CN115312444A - 一种led晶圆清洗夹具及清洗设备 - Google Patents

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Abstract

本申请公开了一种LED晶圆清洗夹具及清洗设备，涉及LED晶圆生产制造技术领域，改善了无法均匀清理各个晶圆的问题，一种LED晶圆清洗夹具设置在LED晶圆清洗设备上，LED晶圆清洗设备包括反应釜，反应釜开设有容纳腔，容纳腔腔底开设有通气孔；包括底环、转动环、支撑架以及若干个安装环，转动环转动连接在底环上，反应釜上设置有转动组件，安装环上设置有固定组件，支撑架包括两个支撑板；安装环上设置有两个安装轴，支撑板包括两个控制板，控制板开设有支撑槽，控制板还设置有活动杆，支撑板上设置有活动部，底环上设置有抵接块，控制板设置有控制横条，控制横条上设置有稳固组件，控制横条上设置有解锁组件。本申请能够均匀清理各个晶圆。

Description

一种LED晶圆清洗夹具及清洗设备
技术领域
本申请涉及LED晶圆生产制造技术领域，尤其是涉及一种LED晶圆清洗夹具及清洗设备。
背景技术
随着微电子技术的进步，芯片的集成度不断提高，元器件的尺度不断缩小，相应地对硅片洁净度的要求也越来越高。而对半导体晶圆清洗一般高纯水进行冲洗，在冲洗过程中由于受液体表面张力和粘度的限制，晶圆内的细小缝隙难以被清理到。为了保证半导体晶圆的清洗效率，使用低粘度、高扩散性、低表面张力的超临界二氧化碳对晶圆进行清洗，超临界二氧化碳清洗是环保、高效的清洗技术。
现有如图1和图2展示的一种LED晶圆清洗设备，包括储存液二氧化碳的钢瓶2，加工存液二氧化碳的处理装置1以及安装在处理装置1上反应釜3，反应釜3的一端开设有清洗腔31，在处理装置1上安装有用于遮盖清洗腔31腔口的遮盖板11，反应釜3的另一端开设有连通孔32，处理装置1将液二氧化碳进行冷却然后输送至连通孔32处， 在清洗腔31腔底安装有置物板5，置物板5上开设有多个通孔51，将晶圆4堆叠在置物板5上，超临界二氧化碳对晶圆4进行清洗。
由于晶圆4是堆叠在置物板5上，超临界二氧化碳进入反应釜3内时，只能对暴露在外侧的晶圆4进行清洗，而被外侧晶圆4遮挡住的晶圆4清洗效果比较差，无法均匀清理各个晶圆4。
发明内容
为了均匀清理各个晶圆，本申请提供一种LED晶圆清洗夹具及清洗设备。
第一方面，本申请提供一种LED晶圆清洗夹具，采用如下的技术方案：
一种LED晶圆清洗夹具，设置在LED晶圆清洗设备上，LED晶圆清洗设备包括反应釜，反应釜开设有容纳腔，容纳腔腔底开设有通气孔；
包括底环、转动环、支撑架以及若干个安装环，所述底环设置在容纳腔腔底处，所述底环开设有多个透气孔，所述转动环转动连接在底环上，反应釜上设置有控制转动环旋转的转动组件，所述安装环上设置有若干个固定晶圆的固定组件，所述支撑架包括两个相互平行的支撑板，所述支撑板设置在底环上；
所述安装环上设置有两个安装轴，所述支撑板包括两个控制板，所述控制板远离转动环的一侧分别开设有供两个安装轴沿竖直方向滑移的支撑槽，两个所述控制板的交界处为中位面，所述控制板还设置有活动杆，所述活动杆靠近安装轴的一侧能够抵接在安装轴上，所述支撑板上设置有若干个活动部，所述活动部由两个或一个沿中位面相对称的安装轴和活动杆组成；
所述底环上设置有抵接块，所述抵接块上设有供活动杆抵接控制活动杆朝远离底环方向滑移的导斜面，所述活动部沿安装轴距离中位面由远至近顺序排布，所述活动杆排列顺序与活动部排列顺序保持一致，所述转动环在旋转过程中，所述活动杆根据排列顺序依次抵接在抵接块上；
所述控制板远离抵接环的一侧设置有控制横条，所述控制横条位于底环的上端处，最靠近中位面的所述安装轴为解锁轴，所述控制横条上设置有当除解锁轴之外的安装轴抵接在控制横条上时，固定安装轴的稳固组件，所述控制横条上设置有当解锁轴抵接在控制横条上时，解除稳固组件对安装轴固定效果的解锁组件。
通过采用上述技术方案，将安装轴安装在支撑槽内，转动组件带动转动环旋转，抵接块根据活动杆的排列顺序依次抵接在活动杆上，最外侧的两个安装轴在导斜面的作用下上升，当安装轴抵接在控制横条上时被稳固组件固定住，此时位于下端的活动部中最外侧两个安装轴变化，转动环继续旋转，最外侧的安装轴开始上升并被稳固组件固定，依次进行剩余的操作，直至解锁轴抵接在控制横条上，在解锁组件的作用下解除所有安装轴的固定效果，然后在重力作用下，所有安装轴恢复至初始状态，由于晶圆中两端受流体清洗的晶圆始终在变化，实现均匀清理各个晶圆的效果。
可选的，所述转动组件包括若干个吹气管和若干个设置在转动环外周侧的引导板，所述吹气管对准引导板，所述引导板倾斜设置，若干个所述引导板和吹气管均绕转动环转动中心线方向阵列排布。
通过采用上述技术方案，启动吹气管，吹气管吹出气体带动流体撞击引导板，引导板受力后开始带动转动环旋转。
可选的，所述固定组件包括固定块、固定螺杆以及固定螺帽，所述固定块设置在安装环内环壁上，固定螺杆设置在固定块上，所述固定螺帽螺纹连接在固定螺杆上，若干个所述固定螺杆之间形成供晶圆放置的固定空间。
通过采用上述技术方案，将晶圆放置在固定空间内，然后将固定螺帽旋入固定螺杆上，当固定螺帽抵紧在晶圆上时，完成固定组件对晶圆的固定效果。
可选的，所述安装环包括固定环和旋转环，所述旋转环转动连接在固定环上，所述固定块设置在旋转环内壁上，所述安装轴设置在固定环上，所述旋转环上设置有若干个导向板，所述导向板倾斜设置，若干个所述导向板绕旋转环转动中心线方向阵列排布。
通过采用上述技术方案，通过透气孔的水流会撞击在导向板上，从而带动旋转环在安装环上旋转，进一步提高晶圆的清洗效果。
可选的，所述稳固组件包括设置在控制横条上的插接块和若干个滑移在插接块上的稳固块，所述安装轴开设有供插接块卡入的插接槽，所述插接槽槽壁上开设有供稳固块卡入的稳固槽，所述插接块上设置有若干个控制稳固块靠近稳固槽方向滑移的弹性件，所述稳固块上设有供安装轴抵接控制稳固块朝靠近插接块方向滑移的导向面。
通过采用上述技术方案，当安装轴朝靠近控制横条方向滑移过程中，插接块插入插接槽内，同时在导向面的作用下，稳固块收入插接块内，直至稳固块对准稳固槽，在弹性件的作用下，稳固块插入稳固槽内，完成稳固组件对安装轴的固定效果。
可选的，所述弹性件为抵接弹簧，所述稳固块设置有两个，所述抵接弹簧的一端抵接在其中一个稳固块上，所述抵接弹簧的另一端抵接在另一个稳固块上。
通过采用上述技术方案，在抵接弹簧弹力的作用下，两个稳固块朝相远离的方向滑移，直至稳固块插入稳固槽内。
可选的，所述解锁组件包括抵接杆和若干个解锁绳，所述控制横条上开设有供抵接杆滑移的抵接槽，所述解锁绳的一端设置在抵接杆上，所述解锁绳的另一端抵接在稳固块远离稳固槽的一侧端面上，所述控制板上设置有给控制杆朝靠近底环方向滑移的复位弹簧。
通过采用上述技术方案，当解锁轴朝靠近控制横条方向滑移过程中，抵接杆受解锁轴抵接然后朝靠近抵接槽槽底方向滑移，同时解锁绳拉动稳固块朝远离稳固槽方向滑移，直至稳固块完全脱离出稳固槽外，然后安装轴在重力作用下朝靠近底环方向滑移。
可选的，所述控制横条上滑移有安装螺杆，所述控制板远离底环的一侧开设有与安装螺杆螺纹部相适配的安装槽。
通过采用上述技术方案，在安装螺杆和安装槽的配合下，控制横条与控制板为可拆卸连接，方便安装轴和安装环在支撑架上的安装。
第二方面，本申请提供一种LED晶圆清洗设备，采用如下的技术方案：
一种LED晶圆清洗设备，包括处理装置和反应釜，所述反应釜设置在处理装置上，上述LED晶圆清洗夹具设置在反应釜上。
通过采用上述技术方案，将LED晶圆清洗夹具安装在反应釜内，然后启动处理设备，产生超临界二氧化碳对反应釜内的晶圆进行清洗。
综上所述，本申请包括以下至少一种有益效果：
当安装轴均安装在支撑槽内时，转动组件带动转动环旋转，活动杆能够依次抵接在导斜面上，距离中位面最远的两个安装轴先抵接在控制横条上并通过稳固组件进行固定，然后是距离中位面第二远的安装朝控制横条方向滑移，直至解锁轴抵接在控制横条上，所述安装轴在重力作用下朝靠近底环方向滑移，然后进行下一轮的安装轴滑移，由于晶圆中两端受流体清洗的晶圆始终在变化，实现均匀清理各个晶圆的效果。
附图说明
图1是现有技术中反应釜的剖视示意图；
图2是图1中A处的放大示意图；
图3是本实施例的整体结构示意图；
图4是本实施例中反应釜和底环的剖视示意图；
图5是本实施例中底环和转动环的结构示意图；
图6是本实施例中凸显安装环的剖视示意图；
图7是图6中B处的放大示意图；
图8是本实施例中凸显抵接块的剖视示意图；
图9是本实施例中凸显解锁组件的剖视示意图；
图10是图9中C处的放大示意图。
附图标记说明：1、处理装置；11、遮盖板；2、钢瓶；3、反应釜；31、清洗腔；32、连通孔；33、容纳腔；34、通气孔；35、导向槽；4、晶圆；5、置物板；51、通孔；6、底环；61、透气孔；62、导向块；63、第一连接槽；64、限制槽；65、抵接块；651、导斜面；7、转动环；71、第一连接环；711、限制环；712、活动槽；713、让位槽；8、支撑架；81、支撑板；811、控制板；8111、支撑槽；8112、竖向槽；8113、安装槽；9、安装环；91、固定环；911、第二连接槽；92、旋转环；921、第二连接环；922、导向板；10、转动组件；101、吹气管；102、引导板；21、固定组件；211、固定块；212、固定螺杆；213、固定螺帽；22、固定空间；23、中位面；24、安装轴；241、插接槽；242、稳固槽；25、活动杆；251、第一竖杆；252、第二竖杆；253、连接杆；26、活动部；27、控制横条；271、滑移槽；272、抵接槽；273、解锁槽；28、安装螺杆；29、解锁轴；30、稳固组件；301、插接块；3011、平移槽；3012、限位槽；302、稳固块；3021、导向面；3022、限位块；41、弹性件；411、抵接弹簧；42、塞块；43、解锁组件；431、抵接杆；432、解锁绳；4321、连接绳；44、复位弹簧；45、升降机构；46、夹持机构。
具体实施方式
以下结合附图3-10对本申请作进一步详细说明。
本实施例公开了一种LED晶圆清洗夹具。
参照图3和图4，LED晶圆清洗夹具设置在LED晶圆清洗设备上，LED晶圆清洗设备包括反应釜3，反应釜3上端面开设有容纳腔33，容纳腔33腔底开设有通气孔34。
参照图4，LED晶圆清洗夹具包括底环6、转动环7、支撑架8以及若干个安装环9，底环6为圆环状且安装在容纳腔33腔底，在底环6上开设有若个透气孔61，位于通气孔34处的流体能够通过透气孔61。为了提高底环6在容纳腔33内的稳定性，在底环6外周侧设置有若干个导向块62，在容纳腔33腔壁上开设有供导向块62竖直方向滑移的导向槽35。
参照图4，转动环7安装在底环6上，在转动环7上固定设置有第一连接环71，在底环6上开设有供第一连接环71旋转的第一连接槽63，在第一连接环71外周侧还焊接有限制环711，在第一连接槽63槽壁上开设有供限制环711旋转的限制槽64，在第一连接环71和第一连接槽63的配合下，实现转动环7转动连接在底环6上的效果，在限制环711和限制槽64的配合下，减少转动环7朝远离底环6方向移动的可能性。
参照图4和图5，在反应釜3上安装有转动组件10，转动组件10包括若干个吹气管101和若干个引导板102，吹气管101安装在反应釜3内，引导板102倾斜设置且绕转动环7转动中心线阵列排布在转动环7外周侧上，吹气管101的管口对准导向板922。
参照图4和图5，外界朝吹气管101内充气，吹气管101吹出气体带动流体撞击引导板102，引导板102受力后开始带动转动环7旋转。
参照图5，支撑架8包括两个支撑板81，两个支撑板81相互平行且均焊接在转动环7上端处，支撑板81包括两个固定焊接在一起的控制板811。
参照图6和图7，安装环9安装在两个支撑板81之间，安装环9包括固定环91和旋转环92，晶圆4安装在旋转环92内，固定环91的轴线和旋转环92的轴线相重合，在旋转环92的外周侧一体形成有第二连接环921，在固定环91内壁上开设有供连接环旋转的第二连接槽911，在第二连接环921和第二连接槽911的配合下，实现旋转环92转动连接在固定环91内的效果。
参照图6和图7，在旋转环92上安装有若干个固定组件21，固定组件21包括固定块211、固定螺杆212以及固定螺帽213，固定块211焊接在旋转环92内环壁上，且若干个固定块211绕旋转环92轴线均匀排布，固定螺杆212焊接在固定块211上，若干个供螺杆之间形成供晶圆4放置的固定空间22，固定螺冒螺纹连接在固定螺杆212上，将晶圆4卡在固定空间22上，然后旋转固定螺帽213直至固定螺帽213抵接在晶圆4上，通过固定螺帽213和固定块211将晶圆4夹持住，完成晶圆4在旋转环92上的安装。
参照图5，两个控制板811的交界处为中位面23，在固定环91的外周侧焊接有两个安装轴24，在控制板811上端面开设有供安装轴24沿竖直方向滑移的支撑槽8111，当两个安装轴24分别卡入两个相互平行的控制板811时，完成晶圆4和安装环9的安装。
参照图5，在旋转环92外周侧上还安装有若干个导向板922，导向板922倾斜设置，若干个导向板922绕旋转环92轴线阵列排布，当流体穿过透气孔61撞击到旋转环92上时，在导向板922的配合下，旋转环92能够相对固定环91进行旋转，提高旋转环92内晶圆4的清洗效果。
参照图8和图9，控制板811上还安装有活动杆25，活动杆25包括第一竖杆251、连接杆253以及第二竖杆252，第一竖杆251设置有两个，分别位于两个中位面23相对称的支撑槽8111处，在支撑槽8111下槽壁开设有供第一竖杆251滑移的竖向槽8112，连接杆253将两个第一竖杆251连接在一起，第二竖杆252设置在连接杆253上，在转动环7上开设有供第二竖杆252和连接杆253竖直方向滑移的活动槽712，活动槽712穿透至控制板811上。
参照图8和图9，在底环6上焊接有抵接块65，在抵接块65上设有导斜面651，在转动环7上开设有供抵接块65旋转的让位槽713，让位槽713与活动槽712相连通，当第二竖杆252抵接在导斜面651上时，第二竖杆252能够朝远离底环6方向滑移，第一竖杆251能够带动安装轴24朝远离底环6方向滑移。
参照图8和图9，在支撑板81上还安装有活动部26，活动部26由两个或一个沿中位面23相对称的安装轴24和活动杆25组成，本实施例晶圆4和安装环9的数量为六个，如若晶圆4数量为单数个，最中间的单个安装轴24和活动杆25形成活动部26。本实施例中活动部26和活动杆25只设置在其中一个支撑板81上，另一个支撑板81不设置。
参照图8和图9，活动部26沿安装轴24距离中位面23由远至近顺序排布，活动杆25排列顺序与活动部26排列顺序保持一致，转动环7在旋转过程中，活动杆25根据排列顺序依次抵接在抵接块65上；当转动环7开始旋转时，位于最外侧的两个安装轴24对应的活动杆25最先接触到抵接块65，转动环7继续旋转，距离第二外侧的两个安装轴24对应的活动杆25再接触到抵接块65上，以此类推，距离中位面23最近的安装轴24对应的活动杆25最后一个接触到抵接块65。
参照图9，在控制板811远离底环6的一侧安装有控制横条27，在控制横条27上安装有安装螺杆28，在控制横条27上开设有供安装螺杆28滑移的滑移槽271，在控制板811上端面开设有与安装螺杆28螺纹部相适配的安装槽8113，安装螺杆28穿过滑移槽271旋入安装槽8113内，完成控制横条27在控制板811上的固定安装。当控制横条27完成安装后，控制横条27能够将控制板811上的所有支撑槽8111槽口遮挡住。
参照图9和图10，最靠近中位面23的安装轴24为解锁轴29，在控制横条27上安装有稳固组件30，稳固组件30包括插接块301和两个稳固块302，在插接块301焊接在控制横条27下端面且当控制横条27抵接在控制板811上时，插接块301伸入支撑槽8111内，除解锁轴29之外的其它安装轴24开设有供插接块301竖直方向滑移的插接槽241，在插接槽241槽壁上开设有供稳固块302插入的稳固槽242。稳固块302滑移方向与插接块301滑移方向相互垂直，在插接块301上开设有供稳固块302水平方向上滑移的平移槽3011，在插接块301内还安装有若干个弹性件41，弹性件41为抵接弹簧411，抵接弹簧411的一端抵接在其中一个稳固块302上，抵接弹簧411的另一端抵接在另一个稳固块302上，在稳固块302上还设置有导向面3021。
参照图9和图10，当安装轴24上升，插接块301能够进入插接槽241内，在导向面3021的作用下，两个稳固块302朝相靠近的方向滑移，直至稳固块302完全收入插接块301内，当稳固块302与稳固槽242相对准时，在抵接弹簧411弹力的作用下，两个稳固块302插入稳固槽242内，完成安装轴24在控制横条27上的固定。
参照图9和图10，在稳固块302上还焊接有限位块3022，在插接块301侧壁上开设有供限位块3022滑移的限位槽3012，当限位块3022进入限位槽3012内时，在限位槽3012槽口处焊接有塞块42。在塞块42的限制下，减少稳固块302脱离出插接块301外的可能性。
参照图9和图10，在控制横条27上还安装有两个解锁组件43，解锁组件43为抵接杆431和若干个解锁绳432，在控制横条27下端面开设有供抵接杆431竖直方向滑移的抵接槽272，抵接杆431伸入解锁轴29对应的支撑槽8111内，本实施例中解锁绳432为2条，2条解锁绳432的一端粘接在抵接杆431上，两条解锁绳432的另一端分别朝支撑板81上的剩余2个支撑槽8111方向延伸，在控制横条27上开设有供解锁绳432滑移的解锁槽273，解锁槽273穿透至插接块301内且与平移槽3011相连通，解锁绳432远离抵接杆431的一端分裂成两条连接绳4321，连接绳4321粘接在稳固块302远离稳固槽242的一侧端面。
参照图9和图10，在解锁轴29上升过程中，解锁轴29能够接触到抵接杆431，抵接杆431受解锁轴29抵接然后朝靠近抵接槽272槽底方向滑移，此时解锁绳432能够朝远离稳固块302方向移动，连接绳4321拉动稳固块302朝远离稳固槽242方向滑移，直至稳固块302完全脱离出稳固槽242外，实现解锁组件43解除安装轴24在控制横条27上的固定连接的效果。
参照图9和图10，为了方便解锁轴29下一次抵接，在抵接槽272内还安装有复位弹簧44，复位弹簧44的一端抵接在抵接杆431上，复位弹簧44的另一端抵接在抵接槽272槽底。在复位弹簧44弹力的作用下，抵接杆431始终有朝下移动的趋势。
本申请实施例一种LED晶圆清洗夹具的实施原理为：
将安装轴24安装在支撑槽8111内，并通过安装螺杆28将控制横条27固定在控制板811上端，然后将底环6和转动环7均安装在容纳腔33腔底处，启动吹气管101在引导板102的作用下转动环7开始旋转。
抵接块65根据活动杆25的排列顺序依次抵接在活动杆25上，在导斜面651的作用下，最外侧的两个安装轴24在导斜面651的作用下上升，插接块301进入插接槽241内，当稳固块302与稳固槽242相对准后，在弹性件41的作用下稳固块302插入稳固槽242内，此时安装轴24被固定住，此时位于下端的活动部26中最外侧两个安装轴24变化成原来倒二侧的两个安装轴24，转动环7继续旋转，此时最外侧的安装轴24开始上升并被稳固组件30固定，依次进行剩余的操作，直至解锁轴29抵接在控制横条27上，抵接杆431和解锁绳432的作用下稳固块302脱离出稳固槽242外，然后在重力作用下所有安装轴24下降恢复至初始状态，然后进行下一轮的升降操作，由于晶圆4中两端受流体清洗的晶圆4始终在变化，实现均匀清理各个晶圆4的效果。
本实施例还公开了一种LED晶圆清洗设备。
参照图3，LED晶圆清洗设备包括处理装置1和反应釜3，在处理装置1的一侧安装有储存液二氧化碳的钢瓶2，钢瓶2给处理装置1输送液二氧化碳，处理装置1上安装有遮盖板11，处理装置1上还安装有夹持反应釜3的夹持机构46以及控制遮盖板11竖直方向滑移的升降机构45，上述的LED晶圆清洗夹具设置在反应釜3内。
本申请实施例一种LED晶圆清洗设备的实施原理为：
升降机构带动遮盖板11上升，解除夹持机构对反应釜3的夹持，然后将安装好晶圆4的LED晶圆清洗夹具放置在反应釜3内，然后夹持机构夹持住反应釜3，遮盖板11将反应釜3遮盖住，钢瓶2朝处理装置1输送液二氧化碳，处理装置1对液二氧化碳加工处理成超临界二氧化碳输送至反应釜3内，对反应釜3内的晶圆4进行清洗。
以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种LED晶圆清洗夹具，其特征在于：设置在LED晶圆清洗设备上，LED晶圆清洗设备包括反应釜（3），反应釜（3）开设有容纳腔（33），容纳腔（33）腔底开设有通气孔（34）；
包括底环（6）、转动环（7）、支撑架（8）以及若干个安装环（9），所述底环（6）设置在容纳腔（33）腔底处，所述底环（6）开设有多个透气孔（61），所述转动环（7）转动连接在底环（6）上，反应釜（3）上设置有控制转动环（7）旋转的转动组件（10），所述安装环（9）上设置有若干个固定晶圆（4）的固定组件（21），所述支撑架（8）包括两个相互平行的支撑板（81），所述支撑板（81）设置在底环（6）上；
所述安装环（9）上设置有两个安装轴（24），所述支撑板（81）包括两个控制板（811），所述控制板（811）远离转动环（7）的一侧分别开设有供两个安装轴（24）沿竖直方向滑移的支撑槽（8111），两个所述控制板（811）的交界处为中位面（23），所述控制板（811）还设置有活动杆（25），所述活动杆（25）靠近安装轴（24）的一侧能够抵接在安装轴（24）上，所述支撑板（81）上设置有若干个活动部（26），所述活动部（26）由两个或一个沿中位面（23）相对称的安装轴（24）和活动杆（25）组成；
所述底环（6）上设置有抵接块（65），所述抵接块（65）上设有供活动杆（25）抵接控制活动杆（25）朝远离底环（6）方向滑移的导斜面（651），所述活动部（26）沿安装轴（24）距离中位面（23）由远至近顺序排布，所述活动杆（25）排列顺序与活动部（26）排列顺序保持一致，所述转动环（7）在旋转过程中，所述活动杆（25）根据排列顺序依次抵接在抵接块（65）上；
所述控制板（811）远离抵接环的一侧设置有控制横条（27），所述控制横条（27）位于底环（6）的上端处，最靠近中位面（23）的所述安装轴（24）为解锁轴（29），所述控制横条（27）上设置有当除解锁轴（29）之外的安装轴（24）抵接在控制横条（27）上时，固定安装轴（24）的稳固组件（30），所述控制横条（27）上设置有当解锁轴（29）抵接在控制横条（27）上时，解除稳固组件（30）对安装轴（24）固定效果的解锁组件（43）。
2.根据权利要求1所述的一种LED晶圆清洗夹具，其特征在于：所述转动组件（10）包括若干个吹气管（101）和若干个设置在转动环（7）外周侧的引导板（102），所述吹气管（101）对准引导板（102），所述引导板（102）倾斜设置，若干个所述引导板（102）和吹气管（101）均绕转动环（7）转动中心线方向阵列排布。
3.根据权利要求2所述的一种LED晶圆清洗夹具，其特征在于：所述固定组件（21）包括固定块（211）、固定螺杆（212）以及固定螺帽（213），所述固定块（211）设置在安装环（9）内环壁上，固定螺杆（212）设置在固定块（211）上，所述固定螺帽（213）螺纹连接在固定螺杆（212）上，若干个所述固定螺杆（212）之间形成供晶圆（4）放置的固定空间（22）。
4.根据权利要求3所述的一种LED晶圆清洗夹具，其特征在于：所述安装环（9）包括固定环（91）和旋转环（92），所述旋转环（92）转动连接在固定环（91）上，所述固定块（211）设置在旋转环（92）内壁上，所述安装轴（24）设置在固定环（91）上，所述旋转环（92）上设置有若干个导向板（922），所述导向板（922）倾斜设置，若干个所述导向板（922）绕旋转环（92）转动中心线方向阵列排布。
5.根据权利要求4所述的一种LED晶圆清洗夹具，其特征在于：所述稳固组件（30）包括设置在控制横条（27）上的插接块（301）和若干个滑移在插接块（301）上的稳固块（302），所述安装轴（24）开设有供插接块（301）卡入的插接槽（241），所述插接槽（241）槽壁上开设有供稳固块（302）卡入的稳固槽（242），所述插接块（301）上设置有若干个控制稳固块（302）靠近稳固槽（242）方向滑移的弹性件（41），所述稳固块（302）上设有供安装轴（24）抵接控制稳固块（302）朝靠近插接块（301）方向滑移的导向面（3021）。
6.根据权利要求5所述的一种LED晶圆清洗夹具，其特征在于：所述弹性件（41）为抵接弹簧（411），所述稳固块（302）设置有两个，所述抵接弹簧（411）的一端抵接在其中一个稳固块（302）上，所述抵接弹簧（411）的另一端抵接在另一个稳固块（302）上。
7.根据权利要求6所述的一种LED晶圆清洗夹具，其特征在于：所述解锁组件（43）包括抵接杆（431）和若干个解锁绳（432），所述控制横条（27）上开设有供抵接杆（431）滑移的抵接槽（272），所述解锁绳（432）的一端设置在抵接杆（431）上，所述解锁绳（432）的另一端抵接在稳固块（302）远离稳固槽（242）的一侧端面上，所述控制板（811）上设置有给控制杆朝靠近底环（6）方向滑移的复位弹簧（44）。
8.根据权利要求7所述的一种LED晶圆清洗夹具，其特征在于：所述控制横条（27）上滑移有安装螺杆（28），所述控制板（811）远离底环（6）的一侧开设有与安装螺杆（28）螺纹部相适配的安装槽（8113）。
9.一种LED晶圆清洗设备，其特征在于：包括处理装置（1）和反应釜（3），所述反应釜（3）设置在处理装置（1）上，根据权利要求1-8任意一项的LED晶圆清洗夹具设置在反应釜（3）上。
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