CN113095521B - 机台的控制方法、装置、系统及存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种机台的控制方法、装置、系统及存储介质，所述方法包括：监测机台在工作状态下保养参数的值，根据所述保养参数的值判断所述机台是否需要保养；控制需要保养的机台执行保养作业，监测所述机台在保养作业结束后保养参数的值，根据所述保养参数的值判断所述机台是否完成保养；对判断为未完成保养的机台执行保养参数重置作业。上述机台的控制方法、装置、系统及存储介质能够避未对机台的保养参数重置而导致保养参数持续累计，使得避免误触发保养排成系统将机台切换为保养状态，从而避免造成生产周期混乱，使得机台正确有效的保养的同时提升机台工作效率。

Description

机台的控制方法、装置、系统及存储介质

技术领域

本申请涉及集成电路技术领域，特别是涉及一种机台的控制方法、装置、系统及存储介质。

背景技术

目前，生产制造所使用的制造执行系统(MES，Manufacturing Execution System)包括保养排成系统(PMS)及生产作业(MM)系统，如何通过保养排成系统对机台进行保养和通过生产作业系统控制机台运行，使得机台正确有效率的执行保养排成并使得机台运行达到产出最大效益对于生产制造尤为重要。

其中，机台在保养状态下，保养排成系统对机台执行保养作业。保养作业结束后需要对保养参数重置，如此才能完成保养，使得机台可以返回工作状态继续运行。

然而，传统技术对保养参数重置时存在失误的风险，导致保养参数持续累计，使得系统误判该机台再次达到保养门槛，从而误触发保养排成系统将机台切换为保养状态，造成生产周期混乱，效率低下。

发明内容

基于此，有必要针对现有技术对保养参数重置时存在失误的风险，导致保养参数持续累计，使得系统误判该机台再次达到保养门槛，从而误触发保养排成系统将机台切换为保养状态，造成生产周期混乱，效率低下的问题提供一种机台的控制方法、装置、系统及存储介质。

为了实现上述目的，一方面，本发明提供了一种机台的控制方法，包括：

监测机台在工作状态下保养参数的值，根据所述保养参数的值判断所述机台是否需要保养；

控制需要保养的机台执行保养作业，监测所述机台在保养作业结束后保养参数的值，根据所述保养参数的值判断所述机台是否完成保养；

对判断为未完成保养的机台执行保养参数重置作业。

在其中一个实施例中，所述机台在所述工作状态下的所述保养参数具有工作阈值，在所述工作状态下当监测到所述保养参数的值达到所述工作阈值时，控制所述机台由所述工作状态切换至保养状态；所述方法还包括：更新所述机台的切换时间，并记录所述切换时间更新的频次。

在其中一个实施例中，还包括：当判断为所述机台完成保养时，控制所述机台由保养状态切换至所述工作状态，更新所述机台的保养时间，并记录所述保养时间更新的频次。

在其中一个实施例中，还包括：所述机台执行保养参数重置作业结束时，更新所述机台的重置时间，并记录所述重置时间更新的频次。

在其中一个实施例中，还包括：监测所述切换时间是否在第一时间间隔内被更新，以判断所述机台的工作状态是否异常。

在其中一个实施例中，还包括：监测所述机台的保养时间是否在第二时间间隔内被更新，以判断所述机台的保养作业是否异常。

一种机台的控制装置，包括：

机台状态监测模块，用于监测机台在工作状态下保养参数的值，根据所述保养参数的值判断所述机台是否需要保养；

保养作业监测模块，用于控制需要保养的机台执行保养作业，检测所述机台在保养作业结束后保养参数的值，根据所述保养参数的值判断所述机台是否完成保养；

保养参数重置模块，用于对判断为未完成保养的机台执行保养参数重置作业。

在其中一个实施例中，所述机台在所述工作状态下的所述保养参数具有工作阈值，在所述工作状态下所述机台状态监测模块当监测到所述保养参数的值达到所述工作阈值时，控制所述机台由所述工作状态切换至保养状态；所述机台状态监测模块还用于更新所述机台的切换时间，并记录所述切换时间更新的频次。

在其中一个实施例中，所述保养作业监测模块还用于当判断为所述机台完成保养时，控制所述机台由保养状态切换至所述工作状态，更新所述机台的保养时间，并记录所述保养时间更新的频次。

在其中一个实施例中，所述保养参数重置模块还用于当所述机台执行保养参数重置作业结束时，更新所述机台的重置时间，并记录所述重置时间更新的频次。

在其中一个实施例中，所述机台状态监测模块还用于监测所述机台的切换时间是否在第一时间间隔内被更新，以判断所述机台的工作状态是否异常。

在其中一个实施例中，所述保养作业监测模块还用于监测所述机台的保养时间是否在第二时间间隔内被更新，以判断所述机台的保养作业是否异常。

一种制造执行系统，包括：

生产作业系统，包括机台，所述生产作业系统用于在工作状态下控制所述机台运行；

保养排成系统，与所述生产作业系统连接，用于在保养状态下对所述机台进行保养；

实时生产参数侦测系统，与所述生产作业系统和保养排成系统连接，用于监测所述机台在工作状态下保养参数的值，并根据所述保养参数的值判断所述机台是否需要保养，控制需要保养的机台切换从所述工作状态切换为保养状态，还用于监测所述机台在所述保养作业结束后保养参数的值，根据所述保养参数的值判断所述机台是否完成保养，对判断为未完成保养的机台执行保养参数重置作业。

在其中一个实施例中，所述机台在所述工作状态下的所述保养参数具有工作阈值，所述实时生产参数侦测系统在所述工作状态下当监测到所述保养参数的值达到所述工作阈值时，控制所述机台由所述工作状态切换至保养状态；所述实时生产参数侦测系统还用于更新所述机台的切换时间，并记录所述切换时间更新的频次。

一种存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任一项所述的方法的步骤。

上述机台的控制方法、装置、系统及存储介质在机台的保养作业结束后根据保养参数的值判断机台是否完成保养，并对判断为未完成保养的机台执行保养参数重置作业，能够避未对机台的保养参数重置而导致保养参数持续累计，使得避免误触发保养排成系统将机台切换为保养状态，从而避免造成生产周期混乱，使得机台正确有效的保养的同时提升机台工作效率。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一实施例中提供的机台的控制方法的流程图；

图2为本申请另一实施例中提供的机台的控制方法的流程图；

图3为本申请一实施例中提供的保养参数曲线的示意图；

图4为本申请一实施例中提供的机台的控制装置的结构框图。

附图标记说明：

10、机台的控制装置；11、机台状态监测模块；12、保养作业监测模块；13、保养参数重置模块。

具体实施方式

为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的首选实施例。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本申请的公开内容更加透彻全面。

在一个实施例中，请参阅图1，提供了一种机台的控制方法，以该方法应用于终端为例进行说明，可以理解的是，该方法也可以应用于服务器，还可以应用于包括终端和服务器的系统，并通过终端和服务器的交互实现。本实施例中，该方法包括以下步骤：

步骤S11，监测机台在工作状态下保养参数的值。

步骤S12，根据保养参数的值判断机台是否需要保养。

具体的，生产制造系统可以包括保养排成系统、生产作业系统及实时生产参数侦测系统。生产作业系统可以包括机台。机台的状态可以包括工作状态和保养状态。在工作状态下，生产作业系统可以控制机台运行，从而对晶圆等产品进行制造、加工等。在保养状态下，保养排成系统可以对机台进行保养，以便于提高后续机台运行时所生产产品的生产效率及良率。实时生产参数侦测系统可以用于实时获取机台的保养参数，从而根据机台的保养参数控制机台在保养状态和工作状态之间进行切换。

本实施例中，实时生产参数侦测系统可以检测机台在工作状态下保养参数的值。在工作状态下，随着机台的使用时间的增长，机台的保养参数不断变化。实时生产参数侦测系统可以根据保养参数的值判断机台是否需要保养。生产作业系统可以包括单个机台，从而实时生产参数侦测系统只需要监测该机台在工作状态下的保养参数从而判断该机台是否需要保养。生产作业系统也可以包括多个机台，同一时刻各个机台的保养参数可以不相同，实时生产参数侦测系统可以同时监测所有机台在工作状态下的保养参数，从而分别判断各个机台是否需要保养。生产参数侦测系统当监测到某个机台需要保养时，执行步骤S13，否则可以通过生产作业系统控制该机台继续在工作状态下运行。

步骤S13，控制需要保养的机台执行保养作业，监测机台在保养作业结束后保养参数的值。

具体的，生产参数侦测系统当监测到机台需要保养时，可以控制机台由工作状态切换至保养状态，使得控制保养排成系统对该机台执行保养作业。

在一些示例中，生产参数侦测系统可以根据机台保养的时间判断机台的保养作业是否结束。当机台保养的时间达到预设保养时间后，可以判断为机台的保养作业结束，从而监测机台的保养参数结束后保养参数的值。在其他示例中，生产参数侦测系统还可以根据机台内晶圆台的平整度等机台的状态参数判断机台的保养作业是否结束。当机台的状态参数达到预设状态值后，可以判断为机台的保养作业结束，从而监测机台的保养参数结束后保养参数的值。

步骤S14，根据保养参数的值判断机台是否完成保养。

具体的，本实施例中的机台完成保养是指机台执行保养作业结束且对保养参数进行了重置。根据保养参数的值判断机台是否完成保养，若否，则执行步骤S15。

步骤S15，对判断为未完成保养的机台执行参数重置作业。

具体的，若机台未完成保养，即该机台执行保养作业结束且未进行保养参数重置，则对该机台执行参数重置作业。具体可以是对生产作业系统中存储的对应机台的保养参数进行重置，使得实时生产参数侦测系统能够监测到该机台的新的保养参数，也可以是对实时生产参数侦测系统中对应的机台的保养参数进行重置，还可以同时对生产作业系统和实时生产参数侦测系统中对应的机台的保养参数进行重置。重置后的机台的保养参数可以根据具体需求进行设置。

上述机台的控制方法在机台的保养作业结束后根据保养参数的值判断机台是否完成保养，并对判断为未完成保养的机台执行保养参数重置作业，能够避未对机台的保养参数重置而导致保养参数持续累计，使得避免误触发保养排成系统将机台切换为保养状态，从而避免造成生产周期混乱，使得机台正确有效的保养的同时提升机台工作效率。

在一些示例中，请参阅图2，步骤S12包括步骤S121，步骤S13包括步骤S131至步骤S132。

步骤S121，判断保养参数的值是否达到工作阈值。

步骤S131，控制机台由工作状态切换至保养状态。

步骤S132，监测机台在保养作业结束后保养参数的值。

具体的，请参阅图3，机台在工作状态下运行时，其保养参数可以不断攀升。机台在工作状态下的保养参数可以具有工作阈值，该工作阈值可以为L1(图3中工作阈值L1对应为300)。实时生产参数侦测系统当监测到机台的保养参数的值达到工作阈值时(图3中该时刻为A1点所对应时刻)，可以判断为机台需要保养，并控制机台由工作状态切换至保养状态，使得通过保养排成系统对机台进行保养。并且，实时生产参数侦测系统可以继续监测机台在保养作业结束后的保养参数。实时生产参数侦测系统当监测到机台的保养参数的值未达到工作阈值时，可以判断为机台不需要保养，此时可以返回执行步骤S11，使得继续监测机台在工作状态下的保养参数。

在一些示例中，请参阅图2，机台的控制方法还包括步骤S171。

步骤S171，更新机台的切换时间，并记录切换时间更新的频次。

具体的，实时生产参数侦测系统在控制机台由工作状态切换至保养状态时可以更新机台的切换时间，并记录切换时间更新的频次。机台的切换时间可以为机台从保养状态切换到工作状态开始到机台从工作状态切换到保养状态时刻之间的时间长度，也即机台保持工作状态的时间。机台的切换时间也可以为机台从工作状态切换至保养状态的时刻。实时生产参数侦测系统可以在机台由工作状态切换至保养状态时在上次切换时的切换时间更新频次的基础上进行加一计数得到本次切换时的切换时间更新频次。通过记录切换时间更新的频次可以追踪机台的使用状态。

在一些示例中，请参阅图2，机台的控制方法还包括步骤S172。

步骤S172，监测机台的切换时间是否在第一时间间隔内被更新，以判断机台的工作状态是否异常。

具体的，第一时间间隔可以根据机台保持工作状态的正常时间长短进行设置。第一时间间隔可以设置有最小时间值和最大时间值。实时生产参数侦测系统在判断到机台的切换时间小于第一时间间隔的最小时间值及在机台的切换时间大于第一时间间隔的最大时间值均可以判断为机台的工作状态异常，在判断到机台的切换时间在第一时间间隔的最小时间值和最大时间值之间时可以判断为机台的工作状态正常。

在一些示例中，请参阅图2，机台的控制方法还包括步骤S181。

步骤S181，控制机台由保养状态切换至工作状态，更新机台的保养时间，并记录保养时间更新的频次。

具体的，在步骤S14中实时生产参数侦测系统根据保养参数的值判断到机台完成保养时，可以控制机台由保养状态切换至工作状态，使得通过生产作业系统控制机台运行，并且更新机台的保养时间，记录保养时间更新的频次。机台的保养时间可以指机台从工作状态切换为保养状态开始到机台从保养状态切换为工作状态的时间长度，也即机台保持保养状态的时间。实时生产参数侦测系统可以在机台由保养状态切换至工作状态时在上次切换时的保养时间更新频次的基础上进行加一计数得到本次切换时的保养时间更新频次。通过记录保养时间更新的频次可以追踪机台的保养情况。

在一些示例中，请参阅图2，机台的控制方法还包括步骤S182。

步骤S182，监测机台的保养时间是否在第二时间间隔内被更新，以判断机台的保养作业是否异常。

具体的，第二时间间隔可以根据机台保持保养状态的正常时间长短进行设置。第二时间间隔可以设置有最小时间值和最大时间值。实时生产参数侦测系统在判断到机台的保养时间小于第二时间间隔的最小时间值及在机台的保养时间大于第二时间间隔的最大时间值均可以判断为机台的保养作业异常，在判断到机台的保养时间在第二时间间隔的最小时间值和最大时间值之间时可以判断为机台的保养作业正常。

在一些示例中，请参阅图2，机台的控制方法还包括步骤S161和步骤S162。

步骤S161，判断机台执行保养参数重置作业是否结束。

步骤S162，更新机台的重置时间，并记录重置时间更新的频次。

具体的，请参阅图3，实时生产参数侦测系统可以在机台执行参数重置作业后继续监测机台的保养参数，当保养参数大于重置门槛L2时可以判断为机台执行保养参数重置作业未结束，否则，可以判断为机台执行保养参数重置作业结束。当机台执行保养参数作业结束时可以执行步骤S162；否则，可以返回执行步骤S14。譬如，当监测到保养参数对应于图3中的A2点时判断为保养参数重置作业未结束，保养未完成，不允许机台由保养状态切换到工作状态；当监测到保养参数对应于图3中的A3点时判断为保养参数重置作业结束，保养完成，允许机台由保养状态切换到工作状态。通过记录重置时间的更新频次可以追踪人工或自动重置保养参数的故障频率。

应该理解的是，虽然图1-2的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，这些步骤可以以其它的顺序执行。而且，图1-2中的至少一部分步骤可以包括多个步骤或者多个阶段，这些步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，这些步骤或者阶段的执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其它步骤或者其它步骤中的步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。

在一实施例中，请参阅图4，还提供了一种机台的控制装置10。机台的控制装置10包括机台状态监测模块11、保养作业监测模块12及保养参数重置模块13。机台状态监测模块11用于监测机台在工作状态下保养参数的值，根据保养参数的值判断机台是否需要保养。保养作业监测模块12用于控制需要保养的机台执行保养作业，监测机台在保养结束后保养参数的值，根据保养参数的值判断机台是否完成保养。保养参数重置模块13用于对判断为未完成保养的机台执行保养参数重置作业。

上述机台的控制装置10在机台的保养作业结束后根据保养参数的值判断机台是否完成保养，并对判断为未完成保养的机台执行保养参数重置作业，能够避未对机台的保养参数重置而导致保养参数持续累计，使得避免误触发保养排成系统将机台切换为保养状态，从而避免造成生产周期混乱，使得机台正确有效的保养的同时提升机台工作效率。

在一些示例中，机台在工作状态下的保养参数具有工作阈值，在工作状态下机台状态监测模块11当监测到保养参数的值达到工作阈值时，控制机台由工作状态切换至保养状态，机台状态监测模块11还用于更新机台的切换时间，并记录切换时间更新的频次。

在一些示例中，保养作业监测模块12还用于当判断为机台完成保养时，控制机台由保养状态切换至工作状态，更新机台的保养时间，并记录保养时间更新的频次。

在一些示例中，保养参数重置模块13还用于当机台执行保养参数重置作业结束后，更新机台的重置时间，并记录重置时间更新的频次。

在一些示例中，机台状态监测模块11还用于监测机台的切换时间是否在第一时间间隔内被更新，以判断机台的工作状态是否异常。

在一些示例中，保养作业监测模块12还用于监测机台的保养时间是否在第二时间间隔内被更新，以判断机台的保养作业是否异常。

关于机台的控制装置10的具体限定可以参见上文中对于机台的控制方法的限定，在此不再赘述。上述机台的控制装置10中的各个模块可全部或部分通过软件、硬件及其组合来实现。上述各模块可以硬件形式内嵌于或独立于计算机设备中的处理器中，也可以以软件形式存储于计算机设备中的存储器中，以便于处理器调用执行以上各个模块对应的操作。

本申请还提供了一种制造执行系统。制造执行系统包括生产作业系统、保养排成系统及实时生产参数侦测系统。生产作业系统包括机台。生产作业系统用于在工作状态下控制机台运行。保养排成系统与生产作业系统连接，保养排成系统用于在保养状态下对机台进行保养。实时生产参数侦测系统与生产作业系统和保养排成系统连接，实时生产参数侦测系统用于监测机台在工作状态下保养参数的值，并根据保养参数的值判断机台是否需要保养，控制需要保养的机台切换从工作状态切换为保养状态，还用于监测机台在保养作业结束后保养参数的值，根据保养参数的值判断机台是否完成保养，对判断为未完成保养的机台执行保养参数重置作业。

在一些示例中，机台在工作状态下的保养参数具有工作阈值，在工作状态下实时生产参数侦测系统当监测到保养参数的值达到工作阈值时，控制机台由工作状态切换至保养状态，实时生产参数侦测系统还用于更新机台的切换时间，并记录切换时间更新的频次。

在一些示例中，实时生产参数侦测系统还用于当判断为机台完成保养时，控制机台由保养状态切换至工作状态，更新机台的保养时间，并记录保养时间更新的频次。

在一些示例中，实时生产参数侦测系统还用于当机台执行保养参数重置作业结束后，更新机台的重置时间，并记录重置时间更新的频次。

在一些示例中，实时生产参数侦测系统还用于监测机台的切换时间是否在第一时间间隔内被更新，以判断机台的工作状态是否异常。

在一些示例中，实时生产参数侦测系统还用于监测机台的保养时间是否在第二时间间隔内被更新，以判断机台的保养作业是否异常。

在一些示例中，生产作业系统还包括卡控装置，卡控装置与机台和实时生产参数侦测系统连接。卡控装置用于对判断为未完成保养的机台进行卡控，以控制未完成保养的机台停止运行。

在一个实施例中，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现上述各方法实施例中的步骤。

本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、存储、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和易失性存储器中的至少一种。非易失性存储器可包括只读存储器(Read-Only Memory，ROM)、磁带、软盘、闪存或光存储器等。易失性存储器可包括随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)或外部高速缓冲存储器。作为说明而非局限，RAM可以是多种形式，比如静态随机存取存储器(Static Random Access Memory，SRAM)或动态随机存取存储器(Dynamic Random Access Memory，DRAM)等。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (11)

1.一种机台的控制方法，其特征在于，包括：

监测机台在工作状态下保养参数的值，根据所述保养参数的值判断所述机台是否需要保养；

控制需要保养的机台执行保养作业，监测所述机台在保养作业结束后保养参数的值，根据所述保养参数的值判断所述机台是否完成保养；

对判断为未完成保养的机台执行保养参数重置作业；

所述机台执行保养参数重置作业结束时，更新所述机台的重置时间，并记录所述重置时间更新的频次；

当判断为所述机台完成保养时，控制所述机台由保养状态切换至所述工作状态，更新所述机台的保养时间，并记录所述保养时间更新的频次。

2.根据权利要求1所述的机台的控制方法，其特征在于，所述机台在所述工作状态下的所述保养参数具有工作阈值，在所述工作状态下当监测到所述保养参数的值达到所述工作阈值时，控制所述机台由所述工作状态切换至保养状态；所述方法还包括：更新所述机台的切换时间，并记录所述切换时间更新的频次。

3.根据权利要求2所述的机台的控制方法，其特征在于，还包括：监测所述切换时间是否在第一时间间隔内被更新，以判断所述机台的工作状态是否异常。

4.根据权利要求1所述的机台的控制方法，其特征在于，还包括：监测所述机台的保养时间是否在第二时间间隔内被更新，以判断所述机台的保养作业是否异常。

5.一种机台的控制装置，其特征在于，包括：

机台状态监测模块，用于监测机台在工作状态下保养参数的值，根据所述保养参数的值判断所述机台是否需要保养；

保养作业监测模块，用于控制需要保养的机台执行保养作业，检测所述机台在保养作业结束后保养参数的值，根据所述保养参数的值判断所述机台是否完成保养；所述保养作业监测模块还用于当判断为所述机台完成保养时，控制所述机台由保养状态切换至所述工作状态，更新所述机台的保养时间，并记录所述保养时间更新的频次；

保养参数重置模块，用于对判断为未完成保养的机台执行保养参数重置作业；所述保养参数重置模块还用于当所述机台执行保养参数重置作业结束时，更新所述机台的重置时间，并记录所述重置时间更新的频次。

6.根据权利要求5所述的机台的控制装置，其特征在于，所述机台在所述工作状态下的所述保养参数具有工作阈值，在所述工作状态下所述机台状态监测模块当监测到所述保养参数的值达到所述工作阈值时，控制所述机台由所述工作状态切换至保养状态；所述机台状态监测模块还用于更新所述机台的切换时间，并记录所述切换时间更新的频次。

7.根据权利要求6所述的机台的控制装置，其特征在于，所述机台状态监测模块还用于监测所述机台的切换时间是否在第一时间间隔内被更新，以判断所述机台的工作状态是否异常。

8.根据权利要求5所述的机台的控制装置，其特征在于，所述保养作业监测模块还用于监测所述机台的保养时间是否在第二时间间隔内被更新，以判断所述机台的保养作业是否异常。

9.一种制造执行系统，其特征在于，包括：

生产作业系统，包括机台，所述生产作业系统用于在工作状态下控制所述机台运行；

保养排成系统，与所述生产作业系统连接，用于在保养状态下对所述机台进行保养；

实时生产参数侦测系统，与所述生产作业系统和保养排成系统连接，用于监测所述机台在工作状态下保养参数的值，并根据所述保养参数的值判断所述机台是否需要保养，控制需要保养的机台切换从所述工作状态切换为保养状态，更新所述机台的保养时间，并记录所述保养时间更新的频次；还用于监测所述机台在所述保养作业结束后保养参数的值，根据所述保养参数的值判断所述机台是否完成保养，对判断为未完成保养的机台执行保养参数重置作业，以及当所述机台执行保养参数重置作业结束时，更新所述机台的重置时间，并记录所述重置时间更新的频次。

10.根据权利要求9所述的制造执行系统，其特征在于，所述机台在所述工作状态下的所述保养参数具有工作阈值，在所述工作状态下所述实时生产参数侦测系统当监测到所述保养参数的值达到所述工作阈值时，控制所述机台由所述工作状态切换至保养状态；所述实时生产参数侦测系统还用于更新所述机台的切换时间，并记录所述切换时间更新的频次。

11.一种存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1～4任一项所述的方法的步骤。

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