CN115273959B - 一种半导体存储产品的老化测试设备及其操作方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体存储产品的老化测试设备及其操作方法，包括老化检测箱，所述老化检测箱的底壁安装有分隔板，所述分隔板的一侧外壁贯穿设置有第一槽口；所述老化检测箱的一侧内壁安装有第一液压推杆，所述第一液压推杆的输出端安装有置物板，所述置物板的底部设置有前后布置的滑槽，所述老化检测箱的底壁安装有前后布置的滑杆，且滑杆位于分隔板的一侧，所述滑杆的顶部与滑槽的底壁相贴合；所述置物板的底部安装有均匀布置的探伤仪，且探伤仪位于两组滑槽的中间。本发明通过安装有老化检测箱、第一液压推杆、置物板和探伤仪，启动第一液压推杆，带动置物板沿着水平方向移动，接着就可以通过探伤仪来对半导体存储产品的表面进行探伤检测。

Description

一种半导体存储产品的老化测试设备及其操作方法

技术领域

本发明涉及半导体老化测试技术领域，具体为一种半导体存储产品的老化测试设备及其操作方法。

背景技术

芯片半导体老化测试是向被测芯片半导体供给电源信号和测试信号，在高低温或常温下让被测芯片半导体连续不间断地工作设定的时间，从而来筛选出良品，但是现有的半导体存储产品的老化测试设备并不能对老化后的半导体进行初步检测，存在一定的缺陷。

现有的老化测试设备存在的缺陷是：

专利文件CN215812912U，公开了一种半导体老化测试架体，其包括第一安装架，第一安装架用于竖直地组设于柜体内，并将所述柜体分隔成用于容置老化测试板的第一温区和用于容置测试核心板的第二温区；所述第一安装架上自上而下设有若干窗口以及若干水平布置的直通板，所述直通板一端用于对接测试核心板，另一端穿过所述窗口并用于对接老化测试板；在相邻的两个直通板之间、且于所述第一安装架侧壁上开设有进气口和出气口，相邻的两个直通板所形成的空间内设有第一加热器。本申请可以解决相关技术中在进行高温测试时，老化区的高温会窜到业务区，影响业务区的操作；在进行低温测试时，在业务区会产生凝露的问题，但是上述公开文件中的半导体老化测试装置主要考虑如何解决测试过程中产生凝露的问题，并没有考虑到现有的半导体存储产品在老化测试后，通常需要将其拿出后在进行检测；

专利文件CN211785945U，公开了一种可自动开关门的半导体老化测试设备，其包括柜体、一水平布置的老化测试板、至少一个测试核心板和驱动机构；所述柜体具有两个互相独立的温区；老化测试板设于其中一所述温区内；测试核心板设于另一所述温区内；以及，所述老化测试板与所述测试核心板信号连接，且所述柜体顶部转动连接有用于启闭所述老化测试板所在的温区，以对老化测试板进行上下料的上开门；驱动机构与所述上开门相连，并用于驱动所述上开门转动。本申请能解决相关技术中采用人工打开或关闭老化箱门的方式进行上下料，不仅增加了作业人员的工作量，而且不能匹配自动化测试的问题，但是上述公开文件中的半导体老化测试装置主要考虑如何能够自动对半导体进行老化测试，并没有考虑到现有的老化测试装置并不能根据半导体的大小形状等来对半导体进行固定，实用性较差；

专利文件CN211123133U，公开了一种半导体老化测试设备泄压保护结构，涉及机械压力保护技术领域，包括用于驱动热阵列动作靠近测试板的压缩空气支路Ⅰ，以及用于驱动热阵列动作并最终接触测试板的压缩空气支路Ⅱ；所述压缩空气支路Ⅰ和压缩空气支路Ⅱ均与设备压力源连接，且压缩空气支路Ⅰ和压缩空气支路Ⅱ上均设置有压力调节器、调节泄压阀、电磁阀和对上述热阵列的动作执行单元；所述调节泄压阀包括可设定泄压阈值、且通过适配器和三通接头设置在气路上的泄压阀，但是上述公开文件中的半导体老化测试装置主要考虑如何对老化测试设备进行泄压保护，并没有考虑到现有的老化测试设备并不方便对半导体存储产品进行固定；

专利文件CN216411471U，公开了一种半导体老化冷热测试装置，属于半导体测试技术领域，其技术方案要点包括底端板和转台，所述底端板的顶部外壁固定安装有撑筒，且撑筒的顶端与转台通过轴承转动连接，所述撑筒与转台的相对一侧安装有驱动机构，所述转台的顶部外壁固定安装有多个等距离分布的承托机构，所述底端板的顶部外壁分别固定安装有对称分布的安装架一和安装架二，且安装架一和安装架二上均安装设置有测试组件；一种半导体老化冷热测试装置，通过设置有承托机构，能够利用设置有通孔和支撑端杆的托架，对待测试半导体进行有效的限位放置，并能够确保半导体能够与空气进行充分接触，从而方便后续的换热作用，以提高半导体老化测试的效果，但是上述公开文件中的半导体老化测试装置主要考虑如何提高半导体老化测试设备的散热效果，并没有考虑到现有的老化测试设备在使用过程中灵活性较差，并不能根据实际需要进行变化。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体存储产品的老化测试设备及其操作方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体存储产品的老化测试设备及其操作方法，包括老化检测箱，所述老化检测箱的底壁安装有分隔板，所述分隔板的一侧外壁贯穿设置有第一槽口；

所述老化检测箱的一侧内壁安装有第一液压推杆，所述第一液压推杆的输出端安装有置物板，所述置物板的底部设置有前后布置的滑槽，所述老化检测箱的底壁安装有前后布置的滑杆，且滑杆位于分隔板的一侧，所述滑杆的顶部与滑槽的底壁相贴合；

所述置物板的底部安装有均匀布置的探伤仪，且探伤仪位于两组滑槽的中间。

优选的，所述老化检测箱的正面贯穿设置有置物槽，老化检测箱的正面设置有对称布置的插槽，置物槽位于两组插槽的中间，两组插槽的内部均嵌合安装有插块，两组插块的正面安装有挡板，挡板的背面安装有连接块，连接块的背面内嵌安装有第一电磁铁，第一电磁铁的背面吸合有铁块，铁块的背面安装有承载板。

优选的，所述承载板的顶部四角处均安装有置物套，置物套的内部嵌合安装有置物杆，置物杆的顶部安装有连接板，连接板的顶部贯穿设置有均匀布置的置物孔，承载板的顶部设置有均匀布置的凹槽，连接板的顶部安装有两组对称布置的连接杆，连接杆的外表面套接安装有顶板。

优选的，所述顶板的顶部中心处安装有连接套，连接套的底壁安装有铁杆，老化检测箱的一侧外壁贯穿设置有移动槽，老化检测箱的一侧外壁安装有电动推杆，电动推杆的输出端安装有连接管，连接管的顶部安装有支撑杆，支撑杆的外表面安装有置物块，置物块的底部内嵌安装有第二电磁铁，置物块位于连接套的内侧，第二电磁铁的底部与铁杆的顶部相贴合。

优选的，所述置物板能够在第一液压推杆的推动下沿着水平方向移动，置物板的高度小于第一槽口的高度，滑杆能够在滑槽内滑动；

挡板的尺寸大于置物槽的尺寸，承载板呈“L”字形结构，连接块位于第一槽口的内侧；

置物孔和凹槽均设置有三组，连接杆与置物孔间隔分布；

支撑杆位于移动槽的内侧，支撑杆能够在电动推杆的推动下在移动槽内上下移动，支撑杆呈“L”字形，支撑杆与置物块连接在一起呈倒“凹”字形结构。

优选的，所述老化检测箱的两侧内壁均安装有阻隔板，其中一组阻隔板位于第一液压推杆的上方，老化检测箱的顶壁安装有控制箱。

优选的，所述老化检测箱的底壁安装有第二液压推杆，且第二液压推杆位于分隔板的另一侧，第二液压推杆的输出端安装有支撑板，且支撑板的两侧外壁分别与两组阻隔板相互靠近的表面相贴合，支撑板的顶部与承载板的底部相贴合，老化检测箱的正面设置有显示屏，且显示屏位于挡板的上方，显示屏与探伤仪之间电性连接。

优选的，所述老化检测箱的正面贯穿设置有第二槽口，老化检测箱的正面设置有两组对称布置的插孔，且插孔位于第二槽口的外侧，插孔的内部嵌合安装有插杆，插杆的正面安装有盖板，且盖板位于挡板的下方，盖板的背面内嵌安装有第三电磁铁。

优选的，该老化测试设备的工作步骤如下：

S1、在进行老化测试前，首先根据半导体存储产品的大小选择带有合适置物孔和凹槽的连接板和承载板，接着通过置物杆与置物套的嵌合来将连接板和承载板连接在一起；

S2、然后就能够将承载板通过置物槽放入老化检测箱的内部，并推动挡板，从而带动承载板移动，直至使承载板能够被放置在支撑板上，与此同时，挡板上的插块会插入插槽的内部，从而在一定程度上能够起到限位固定的作用，接着启动控制箱，从而对半导体存储产品进行老化测试；

S3、当老化测试完成后，启动电动推杆，从而能够在连接管的作用下带动支撑杆在移动槽内向下移动，接着给第二电磁铁通电，直至使置物块内的第二电磁铁能够与连接套内的铁杆吸合，接着再次启动电动推杆，从而能够在支撑杆的作用下带动顶板向上移动，直至使顶板与连接杆分离；

S4、当质量检测完成后，给第三电磁铁通电，使得第三电磁铁与铁块吸合，接着向外拉动盖板，直至使插杆不再与插孔嵌合，接着就能够从第二槽口内将承载板从支撑板上拿出。

优选的，在所述步骤S1中，还包括如下步骤：

S11、然后将半导体存储产品通过置物孔放置在凹槽的内部，接着将顶板套在连接杆上，从而提高半导体存储产品的稳定性；

S12、接着给第一电磁铁通电，并将连接块与承载板贴合，从而使第一电磁铁能够与承载板上的铁块吸合，接着就能够将承载板与连接块连接在一起；

在所述步骤S3中，还包括如下步骤：

S31、然后给第一电磁铁断电，从而使连接块与承载板分离，接着启动第二液压推杆，从而能够在支撑板的作用下带动承载板向下移动，当移动至分隔板上第一槽口的下方后停止移动；

S32、接着启动第一液压推杆，从而带动置物板沿着水平方向移动，直至使置物板能够移动至连接板的上方，然后就能够通过探伤仪来对连接板内半导体存储产品的表面进行探伤检测，并通过显示屏显示，从而方便工作人员能第一时间了解到经过老化测试后的半导体存储产品表面是否存在变化。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

1、本发明通过安装有老化检测箱、第一液压推杆、置物板、滑槽、滑杆、探伤仪和第一槽口，当半导体存储产品完成老化测完后，启动第一液压推杆，进而带动置物板沿着水平方向移动，在此过程中，滑杆会在滑槽内移动，滑杆的设置能够起到一定的支撑作用，从而保持移动过程中置物板的稳定性，接着通过第一液压推杆带动置物板穿过分隔板上的第一槽口后，就可以通过探伤仪来对半导体存储产品的表面进行探伤检测。

2、本发明通过安装有置物槽、插槽、插块、连接块、挡板、第一电磁铁、铁块和承载板，在需要进行老化测试时，首先给第一电磁铁通电，接着就可以将装载好半导体存储产品的承载板与连接块贴合，此时，第一电磁铁会与铁块吸合，然后就可以将承载板放入置物槽的内部，并向内推动挡板，使承载板的底部能够与支撑板的顶部贴合，在此过程中，插块会插入插槽的内部，从而起到一定的限位作用。

3、本发明通过安装有置物套、置物杆、连接板、置物孔、凹槽、连接杆和顶板，首先将连接板上的置物杆插入承载板上置物套的内部，并通过置物杆与置物套的嵌合来将连接板和承载板连接在一起，接着就可以将半导体存储产品放置在置物孔的内部，并使半导体存储产品能够与凹槽卡合，从而能够将半导体存储产品固定在连接板内，进而在一定程度上能够提高老化检测时半导体存储产品的稳定性。

4、本发明通过安装有连接套、电动推杆、连接管、支撑杆、移动槽和置物块，在老化测试完成后，启动电动推杆，从而能够在连接管的作用下带动支撑杆向下移动，直至使置物块能够插入连接套的内部，接着给第二电磁铁通电，从而使第二电磁铁能够与铁杆吸合，接着再次启动电动推杆，从而带动支撑杆向上移动，接着就能够在连接套的作用下带动顶板从连接板上脱离，从而裸露出内部的半导体存储产品，进而在一定程度上为后续的质量检测提供便利。

附图说明

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的电动推杆的组装结构示意图；

图3为本发明的第二槽口的组装结构示意图；

图4为本发明的第一电磁铁和铁块的组装结构示意图；

图5为本发明的连接套的组装结构示意图；

图6为本发明的第一液压推杆的平面组装结构示意图；

图7为本发明的置物板的组装结构示意图；

图8为本发明的工作流程图。

图中：1、老化检测箱；2、分隔板；3、第一液压推杆；4、置物板；5、滑槽；6、滑杆；7、探伤仪；8、第一槽口；9、置物槽；10、插槽；11、插块；12、连接块；13、挡板；14、第一电磁铁；15、铁块；16、承载板；17、置物套；18、置物杆；19、连接板；20、置物孔；21、凹槽；22、连接杆；23、顶板；24、连接套；25、电动推杆；26、连接管；27、支撑杆；28、移动槽；29、置物块；30、阻隔板；31、第二液压推杆；32、支撑板；33、控制箱；34、显示屏；35、第二槽口；36、插孔；37、插杆；38、盖板。

实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体的连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

请参阅图3、图6、图7和图8，本发明提供的一种实施例：一种半导体存储产品的老化测试设备，包括老化检测箱1和显示屏34，老化检测箱1的底壁安装有分隔板2，分隔板2的一侧外壁贯穿设置有第一槽口8，老化检测箱1的一侧内壁安装有第一液压推杆3，第一液压推杆3的输出端安装有置物板4，置物板4的底部设置有前后布置的滑槽5，老化检测箱1的底壁安装有前后布置的滑杆6，且滑杆6位于分隔板2的一侧，滑杆6的顶部与滑槽5的底壁相贴合，置物板4的底部安装有均匀布置的探伤仪7，且探伤仪7位于两组滑槽5的中间，置物板4能够在第一液压推杆3的推动下沿着水平方向移动，置物板4的高度小于第一槽口8的高度，滑杆6能够在滑槽5内滑动，老化检测箱1的底壁安装有第二液压推杆31，且第二液压推杆31位于分隔板2的另一侧，第二液压推杆31的输出端安装有支撑板32，且支撑板32的两侧外壁分别与两组阻隔板30相互靠近的表面相贴合，支撑板32的顶部与承载板16的底部相贴合，老化检测箱1的正面设置有显示屏34，且显示屏34位于挡板13的上方，显示屏34与探伤仪7之间电性连接，老化检测箱1的正面贯穿设置有第二槽口35，老化检测箱1的正面设置有两组对称布置的插孔36，且插孔36位于第二槽口35的外侧，插孔36的内部嵌合安装有插杆37，插杆37的正面安装有盖板38，且盖板38位于挡板13的下方，盖板38的背面内嵌安装有第三电磁铁。

进一步，在老化测试完成后，首先启动第二液压推杆31，进而带动支撑板32向下移动，接着就能够带动连接板19上的半导体向下移动，然后启动第一液压推杆3，从而带动置物板4沿着水平方向移动，在此过程中，滑杆6会在滑槽5内移动，在一定程度上能够起到支撑作用，有利于提高置物板4的稳定性，接着在第一液压推杆3的作用下带动置物板4穿过第一槽口8延伸进分隔板2的另一侧，接着就可以通过探伤仪7来对连接板19内的半导体进行探伤检测，并将检测结果显示在显示屏34上，从而能够对半导体存储产品进行初步的检测，方便工作人员了解进行老化实验前后，半导体存储产品的差异，待检测完毕后，向外拉动盖板38，使插杆37不再与插孔36嵌合，并启动第二液压推杆31，从而带动支撑板32向下移动，接着就可以将检测完毕后的半导体存储产品从第二槽口35内取出。

请参阅图4，本发明提供的一种实施例：一种半导体存储产品的老化测试设备，包括置物槽9和控制箱33，老化检测箱1的正面贯穿设置有置物槽9，老化检测箱1的正面设置有对称布置的插槽10，置物槽9位于两组插槽10的中间，两组插槽10的内部均嵌合安装有插块11，两组插块11的正面安装有挡板13，挡板13的背面安装有连接块12，连接块12的背面内嵌安装有第一电磁铁14，第一电磁铁14的背面吸合有铁块15，铁块15的背面安装有承载板16，挡板13的尺寸大于置物槽9的尺寸，承载板16呈“L”字形结构，连接块12位于第一槽口8的内侧，老化检测箱1的两侧内壁均安装有阻隔板30，其中一组阻隔板30位于第一液压推杆3的上方，老化检测箱1的顶壁安装有控制箱33。

进一步，在需要对半导体存储产品进行老化实验时，首先给第一电磁铁14通电，接着使连接块12上的第一电磁铁14能够与承载板16上的铁块15吸合，然后将半导体存储产品固定完毕后，将承载板16插入置物槽9的内部，并使挡板13上的插块11插入老化检测箱1正面的插槽10内，从而起到一定的限位作用，将承载板16插入置物槽9内后，使承载板16的底部能够与阻隔板30内的支撑板32的顶部贴合，并启动控制箱33，从而开始老化测验。

请参阅图5，本发明提供的一种实施例：一种半导体存储产品的老化测试设备，包括置物套17和顶板23，承载板16的顶部四角处均安装有置物套17，置物套17的内部嵌合安装有置物杆18，置物杆18的顶部安装有连接板19，连接板19的顶部贯穿设置有均匀布置的置物孔20，承载板16的顶部设置有均匀布置的凹槽21，连接板19的顶部安装有两组对称布置的连接杆22，连接杆22的外表面套接安装有顶板23，置物孔20和凹槽21均设置有三组，连接杆22与置物孔20间隔分布。

进一步，首先将连接板19底部的置物杆18插入承载板16顶部的置物套17，接着就可以通过置物杆18和置物套17的嵌合来将连接板19和承载板16连接在一起，接着就可以将半导体存储产品插入置物孔20的内部并与凹槽21嵌合，从而起到一定的限位作用，接着就可以将顶板23套在连接杆22的表面，在一定程度上能够起到固定夹持的作用。

请参阅图1和图2，本发明提供的一种实施例：一种半导体存储产品的老化测试设备，包括连接套24和置物块29，顶板23的顶部中心处安装有连接套24，连接套24的底壁安装有铁杆，老化检测箱1的一侧外壁贯穿设置有移动槽28，老化检测箱1的一侧外壁安装有电动推杆25，电动推杆25的输出端安装有连接管26，连接管26的顶部安装有支撑杆27，支撑杆27的外表面安装有置物块29，置物块29的底部内嵌安装有第二电磁铁，置物块29位于连接套24的内侧，第二电磁铁的底部与铁杆的顶部相贴合，支撑杆27位于移动槽28的内侧，支撑杆27能够在电动推杆25的推动下在移动槽28内上下移动，支撑杆27呈“L”字形，支撑杆27与置物块29连接在一起呈倒“凹”字形结构。

进一步，在需要对老化测试完成后的半导体存储产品进行质量检测操作前，首先启动电动推杆25，进而能够在连接管26的作用下带动支撑杆27在移动槽28内向下滑动，直至带动置物块29插入连接套24的内部，接着给第二电磁铁通电，直至使第二电磁铁能够与连接套24内的铁杆相吸合，然后再次启动电动推杆25，带动支撑杆27向上移动，直至将顶板23从连接杆22上取下即可。

进一步，该老化测试设备的工作步骤如下：

S1、在进行老化测试前，首先根据半导体存储产品的大小选择带有合适置物孔20和凹槽21的连接板19和承载板16，接着通过置物杆18与置物套17的嵌合来将连接板19和承载板16连接在一起；

S2、然后就能够将承载板16通过置物槽9放入老化检测箱1的内部，并推动挡板13，从而带动承载板16移动，直至使承载板16能够被放置在支撑板32上，与此同时，挡板13上的插块11会插入插槽10的内部，从而在一定程度上能够起到限位固定的作用，接着启动控制箱33，从而对半导体存储产品进行老化测试；

S3、当老化测试完成后，启动电动推杆25，从而能够在连接管26的作用下带动支撑杆27在移动槽28内向下移动，接着给第二电磁铁通电，直至使置物块29内的第二电磁铁能够与连接套24内的铁杆吸合，接着再次启动电动推杆25，从而能够在支撑杆27的作用下带动顶板23向上移动，直至使顶板23与连接杆22分离；

S4、当质量检测完成后，给第三电磁铁通电，使得第三电磁铁与铁块15吸合，接着向外拉动盖板38，直至使插杆37不再与插孔36嵌合，接着就能够从第二槽口35内将承载板16从支撑板32上拿出。

在步骤S1中，还包括如下步骤：

S11、然后将半导体存储产品通过置物孔20放置在凹槽21的内部，接着将顶板23套在连接杆22上，从而提高半导体存储产品的稳定性；

S12、接着给第一电磁铁14通电，并将连接块12与承载板16贴合，从而使第一电磁铁14能够与承载板16上的铁块15吸合，接着就能够将承载板16与连接块12连接在一起；

在步骤S3中，还包括如下步骤：

S31、然后给第一电磁铁14断电，从而使连接块12与承载板16分离，接着启动第二液压推杆31，从而能够在支撑板32的作用下带动承载板16向下移动，当移动至分隔板2上第一槽口8的下方后停止移动；

S32、接着启动第一液压推杆3，从而带动置物板4沿着水平方向移动，直至使置物板4能够移动至连接板19的上方，然后就能够通过探伤仪7来对连接板19内半导体存储产品的表面进行探伤检测，并通过显示屏34显示，从而方便工作人员能第一时间了解到经过老化测试后的半导体存储产品表面是否存在变化。

工作原理：在进行老化测试前，首先通过置物杆18与置物套17的嵌合来将连接板19和承载板16连接在一起，然后将半导体存储产品通过置物孔20放置在凹槽21的内部，接着给第一电磁铁14通电，从而使其能够与铁块15吸合，然后将承载板16放入老化检测箱1的内部，并直至使承载板16能够被放置在支撑板32上，接着启动控制箱33，从而对半导体存储产品进行老化测试；

当老化测试完成后，启动电动推杆25，从而能够带动支撑杆27在移动槽28内向下移动，接着给第二电磁铁通电，直至使置物块29内的第二电磁铁能够与连接套24内的铁杆吸合，接着再次启动电动推杆25，直至使顶板23与连接杆22分离为止，然后给第一电磁铁14断电，并启动第二液压推杆31，接着启动第一液压推杆3，直至使置物板4能够移动至连接板19的上方，然后就可以通过探伤仪7来对连接板19内半导体存储产品的表面进行探伤检测。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (7)

1.一种半导体存储产品的老化测试设备，包括老化检测箱（1），其特征在于：所述老化检测箱（1）的底壁安装有分隔板（2），所述分隔板（2）的一侧外壁贯穿设置有第一槽口（8）；

所述老化检测箱（1）的一侧内壁安装有第一液压推杆（3），所述第一液压推杆（3）的输出端安装有置物板（4），所述置物板（4）的底部设置有前后布置的滑槽（5），所述老化检测箱（1）的底壁安装有前后布置的滑杆（6），且滑杆（6）位于分隔板（2）的一侧，所述滑杆（6）的顶部与滑槽（5）的底壁相贴合；

所述置物板（4）的底部安装有均匀布置的探伤仪（7），且探伤仪（7）位于两组滑槽（5）的中间；

所述老化检测箱（1）的正面贯穿设置有置物槽（9），老化检测箱（1）的正面设置有对称布置的插槽（10），置物槽（9）位于两组插槽（10）的中间，两组插槽（10）的内部均嵌合安装有插块（11），两组插块（11）的正面安装有挡板（13），挡板（13）的背面安装有连接块（12），连接块（12）的背面内嵌安装有第一电磁铁（14），第一电磁铁（14）的背面吸合有铁块（15），铁块（15）的背面安装有承载板（16）；

所述承载板（16）的顶部四角处均安装有置物套（17），置物套（17）的内部嵌合安装有置物杆（18），置物杆（18）的顶部安装有连接板（19），连接板（19）的顶部贯穿设置有均匀布置的置物孔（20），承载板（16）的顶部设置有均匀布置的凹槽（21），连接板（19）的顶部安装有两组对称布置的连接杆（22），连接杆（22）的外表面套接安装有顶板（23）；

所述顶板（23）的顶部中心处安装有连接套（24），连接套（24）的底壁安装有铁杆，老化检测箱（1）的一侧外壁贯穿设置有移动槽（28），老化检测箱（1）的一侧外壁安装有电动推杆（25），电动推杆（25）的输出端安装有连接管（26），连接管（26）的顶部安装有支撑杆（27），支撑杆（27）的外表面安装有置物块（29），置物块（29）的底部内嵌安装有第二电磁铁，置物块（29）位于连接套（24）的内侧，第二电磁铁的底部与铁杆的顶部相贴合。

2.根据权利要求1所述的一种半导体存储产品的老化测试设备，其特征在于：所述置物板（4）能够在第一液压推杆（3）的推动下沿着水平方向移动，置物板（4）的高度小于第一槽口（8）的高度，滑杆（6）能够在滑槽（5）内滑动；

挡板（13）的尺寸大于置物槽（9）的尺寸，承载板（16）呈“L”字形结构，连接块（12）位于第一槽口（8）的内侧；

置物孔（20）和凹槽（21）均设置有三组，连接杆（22）与置物孔（20）间隔分布；

支撑杆（27）位于移动槽（28）的内侧，支撑杆（27）能够在电动推杆（25）的推动下在移动槽（28）内上下移动，支撑杆（27）呈“L”字形，支撑杆（27）与置物块（29）连接在一起呈倒“凹”字形结构。

3.根据权利要求1所述的一种半导体存储产品的老化测试设备，其特征在于：所述老化检测箱（1）的两侧内壁均安装有阻隔板（30），其中一组阻隔板（30）位于第一液压推杆（3）的上方，老化检测箱（1）的顶壁安装有控制箱（33）。

4.根据权利要求3所述的一种半导体存储产品的老化测试设备，其特征在于：所述老化检测箱（1）的底壁安装有第二液压推杆（31），且第二液压推杆（31）位于分隔板（2）的另一侧，第二液压推杆（31）的输出端安装有支撑板（32），且支撑板（32）的两侧外壁分别与两组阻隔板（30）相互靠近的表面相贴合，支撑板（32）的顶部与承载板（16）的底部相贴合，老化检测箱（1）的正面设置有显示屏（34），且显示屏（34）位于挡板（13）的上方，显示屏（34）与探伤仪（7）之间电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体存储产品的老化测试设备，其特征在于：所述老化检测箱（1）的正面贯穿设置有第二槽口（35），老化检测箱（1）的正面设置有两组对称布置的插孔（36），且插孔（36）位于第二槽口（35）的外侧，插孔（36）的内部嵌合安装有插杆（37），插杆（37）的正面安装有盖板（38），且盖板（38）位于挡板（13）的下方，盖板（38）的背面内嵌安装有第三电磁铁。

6.根据权利要求1-5任意一项所述的一种半导体存储产品的老化测试设备的操作方法，该老化测试设备的工作步骤如下：

S1、在进行老化测试前，首先根据半导体存储产品的大小选择带有合适置物孔（20）和凹槽（21）的连接板（19）和承载板（16），接着通过置物杆18与置物套（17）的嵌合来将连接板（19）和承载板（16）连接在一起；

S2、然后就能够将承载板（16）通过置物槽（9）放入老化检测箱（1）的内部，并推动挡板（13），从而带动承载板（16）移动，直至使承载板（16）能够被放置在支撑板（32）上，与此同时，挡板（13）上的插块（11）会插入插槽（10）的内部，从而在一定程度上能够起到限位固定的作用，接着启动控制箱（33），从而对半导体存储产品进行老化测试；

S3、当老化测试完成后，启动电动推杆（25），从而能够在连接管（26）的作用下带动支撑杆（27）在移动槽（28）内向下移动，接着给第二电磁铁通电，直至使置物块（29）内的第二电磁铁能够与连接套（24）内的铁杆吸合，接着再次启动电动推杆（25），从而能够在支撑杆（27）的作用下带动顶板（23）向上移动，直至使顶板（23）与连接杆（22）分离；

S4、当质量检测完成后，给第三电磁铁通电，使得第三电磁铁与铁块（15）吸合，接着向外拉动盖板（38），直至使插杆（37）不再与插孔（36）嵌合，接着就能够从第二槽口（35）内将承载板（16）从支撑板（32）上拿出。

7.根据权利要求6所述的一种半导体存储产品的老化测试设备的操作方法，其特征在于，在所述步骤S1中，还包括如下步骤：

S11、然后将半导体存储产品通过置物孔（20）放置在凹槽（21）的内部，接着将顶板（23）套在连接杆（22）上，从而提高半导体存储产品的稳定性；

S12、接着给第一电磁铁（14）通电，并将连接块（12）与承载板（16）贴合，从而使第一电磁铁（14）能够与承载板（16）上的铁块（15）吸合，接着就能够将承载板（16）与连接块（12）连接在一起；

在所述步骤S3中，还包括如下步骤：

S31、然后给第一电磁铁（14）断电，从而使连接块（12）与承载板（16）分离，接着启动第二液压推杆（31），从而能够在支撑板（32）的作用下带动承载板（16）向下移动，当移动至分隔板（2）上第一槽口（8）的下方后停止移动；

S32、接着启动第一液压推杆（3），从而带动置物板（4）沿着水平方向移动，直至使置物板（4）能够移动至连接板（19）的上方，然后就能够通过探伤仪（7）来对连接板（19）内半导体存储产品的表面进行探伤检测，并通过显示屏（34）显示，从而方便工作人员能第一时间了解到经过老化测试后的半导体存储产品表面是否存在变化。