CN115343590A - 一种测试机拖带多台分选机的测试机及接口拓展方法 - Google Patents

一种测试机拖带多台分选机的测试机及接口拓展方法 Download PDF

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Abstract

本发明属于半导体元器件生产设备技术领域,尤其为一种测试机拖带多台分选机的测试机,包括测试设备,所述测试设备一侧安装有显示器,所述显示器下方设置有操控键盘,所述显示器与测试设备的连接处还设置有折叠机构,所述测试设备一侧设置有支撑机构,且所述支撑机构上设置有与操控键盘连接的固定机构,该拓展接口实现方便,成本低廉,具有很强的实用性,已经投入实际应用,工作稳定可靠。同样的设备投入,大大的提高了测试效率;通过在测试设备上设置显示器、操控键盘的折叠收纳结构,不使用时减小占用空间,且使用便捷,具有良好稳定性。

Description

一种测试机拖带多台分选机的测试机及接口拓展方法
技术领域
本发明属于半导体元器件生产设备技术领域,具体涉及一种测试机拖带多台分选机的测试机及接口拓展方法。
背景技术
在半导体元器件生产中,为了确保产品性能合格、稳定可靠,并有高的成品率,首先要从半导体工艺检测着手。目前市场上的检测设备和分选设备种类繁杂,检测设备能提供的检测通道数量不一,但是多数检测设备提供的多通道检测不能同时工作而是分时检测,如果能让检测设备的各路检测通道同时工作,将会大大提高检测效率,节约成本,因此,提出一种测试机拖带多台分选机的接口拓展方法解决上述问题;且原有测试机上的计算机控制模块多数不具有便捷式且极大减小占用空间的收纳结构,侧面安装的计算机在不使用时不仅占用空间,且走动过程中很容易出现磕碰现象,影响设备的正常运行。
发明内容
为解决现有技术中存在的上述问题,本发明提供了一种测试机拖带多台分选机的测试机及接口拓展方法,具有提升测试效率,成本低,实用性强,稳定性好的特点。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种测试机拖带多台分选机的测试机,包括测试设备,所述测试设备一侧安装有显示器,所述显示器下方设置有操控键盘,所述显示器与测试设备的连接处还设置有折叠机构,所述测试设备一侧设置有支撑机构,且所述支撑机构上设置有与操控键盘连接的固定机构。
作为本发明的一种测试机拖带多台分选机的测试机优选技术方案,所述折叠机构还包括固定在测试设备一侧的轴套和固定在显示器靠近测试设备一侧的轴心,以及通过定位弹簧弹性安装在轴心内部的定位销和固定安装在定位销远离定位弹簧一端的挤压板,还包括开设在轴套内表面的定位槽,所述轴套表面开设有用于挤压板和轴心转动的导向槽。
作为本发明的一种测试机拖带多台分选机的测试机优选技术方案,所述定位槽在轴套内侧为90°的两个分布,且所述定位销通过定位弹簧与定位槽相互插合。
作为本发明的一种测试机拖带多台分选机的测试机优选技术方案,所述支撑机构还包括阻尼转动在测试设备侧表面下端的撑杆和固定在撑杆连接测试设备下端的定位托,所述定位托与测试设备固定安装,以及撑杆与测试设备连接另一端的斜面转板和固定在测试设备侧表面的斜面固定板,还包括固定在测试设备侧表面的限位弹片,所述斜面转板与撑杆阻尼转动。
作为本发明的一种测试机拖带多台分选机的测试机优选技术方案,所述固定机构还包括位于操控键盘下端的托板,以及通过复位转动安装在托板上的多个固定夹片,还包括用于同向多个固定夹片连接的连接条,所述固定夹片通过与托板的复位转轴将操控键盘夹持在托板上。
作为本发明的一种测试机拖带多台分选机的测试机优选技术方案,测试设备还包括:两种测试机接口插座、两种分选机接口插座、两个拨码开关、同步处理模块、故障处理模块和声光报警装置组成。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种测试机拖带多台分选机的接口拓展方法:
步骤一:测试机送出SOT信号启动检测分选过程,SOT信号同步模块据不同型号的测试机调整相应的实验周期t1,兼顾测试效率和测试的可靠性t1可以通过拨码开关A来完成调整。
步骤二:同步模块根据信号检测电路检测各路SOT信号是否有效,当某路信号有效时就赋予有效标志,等待所有的SOT信号全部有效后送出同步启动信号START同时启动各路检测流程,每一路检测流程结束后都会返回EOT信号,信号检测电路等待全部EOT信号有效后送出同步结束信号END结束检测周期,信号检测电路等待下一个检测周期。
步骤三:EOT信号同步模块根据不同型号的分选机相应调整实验周期t2,兼顾测试效率和测试的可靠性,t2可以通过拨码开关B来完成调整。
步骤四:当同步模块在T时间内没有检测到所有的SOT信号都有效,或者在t时间内没有检测到所有的EOT信号全部有效,说明设备出现了异常,由故障处理模块发出相应信号,就启动正常通道的测试周期T,并发出声光报警,提醒操作员人工干预,即使没有及时的人工干预,也不会影响正常栈道的测试,其中故障处理模块,拓展接口具有完善的故障处理功能。
步骤五:完成后可以进行下一次测试分选。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:该拓展接口实现方便,成本低廉,具有很强的实用性,已经投入实际应用,工作稳定可靠。同样的设备投入,大大的提高了测试效率;通过在测试设备上设置显示器、操控键盘的折叠收纳结构,不使用时减小占用空间,且使用便捷,具有良好稳定性。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本发明的实施例一起用于解释本发明,并不构成对本发明的限制。在附图中:
图1为本发明接口拓展组成图;
图2为本发明中测试机和分选机接口时序图;
图3为本发明中同步模块时序图;
图4为本发明中同步模块原理框图;
图5为本发明中故障处理模块框图;
图6为本发明中测试机主视的结构示意图;
图7为本发明中图6后视的结构示意图;
图8为本发明中操控键盘收纳时的结构示意图;
图9为本发明完全收纳时的结构示意图;
图10为本发明中折叠机构主视局部剖面的结构示意图;
图11为本发明中A部分局部放大的结构示意图;
图12为本发明中固定夹片的结构示意图;
图中测试设备:1、测试设备;2、显示器;3、操控键盘;4、折叠机构;401、轴套;402、轴心;403、定位销;404、挤压板;405、定位弹簧;406、定位槽;407、导向槽;5、支撑机构;501、撑杆;502、定位托;503、斜面转板;504、斜面固定板;505、限位弹片;6、固定机构;601、托板;602、固定夹片;603、连接条。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例
请参阅图6-12,本发明提供以下技术方案:一种测试机拖带多台分选机的测试机,包括测试设备1,测试设备1一侧安装有显示器2,显示器2下方设置有操控键盘3,显示器2与测试设备1的连接处还设置有折叠机构4,测试设备1一侧设置有支撑机构5,且支撑机构5上设置有与操控键盘3连接的固定机构6。
具体的,折叠机构4还包括固定在测试设备1一侧的轴套401和固定在显示器2靠近测试设备1一侧的轴心402,以及通过定位弹簧405弹性安装在轴心402内部的定位销403和固定安装在定位销403远离定位弹簧405一端的挤压板404,还包括开设在轴套401内表面的定位槽406,轴套401表面开设有用于挤压板404和轴心402转动的导向槽407。
具体的,定位槽406在轴套401内侧为90°的两个分布,且定位销403通过定位弹簧405与定位槽406相互插合。
具体的,支撑机构5还包括阻尼转动在测试设备1侧表面下端的撑杆501和固定在撑杆501连接测试设备1下端的定位托502,定位托502与测试设备1固定安装,以及撑杆501与测试设备1连接另一端的斜面转板503和固定在测试设备1侧表面的斜面固定板504,还包括固定在测试设备1侧表面的限位弹片505,斜面转板503与撑杆501阻尼转动。
具体的,固定机构6还包括位于操控键盘3下端的托板601,以及通过复位转动安装在托板601上的多个固定夹片602,还包括用于同向多个固定夹片602连接的连接条603,固定夹片602通过与托板601的复位转轴将操控键盘3夹持在托板601上。
具体的,测试设备1还包括:两种测试机接口插座、两种分选机接口插座、两个拨码开关、同步处理模块、故障处理模块和声光报警装置组成
请参阅图1-5,本发明还提供以下技术方案:一种测试机拖带多台分选机的接口拓展方法,包括测试设备1、两种测试机接口插座、两种分选机接口插座、两个拨码开关、同步处理模块、故障处理模块和声光报警装置组成,一种测试机拖带多台分选机的接口拓展方法:
步骤一:测试机送出SOT信号启动检测分选过程,SOT信号同步模块据不同型号的测试机调整相应的实验周期t1,兼顾测试效率和测试的可靠性t1可以通过拨码开关A来完成调整。
步骤二:同步模块根据信号检测电路检测各路SOT信号是否有效,当某路信号有效时就赋予有效标志,等待所有的SOT信号全部有效后送出同步启动信号START同时启动各路检测流程,每一路检测流程结束后都会返回EOT信号,信号检测电路等待全部EOT信号有效后送出同步结束信号END结束检测周期,信号检测电路等待下一个检测周期。
步骤三:EOT信号同步模块根据不同型号的分选机相应调整实验周期t2,兼顾测试效率和测试的可靠性,t2可以通过拨码开关B来完成调整。
步骤四:当同步模块在T时间内没有检测到所有的SOT信号都有效,或者在t时间内没有检测到所有的EOT信号全部有效,说明设备出现了异常,由故障处理模块发出相应信号,就启动正常通道的测试周期T,并发出声光报警,提醒操作员人工干预,即使没有及时的人工干预,也不会影响正常栈道的测试,其中故障处理模块,拓展接口具有完善的故障处理功能。
步骤五:完成后可以进行下一次测试分选。
本发明的工作原理及使用流程:测试机接口类型A、B和分选机接口类型A、B一般根据市场主流或者现有设备预留匹配插座,针孔配对,如附图1-5所示;
SOT信号和EOT信号同步时序图:
t1和t2分别是SOT和EOT的同步延时。在实际使用过程中,要根据不同型号的测试机和分选机相应调整t1和t2,兼顾测试效率和测试的可靠性。t1和t2的调整可以通过拨码开关1和拨码开关B来完成,不需要专业人员去修改FPGA的程序,使得程序版本具有很高的一致性和自适应性;
同步模块的原理:
首先信号检测电路检测各路SOT信号是否有效,当某路信号有效时就赋予有效标志,等待所有的SOT信号全部有效后送出同步启动信号START同时启动各路检测流程;每一路检测流程结束后都会返回EOT信号,信号检测电路等待全部EOT信号有效后送出同步结束信号END结束检测周期,信号检测电路等待下一个检测周期;
故障处理模块:
拓展接口具有完善的故障处理功能。当同步模块在t1时间内没有检测到所有的SOT信号都有效,或者在t2时间内没有检测到所有的EOT信号全部有效,说明设备出现了异常,就启动正常通道的测试周期T,并发出声光报警,提醒操作员人工干预,即使没有及时的人工干预,也不会影响正常栈道的测试;
同步处理模块和故障处理模块:
同步处理模块和故障处理模块由FPGA(FieldProgrammableGateArray)来实现。下面以一台测试机仅拖带两台分选机工作为例,说明具体实现方法。根据测试机和分选机的时序图,测试机送出SOT信号启动检测分选过程,检测结束后分选机会送EOT信号表示分选过程完成,可以进行下一次测试分选。如果将一台测试机和两台分选机直接相连,测试机送出的几路SOT信号难以保证在时差允许范围内送达两台分选机,如果超出允许范围,先接受到SOT信号的分选机将会先进行测试流程,等待其完成这个测试周期后再进行另一台分选机的测试周期,导致两台分选机不是同时进行测试,仍然是分时工作,并不能提高工作效率。接口拓展设计中的同步模块将控制各路检测流程同时开始;
如附图6-12,测试设备1使用前将显示器2和操控键盘3开启,开启显示器2时,按压挤压板404,定位销403在一个定位槽406内部脱离,定位弹簧405跟随挤压,转动显示器2,显示器2带动轴心402在轴套401内部转动,轴心402连接显示器2的板和挤压板404与定位销403的连杆在导向槽407内部90°转动,完全开启后与测试设备1呈垂直分布,此时定位销403与另一个定位槽406位置对应,松开挤压板404后在定位弹簧405作用下使定位销403插在定位槽406内部将显示器2限位,即可完成显示器2的开启和限位;
通过将撑杆501通过下端的转轴向外翻转,撑杆501在限位弹片505一端脱离,将撑杆501向外翻转的同时将托板601向内侧翻转,托板601带动斜面转板503在撑杆501上端转动,撑杆501完全开启后下端靠在定位托502内侧限位,然后将托板601连接撑杆501的另一端搭接在斜面固定板504上,使托板601处于水平状态,通过连接条603将多个固定夹片602开启然后将操控键盘3摆放在托板601上,然后通过固定夹片602与托板601连接的复位转轴将操控键盘3夹持固定在托板601上,检查设备是否能否正常运行,确定正常后即可开始使用;
收纳步骤与开启步骤相反,将撑杆501和托板601折叠,固定机构6依靠撑杆501和斜面转板503的阻尼转轴收纳在撑杆501上,然后撑杆501通过与测试设备1连接的阻尼转轴和限位弹片505收纳在测试设备1侧端。
最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种测试机拖带多台分选机的测试机,其特征在于:包括测试设备(1),所述测试设备(1)一侧安装有显示器(2),所述显示器(2)下方设置有操控键盘(3),所述显示器(2)与测试设备(1)的连接处还设置有折叠机构(4),所述测试设备(1)一侧设置有支撑机构(5),且所述支撑机构(5)上设置有与操控键盘(3)连接的固定机构(6)。
2.根据权利要求1所述的一种测试机拖带多台分选机的测试机,其特征在于:所述折叠机构(4)还包括固定在测试设备(1)一侧的轴套(401)和固定在显示器(2)靠近测试设备(1)一侧的轴心(402),以及通过定位弹簧(405)弹性安装在轴心(402)内部的定位销(403)和固定安装在定位销(403)远离定位弹簧(405)一端的挤压板(404),还包括开设在轴套(401)内表面的定位槽(406),所述轴套(401)表面开设有用于挤压板(404)和轴心(402)转动的导向槽(407)。
3.根据权利要求2所述的一种测试机拖带多台分选机的测试机,其特征在于:所述定位槽(406)在轴套(401)内侧为90°的两个分布,且所述定位销(403)通过定位弹簧(405)与定位槽(406)相互插合。
4.根据权利要求1所述的一种测试机拖带多台分选机的测试机,其特征在于:所述支撑机构(5)还包括阻尼转动在测试设备(1)侧表面下端的撑杆(501)和固定在撑杆(501)连接测试设备(1)下端的定位托(502),所述定位托(502)与测试设备(1)固定安装,以及撑杆(501)与测试设备(1)连接另一端的斜面转板(503)和固定在测试设备(1)侧表面的斜面固定板(504),还包括固定在测试设备(1)侧表面的限位弹片(505),所述斜面转板(503)与撑杆(501)阻尼转动。
5.根据权利要求1所述的一种测试机拖带多台分选机的测试机,其特征在于:所述固定机构(6)还包括位于操控键盘(3)下端的托板(601),以及通过复位转动安装在托板(601)上的多个固定夹片(602),还包括用于同向多个固定夹片(602)连接的连接条(603),所述固定夹片(602)通过与托板(601)的复位转轴将操控键盘(3)夹持在托板(601)上。
6.一种测试机拖带多台分选机的测试机,其特征在于:测试设备(1)还包括:两种测试机接口插座、两种分选机接口插座、两个拨码开关、同步处理模块、故障处理模块和声光报警装置组成。
7.根据权利要求1-6任一项所述的一种测试机拖带多台分选机的接口拓展方法:
步骤一:测试机送出SOT信号启动检测分选过程,SOT信号同步模块据不同型号的测试机调整相应的实验周期t1,兼顾测试效率和测试的可靠性t1可以通过拨码开关A来完成调整。
步骤二:同步模块根据信号检测电路检测各路SOT信号是否有效,当某路信号有效时就赋予有效标志,等待所有的SOT信号全部有效后送出同步启动信号START同时启动各路检测流程,每一路检测流程结束后都会返回EOT信号,信号检测电路等待全部EOT信号有效后送出同步结束信号END结束检测周期,信号检测电路等待下一个检测周期。
步骤三:EOT信号同步模块根据不同型号的分选机相应调整实验周期t2,兼顾测试效率和测试的可靠性,t2可以通过拨码开关B来完成调整。
步骤四:当同步模块在T时间内没有检测到所有的SOT信号都有效,或者在t时间内没有检测到所有的EOT信号全部有效,说明设备出现了异常,由故障处理模块发出相应信号,就启动正常通道的测试周期T,并发出声光报警,提醒操作员人工干预,即使没有及时的人工干预,也不会影响正常栈道的测试,其中故障处理模块,拓展接口具有完善的故障处理功能。
步骤五:完成后可以进行下一次测试分选。
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