CN115307841B - 腔内漏率测试的自动控制方法和装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种腔内漏率测试的自动控制方法和装置，其中方法包括：基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，并基于测漏条件极值，确定漏率计算延时；基于工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时；工艺腔体的现行运行状态维持在闲置状态的时间不小于真空抽取延时时，对工艺腔体进行抽真空操作；若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且实时压力值和历史压力值的平均值不大于测漏条件极值时，停止抽真空操作；待抽真空操作的结束时间不小于漏率计算延时时，计算工艺腔体的漏率。本发明实现了工艺腔体测漏的全流程自动化，提高了工艺腔体测漏的效率。

Description

腔内漏率测试的自动控制方法和装置

技术领域

本发明涉及自动控制技术领域，尤其涉及一种腔内漏率测试的自动控制方法和装置。

背景技术

随着自动化控制技术的发展，工业生产的各个领域都在试图采用自动化控制技术提高自动化水平以提高效率、节约人力成本，半导体领域也不例外。一个典型场景是在晶圆的生产制造过程中，大部分的工艺操作均需要在真空环境下进行，但由于工艺腔体具有很多密封口，在长时间的工艺过程中，上述密封口会由于材料老化等原因出现腔体泄露的情况，导致外部空气进入到工艺腔体内部，降低工艺腔体内的真空度，从而对工艺参数产生严重的负面影响。因此，需要高效地对工艺腔体进行测漏，以及时发现腔体泄露的情况并予以调整。

目前对工艺腔体的测漏工作通常采用定期检测的方式，且测试过程中需要将工艺设备停机，以使工艺腔体处于不能进行工艺的离线状态，然后由工程师手动操作机台配套软件上专门的漏率测试菜单进行相应的测漏操作。然而，上述定期检测的方式不够灵活的同时，由于测漏过程需要在工艺腔体处于离线状态的时候进行，会干扰正常的工艺流程，拖慢工艺效率。此外，由于测漏过程中，需要工程师根据自身经验手动配置配套软件上的漏率测试菜单中的测试参数，因此测漏的准确性很大程度上依赖于工程师的主观经验的好坏，测漏准确性难以得到保证，而测漏准确性的降低会对工艺操作产生很大的影响。因此，需要一种针对工艺腔体漏率测试的更准确的自动控制方法。

发明内容

本发明提供一种腔内漏率测试的自动控制方法和装置，用以解决现有技术中准确性不稳定的缺陷。

本发明提供一种腔内漏率测试的自动控制方法，包括：

基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，并基于所述测漏条件极值，确定漏率计算延时；其中，所述测漏条件极值越低，所述漏率计算延时越短；基于所述工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时；

所述工艺腔体的现行运行状态维持在闲置状态的时间不小于所述真空抽取延时时，对所述工艺腔体进行抽真空操作；若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作；待抽真空操作的结束时间距离当前的时间间隔不小于所述漏率计算延时时，计算所述工艺腔体的漏率。

根据本发明提供的一种腔内漏率测试的自动控制方法，所述基于所述测漏条件极值，确定漏率计算延时，具体包括：

构建多个样本测漏条件极值与其对应的样本漏率计算延时之间的转换关系；

基于所述多个样本测漏条件极值与其对应的样本漏率计算延时之间的转换关系，确定所述测漏条件极值对应的漏率计算延时。

根据本发明提供的一种腔内漏率测试的自动控制方法，所述基于所述多个样本测漏条件极值与其对应的样本漏率计算延时之间的转换关系，确定所述测漏条件极值对应的漏率计算延时，具体包括：

以所述测漏条件极值作为查询关键词对所述转换关系进行查询；

若查询失败，则查询所述转换关系中与所述测漏条件极值最接近且大于所述测漏条件极值的样本测漏条件极值，作为标准测漏条件极值；

确定所述标准测漏条件极值对应的样本漏率计算延时，作为所述测漏条件极值对应的漏率计算延时。

根据本发明提供的一种腔内漏率测试的自动控制方法，所述在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值是基于如下步骤获取的：

基于所述测漏条件极值和执行所述抽真空操作的真空泵的抽气速率之间的乘积，确定监测周期，并基于所述监测周期，间歇地监测所述工艺腔体内的实时压力值，统计当前监测的实时压力值和监测时间距离当前时间最近的多个历史压力值；

其中，所述测漏条件极值与所述真空泵的抽气速率之间的乘积越小，所述监测周期越长；纳入统计的历史压力值的数量是基于所述监测周期确定的，所述监测周期越短，纳入统计的历史压力值的数量越多。

根据本发明提供的一种腔内漏率测试的自动控制方法，所述若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作，具体包括：

以时间为横轴、压力值为纵轴，对所述实时压力值和所述多个历史压力值进行曲线拟合，得到所述实时压力值和所述多个历史压力值满足的曲线函数表达式；

计算所述曲线函数表达式在最早的历史压力值与所述实时压力值对应的时间范围内的压力值方差，作为所述实时压力值和多个历史压力值的变化幅度；计算所述曲线函数表达式在所述时间范围内的平均值，作为所述实时压力值和历史压力值的平均值；

当所述实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作。

根据本发明提供的一种腔内漏率测试的自动控制方法，所述基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，具体包括：

获取所述工艺腔体内设的压力计的误差范围；

基于所述压力计的误差范围以及所述各个工作环节的真空度极大值，确定所述各个工作环节的真空度极大值对应的所述压力计的最小读数，并将所述最小读数作为所述测漏条件极值。

根据本发明提供的一种腔内漏率测试的自动控制方法，所述基于所述工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时，具体包括：

基于所述各个维护环节的最大维护时长的总和，确定所述真空抽取延时。

根据本发明提供的一种腔内漏率测试的自动控制方法，所述工艺腔体的现行运行状态维持在闲置状态的时间不小于所述真空抽取延时时，对所述工艺腔体进行抽真空操作，之前还包括：

基于监控线程实时监控所述工艺腔体的现行运行状态，并在首次监控到所述工艺腔体的现行运行状态为闲置状态时，发送闲置提醒信息，在其他时间监控到所述工艺腔体的现行运行状态发生变化时，发送状态切换提醒信息；所述闲置提醒信息中包含所述工艺腔体的现行运行状态且所述现行运行状态为闲置状态，所述状态切换提醒信息中包含所述工艺腔体的在先运行状态和现行运行状态；

当接收到闲置提醒信息或状态切换提醒信息后，对所述闲置提醒信息或所述状态切换提醒信息进行解析，获取所述工艺腔体的现行运行状态。

根据本发明提供的一种腔内漏率测试的自动控制方法，当接收到所述状态切换提醒信息时，还包括：

对所述状态切换提醒信息进行解析，得到所述工艺腔体的在先运行状态和现行运行状态；

若所述工艺腔体的在先运行状态为闲置状态且所述工艺腔体的现行运行状态为工作状态，则销毁所述监控线程并复位定时器；所述定时器用于计量工艺腔体的现行运行状态在闲置状态的维持时间，以及抽真空操作结束后的等待时间。

本发明还提供一种腔内漏率测试的自动控制装置，包括：

测漏配置单元，用于基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，并基于所述测漏条件极值，确定漏率计算延时；其中，所述测漏条件极值越低，所述漏率计算延时越短；基于所述工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时；

漏率测试单元，用于所述工艺腔体的现行运行状态维持在闲置状态的时间不小于所述真空抽取延时时，对所述工艺腔体进行抽真空操作；若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作；待抽真空操作的结束时间距离当前的时间间隔不小于所述漏率计算延时时，计算所述工艺腔体的漏率。

本发明还提供一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现如上述任一种所述腔内漏率测试的自动控制方法的步骤。

本发明还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述腔内漏率测试的自动控制方法的步骤。

本发明还提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述腔内漏率测试的自动控制方法的步骤。

本发明提供的腔内漏率测试的自动控制方法和装置，基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，并基于测漏条件极值，确定漏率计算延时；基于工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时，实现了自动测漏配置参数的自动获取，避免了手动设置各项参数对于工程师主观经验的依赖，提高了自动测漏过程的可信度和测漏结果的准确性；再依据上述自动测漏配置参数，通过在工艺腔体处于闲置状态时进行自动测漏，有效利用工艺腔体的闲置时间，可以在不干扰工艺腔体正常工艺流程的情况下自动进行测漏，定时开始抽真空操作，在工艺腔体内部压力足以作为计算漏率的起始压力值时自动停止抽真空操作，然后定时计算漏率，实现了工艺腔体测漏的全流程自动化控制，提高了工艺腔体测漏的效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明提供的腔内漏率测试的自动控制方法的流程示意图；

图2是本发明提供的自动测漏过程的流程示意图；

图3是本发明提供的漏率计算延时确定方法的流程示意图；

图4是本发明提供的压力值监测方法的流程示意图；

图5是本发明提供的腔内漏率测试的自动控制装置的结构示意图；

图6是本发明提供的电子设备的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明中的附图，对本发明中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图1为本发明实施例提供的腔内漏率测试的自动控制方法的流程示意图，如图1所示，该自动控制方法包括：

步骤110，基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，并基于所述测漏条件极值，确定漏率计算延时；其中，所述测漏条件极值越低，所述漏率计算延时越短；基于所述工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时；

步骤120，所述工艺腔体的现行运行状态维持在闲置状态的时间不小于所述真空抽取延时时，对所述工艺腔体进行抽真空操作；若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作；待抽真空操作的结束时间距离当前的时间间隔不小于所述漏率计算延时时，计算所述工艺腔体的漏率。

具体地，在开始自动测漏之前，可以获取自动测漏过程中需要的配置参数。其中，配置参数包括真空抽取延时、测漏条件极值和漏率计算延时。需要说明的是，为了不干扰正常工艺流程的进行，本发明实施例提供的腔内漏率测试的自动控制方法将测漏的时机放在工艺腔体处于闲置状态的时候。因此，可以在确认开启自动测漏功能后，实时监测工艺腔体的现行运行状态。其中，现行运行状态是指工艺腔体当前的运行状态，运行状态包括工作状态、闲置状态等。工作状态是指工艺腔体正在进行工艺操作，而闲置状态则指工艺腔体当前未进行工艺操作。当监测到工艺腔体的现行运行状态为闲置状态时，表明具备一定的测漏条件，因此，可以开始进行测漏。

此处，真空抽取延时是指工艺腔体在进入闲置状态后直至开始自动测漏的等待时间。考虑到工艺腔体在进行闲置状态后，虽未进行工艺操作，但可能正处于后续的维护环节中，例如清洁环节、手动测漏环节等。若在工艺腔体刚进入闲置状态即开始自动测漏，必然会干扰工艺腔体预设的固有流程，产生安全隐患，且此时的测漏结果也会受到维护环节中各类操作的干扰，测得的漏率也不准确。因此，可以设置真空抽取延时，在工艺腔体进入闲置状态后等待一段时间，待固有流程中的所有维护环节也执行完毕后再开始自动测漏。

测漏条件极值是指开启自动测漏时工艺腔体内部所需保持的最高压力。为了尽可能提高工艺腔体测漏的准确性，可以利用该工艺腔体所要完成的工艺类型，确定该工艺腔体为了完成该工艺类型所需达到的真空度，从而确定该测漏条件极值，以使得测漏环境与工艺环境一致。

漏率计算延时是指开启自动测漏后直至计算漏率时工艺腔体处于密闭环境的持续时间，即开始自动测漏，并对工艺腔体进行抽真空操作后，工艺腔体一直处于密闭环境，直至抽真空时间到达该漏率计算延时后，即可以开始计算工艺腔体的漏率。

其中，真空抽取延时可以基于工艺腔体处于闲置状态时各个维护环节的最大维护时长确定得到。此处，维护环节是工艺腔体固有流程中完成工艺操作后的步骤，根据完成各个维护环节所需的最大维护时长，可以确定完成所有维护环节所需的时间，并将其作为真空抽取延时。

对于测漏条件极值，具体可以通过工艺腔体各个工作环节所需的真空度极大值，确定达到该真空度极大值时工艺腔体内所需保持的最高压力，作为该测漏条件极值。其中，工作环节是指工艺过程中的各个环节，真空度极大值则是各个工作环节的工作真空度中的最大值。

考虑到工艺腔体内的压力越低，真空度越高，若工艺腔体内存在气体泄漏的情况，则在高真空度的情况下气体泄漏问题会更明显，因此可以根据上述步骤中确定的测漏条件极值，确定该漏率计算延时。其中，测漏条件极值越低，气体泄漏问题会越明显，所需的漏率计算延时可以越短。

图2为本发明实施例提供的自动测漏过程的流程示意图，如图2所示，待自动确定好上述配置参数后，可以设置定时器，并等待直至定时器显示的等待时间达到上述真空抽取延时，即可对工艺腔体进行抽真空操作，并同时监测工艺腔体内的压力值。由于计算漏率时所使用的起始压力值需要满足该起始压力值稳定在测漏条件极值以下的条件，因此可以根据当前监测的实时压力值和历史监测的多个历史压力值，判断工艺腔体内的压力值已满足上述条件。具体可以实时判断当前监测的实时压力值和历史监测的多个历史压力值的平均值是否不大于上述测漏条件极值，并且实时压力值和多个历史压力值之间的变化幅度是否小于预设阈值。

若判断结果为实时压力值和历史监测的多个历史压力值的平均值不大于测漏条件极值，并且实时压力值和多个历史压力值之间的变化幅度小于预设阈值，则可以确定工艺腔体内的压力值已经稳定在测漏条件极值以下，可以作为计算漏率的起始压力值。此时，可以停止抽真空操作，并使工艺腔体在密闭状态下等待。待抽真空操作的结束时间长度不小于漏率计算延时时，可以检测工艺腔体内当前的压力值，作为泄露后压力值，并基于该泄露后压力值计算工艺腔体的漏率。

本发明实施例提供的方法，基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，并基于测漏条件极值，确定漏率计算延时；基于工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时，实现了自动测漏配置参数的自动获取，避免了手动设置各项参数对于工程师主观经验的依赖，提高了自动测漏过程的可信度和测漏结果的准确性；再依据上述自动测漏配置参数，通过在工艺腔体处于闲置状态时进行自动测漏，有效利用工艺腔体的闲置时间，可以在不干扰工艺腔体正常工艺流程的情况下自动进行测漏，定时开始抽真空操作，在工艺腔体内部压力足以作为计算漏率的起始压力值时自动停止抽真空操作，然后定时计算漏率，实现了工艺腔体测漏的全流程自动化控制，提高了工艺腔体测漏的效率。

基于上述任一实施例，如图3所示，所述基于所述测漏条件极值，确定漏率计算延时，具体包括：

步骤310，构建多个样本测漏条件极值与其对应的样本漏率计算延时之间的转换关系；

步骤320，基于所述多个样本测漏条件极值与其对应的样本漏率计算延时之间的转换关系，确定所述测漏条件极值对应的漏率计算延时。

具体地，可以预先设定多个样本测漏条件极值和样本漏率计算延时，并建立各个样本测漏条件极值和样本漏率计算延时之间的转换关系。其中，样本测漏条件极值越低，其对应的样本漏率计算延时越短。当要确定漏率计算延时时，可以通过确定测漏条件极值在上述转换关系中对应的样本漏率计算延时实现。

基于上述任一实施例，所述基于所述多个样本测漏条件极值与其对应的样本漏率计算延时之间的转换关系，确定所述测漏条件极值对应的漏率计算延时，具体包括：

以所述测漏条件极值作为查询关键词对所述转换关系进行查询；

若查询失败，则查询所述转换关系中与所述测漏条件极值最接近且大于所述测漏条件极值的样本测漏条件极值，作为标准测漏条件极值；

确定所述标准测漏条件极值对应的样本漏率计算延时，作为所述测漏条件极值对应的漏率计算延时。

具体地，可以首先将测漏条件极值作为查询关键词对上述构建的转换关系进行查询。但考虑到预设设置的样本测漏条件极值可能没有覆盖各个测漏场景下对应的测漏条件极值，因此存在查询失败的可能性。若查询失败，则可以查询转换关系中与测漏条件极值最接近且大于测漏条件极值的样本测漏条件极值，并将其作为标准测漏条件极值。随后，从转换关系中获取该标准测漏条件极值对应的样本漏率计算延时，作为测漏条件极值对应的漏率计算延时。

基于上述任一实施例，所述在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值是基于如下步骤获取的：

基于所述测漏条件极值和执行所述抽真空操作的真空泵的抽气速率之间的乘积，确定监测周期，并基于所述监测周期，间歇地监测所述工艺腔体内的实时压力值，统计当前监测的实时压力值和监测时间距离当前时间最近的多个历史压力值；

其中，所述测漏条件极值与所述真空泵的抽气速率之间的乘积越小，所述监测周期越长；纳入统计的历史压力值的数量是基于所述监测周期确定的，所述监测周期越短，纳入统计的历史压力值的数量越多。

具体地，在判断工艺腔体内压力值是否稳定在测漏条件极值以下的过程中，需要间歇地检测工艺腔体内的实时压力值。为了均衡工艺腔体内压力值的及时检测和资源节约，可以确定合适的监测周期。此处，可以基于测漏条件极值和执行抽真空操作的真空泵的抽气速率之间的乘积，确定监测工艺腔体内实时压力值的监测周期。其中，测漏条件极值与真空泵的抽气速率之间的乘积越小，上述监测周期越长。即，测漏条件极值越小，达到该测漏条件极值需要花费的抽真空时间越长，则可以设置更长的监测周期，以适当放慢监测频率；另外，真空泵的抽气速率越小，同样导致达到该测漏条件极值需要花费的抽真空时间越长，因此也可以设置更长的监测周期。

随后，基于上述监测周期，间歇地监测工艺腔体内的实时压力值，并统计当前监测的实时压力值和监测时间距离当前时间最近的多个历史压力值。此处，本发明实施例未将历史监测的所有历史压力值都纳入统计，避免早期较低的历史压力值影响当前工艺腔体内的实时压力值是否稳定在测漏条件极值的判断。其中，纳入统计的历史压力值的数量可以基于监测周期确定，监测周期越短，相邻历史压力值之间的时间差越小，因此纳入统计的历史压力值的数量可以越多，以更好地体现压力值的波动范围。

基于上述任一实施例，如图4所示，所述若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作，具体包括：

步骤410，以时间为横轴、压力值为纵轴，对所述实时压力值和所述多个历史压力值进行曲线拟合，得到所述实时压力值和所述多个历史压力值满足的曲线函数表达式；

步骤420，计算所述曲线函数表达式在最早的历史压力值与所述实时压力值对应的时间范围内的压力值方差，作为所述实时压力值和多个历史压力值的变化幅度；计算所述曲线函数表达式在所述时间范围内的平均值，作为所述实时压力值和历史压力值的平均值；

步骤430，当所述实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作。

具体地，可以对实时压力值和多个历史压力值进行曲线拟合，得到在上述历史压力值中最早监测到的历史压力值对应的监测时间与当前时间之间，各个压力值所满足的曲线函数表达式。根据该曲线函数表达式，可以计算曲线函数表达式在上述时间范围内的方差，作为实时压力值和多个历史压力值的变化幅度，并计算曲线函数表达式在上述时间范围内的平均值，作为实时压力值和多个历史压力值的平均值。通过曲线拟合并对曲线函数表达式进行平均值和方差的计算，可以避免离散点带来的较大误差。随后，若确定当前监测的实时压力值和历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且实时压力值和历史监测的多个历史压力值的平均值不大于测漏条件极值，则停止抽真空操作。

基于上述任一实施例，所述基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，具体包括：

获取所述工艺腔体内设的压力计的误差范围；

基于所述压力计的误差范围以及所述各个工作环节的真空度极大值，确定所述各个工作环节的真空度极大值对应的所述压力计的最小读数，并将所述最小读数作为所述测漏条件极值。

具体地，考虑到测量工艺腔体内部压力的压力计存在一定的误差，但是工艺流程中对于工艺腔体内部的真空度有着较严格的要求，相应也对工艺腔体测漏的准确性提出了较高要求。因此，需要避免压力计的误差导致对工艺腔体内部压力值或真空度的判断有误，使得抽真空操作后工艺腔体内的压力值与理想的压力值不一致，导致测漏结果准确性降低。对此，可以根据压力计的误差范围，以及工作环节要求的真空度极大值，确定该真空度极大值对应的压力计的最小读数，作为测漏条件极值。使用此方法确定测漏条件极值后，利用该测漏条件极值控制工艺腔体的抽真空操作，可以认为工艺腔体内的实际真空度是稳定在真空度极大值以上的，其内部的压力值可以作为计算漏率的起始压力值。

基于上述任一实施例，所述基于所述工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时，具体包括：

基于所述各个维护环节的最大维护时长的总和，确定所述真空抽取延时。

具体地，可以根据工艺腔体在闲置状态下进行各项维护环节的最大维护时长，确定工艺腔体完成各项维护环节花费的最长时间总和，并将该最长时间总和作为真空抽取延时，以给出更充裕的时间供工艺腔体完成固定流程中的各项维护环节。

基于上述任一实施例，所述工艺腔体的现行运行状态维持在闲置状态的时间不小于所述真空抽取延时时，对所述工艺腔体进行抽真空操作，之前还包括：

基于监控线程实时监控所述工艺腔体的现行运行状态，并在首次监控到所述工艺腔体的现行运行状态为闲置状态时，发送闲置提醒信息，在其他时间监控到所述工艺腔体的现行运行状态发生变化时，发送状态切换提醒信息；所述闲置提醒信息中包含所述工艺腔体的现行运行状态且所述现行运行状态为闲置状态，所述状态切换提醒信息中包含所述工艺腔体的在先运行状态和现行运行状态；

当接收到闲置提醒信息或状态切换提醒信息后，对所述闲置提醒信息或所述状态切换提醒信息进行解析，获取所述工艺腔体的现行运行状态。

具体地，在确认开启自动测漏功能后，开启监控线程，并利用该监控线程实时监控工艺腔体的现行运行状态。其中，若监控线程在首次监控时监控到工艺腔体的现行运行状态为闲置状态，则发送闲置提醒信息，若在其他时间监控到工艺腔体的现行运行状态发生变化时，发送状态切换提醒信息。此处，闲置提醒信息中包含工艺腔体的现行运行状态且该现行运行状态为闲置状态，状态切换提醒信息中包含工艺腔体的在先运行状态和现行运行状态。当接收到监控线程发送的闲置提醒信息或状态切换提醒信息后，对闲置提醒信息或状态切换提醒信息进行解析，获取工艺腔体的现行运行状态。

基于上述任一实施例，当接收到所述状态切换提醒信息时，还包括：

对所述状态切换提醒信息进行解析，得到所述工艺腔体的在先运行状态和现行运行状态；

若所述工艺腔体的在先运行状态为闲置状态且所述工艺腔体的现行运行状态为工作状态，则销毁所述监控线程并复位定时器；所述定时器用于计量工艺腔体的现行运行状态在闲置状态的维持时间，以及抽真空操作结束后的等待时间。

具体地，若接收到监控线程发送的状态切换提醒信息，可以对该状态切换提醒信息进行解析，获取工艺腔体的在先运行状态和现行运行状态。若工艺腔体的在先运行状态为闲置状态且现行运行状态为工作状态，表明工艺腔体从闲置状态退出，转为工作状态。此时已不具备自动测漏的基本条件，因此可以销毁上述监控线程并停用定时器。其中，定时器用于计量工艺腔体的现行运行状态在闲置状态的维持时间，以及抽真空操作结束后、计算工艺腔体的漏率之前的等待时间。

基于上述任一实施例，图5为本发明实施例提供的腔内漏率测试的自动控制装置的结构示意图，如图5所示，该装置包括：测漏配置单元510和漏率测试单元520。

其中，测漏配置单元510用于基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，并基于所述测漏条件极值，确定漏率计算延时；其中，所述测漏条件极值越低，所述漏率计算延时越短；基于所述工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时；

漏率测试单元520用于所述工艺腔体的现行运行状态维持在闲置状态的时间不小于所述真空抽取延时时，对所述工艺腔体进行抽真空操作；若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作；待抽真空操作的结束时间距离当前的时间间隔不小于所述漏率计算延时时，计算所述工艺腔体的漏率。

本发明实施例提供的装置，基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，并基于测漏条件极值，确定漏率计算延时；基于工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时，实现了自动测漏配置参数的自动获取，避免了手动设置各项参数对于工程师主观经验的依赖，提高了自动测漏过程的可信度和测漏结果的准确性；再依据上述自动测漏配置参数，通过在工艺腔体处于闲置状态时进行自动测漏，有效利用工艺腔体的闲置时间，可以在不干扰工艺腔体正常工艺流程的情况下自动进行测漏，定时开始抽真空操作，在工艺腔体内部压力足以作为计算漏率的起始压力值时自动停止抽真空操作，然后定时计算漏率，实现了工艺腔体测漏的全流程自动化控制，提高了工艺腔体测漏的效率。

基于上述任一实施例，所述基于所述测漏条件极值，确定漏率计算延时，具体包括：

构建多个样本测漏条件极值与其对应的样本漏率计算延时之间的转换关系；

基于所述多个样本测漏条件极值与其对应的样本漏率计算延时之间的转换关系，确定所述测漏条件极值对应的漏率计算延时。

基于上述任一实施例，所述基于所述多个样本测漏条件极值与其对应的样本漏率计算延时之间的转换关系，确定所述测漏条件极值对应的漏率计算延时，具体包括：

以所述测漏条件极值作为查询关键词对所述转换关系进行查询；

若查询失败，则查询所述转换关系中与所述测漏条件极值最接近且大于所述测漏条件极值的样本测漏条件极值，作为标准测漏条件极值；

确定所述标准测漏条件极值对应的样本漏率计算延时，作为所述测漏条件极值对应的漏率计算延时。

基于上述任一实施例，所述在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值是基于如下步骤获取的：

基于所述测漏条件极值和执行所述抽真空操作的真空泵的抽气速率之间的乘积，确定监测周期，并基于所述监测周期，间歇地监测所述工艺腔体内的实时压力值，统计当前监测的实时压力值和监测时间距离当前时间最近的多个历史压力值；

其中，所述测漏条件极值与所述真空泵的抽气速率之间的乘积越小，所述监测周期越长；纳入统计的历史压力值的数量是基于所述监测周期确定的，所述监测周期越短，纳入统计的历史压力值的数量越多。

基于上述任一实施例，所述若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作，具体包括：

以时间为横轴、压力值为纵轴，对所述实时压力值和所述多个历史压力值进行曲线拟合，得到所述实时压力值和所述多个历史压力值满足的曲线函数表达式；

计算所述曲线函数表达式在最早的历史压力值与所述实时压力值对应的时间范围内的压力值方差，作为所述实时压力值和多个历史压力值的变化幅度；计算所述曲线函数表达式在所述时间范围内的平均值，作为所述实时压力值和历史压力值的平均值；

当所述实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作。

基于上述任一实施例，所述基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，具体包括：

获取所述工艺腔体内设的压力计的误差范围；

基于所述压力计的误差范围以及所述各个工作环节的真空度极大值，确定所述各个工作环节的真空度极大值对应的所述压力计的最小读数，并将所述最小读数作为所述测漏条件极值。

基于上述任一实施例，所述基于所述工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时，具体包括：

基于所述各个维护环节的最大维护时长的总和，确定所述真空抽取延时。

基于上述任一实施例，在所述工艺腔体的现行运行状态维持在闲置状态的时间不小于所述真空抽取延时时，对所述工艺腔体进行抽真空操作之前，测漏配置单元510还用于：

基于监控线程实时监控所述工艺腔体的现行运行状态，并在首次监控到所述工艺腔体的现行运行状态为闲置状态时，发送闲置提醒信息，在其他时间监控到所述工艺腔体的现行运行状态发生变化时，发送状态切换提醒信息；所述闲置提醒信息中包含所述工艺腔体的现行运行状态且所述现行运行状态为闲置状态，所述状态切换提醒信息中包含所述工艺腔体的在先运行状态和现行运行状态；

当接收到闲置提醒信息或状态切换提醒信息后，对所述闲置提醒信息或所述状态切换提醒信息进行解析，获取所述工艺腔体的现行运行状态。

基于上述任一实施例，当接收到所述状态切换提醒信息时，还包括：

对所述状态切换提醒信息进行解析，得到所述工艺腔体的在先运行状态和现行运行状态；

若所述工艺腔体的在先运行状态为闲置状态且所述工艺腔体的现行运行状态为工作状态，则销毁所述监控线程并复位定时器；所述定时器用于计量工艺腔体的现行运行状态在闲置状态的维持时间，以及抽真空操作结束后的等待时间。

图6示例了一种电子设备的实体结构示意图，如图6所示，该电子设备可以包括：处理器(processor)610、通信接口(Communications Interface)620、存储器(memory)630和通信总线640，其中，处理器610，通信接口620，存储器630通过通信总线640完成相互间的通信。处理器610可以调用存储器630中的逻辑指令，以执行腔内漏率测试的自动控制方法，该方法包括：基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，并基于所述测漏条件极值，确定漏率计算延时；其中，所述测漏条件极值越低，所述漏率计算延时越短；基于所述工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时；所述工艺腔体的现行运行状态维持在闲置状态的时间不小于所述真空抽取延时时，对所述工艺腔体进行抽真空操作；若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作；待抽真空操作的结束时间距离当前的时间间隔不小于所述漏率计算延时时，计算所述工艺腔体的漏率。

此外，上述的存储器630中的逻辑指令可以通过软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备（可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等）执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器（ROM，Read-Only Memory）、随机存取存储器（RAM，Random Access Memory）、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

另一方面，本发明还提供一种计算机程序产品，所述计算机程序产品包括计算机程序，计算机程序可存储在非暂态计算机可读存储介质上，所述计算机程序被处理器执行时，计算机能够执行上述各方法所提供的腔内漏率测试的自动控制方法，该方法包括：基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，并基于所述测漏条件极值，确定漏率计算延时；其中，所述测漏条件极值越低，所述漏率计算延时越短；基于所述工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时；所述工艺腔体的现行运行状态维持在闲置状态的时间不小于所述真空抽取延时时，对所述工艺腔体进行抽真空操作；若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作；待抽真空操作的结束时间距离当前的时间间隔不小于所述漏率计算延时时，计算所述工艺腔体的漏率。

又一方面，本发明还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以执行上述各方法提供的腔内漏率测试的自动控制方法，该方法包括：基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，并基于所述测漏条件极值，确定漏率计算延时；其中，所述测漏条件极值越低，所述漏率计算延时越短；基于所述工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时；所述工艺腔体的现行运行状态维持在闲置状态的时间不小于所述真空抽取延时时，对所述工艺腔体进行抽真空操作；若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作；待抽真空操作的结束时间距离当前的时间间隔不小于所述漏率计算延时时，计算所述工艺腔体的漏率。

以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性的劳动的情况下，即可以理解并实施。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到各实施方式可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件。基于这样的理解，上述技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品可以存储在计算机可读存储介质中，如ROM/RAM、磁碟、光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备（可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等）执行各个实施例或者实施例的某些部分所述的方法。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (8)

1.一种腔内漏率测试的自动控制方法，其特征在于，包括：

基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，并基于所述测漏条件极值，确定漏率计算延时；其中，所述测漏条件极值越低，所述漏率计算延时越短；基于所述工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时；

所述工艺腔体的现行运行状态维持在闲置状态的时间不小于所述真空抽取延时时，对所述工艺腔体进行抽真空操作；若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作；待抽真空操作的结束时间距离当前的时间间隔不小于所述漏率计算延时时，计算所述工艺腔体的漏率；

所述在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值是基于如下步骤获取的：

基于所述测漏条件极值和执行所述抽真空操作的真空泵的抽气速率之间的乘积，确定监测周期，并基于所述监测周期，间歇地监测所述工艺腔体内的实时压力值，统计当前监测的实时压力值和监测时间距离当前时间最近的多个历史压力值；

其中，所述测漏条件极值与所述真空泵的抽气速率之间的乘积越小，所述监测周期越长；纳入统计的历史压力值的数量是基于所述监测周期确定的，所述监测周期越短，纳入统计的历史压力值的数量越多；

所述若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作，具体包括：

以时间为横轴、压力值为纵轴，对所述实时压力值和所述多个历史压力值进行曲线拟合，得到所述实时压力值和所述多个历史压力值满足的曲线函数表达式；

计算所述曲线函数表达式在最早的历史压力值与所述实时压力值对应的时间范围内的压力值方差，作为所述实时压力值和多个历史压力值的变化幅度；计算所述曲线函数表达式在所述时间范围内的平均值，作为所述实时压力值和历史压力值的平均值；

当所述实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作。

2.根据权利要求1所述的腔内漏率测试的自动控制方法，其特征在于，所述基于所述测漏条件极值，确定漏率计算延时，具体包括：

构建多个样本测漏条件极值与其对应的样本漏率计算延时之间的转换关系；

基于所述多个样本测漏条件极值与其对应的样本漏率计算延时之间的转换关系，确定所述测漏条件极值对应的漏率计算延时。

3.根据权利要求2所述的腔内漏率测试的自动控制方法，其特征在于，所述基于所述多个样本测漏条件极值与其对应的样本漏率计算延时之间的转换关系，确定所述测漏条件极值对应的漏率计算延时，具体包括：

以所述测漏条件极值作为查询关键词对所述转换关系进行查询；

若查询失败，则查询所述转换关系中与所述测漏条件极值最接近且大于所述测漏条件极值的样本测漏条件极值，作为标准测漏条件极值；

确定所述标准测漏条件极值对应的样本漏率计算延时，作为所述测漏条件极值对应的漏率计算延时。

4.根据权利要求1所述的腔内漏率测试的自动控制方法，其特征在于，所述基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，具体包括：

获取所述工艺腔体内设的压力计的误差范围；

基于所述压力计的误差范围以及所述各个工作环节的真空度极大值，确定所述各个工作环节的真空度极大值对应的所述压力计的最小读数，并将所述最小读数作为所述测漏条件极值。

5.根据权利要求1所述的腔内漏率测试的自动控制方法，其特征在于，所述基于所述工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时，具体包括：

基于所述各个维护环节的最大维护时长的总和，确定所述真空抽取延时。

6.根据权利要求1至5任一项所述的腔内漏率测试的自动控制方法，其特征在于，所述工艺腔体的现行运行状态维持在闲置状态的时间不小于所述真空抽取延时时，对所述工艺腔体进行抽真空操作，之前还包括：

基于监控线程实时监控所述工艺腔体的现行运行状态，并在首次监控到所述工艺腔体的现行运行状态为闲置状态时，发送闲置提醒信息，在其他时间监控到所述工艺腔体的现行运行状态发生变化时，发送状态切换提醒信息；所述闲置提醒信息中包含所述工艺腔体的现行运行状态且所述现行运行状态为闲置状态，所述状态切换提醒信息中包含所述工艺腔体的在先运行状态和现行运行状态；

当接收到闲置提醒信息或状态切换提醒信息后，对所述闲置提醒信息或所述状态切换提醒信息进行解析，获取所述工艺腔体的现行运行状态。

7.根据权利要求6所述的腔内漏率测试的自动控制方法，其特征在于，当接收到所述状态切换提醒信息时，还包括：

对所述状态切换提醒信息进行解析，得到所述工艺腔体的在先运行状态和现行运行状态；

若所述工艺腔体的在先运行状态为闲置状态且所述工艺腔体的现行运行状态为工作状态，则销毁所述监控线程并复位定时器；所述定时器用于计量工艺腔体的现行运行状态在闲置状态的维持时间，以及抽真空操作结束后的等待时间。

8.一种腔内漏率测试的自动控制装置，其特征在于，包括：

测漏配置单元，用于基于待测漏的工艺腔体各个工作环节的真空度极大值，确定测漏条件极值，并基于所述测漏条件极值，确定漏率计算延时；其中，所述测漏条件极值越低，所述漏率计算延时越短；基于所述工艺腔体各个维护环节的最大维护时长，确定真空抽取延时；

漏率测试单元，用于所述工艺腔体的现行运行状态维持在闲置状态的时间不小于所述真空抽取延时时，对所述工艺腔体进行抽真空操作；若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作；待抽真空操作的结束时间距离当前的时间间隔不小于所述漏率计算延时时，计算所述工艺腔体的漏率；

所述在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值是基于如下步骤获取的：

基于所述测漏条件极值和执行所述抽真空操作的真空泵的抽气速率之间的乘积，确定监测周期，并基于所述监测周期，间歇地监测所述工艺腔体内的实时压力值，统计当前监测的实时压力值和监测时间距离当前时间最近的多个历史压力值；

其中，所述测漏条件极值与所述真空泵的抽气速率之间的乘积越小，所述监测周期越长；纳入统计的历史压力值的数量是基于所述监测周期确定的，所述监测周期越短，纳入统计的历史压力值的数量越多；

所述若在抽真空操作过程中监测的实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作，具体包括：

以时间为横轴、压力值为纵轴，对所述实时压力值和所述多个历史压力值进行曲线拟合，得到所述实时压力值和所述多个历史压力值满足的曲线函数表达式；

计算所述曲线函数表达式在最早的历史压力值与所述实时压力值对应的时间范围内的压力值方差，作为所述实时压力值和多个历史压力值的变化幅度；计算所述曲线函数表达式在所述时间范围内的平均值，作为所述实时压力值和历史压力值的平均值；

当所述实时压力值和多个历史压力值的变化幅度小于预设阈值，且所述实时压力值和历史压力值的平均值不大于所述测漏条件极值时，停止抽真空操作。

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