的海绵，所述限位板的底面固定连接有挤压柱，所述挤压柱活动套接在弹簧的内部，所述挤压柱的底端滑动贯穿润滑箱的顶板，所述挤压柱的底部设置为用于限位且挤压海绵出液的凸缘。

优选地，所述挤压柱的内部嵌入安装有棉条，所述限位板的底部内壁嵌入设置有用于润滑并降温第二鹅颈管外壁的渗透棉，所述棉条的顶端与渗透棉相接触。

与现有技术相比，本发明具备以下有益效果：

1、本发明通过启动电机，电机会带转主锥齿轮，主锥齿轮通过啮合关系同步带转四个从锥齿轮，从而使四个从锥齿轮各自连接的丝杆同步转动，丝杆转动时，丝杆外壁螺纹套接的方形套会在第一空腔的内部水平移动，并分别通过第一鹅颈管带动四个真空吸盘同时向内侧或向外侧移动，从而根据需要夹持镜片的尺寸大小，灵活调节真空吸盘的位置；

2、本发明通过设置楔形板，当方形套向外侧移动时，方形套上螺旋棒接触的楔形板厚度增加，因此螺旋棒随着方形套向外侧移动，螺旋棒会被逐渐挤入旋转槽的内部，设置为螺旋状的螺旋棒在挤入的过程中会带转转轴外壁设置的蜗形套，随着蜗形套的转动，蜗形套会逐渐挤压第一鹅颈管弯曲，第一鹅颈管的弯曲能够调节真空吸盘的角度，从而使真空吸盘能更好地与镜片的外侧相契合，提高吸附夹持的效果；

3、本发明通过设置两端被固定的弹性板，当第一鹅颈管被挤压地向靠近弹性板的一侧弯曲时，弹性板也会弯曲，而当方形套向内侧移动，从而使蜗形套转回原始位置后，第一鹅颈管便会在弹性板的弹性恢复力作用下弯回原始角度，进而调节真空吸盘转回原始角度；

4、本发明通过设置限位板支撑第二鹅颈管，能够防止方形套位于内侧时，第二鹅颈管过长而发生缠绕，减少第二鹅颈管的占用空间，当方形套拉动第二鹅颈管外移时，限位板会受到第二鹅颈管斜下方的拉力，从而克服弹簧的弹性而下移，辅助方形套可以向外拉出更长的第二鹅颈管，其中，在限位板的两端设置导向轮用于降低第二鹅颈管被拉动时与限位板末端的摩擦力；

5、本发明通过限位板带动挤压柱一起向下滑动，从而使挤压柱向下挤压润滑箱内部设置的海绵，由于海绵的内部浸湿有润滑剂，因此海绵被挤压时，内部的润滑剂会被挤入挤压柱的内部，从而浸湿棉条并沿着棉条向上渗透，由于棉条与渗透棉连接，因而棉条内部的润滑剂会渗透至渗透棉的表面，从而达到润滑第二鹅颈管的表面，降低第二鹅颈管在限位板内壁滑动时产生的摩擦力，也降低第二鹅颈管摩擦时产生的温度，从而减少第二鹅颈管外壁的损耗。

附图说明

图1为本发明的正视剖视图；

图2为本发明的仰视图；

图3为本发明的方形套的正视剖视图；

图4为本发明的方形套的右视剖视图；

图5为本发明的图1中A的放大图。

图中：1、夹持板；11、第一空腔；111、楔形板；12、第二空腔；13、第一滑槽；14、第二滑槽；2、安装架；21、电机；211、接头；22、主锥齿轮；3、丝杆；31、从锥齿轮；4、方形套；41、第一鹅颈管；42、真空吸盘；44、连接管；45、第二鹅颈管；5、安装板；51、限位板；511、导向轮；52、限位孔；6、安装腔；61、弹性板；62、转轴；621、旋转槽；63、蜗形套；64、螺旋棒；7、润滑箱；71、海绵；72、挤压柱；721、弹簧；73、棉条；74、渗透棉。

具体实施方式

参照图1至图5对本发明一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置实施例做进一步说明。

一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，包括夹持板1，所述夹持板1的中心处内部设置有第二空腔12，所述夹持板1的外侧内部对称设置有四个第一空腔11，所述夹持板1的顶部中心处固定安装有安装架2，所述安装架2上固定安装有电机21，所述电机21的顶部固定安装有用于外接真空设备的接头211，所述电机21的输出端转动贯穿第二空腔12的顶部内壁，并固定套接有主锥齿轮22，四个所述第一空腔11的上下两侧壁分别设置有第一滑槽13和第二滑槽14，四个所述第一空腔11远离及靠近第二空腔12的两侧内壁之间均转动连接有丝杆3，四根所述丝杆3靠近主锥齿轮22的一端转动延伸至第二空腔12的内部，并固定套接有与主锥齿轮22相啮合的从锥齿轮31，所述丝杆3的外壁螺纹套接有一侧面滑动安装在第一空腔11内壁上的方形套4，所述方形套4的底部嵌入连接有第一鹅颈管41，所述第一鹅颈管41的底端活动贯穿第二滑槽14，并固定连接有用于吸附镜片的真空吸盘42，所述方形套4的顶部嵌入连接有第二鹅颈管45，所述第二鹅颈管45的顶端活动贯穿第一滑槽13，并与接头211固定连接，所述方形套4的内部嵌入安装有两根连接管44，所述第一鹅颈管41与第二鹅颈管45位于方形套4内部的一端通过两根连接管44固定连接。

作为本发明的一种实施例，如图1、图2、图3、图4和图5所示，所述方形套4的底部内部设置有安装腔6，所述安装腔6的两侧内壁之间转动连接有转轴62，所述转轴62的中心处设置有旋转槽621，所述旋转槽621的内部活动套接有与旋转槽621相适配的螺旋棒64，所述第一空腔11靠近螺旋棒64的一侧内壁固定设置有楔形板111，所述螺旋棒64靠近楔形板111的一端滑动贯穿安装腔6的一侧壁，并滑动连接在楔形板111上，所述转轴62的外壁固定套接有用于压弯第一鹅颈管41以转动真空吸盘42的蜗形套63。

工作时，通过设置楔形板111，当方形套4向外侧移动时，方形套4上螺旋棒64接触的楔形板111厚度增加，因此螺旋棒64随着方形套4向外侧移动，螺旋棒64会被逐渐挤入旋转槽621的内部，借助竹蜻蜓原理，设置为螺旋状的螺旋棒64在挤入的过程中会带转转轴62外壁设置的蜗形套63，由于蜗形套63设置为直径逐渐变大的蜗形，因此随着蜗形套63的转动，蜗形套63会逐渐挤压第一鹅颈管41弯曲，并且由于第一鹅颈管41外壁的坚硬，第一鹅颈管41不会被压扁，第一鹅颈管41的弯曲能够小角度地调节真空吸盘42的角度，从而使真空吸盘42能更好地与镜片的外侧相契合，提高吸附夹持的效果。

作为本发明的一种实施例，如图1、图2、图3、图4和图5所示，所述安装腔6的上下内壁之间固定连接有用于限位并回弹第一鹅颈管41的弹性板61。

工作时，通过设置两端被固定的弹性板61，当第一鹅颈管41被挤压地向靠近弹性板61的一侧弯曲时，弹性板61也会弯曲，通过设置具有弹性的弹性板61，当方形套4向内侧移动，从而使蜗形套63转回原始位置后，第一鹅颈管41便会在弹性板61的弹性恢复力作用下弯回原始角度，进而调节真空吸盘42转回原始角度。

作为本发明的一种实施例，如图1和图5所示，所述丝杆3的顶部固定安装有四块与真空吸盘42位置相适配的安装板5，所述安装板5的一侧面滑动安装有用于松放第二鹅颈管45的限位板51，所述安装板5上设置有限位孔52，所述第二鹅颈管45远离方形套4的一端搭接在限位板51上，并穿过限位孔52，最后与接头211固定连接，所述安装板5靠近限位板51的一侧面固定安装有润滑箱7，所述润滑箱7与限位板51之间固定连接有弹簧721，所述限位板51的两端对称固定安装有与第二鹅颈管45外壁相接触的导向轮511。

工作时，当方形套4向外侧移动时还会拉长第二鹅颈管45，通过设置限位板51支撑第二鹅颈管45，能够防止方形套4位于内侧时，第二鹅颈管45过长而发生缠绕，减少第二鹅颈管45的占用空间，当方形套4拉动第二鹅颈管45外移时，限位板51会受到第二鹅颈管45斜下方的拉力，从而克服弹簧721的弹性而下移，辅助方形套4可以向外拉出更长的第二鹅颈管45，其中，在限位板51的两端设置导向轮511用于降低第二鹅颈管45被拉动时与限位板51末端的摩擦力。

作为本发明的一种实施例，如图1和图5所示，所述润滑箱7的内部放置有浸有润滑剂的海绵71，所述限位板51的底面固定连接有挤压柱72，所述挤压柱72活动套接在弹簧721的内部，所述挤压柱72的底端滑动贯穿润滑箱7的顶板，所述挤压柱72的底部设置为用于限位且挤压海绵71出液的凸缘，所述挤压柱72的内部嵌入安装有棉条73，所述限位板51的底部内壁嵌入设置有用于润滑并降温第二鹅颈管45外壁的渗透棉74，所述棉条73的顶端与渗透棉74相接触。

工作时，当限位板51下移时，会带动挤压柱72一起向下滑动，从而使挤压柱72向下挤压润滑箱7内部设置的海绵71，由于海绵71的内部浸湿有润滑剂，因此海绵71被挤压时，内部的润滑剂会被挤入挤压柱72的内部，从而浸湿棉条73并沿着棉条73向上渗透，由于棉条73与渗透棉74连接，因而棉条73内部的润滑剂会渗透至渗透棉74的表面，从而达到润滑第二鹅颈管45的表面，降低第二鹅颈管45在限位板51内壁滑动时产生的摩擦力，也降低第二鹅颈管45摩擦时产生的温度，从而减少第二鹅颈管45外壁的损耗。

工作原理：本装置通过接头211的外壁固定连接在移动设备的移动壁上，接头211的顶端外接有真空设备，启动电机21，电机21会带转主锥齿轮22，主锥齿轮22通过啮合关系同步带转四个从锥齿轮31，从而使四个从锥齿轮31各自连接的丝杆3同步转动，借助直线模组的原理，丝杆3转动时，丝杆3外壁螺纹套接的方形套4会在第一空腔11的内部水平移动，并分别通过第一鹅颈管41带动四个真空吸盘42同时向内侧或向外侧移动，从而根据需要夹持镜片的尺寸大小，灵活调节真空吸盘42的位置，当真空吸盘42移动到合适位置，且使真空吸盘42与镜片外表面相接触时，启动外接的真空设备，从而产生吸力，使真空吸盘42与镜片之间的空气依次通过第一鹅颈管41、连接管44、第二鹅颈管45以及接头211被真空设备吸出，从而迫使真空吸盘42牢牢吸住镜片，完成后续装调时的搬移工作；

由于镜片的表面呈曲形，因此越靠近镜片的边缘，斜率越大，通过设置楔形板111，当方形套4向外侧移动时，方形套4上螺旋棒64接触的楔形板111厚度增加，因此螺旋棒64随着方形套4向外侧移动，螺旋棒64会被逐渐挤入旋转槽621的内部，借助竹蜻蜓原理，设置为螺旋状的螺旋棒64在挤入的过程中会带转转轴62外壁设置的蜗形套63，由于蜗形套63设置为直径逐渐变大的蜗形，因此随着蜗形套63的转动，蜗形套63会逐渐挤压第一鹅颈管41弯曲，并且由于第一鹅颈管41外壁的坚硬，第一鹅颈管41不会被压扁，通过设置两端被固定的弹性板61，当第一鹅颈管41被挤压地向靠近弹性板61的一侧弯曲时，弹性板61也会弯曲，第一鹅颈管41的弯曲能够小角度地调节真空吸盘42的角度，从而使真空吸盘42能更好地与镜片的外侧相契合，提高吸附夹持的效果，通过设置具有弹性的弹性板61，当方形套4向内侧移动，从而使蜗形套63转回原始位置后，第一鹅颈管41便会在弹性板61的弹性恢复力作用下弯回原始角度，进而调节真空吸盘42转回原始角度；

当方形套4向外侧移动时还会拉长第二鹅颈管45，通过设置限位板51支撑第二鹅颈管45，能够防止方形套4位于内侧时，第二鹅颈管45过长而发生缠绕，减少第二鹅颈管45的占用空间，当方形套4拉动第二鹅颈管45外移时，限位板51会受到第二鹅颈管45斜下方的拉力，从而克服弹簧721的弹性而下移，辅助方形套4可以向外拉出更长的第二鹅颈管45，其中，在限位板51的两端设置导向轮511用于降低第二鹅颈管45被拉动时与限位板51末端的摩擦力；

当限位板51下移时，会带动挤压柱72一起向下滑动，从而使挤压柱72向下挤压润滑箱7内部设置的海绵71，由于海绵71的内部浸湿有润滑剂，因此海绵71被挤压时，内部的润滑剂会被挤入挤压柱72的内部，从而浸湿棉条73并沿着棉条73向上渗透，由于棉条73与渗透棉74连接，因而棉条73内部的润滑剂会渗透至渗透棉74的表面，从而达到润滑第二鹅颈管45的表面，降低第二鹅颈管45在限位板51内壁滑动时产生的摩擦力，也降低第二鹅颈管45摩擦时产生的温度，从而减少第二鹅颈管45外壁的损耗。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (7)

1.一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，包括夹持板（1），其特征在于：所述夹持板（1）的中心处内部设置有第二空腔（12），所述夹持板（1）的外侧内部对称设置有四个第一空腔（11），所述夹持板（1）的顶部中心处固定安装有安装架（2），所述安装架（2）上固定安装有电机（21），所述电机（21）的顶部固定安装有用于外接真空设备的接头（211），所述电机（21）的输出端转动贯穿第二空腔（12）的顶部内壁，并固定套接有主锥齿轮（22），四个所述第一空腔（11）的上下两侧壁分别设置有第一滑槽（13）和第二滑槽（14），四个所述第一空腔（11）远离及靠近第二空腔（12）的两侧内壁之间均转动连接有丝杆（3），四根所述丝杆（3）靠近主锥齿轮（22）的一端转动延伸至第二空腔（12）的内部，并固定套接有与主锥齿轮（22）相啮合的从锥齿轮（31），所述丝杆（3）的外壁螺纹套接有一侧面滑动安装在第一空腔（11）内壁上的方形套（4），所述方形套（4）的底部嵌入连接有第一鹅颈管（41），所述第一鹅颈管（41）的底端活动贯穿第二滑槽（14），并固定连接有用于吸附镜片的真空吸盘（42），所述方形套（4）的顶部嵌入连接有第二鹅颈管（45），所述第二鹅颈管（45）的顶端活动贯穿第一滑槽（13），并与接头（211）固定连接，所述方形套（4）的内部嵌入安装有两根连接管（44），所述第一鹅颈管（41）与第二鹅颈管（45）位于方形套（4）内部的一端通过两根连接管（44）固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，其特征在于：所述方形套（4）的底部内部设置有安装腔（6），所述安装腔（6）的两侧内壁之间转动连接有转轴（62），所述转轴（62）的中心处设置有旋转槽（621），所述旋转槽（621）的内部活动套接有与旋转槽（621）相适配的螺旋棒（64），所述第一空腔（11）靠近螺旋棒（64）的一侧内壁固定设置有楔形板（111），所述螺旋棒（64）靠近楔形板（111）的一端滑动贯穿安装腔（6）的一侧壁，并滑动连接在楔形板（111）上，所述转轴（62）的外壁固定套接有用于压弯第一鹅颈管（41）以转动真空吸盘（42）的蜗形套（63）。

3.根据权利要求2所述的一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，其特征在于：所述安装腔（6）的上下内壁之间固定连接有用于限位并回弹第一鹅颈管（41）的弹性板（61）。

4.根据权利要求1所述的一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，其特征在于：所述丝杆（3）的顶部固定安装有四块与真空吸盘（42）位置相适配的安装板（5），所述安装板（5）的一侧面滑动安装有用于松放第二鹅颈管（45）的限位板（51），所述安装板（5）上设置有限位孔（52），所述第二鹅颈管（45）远离方形套（4）的一端搭接在限位板（51）上，并穿过限位孔（52），最后与接头（211）固定连接，所述安装板（5）靠近限位板（51）的一侧面固定安装有润滑箱（7），所述润滑箱（7）与限位板（51）之间固定连接有弹簧（721）。

5.根据权利要求4所述的一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，其特征在于：所述限位板（51）的两端对称固定安装有与第二鹅颈管（45）外壁相接触的导向轮（511）。

6.根据权利要求4所述的一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，其特征在于：所述润滑箱（7）的内部放置有浸有润滑剂的海绵（71），所述限位板（51）的底面固定连接有挤压柱（72），所述挤压柱（72）活动套接在弹簧（721）的内部，所述挤压柱（72）的底端滑动贯穿润滑箱（7）的顶板，所述挤压柱（72）的底部设置为用于限位且挤压海绵（71）出液的凸缘。

7.根据权利要求6所述的一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，其特征在于：所述挤压柱（72）的内部嵌入安装有棉条（73），所述限位板（51）的底部内壁嵌入设置有用于润滑并降温第二鹅颈管（45）外壁的渗透棉（74），所述棉条（73）的顶端与渗透棉（74）相接触。

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