CN115236640A - 激光雷达的扫描装置的角度测量装置、角度测量方法 - Google Patents

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Abstract

本申请公开了扫描装置的角度测量装置、方法及激光雷达。该装置包括导体、角度测量电路；其中所述扫描装置包括扫描镜，所述扫描镜一侧为反射面，另一侧为安装面，可绕至少一个轴线偏转；所述导体固定在所述安装面；所述角度测量电路包括谐振系统和采样部，所述谐振系统包括电感元件和电容，所述电感元件与所述导体静止位置间隔预设距离固定设置；所述采样部对所述谐振系统的电信号采样并输出，用于确定所述谐振系统的参数，以确定所述扫描镜的偏转角度。达到了测量扫扫描镜的偏转角度的目的。

Description

激光雷达的扫描装置的角度测量装置、角度测量方法
技术领域
本申请涉及激光探测领域，尤其涉及激光雷达的扫描装置的角度测量装置、角度测量方法及激光雷达。
背景技术
激光雷达可以采用扫描器实现不同角度的扫描。激光雷达发射端通过角度随时间变化的扫描器将探测光束向不同的角度偏转，以实现不同角度的扫描探测。探测光束被目标物反射的回波信号返回激光雷达，被接收端光电探测器接收并转换为电信号，经过信号处理得到目标物的距离等信息或实现三维成像。常用的扫描器可以包括扫描镜。
扫描镜式激光雷达在工作中需要对扫描镜的偏转或摆动角度进行测量，从而确定各束探测光束在遇到目标物时的空间角位置，这些空间角位置与基于飞行时间计算出的目标物距离相结合而确定了目标物的三维空间位置。
现有的扫描镜角度测量方法包括光杠杆测量和压电/压阻测量方法。光杠杆测量原理如图1所示，设定镜面M初始位置的法线方向在水平位置，从望远镜T中看到标尺刻度S0，当镜面转过θ角度后到M’位置，镜面法线(通过镜面几何中心且方向垂直于镜面的线)转过θ角，由望远镜观察到标尺刻度S，由光的反射原理：
Figure BDA0003035555440000011
可计算出镜面转过的角度θ。光杠杆测量方法的灵敏度与信噪比正比于光杠杆长度D，所以器件尺寸与角度测量信噪比会存在平衡关系，无法在减小器件体积的基础上提高信噪比，不符合设备小型化的发展趋势。
图2示出了基于压电/压阻原理的角度测量方法示意图，压电/压阻测量方法是在扫描镜的形变结构(如图2所示的驱动梁)上集成压电或压阻元件，如图2所示，驱动梁带动扫描镜偏转时，驱动梁自身发生拉伸、压缩或扭转等形变，在压电/压阻元件上产生压力变化，使得元件的电压/电阻发生改变，通过测量电压/电阻的变化量可以转换为角度变化。但这种测量方法只能获得角度变化量，无法测量扫描镜绝对角度，热变形等因素引起的扫描镜变形或平动(镜面沿法线方向的移动)时，该方法会产生角度测量误差。
发明内容
本申请提供了激光雷达的扫描装置的角度测量装置和角度测量方法。
第一方面，本申请提供了一种激光雷达的扫描装置的角度测量装置，包括：所述扫描装置包括扫描镜，所述扫描镜至少一侧为反射面，可绕至少一个轴线偏转，用来改变激光雷达发射光束或反射光束的方向；所述导体固定在所述扫描镜上；所述角度测量电路包括谐振系统和采样部，所述导体影响所述谐振系统的谐振特性，所述采样部对所述谐振系统的电信号采样并输出，用于确定所述谐振系统的参数，以确定所述扫描镜的偏转角度。
第二方面，本申请实施例提供了一种激光雷达，包括发射装置，用于发出探测光束；扫描装置，包括扫描镜，将所述探测光束偏折到目标空间，所述扫描镜可绕至少一个轴线偏转；探测装置，接收所述探测光束被目标物反射的回波光束，并转换为电信号；以及第一方面所述的扫描装置的角度测量装置，用于确定所述扫描镜的偏转角度。
第三方面，本申请实施例提供了一种角度测量方法，采用第一方面所述的角度测量装置测量激光雷达扫描装置的偏转角度，所述扫描装置包括扫描镜，所述扫描镜一侧为反射面，可绕至少一个轴线偏转，所述方法包括：在扫描装置处于工作状态时，获取扫描装置的角度测量电路输出的谐振系统的参数；其中，所述角度测量电路包括谐振系统；根据所述参数确定所述扫描镜的偏转角度。
本申请实施例提供的激光雷达的扫描装置的角度测量装置、角度测量方法，通过在扫描装置上述设置导体，并设置角度测量电路，角度测量电路包括谐振系统，可以测量上述谐振系统中谐振时的参数，以通过所述参数确定扫描镜的偏转角度。上述扫描装置的角度测量装置不需要在扫描镜上设置需要供电的元器件，因此，对于扫描镜而言，没有增加供电和散热的需求，因而，上述角度测量装置不影响扫描装置的可靠性。另外，上述角度测量装置结构简单、紧凑，可以降低测量扫描装置的偏转角度的成本。
在此基础上，通过设置基准角度测量电路和边缘角度测量电路、或设置多个边缘角度测量电路，可以消除热变形、平动等因素引起扫描镜绝对角度变化导致的测量偏差，显著提高扫描镜角度测量准确性和可靠性。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为一种相关技术中的激光雷达的扫描装置的角度测量原理的示意图；
图2为另一种相关技术中的激光雷达的扫描装置的角度测量原理的示意图；
图3A为本申请实施例提供的激光雷达的扫描装置的角度测量装置的一些实施例的结构示意图；
图3B为图3A所示实施例中的扫描镜与电感元件的一种俯视示意图；
图4为图3A所示角度测量装置的等效电路示意图；
图5为使用一些实施例提供的采样部采集谐振系统的参数结构示意图；
图6为使用另外一些实施例提供的采样部采集谐振系统的参数结构示意图；
图7为应用于图3A所示实施例的激光雷达的扫描装置的角度测量装置的一种测量扫描镜的偏转角度的一个原理性示意图；
图8A为本申请实施例提供的激光雷达的扫描装置的角度测量装置的另一些实施例的结构示意图；
图8B为图8A所示实施例中的扫描镜与电感元件的俯视示意图；
图9A为本申请实施例提供的激光雷达的扫描装置的角度测量装置的又一些实施例的结构示意图；
图9B为图9A所示实施例中的扫描镜与电感元件的俯视示意图；
图10为本申请实施例提供的扫描装置的另一种扫描镜与电感元件的俯视示意图；
图11为本申请实施例提供的扫描装置的又一种扫描镜与电感元件的俯视示意图；
图12为本申请实施例提供的角度测量方法的流程示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关发明相关的部分。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
请结合图3A、图3B，图3A示出了本申请提供的激光雷达的扫描装置的角度测量装置的一些实例的结构示意图。图3B示出了图3A中的扫描镜与电感元件的一种俯视示意图。
上述扫描装置可以包括扫描镜10。扫描镜10至少一侧为反射面。扫描镜10可以包括一个或多个轴线。扫描镜10可以绕至少一个轴线偏转，用来改变激光雷达发射光束或反射光束的方向。
图3A中示出的是扫描镜的侧视图。
上述扫描装置的角度测量装置包括导体11、角度测量电路12。导体11固定在扫描镜10上。可选地，上述导体固定在扫描镜与反射面相对一面上。上述导体11可以具有良好的导电性，例如由导电率较高的金属材料(例如铝、铜、或其合金等)制成。
角度测量电路12包括谐振系统120和采样部121。上述谐振系统在扫描镜旋转时工作在谐振状态。导体11影响谐振系统的谐振特性。上述采样部121对上述谐振系统120的电信号采样并输出，用于确定谐振系统120的参数，以确定扫描镜10的偏转角度。上述参数可以包括等效电感、谐振频率、谐振周期等。
在测量扫描镜的偏转角度时，所述激光雷达的扫描装置的角度测量装置用所述参数确定扫描镜边缘的偏转距离，然后用所述偏转距离确定偏转角度。
在一些应用场景中，所述参数为所述谐振系统的谐振频率或谐振周期，所述角度测量装置用所述谐振频率或谐振周期确定所述扫描镜的偏转角度。
在另外一些应用场景中，所述参数为所述谐振系统的等效电感，所述角度测量装置用所述等效电感确定扫描镜的偏转角度。
本实施例通过设置通过在扫描装置上述设置导体，并设置角度测量电路，角度测量电路包括谐振系统，可以测量上述谐振系统中谐振时的频率参数，以通过所述参数确定电感元件与上述导体的等效电感，再根据等效电感来确定扫描镜的偏转角度。上述扫描装置的角度测量装置不需要在扫描镜上设置需要供电的元器件，因此，对于扫描镜而言，没有供电和散热的需求，因而，上述角度测量装置不影响扫描装置的可靠性。另外，上述角度测量装置结构简单、紧凑，可以降低测量扫描装置的偏转角度的成本。
可选地，如图谐振系统120包括电感元件1201和电容1202。电感元件1201与导体11静止位置间隔预设距离d0固定设置。
通常，上述电感元件1201与上述导体11之间的预设距离可以大于扫描镜10的最大振幅，但上述预设距离过大时会降低测量灵敏度，可以将上述预设距离设置为稍微大于扫描镜10最大振幅的大小。扫描镜10在工作的过程中绕轴线偏转，扫描镜10的最大振幅是指在扫描镜10初始位置的法线方向上(也就是线圈所在平面的法线方向)，扫描镜10偏转幅度最大时，扫描镜10的边缘偏离其初始位置的距离。
上述参数可以为谐振系统120的等效电感，等效电感表示导体11与电感元件1201之间的互感，与电感元件1201和上述导体11之间的距离相关。
上述电感元件1201的几何中心在扫描镜10的投影偏离上述扫描镜10的几何中心。在一些应用场景中，上述角度测量电路12可以为边缘角度测量电路。上述边缘角度测量电路12的电感元件1201在上述扫描镜10的投影位于扫描镜10的边缘。
这里，上述电感元件1201可以包括但不限于线圈。上述线圈可以朝向上述导体11，线圈所在平面与导体11静止状态所在平面平行。
图4示出了图3A所示角度测量装置的等效电路示意图。
如图4所示，上述导体可以等效为电感电阻模型。上述角度测量电路12还包括激励源is。激励源is使上述谐振系统工作在谐振状态。
由于电感元件1201朝向上述导体，上述电感元件1201与上述导体11之间会产生互感(Lm)。上述互感Lm受电感元件与导体之间的距离的调制，也即，上述互感随着电感元件与导体之间的距离变化而变化。
上述电感元件1201可以与电容1202并联或串联构成谐振回路。如图4所示为并联连接的电感元件与电容形成的谐振回路，激励源is使得上述谐振回路工作在谐振点。当谐振回路工作在谐振点时，谐振频率为：
Figure BDA0003035555440000051
上述Le为上述等效电感，上述C为电容的电容值。
另外，当扫描镜10绕轴线偏转时，安装在扫描镜10的安装面上的导体11随扫描镜偏转，导体11与电感元件1201的距离会发生变化。由于上述导体11与电感元件1201的距离发生变化，导体11与电感元件1201之间的互感Lm会发生变化，进而引起由谐振回路的等效电感Le发生变化。通过调节激励源is的激励信号，使谐振系统始终工作在谐振状态，根据公式(1)，测量谐振系统的频率，可获得谐振系统的等效电感Le，进一步地，根据谐振时的等效电感来确定导体与电感元件之间的距离。进而根据导体与电感元件之间的距离确定扫描镜的偏转角度。
可以使用采样部121对谐振系统120的电信号进行采样，并输出采样信号。可以根据采样部121输出的采样信号确定谐振系统120的谐振频率或谐振周期，进一步根据谐振频率或谐振周期确定等效电感，然后根据确定导体11与电感元件1201的实际距离，并根据实际距离与初始距离确定扫描镜10的偏转角度。
作为一种可选的实现方式，上述采样部121包括：模数转换器。模数转换器的输入端与上述谐振系统连接，以实现对谐振系统的电信号进行采样。如图5所示，在并联的电感元件和电容的两端分别与模数转换器的输入端连接。使用模数转换器采集上述谐振系统的振荡正弦波，根据正弦波模拟信号获取一个振荡所对应的时间，也即振荡周期。根据振荡周期确定谐振频率。
作为一种可选的实现方式，采样部121包括：比较器与时间数字转换器，其中所述比较器的两个信号输入端可以与所述谐振系统连接，所述比较器的输出端与所述时间数字转换器的输入端连接，以实现对所述谐振系统的电信号进行采样。如图6所示，并联的电感元件和电容的两端分别连接比较器的两个输入端。比较器的输出端连接时间数字转换器。比较器和时间数字转换器可将正弦波转换为方波，根据方波周期来确定谐振系统的谐振周期或者谐振频率。时间数字转换器的时间分辨率较高，温漂也较小，测量结果的精度较高。
进一步地，上述扫描装置的角度测量装置还包括处理部(图中未示出)，处理部用于根据上述采样部的输出确定谐振系统的谐振频率(当确定的是谐振周期时，可以根据频率与周期之间的关系来确定谐振系统的谐振频率)。
在确定了谐振频率之后，可以根据上述公式(1)来计算谐振频率对应的等效电感Le。根据上面的分析，上述等效电感Le与电感元件和上述导体之间的距离相关。用d表示电感元件与导体之间的距离，LC谐振系统的等效电感Le＝f(d)(Le是d的函数)。
作为一种实现方式，在d较小时，Le≈L0+kxd，其中L0为d＝0时的等效电感，k为d的影响系数。
作为一种实现方式，可以采用标定法确定d和Le的关系。测量不同的d值对应的Le，得到d和Le的距离-电感对应关系，如d～Le曲线或对应表，将该对应关系存储在激光雷达中。在实际应用中，根据对谐振系统实时测量的谐振频率确定等效电感Le，查找对应关系，即可获取上述电感元件与导体之间的距离d的值。
此外，还可以根据标定法确定d和谐振系统的谐振频率(或谐振周期)的关系。测量不同的d值对应的谐振频率(或谐振周期)，得到d和谐振频率(或谐振周期)的对应关系，例如关系曲线或对应表，将该对应关系存储在激光雷达中，在实际应用中，根据对谐振系统实时测量的谐振频率(或谐振周期)，查找频率-距离对应关系，即可获取上述电感元件与导体之间的距离d的值。请参考图7，其示出了应用于图3A所示实施例的角度测量装置的一种测量扫描镜的偏转角度的一个原理性示意图。由于导体与扫描镜固定连接，在原理性示意图中，导体的偏转角度等效为扫描镜的偏转角度。如图7所示，导体11初始状态(静止状态，如图7实现所示)与电感元件1201之间的初始距离为d0。在导体11随扫描镜偏转角度θ后至位置11’(如图7虚线所示)，导体11’与电感元件1201之间的距离为d1。可以计算出扫描镜边缘在线圈所在平面法线方向的偏转距离x。扫描镜偏转角度θ与导体11与电感元件1201之间的距离的变化量x满足正切三角函数关系。上述导体11与电感元件1201之间的距离的变化量x可以视为扫描镜边缘的偏转距离。上述变化量x＝d0-d1。假设导体的中心到导体的边缘的距离为h，扫描镜偏转的角度θ与h、x之间满足如下正切三角函数关系：
Figure BDA0003035555440000071
故而，
Figure BDA0003035555440000072
可以确定电感元件的几何中心在扫描镜的投影与扫描镜的中心之间的距离d0，以及上述x，然后根据公式(2)确定出扫描镜的偏转角度θ。
作为一种实现方式，可以采用标定法确定θ与上述参数(谐振频率或上述等效电感)的对应关系，例如θ与等效电感的角度-电感对应关系，或者θ与谐振频率的角度-频率对应关系存储在激光雷达中。在实际应用中，仅需要根据谐振系统的上述参数，查找对应关系即可获取扫描镜的实时偏转角度。
在一些应用场景中，上述对应关系为标定曲线。在这些应用场景，角度测量电路可以利用预先设定的所述参数与偏转角度标定曲线确定偏转角度。也即，在实际应用中，仅需要根据谐振系统的上述参数，根据标定曲线确定扫描镜的实时偏转角度。
需要说明的是，本发明的角度测量装置不限于图3A和图7所示的导体固定在扫描镜与反射面相对一面上的方式，导体可以固定在扫描镜的其他位置。作为一种实现方式，导体可以固定在扫描镜侧面边缘。
谐振系统也不限于电感元件在扫描镜法线方向与导体间隔预定距离的固定方式，只要扫描镜的偏转可以带动导体偏转或移动，改变谐振系统的等效电感，使谐振系统参数可用于表征扫描镜的偏转角度即可。作为一种实现方式，电感元件可以与导体静止位置处于同一平面上。导体固定在扫描镜与反射面相对一面上，电感元件在导体所在平面上与导体间隔预定距离，即电感元件设置在扫描镜周围。作为另一种实现方式，导体固定在扫描镜侧面边缘，电感元件与导体间隔预定距离设置在扫描镜周围。
在本实施例中，通过在扫描装置上述设置导体，并设置角度测量电路，角度测量电路包括谐振系统，可以测量上述谐振系统中谐振时的参数，以通过参数确定电感元件与上述导体的等效电感，再根据等效电感来确定扫描镜的偏转角度。上述扫描装置的角度测量装置不需要在扫描镜上设置需要供电的元器件，因此，对于扫描镜而言，没有供电和散热的需求，因而，上述角度测量装置不影响扫描装置的可靠性。另外，上述角度测量装置结构简单、紧凑，可以降低测量扫描装置的偏转角度的成本。
请参考图8A和图8B，其示出了本申请提供的另外一些实施例的扫描装置的角度测量装置的结构示意图。图8B为图8A中的扫描镜和电感元件相对位置的俯视示意图。
在这些实施例中，扫描装置的角度测量装置包括多个角度测量电路。
如图8A所示，角度测量电路包括基准角度测量电路12’和至少一个边缘角度测量电路12。如图8B所示，基准角度测量电路12’的基准电感元件的中心在扫描镜的投影同扫描镜的几何中心基本重叠。每个基准角度测量电路和边缘角度测量电路都具有一个电感元件；例如基准角度测量电路包括基准电感元件，边缘角度测量电路12可以包括第一电感元件。
边缘角度测量电路12的第一电感元件的几何中心在扫描镜10的投影偏离扫描镜的几何中心。
扫描镜10具有至少一个轴线，所述边缘角度测量电路的第一电感元件的几何中心在所述扫描镜10的投影位于所述轴线上。如图8B所示，第一电感元件的几何中心在扫描镜10的投影位于轴线R1-R1’上。
使用基准角度测量电路测得的基准电感元件与导体之间的距离d0，可以视为电感元件与导体之间静止时的基准距离。可以使用边缘角度测量电路12测量边缘角度测量电路12中的第一电感元件与导体11之间在扫描镜10偏转后的第一距离d2。可以根据所述基准距离d0和所述第一距离d2确定所述扫描镜10的偏转角度。本实施例中以参数为等效电感为例进行说明。
以边缘角度测量电路的数量为1为例，如图7所示，在扫描镜回转中心对应的位置设置基准角度测量电路12。基准角度测量电路中的基准电感元件，并联电容和激励电路形成图4所示的测量电路，用于根据谐振系统的参数，等效电感Le0测量基准距离d0。在扫描镜10偏转幅度最大的位置(振动边缘)设置边缘角度测量电路12。边缘角度测量电路12包括第一电感元件，同样连接电容和激励电源形成LC谐振系统，根据等效电感L e1测量角度变化后的d2。进而通过两者的差值x＝d2-d0来确定扫描镜的角度变化。
另外，还可以标定Le1-L e0与x的对应关系，测得Le1和Le0后求差，根据求差结果Le1-Le0查找对应关系得到x值。
由于热形变等因素会引起扫描镜的基准距离d0变化，热变形后扫描镜10偏转同样的角度对应的导体11与第一电感元件之间的距离d2会发生改变。图8A和图8B所示实例中，由于扫描镜10的热胀冷缩会引起d0和d2同步变化。因此，通过基准电感元件测量的距离d0，第一电感元件检测偏转后的距离d2，通过差值x＝d2-d0消除热变形引起d0和d2变化造成的角度测量偏差，可以更准确地获得扫描镜偏转角度。
由于设置基准角度测量电路和边缘角度测量电路，可以在不同位置对扫描镜偏转距离进行测量，将基准角度测量电路和边缘角度测量电路测得的扫描镜偏转距离相结合，计算扫描镜的偏转角度，能够提高角度测量准确性，消除热变形、平动等因素引起的测量偏差。
请参考图9A和图9B，图9A示出了本申请提供的另外一些实施例的扫描装置的角度测量装置的结构示意图，图9B示出了图9A所示扫描装置中的扫描镜与电感元件之间的相对位置关系的俯视示意图。
在这些实施例中，扫描装置的角度测量装置包括多个角度测量电路。本实施例中以参数为等效电感为例进行说明。
角度测量电路包括多个边缘角度测量电路，所述边缘角度测量电路的电感元件的几何中心在所述扫描镜的投影偏离所述扫描镜的几何中心。
扫描镜具有至少一个轴线，至少两个边缘角度测量电路的电感元件的几何中心在所述扫描镜的投影位于一个所述轴线的两端，且关于所述扫描镜的几何中心对称。如图9B所示，两个边缘角度测量电路各自对应电感元件1201-1和电感元件1201-2，电感元件1201-1和电感元件1201-2各自的几何中心在扫描镜10的投影位于轴线R2-R2’上。
对于绕所述第一轴线的偏转角度，电感元件可以设为两组，分别对应于与第一轴线垂直的第二轴，第二轴例如图9B所示的轴R2-R2’。两个电感元件1201-1、1201-2各自的几何中心在扫描镜的投影分别位于第二轴的两端，分别测量镜面上运动相位相反位置的位移。如图9A所示，边缘角度测量电路12-1和边缘角度测量电路12-2分别位于扫描镜的同一轴上扫描镜偏转角度最大的两端，且关于扫描镜的几何中心对称。
边缘角度测量电路12-1可以包括第一电感元件，边缘角度测量电路12-2可以包括第二电感元件。边缘角度测量电路12-1的等效电感Le2，边缘角度测量电路12-2的等效电感Le3。边缘角度测量电路12-1中的第一电感元件与导体11之间的距离为d3。边缘角度测量电路12-2中的第二电感元件与导体11之间的距离为d4。
作为一个实施方式，可以标定Le3-Le2与d4-d3的对应关系，根据图3所示实施例的方法测量得出边缘角度测量电路12-1的电感元件与导体11之间的等效电感Le2和边缘角度测量电路12-2的电感元件与导体11之间的等效电感Le3,后将两者求差Le3-Le2，然后根据对应关系确定对应的x＝d1-d2。
通过使用不同组边缘角度测量电路，可以在不同位置对扫描镜偏转距离进行测量，将基准角度测量电路和边缘角度测量电路测得的扫描镜偏转距离相结合，计算扫描镜的偏转角度，能够提高角度测量准确性，消除热变形、平动等因素引起的测量偏差。
若边缘角度测量电路多于两组时，可以设置多组边缘角度测量电路分别对应于上述第二轴，多组边缘角度测量电路的电感元件几何中心在扫描镜的投影分别位于第二轴上，可以利用多组边缘角度测量电路测出多个偏转距离，分别标定多个偏转角度，根据多个偏转角度结合电感元件的位置确定最终的扫描镜偏转角度。例如，其中两组边缘角度测量电路的电感元件几何中心在扫描镜的投影位于第二轴上相对于扫描镜几何中心的同一侧，可将该两组边缘角度测量电路测得的偏转角度求平均值；若其中两组边缘角度测量电路的电感元件几何中心在扫描镜的投影位于第二轴上相对于扫描镜几何中心的两端，可将该两组边缘角度测量电路测得的偏转角度求差，用于计算最终的扫描镜偏转角度。
请参考图10，其示出了本申请提供的又一些实施例的扫描装置的角度测量装置中的电感元件与扫描镜的相对位置关系的示意图。
角度测量装置可以包括多个角度测量电路。角度测量电路的电感元件对应的几何中心在扫描镜10的投影偏离扫描镜10的几何中心。也即上述多个角度测量电路包括多个边缘角度测量电路。至少两个角度测量电路各自对应的电感元件在扫描镜10的投影分别位于扫描镜10的不同轴线中。
如图10所示，一个边缘角度测量电路的第一电感元件1201-3的几何中心在扫描镜的投影位于扫描镜的轴线R2-R2’。一个边缘角度测量电路的第一电感元件1201-4的几何中心在扫描镜的投影位于扫描镜的轴线R3-R3’。轴线R2-R2’和轴线R3-R3’分别与第一轴线垂直。
可以根据图3A所示实施例提供的扫描装置的角度测量装置测量角度的方案，利用第一电感元件1201-3所在的边缘角度测量电路测量扫描镜的轴线R2-R2’绕第一轴线的偏转角度；利用第一电感元件1201-4所在的边缘角度测量电路测量扫描镜的轴线R3-R3’绕第一轴线的偏转角度。
在图10中，通过将边缘角度测量电路设置两个轴线上，从而实现扫描镜两个轴向上的偏转角度测量。
请参考图11，其示出了本申请提供的又一些实施例的扫描装置的角度测量装置中的电感元件与扫描镜的相对位置关系的示意图。
在这些实施例中，扫描装置的角度测量装置包括多个角度测量电路。
对于二维扫描镜，其具有两个相互垂直的偏转轴：轴线R4-R4’和轴线R5-R5’。轴线R4-R4’和轴线R5-R5’分别与第一轴线垂直。至少两个边缘角度测量电路的电感元件的几何中心在所述扫描镜的投影位于一个所述轴线的两端，且关于所述扫描镜的几何中心对称。
如图11所示，可以在两个轴线上扫描镜边缘位置依次设置边缘角度测量电路。
用第一电感元件1201-5和1201-6各自所在的边缘角度测量电路测量扫描镜轴线R4-R4’绕第一轴线的偏转角度。用第一电感元件1207和1208各自所在的边缘角度测量电路测量扫描镜的轴线R5-R5’沿第一轴线的偏转角度。测量时可以参考图9A、图9B所示实例阐述的偏转角度测量方案。可以得到扫描镜两个轴向上准确度较高的偏转角度测量结果。
在一些可选的实现方式中，图8A和图8B、图9A和图9B、图10、图11各实施例的激光雷达的扫描装置的角度测量装置中，各角度测量电路分别包含谐振系统和激励源。分别控制各角度测量电路的激励源，可以使各角度测量电路的谐振系统工作于各自特定的谐振频率。至少两个角度测量电路的谐振系统的谐振频率不同。在一些应用场景中，多个角度测量电路分别对应的谐振系统的谐振频率可以不相同。
在这些可选的实现方式中，通过使得至少两个角度测量电路的谐振系统的谐振系统不同，可以减小各个谐振系统之间的相互干扰，提高各角度测量电路测量结果的准确性。
在另外一些可选的实现方式中，各角度测量电路分别包含谐振系统和激励源，分别控制各角度测量电路的激励源，可以使谐振系统工作于特定的谐振频率。至少两个角度测量电路的谐振系统的工作时序不同。
具体地，可以为每个角度测量电路设置各自的工作时序。其中，至少两个角度测量电路的谐振系统的工作时序可以不同。在每一个工作时序内，使得该工作时序对应的角度测量电路处在工作状态，通过激励电路驱动以使该工作时序对应的谐振系统处于谐振状态。该时序结束后，将该角度测量电路的激励电流断开。从而可避免各角度测量电路的谐振系统之间的干扰，以确保偏转角度测量的准确度。
在这些可选的实现方式中，为了提高偏转角度测量效率，可以为不同的角度测量电路设置不同的谐振频率，在同一个工作时序内使得干扰较小的多个谐振系统同时处于谐振状态。也即，在同一个工作时序内，对于相互干扰较小的至少两个谐振系统的各自对应的角度测量电路同时处于工作状态，通过激励电路使得这些角度测量电路的谐振系统处于谐振状态，以测量扫描镜的偏转角度。
本申请还提供了一种激光雷达，包括：发射装置，用于发出探测光束；扫描装置，包括扫描镜，将所述探测光束偏折到目标空间，并反射所述探测光束被目标物反射的回波光束，所述扫描镜可绕至少一个轴线偏转；探测装置，接收所述回波光束，并转换为电信号；以及如图3A-图3B、图8A-图8B、图9A-图9B、图10、图11之一所示的扫描装置的角度测量装置，用于确定所述扫描镜的偏转角度。
请参考图12，其示出了本公开提供的角度测量方法的一个示意性流程图，该角度测量方法应用图3A-图3B、图8A-图8B、图9A-图9B、图10、图11之一所示的扫描装置的角度测量装置。
如图12所示，上述角度测量方法包括：
步骤101，在扫描装置处于工作状态时，获取扫描装置的角度测量电路输出的谐振系统的参数；其中，角度测量电路包括谐振系统。
步骤102，根据所述参数确定所述扫描镜的偏转角度。
在本实施例中，扫描装置可以包括扫描镜。扫描镜至少一侧为反射面。上述扫描装置的角度测量装置可以包括导体，角度测量电路。角度测量电路包括谐振系统。上述导体安装在扫描镜的安装面上，导体影响谐振系统的谐振特性。
在扫描装置处于工作状态时，扫描镜会发生偏转。安装在扫描镜上的导体也会随着扫描镜偏转。谐振系统的参数会发生随着扫描镜和导体的偏转发生变化。
可以根据谐振系统的参数确定扫描镜的偏转角度。
具体地，谐振系统可以包括电感元件和电容。上述电感元件与上述导体静止位置间隔预设距离固定设置。
电感元件与导体产生互感，上述电感元件和互感确定等效电感。互感与电感元件和导体之间的距离相关。这样，等效电感受电感元件和导体之间的距离的调制。
在上述步骤101之前的，上述扫描装置的角度测量方法还包括：采用激励源使所述谐振系统工作在谐振状态。
上述谐振系统可以在激励信号的作用下工作在谐振状态。谐振系统谐振时，谐振频率与电容、等效电感满足上述公式(1)的关系。因此，可以通过所测量的谐振频率来确定上述等效电感。
在一些可选的实现方式中，上述步骤102包括如下步骤：
根据预先确定的距离-参数对应关系，确定所述电感元件与所述导体之间的当前距离；其中所述距离-参数对应关系反映电感元件和导体之间的距离与谐振系统的参数的对应关系；根据所述距离确定扫描镜的偏转角度。
可以事先通过标定的方式，确定出扫描镜的偏转角度和谐振系统的参数之间的标定曲线。在角度测量电路输出谐振系统的参数之后，可以根据上述标定曲线确定扫描镜的偏转角度。
在本实施例中，所述角度测量电路还包括采样部，上述步骤101还包括：所述采样部对所述谐振系统输出的电信号进行采样并输出，用于确定所述参数。上述参数包括谐振系统的等效电感、谐振频率或谐振周期。可以通过谐振周期确定谐振频率。
此外，上述角度测量电路还包括处理部。处理部接收采样部的输出，确定电信号的变化周期，作为谐振系统的谐振周期。
在一些可选的实现方式中，角度测量电路包括基准角度测量电路和至少一个边缘角度测量电路；每个基准角度测量电路和边缘角度测量电路都具有一个电感元件，所述基准角度测量电路的基准电感元件的几何中心在所述扫描镜的投影同所述扫描镜的几何中心基本重叠；所述边缘角度测量电路的第一电感元件的几何中心在所述扫描镜的投影偏离所述扫描镜的几何中心；以及上述步骤102包括如下子步骤：
子步骤1021，根据所述基准角度测量电路输出的基准等效电感，确定所述基准电感元件与所述扫描镜几何中心之间的基准距离。
子步骤1022，根据所述边缘角度测量电路输出的测量等效电感，确定所述第一电感元件与所述扫描镜几何中心之间的第一距离。
进一步地，上述步骤102包括：根据所述基准距离和所述第一距离确定所述扫描镜的偏转角度。
在一些应用场景中，上述角度测量电路包括：至少一个边缘角度测量电路的第一电感元件几何中心在所述扫描镜的投影位于所述扫描镜的轴线上，根据所述基准距离和第一距离确定所述扫描镜在所述轴线上的偏转角度。
在一些可选的实现方式中，所述角度测量电路包括多个边缘角度测量电路，所述边缘角度测量电路的第一电感元件的几何中心在所述扫描镜的投影偏离所述扫描镜的几何中心，以及所述步骤102进一步包括：
采用多个边缘角度测量电路分别测量各自的电感元件与导体之间的第一距离，通过多个第一距离确定所述扫描镜的偏转角度。
在一些可选的实现方式中，至少两个边缘角度测量电路的电感元件的几何中心在所述扫描镜的投影关于所述扫描镜的几何中心对称；以及
所述采用多个边缘角度测量电路分别测量各自的电感元件与导体之间的第一距离，通过多个第一距离确定所述扫描镜的偏转角度包括：
根据所述至少两个边缘角度测量电路的电感元件与导体的各自的第一距离，确定所述扫描镜的偏转角度。
以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (17)

1.一种激光雷达的扫描装置的角度测量装置，包括：导体、角度测量电路；其中
所述扫描装置包括扫描镜，所述扫描镜至少一侧为反射面，可绕至少一个轴线偏转，用来改变激光雷达发射光束或反射光束的方向；
所述导体固定在所述扫描镜上；
所述角度测量电路包括谐振系统和采样部，
所述导体影响所述谐振系统的谐振特性，
所述采样部对所述谐振系统的电信号采样并输出，用于确定所述谐振系统的参数，以确定所述扫描镜的偏转角度。
2.根据权利要求1所述的激光雷达的扫描装置的角度测量装置，其中，所述参数为所述谐振系统的谐振频率或谐振周期，所述角度测量装置用所述谐振频率或谐振周期确定所述扫描镜的偏转角度。
3.根据权利要求1所述的激光雷达的扫描装置的角度测量装置，其中，所述参数为所述谐振系统的等效电感，所述角度测量装置用所述等效电感确定扫描镜的偏转角度。
4.根据权利要求2或3所述的激光雷达的扫描装置的角度测量装置，其中，所述谐振系统包括电感元件和电容，所述电感元件与所述导体静止位置间隔预设距离固定设置。
5.根据权利要求4所述的激光雷达的扫描装置的角度测量装置，其中，所述电感元件的几何中心在所述扫描镜的投影偏离所述扫描镜的几何中心。
6.根据权利要求2或3所述的激光雷达的扫描装置的角度测量装置，其中，所述激光雷达的扫描装置的角度测量装置用所述参数确定扫描镜边缘的偏转距离，然后用所述偏转距离确定偏转角度。
7.根据权利要求1所述的激光雷达的扫描装置的角度测量装置，其中，扫描装置的角度测量装置包括多个角度测量电路。
8.根据权利要求7所述的激光雷达的扫描装置的角度测量装置，其中，所述多个角度测量电路包括基准角度测量电路和至少一个边缘角度测量电路；每个基准角度测量电路和边缘角度测量电路都具有一个电感元件；
所述基准角度测量电路的电感元件的几何中心在所述扫描镜的投影同所述扫描镜的几何中心基本重叠；
所述边缘角度测量电路的电感元件的几何中心在所述扫描镜的投影偏离所述扫描镜的几何中心。
9.根据权利要求8所述的激光雷达的扫描装置的角度测量装置，其中，所述扫描镜具有至少一个轴线，所述边缘角度测量电路的电感元件的几何中心在所述扫描镜的投影位于所述轴线上。
10.根据权利要求7所述的激光雷达的扫描装置的角度测量装置，其中，所述角度测量电路包括多个边缘角度测量电路，所述边缘角度测量电路的电感元件的几何中心在所述扫描镜的投影偏离所述扫描镜的几何中心。
11.根据权利要求10所述的激光雷达的扫描装置的角度测量装置，其中，所述扫描镜具有至少一个轴线，至少两个边缘角度测量电路的电感元件的几何中心在所述扫描镜的投影位于一个所述轴线的两端，且关于所述扫描镜的几何中心对称。
12.根据权利要求1所述的激光雷达的扫描装置的角度测量装置，其中，所述角度测量电路利用预先设定的所述参数与所述偏转角度的标定曲线确定偏转角度。
13.根据权利要求1所述的激光雷达的扫描装置的角度测量装置，其中，所述扫描装置的角度测量装置还包括处理部，所述处理部用于根据所述采样部的输出确定所述谐振系统的参数。
14.根据权利要求13所述的激光雷达的扫描装置的角度测量装置，所述处理部确定所述电信号的变化周期，作为所述谐振系统的谐振周期。
15.根据权利要求7-11之一所述的激光雷达的扫描装置的角度测量装置，其特征在于，至少两个角度测量电路的谐振系统的谐振频率和/或工作时序不同。
16.一种激光雷达，包括：
发射装置，用于发出探测光束；
扫描装置，包括扫描镜，将所述探测光束偏折到目标空间，并反射所述探测光束被目标物反射的回波光束，所述扫描镜可绕至少一个轴线偏转；
探测装置，接收所述回波光束，并转换为电信号；以及
如权利要求1-15之一所述的激光雷达的扫描装置的角度测量装置，用于确定所述扫描镜的偏转角度。
17.一种角度测量方法，应用如权利要求1-15之一所述的角度测量装置测量所述激光雷达的扫描装置的偏转角度，其中，所述扫描装置包括扫描镜，导体固定在所述扫描镜上，所述角度测量电路包括谐振系统，所述方法包括：
获取所述谐振系统的参数；
根据所述参数确定所述扫描镜的偏转角度。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20020144547A1 (en) * 1998-08-14 2002-10-10 Pchelnikov Yuriy N. Electromagnetic method of the angular displacement monitoring
DE102004033083A1 (de) * 2004-07-08 2006-01-26 Robert Bosch Gmbh Wirbelstromsensor zur kontinuierlichen Weg- oder Winkelmessung
US7583090B2 (en) * 2006-08-30 2009-09-01 David S. Nyce Electromagnetic apparatus for measuring angular position
DE102011085737A1 (de) * 2011-11-03 2013-05-08 Continental Teves Ag & Co. Ohg Winkelsensor auf Wirbelstrombasis
DE102018102094A1 (de) * 2018-01-31 2019-08-01 Thyssenkrupp Ag Induktiver Winkelsensor für eine Kraftfahrzeuglenkung
DE102018107416A1 (de) * 2018-03-28 2019-10-02 HELLA GmbH & Co. KGaA Vorrichtung zur Bestimmung eines Drehwinkels und/oder eines Drehmoments
CN111308443B (zh) * 2020-04-14 2023-03-17 深圳市镭神智能系统有限公司 一种激光雷达

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