CN115219114A - 防漏液监测系统及监测方法 - Google Patents

Abstract

本公开提供一种防漏液监测系统及监测方法，防漏液监测系统包括漏液容置部、漏液引流部和监测部，其中，漏液容置部具有封闭的容置空间，容置空间用于容置设备的漏液，漏液容置部上设置有液体流通口；漏液引流部设置在设备和漏液容置部之间，用于承接设备的漏液，并将漏液经液体流通口引流至容置空间内；监测部设置在漏液容置部和/或漏液引流部中，用于对漏液容置部和/或漏液引流部内的漏液进行监测。通过对设备漏液的引流、容置和监测，实现设备漏液状况的预防和监测的问题，消除了因设备漏液导致的风险，避免进一步造成重大事故和经济损失。

Description

防漏液监测系统及监测方法

技术领域

本公开涉及半导体制造设备技术领域，尤其涉及一种防漏液监测系统及监测方法。

背景技术

半导体制造工厂内部具有大量设备，不同的半导体设备用于执行不同的制程工艺以完成半导体产品的生产，其中，大多数半导体设备会使用液体，同时半导体设备中的管道复杂、接口较多，在执行制程工艺的过程中会有加热和冷却交替的情况，很容易在接口或管道端部产生漏液的情况，对于一些有毒试剂，漏液情况的发生还会对设备操作人员带来安全隐患。另一方面，漏液会对半导体设备本身的使用寿命造成严重影响，半导体设备价格昂贵，更换或者维修都会造成经济损失或者影响生产进程。

发明内容

以下是对本公开详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。

本公开提供一种防漏液监测系统及监测方法。

根据本公开实施例的第一方面，提供了一种防漏液监测系统，所述防漏液监测系统包括：

漏液容置部，所述漏液容置部具有封闭的容置空间，所述容置空间用于容置设备的漏液，所述漏液容置部上设置有液体流通口；

漏液引流部，所述漏液引流部设置在所述设备和所述漏液容置部之间，用于承接所述设备的漏液，并将所述漏液经所述液体流通口引流至所述容置空间内；

监测部，所述监测部设置在所述漏液容置部和/或所述漏液引流部中，用于对所述漏液容置部和/或所述漏液引流部内的漏液进行监测。

根据本公开的一些实施例，所述漏液引流部具有封闭的引流通道，所述漏液引流部上设置有与所述设备的漏液位置对应的漏液入口以及与所述液体流通口连接的漏液出口。

根据本公开的一些实施例，所述引流通道沿水平方向延伸；或者，

沿由所述漏液入口向所述漏液出口的方向，所述引流通道向下倾斜。

根据本公开的一些实施例，所述防漏液检测系统还包括：

过滤部，所述过滤部设置在所述液体引流部内，或者设置于所述液体流通口处。

根据本公开的一些实施例，所述监测部包括：

液位检测单元，设置于所述漏液容置部和/或所述漏液引流部中，用于检测所述漏液容置部和/或所述漏液引流部的液位；

漏液属性信息获取单元，设置于所述漏液容置部和/或所述漏液引流部中，用于获取漏液属性信息，所述漏液属性信息包括所述漏液的PH信息和/或漏液的类型信息，多个所述设备共用一个所述漏液容置部。

根据本公开的一些实施例，所述液位检测单元包括第一液位检测单元，每个所述设备均对应设置一个所述第一液位检测单元；和/或，

所述液位检测单元包括第二液位检测单元，所述第二液位检测单元设置于共用的所述漏液容置部的至少一侧。

根据本公开的一些实施例，每个所述设备均对应一个所述漏液属性信息获取单元；或者，

多个所述设备包括第一类型设备和第二类型设备，每个所述第二类型设备均对应一个所述漏液属性信息获取单元。

根据本公开的一些实施例，所述防漏液监测系统还包括与所述漏液容置部连接的排水通道，所述排水通道上设置有开关装置。

根据本公开实施例的第二方面，提供一种防漏液监测方法，所述防漏液监测方法包括：

获取漏液容置部的第一液位信息和/或第一漏液属性信息，和/或，漏液引流部的第二液位信息和/或第二漏液属性信息，其中，所述漏液引流部用于将设备的漏液引流至所述漏液容置部；

根据所述第一液位信息、所述第二液位信息、所述第一漏液属性信息和/或所述第二漏液属性信息确定漏液监测结果。

根据本公开的一些实施例，多个所述设备共用一个所述漏液容置部，所述根据所述第一液位信息、所述第二液位信息、所述第一漏液属性信息和/或所述第二漏液属性信息确定漏液监测结果，包括：

判断所述第一液位信息是否大于预设液位信息；

当所述第一液位信息大于所述预设液位信息时，确定所述设备发生漏液。

根据本公开的一些实施例，所述防漏液监测方法还包括：

当所述第一液位信息大于所述预设液位信息时，获取所述第一液位信息对应的第一设备位置信息；

根据所述第一设备位置信息，确定发生漏液的设备所在的位置。

根据本公开的一些实施例，所述根据所述第一液位信息、所述第二液位信息、所述第一漏液属性信息和/或所述第二漏液属性信息确定漏液监测结果，包括：

基于所述第一漏液属性信息和/或所述第二漏液属性信息，确定检测漏液类型；

根据所述检测漏液类型，确定漏液监测结果。

根据本公开的一些实施例，所述根据所述漏液的类型，确定漏液监测结果，包括：

当所述检测漏液类型为第一类型时，确定为正常漏液；

当所述检测漏液类型为第二类型时，确定为异常漏液。

根据本公开的一些实施例，所述根据所述漏液的类型，确定漏液监测结果，包括：

获取所述设备当前的工作状态；

获取预设配置信息，所述预设配置信息用于表征工作状态与预设漏液类型的对应关系；

根据所述预设配置信息以及所述当前的工作状态，确定所述当前的工作状态对应的预设漏液类型；

当所述检测漏液类型与确定的所述预设漏液类型匹配时，确定为正常漏液，当所述检测漏液类型与确定的所述预设漏液类型不匹配时，确定为异常漏液。

根据本公开的一些实施例，所述防漏液监测方法还包括：

当确定为异常漏液时，获取所述第一漏液属性信息和/或所述第二漏液属性信息对应的第二设备位置信息；

根据所述第二设备位置信息，确定发生异常漏液的设备所在的位置。

本公开提供的防漏液监测系统及监测方法中，通过对设备漏液的引流、容置和监测，实现设备漏液状况的预防和监测的问题，消除了因设备漏液导致的风险，避免进一步造成重大事故和经济损失。

在阅读并理解了附图和详细描述后，可以明白其他方面。

附图说明

并入到说明书中并且构成说明书的一部分的附图示出了本公开的实施例，并且与描述一起用于解释本公开实施例的原理。在这些附图中，类似的附图标记用于表示类似的要素。下面描述中的附图是本公开的一些实施例，而不是全部实施例。对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据一示例性实施例示出的防漏液监测系统的剖视图；

图2是根据一示例性实施例示出的防漏液监测系统的剖视图；

图3是根据一示例性实施例示出的防漏液监测系统的俯视图；

图4是根据一示例性实施例示出的防漏液监测方法的流程示意图；

图5是根据一示例性实施例示出的防漏液监测方法的流程示意图；

图6是根据一示例性实施例示出的防漏液监测方法的流程示意图。

具体实施方式

为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例中的附图，对公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本公开中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本公开中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。

半导体制造工厂内部具有大量设备，不同的半导体设备用于执行不同的制程工艺以完成半导体产品的生产，其中，大多数半导体设备会使用液体，同时半导体设备中的管道复杂、接口较多，在执行制程工艺的过程中会有加热和冷却交替的情况，很容易在接口或管道端部产生漏液的情况，对于一些有毒试剂，漏液情况的发生还会对设备操作人员带来安全隐患。另一方面，漏液会对半导体设备本身的使用寿命造成严重影响，半导体设备价格昂贵，更换或者维修都会造成经济损失或者影响生产进程。

相关技术中，工厂内通常采用漏液传感器侦测漏液，在设备的漏液位置的下方设置承漏盘，承漏盘倾斜放置。在实际使用过程中，由于漏液传感器的灵敏度高，常常误报警造成恐慌，且漏液传感器无法识别漏液种类，造成不必要的抢险时间浪费。另外，若设备大量漏液，漏液传感器仅能报警通知，无法预防，只能亡羊补牢，而由于承漏盘尺寸有限，溢出的漏液会淹没其它设备，产生安全风险，容易造成重大事故和经济损失。

本公开了提供一种防漏液监测系统，防漏液监测系统包括漏液容置部、漏液引流部和监测部，漏液容置部具有封闭的容置空间，容置空间用于容置设备的漏液，漏液容置部上设置有液体流通口；漏液引流部设置在设备和漏液容置部之间，用于承接设备的漏液，并将漏液经液体流通口引流至容置空间内；监测部设置在漏液容置部和/或漏液引流部中，用于对漏液容置部和/或漏液引流部内的漏液进行监测。通过对设备漏液的引流、容置和监测，实现设备漏液状况的预防和监测的问题，消除了因设备漏液导致的风险，避免进一步造成重大事故和经济损失。

图1是根据一示例性实施例示出的防漏液监测系统的结构示意图，如图1所示，本公开一示例性实施例示出了一种防漏液监测系统，用于对设备1进行漏液监测，防漏液监测系统包括漏液容置部2、漏液引流部3和监测部4，其中，漏液容置部2具有封闭的容置空间21，容置空间21用于容置设备1的漏液，漏液容置部2上设置有液体流通口22；漏液引流部3设置在设备1和漏液容置部2之间，用于承接设备1的漏液，并将漏液经液体流通口22引流至容置空间21内；监测部4设置在漏液容置部2和/或漏液引流部3中，用于对漏液容置部2和/或漏液引流部3内的漏液进行监测。

本实施例中，设备1例如可以是制造工厂中的储液设备、液体反应设备或PCW(Process Cooling Water，制程冷却水系统)等具有液体的设备，设备1需要与其它设备通过开关阀门、管道等连接，使得液体输送以实现整个制造工厂生产产品的制程工艺。在设备1与其它设备的连接处，可能会由于开关阀门的松动、液体流速过大等各种原因出现漏液，即为设备1的漏液位置11，若不加以监测，漏液体积过大时，容易造成重大安全事故以及大量经济损失。

漏液容置部2用于容置设备1的漏液，其具有封闭的容置空间21，使得漏液从设备1泄漏后容置在容置空间21中，以避免漏液溢出扩散至工厂内部，避免对其它正常设备造成损坏，同时避免工厂内部滴液对工作人员产生安全风险。漏液容置部2设置有液体流通口22，使得漏液经由液体流通口22流入容置空间21中，避免漏液泄漏。漏液容置部2例如可以是设置于地面之上的封闭槽、封闭管道、沟渠等，也可以是设置于地面之下的封闭槽、封闭管道、沟渠，以实现对漏液进行容置。

漏液引流部3用于承接设备1的漏液，漏液引流部3设置在设备1和漏液容置部2之间，将漏液由设备1的漏液位置11引流至漏液容置部2，避免漏液扩散至其它区域，避免漏液对其它设备造成损坏。漏液引流部3还可以将漏液经由液体流通口22流入容置空间21中，避免漏液泄漏。漏液引流部3例如可以是引流管道、引流沟渠等，以实现对漏液进行引流。

在一些可能的实施方式中，漏液引流部3具有封闭的引流通道31，漏液引流部3上设置有与设备1的漏液位置11对应的漏液入口32以及与液体流通口22连接的漏液出口33。

封闭的引流通道31使得在对漏液的引流过程中，避免漏液飞溅或者溢出，保证漏液完整的由设备1的漏液位置11引流至漏液容置部2中。漏液入口32与设备1的漏液位置11对应，使得由设备1的漏液位置11泄漏的液体可以完整的进入漏液入口32，并经由封闭的引流通道31，由漏液出口33排出后，经由液体流通口22进入漏液容置部2的容置空间21，完成漏液的引流和容置，在此过程中，漏液一直在封闭的空间内流动和容置，避免外泄，以避免大量漏液造成的安全风险和经济损失。

在一些可能的实施方式中，参考图1所示，引流通道31沿水平方向延伸，此时漏液在引流通道31内的流动速度较慢，以便于监测部4对漏液进行监测。当漏液流量较小或者漏液容易汽化时，由于漏液在引流通道31内的流速较慢，漏液可以滞留在引流通道31内，或者在引流通道31内汽化，使得监测部4不会监测到漏液，以避免监测部4误报警，避免造成恐慌和抢险时间的浪费。

在一些可能的实施方式中，如图2所示，沿由漏液入口32向漏液出口33的方向，引流通道31向下倾斜。此时，漏液入口32在竖直方向上高于漏液出口33，使得引流通道31向下倾斜，使得引流通道31内的漏液可以更快地流入漏液容置部2，当漏液流量较大时，由于漏液在引流通道31内的流速较快，漏液不会滞留在引流通道31内，避免漏液外泄，避免发生重大事故和造成经济损失。

监测部4设置在漏液容置部2和/或漏液引流部3中，用于对漏液容置部2和/或漏液引流部3内的漏液进行监测。监测部4可以设置在漏液容置部2中，也可以设置在漏液引流部3中，还可以同时设置在漏液容置部2和漏液引流部3中，以对漏液进行监测。监测部4例如可以包括漏液种类监测器、漏液感应器、液位感应器、液体流速监测器等液体监测装置。

在一个示例性实施例中，防漏液监测系统还包括过滤部5，过滤部5设置在漏液引流部3内，或者设置于液体流通口22处。

过滤部5用于对设备1的漏液进行过滤，避免设备1的漏液存在大块物或者由漏液入口32落入的其它大块物进入漏液容置部2，以避免造型防漏液监测系统堵塞，保证防漏液监测系统的有效性。过滤部5例如可以是过滤器、过滤网等等，过滤器可以包括管式过滤器、袋式过滤器、真空过滤器等，以对小型的杂质进行过滤；过滤网可以是具有高强度的材料形成的网状结构，例如是不锈钢过滤网，示例性地，过滤网的滤孔为正方形，滤孔边长为1cm，以过滤大块物杂质。可以理解的是，过滤部5的材质、孔径尺寸可以按需设置，只要起到过滤杂质即可，本申公开对此不作限制。

在一些实施例中，过滤部5设置于漏液引流部3内，例如设置在漏液入口32处、引流通道31中或者漏液出口33处，以对由漏液入口32进入的漏液进行过滤，以减少经过漏液引流部3的漏液中的杂质，使得杂质截留在漏液引流部3以进行清理，保证流入容置空间21的漏液中没有易导致堵塞的物质，保证防漏液监测系统的有效性。

在另一些实施例中，过滤部5设置于漏液容置部2的液体流通口22处，对流入漏液容置部2的漏液的杂质进行最后的截留，避免在漏液引流部3中进行过滤后，其它杂质由液体流通口22进入，避免造成过滤失效。设置于液体流通口22处的过滤部5可以是过滤网，过滤网的尺寸略大于液体流通口22，以保证过滤网的过滤效果，过滤网与液体流通口22可拆卸连接，以方便对过滤网的替换和清理。

在一些可能的实施方式中，监测部4包括液位检测单元41和漏液属性信息获取单元42，其中，液位检测单元41设置于漏液容置部2和/或漏液引流部3中，用于检测漏液容置部2和/或漏液引流部3的液位；漏液属性信息获取单元42设置于漏液容置部2和/或漏液引流部3中，用于获取漏液属性信息，漏液属性信息包括漏液的PH信息和/或漏液的类型信息。

液位检测单元41例如可以包括漏液感应器、液位感应器等，液位检测单元41例如可以按预设时间间隔检测当前是否漏液或液位情况，并上传至控制系统并发出警报。液位检测单元41可以设置于漏液容置部2和/或漏液引流部3中，用于检测漏液容置部2和/或漏液引流部3的液位。通过对设置在不同位置的液位检测单元41进行预设警报阈值进行不同的设置，以实现不同的液位检测的功能。

在一个实施例中，液位检测单元41设置于漏液引流部3中，液位检测单元41可以检测流过漏液引流部3的液位，可以表征设备1的漏液程度。引流通道31可以是沿水平方向延伸或向下倾斜，可以对该液位检测单元41设置较低的预设警报阈值，当设备1些许漏液时，漏液引流部3中仅存在少部分漏液，液位检测单元41不发出警报，避免误报造成抢险时间的浪费；当设备1漏液较多时，漏液引流部3中存在较多漏液达到液位检测单元41的预设警报阈值，液位检测单元41发出警报，以说明设备1出现漏液。

在另一个实施例中，液位检测单元41设置于漏液容置部2中，可以表征设备1已泄漏的漏液量，可以对该液位检测单元41设置较高的预设警报阈值，当设备1漏液一段时间后，漏液容置部2中容置的漏液的液位高度达到液位检测单元41的预设警报阈值，液位检测单元41发出警报，以说明设备1出现大量漏液。

在再一个实施例中，液位检测单元41设置于漏液引流部3和漏液容置部2中，设置于漏液引流部3中的液位检测单元41设置较低的预设警报阈值，设置于漏液容置部2中的液位检测单元41设置较高的预设警报阈值。当设备1漏液较多时，漏液引流部3中的液位检测单元41先发出警报，以提醒工作人员设备1出现漏液；当漏液容置部2中的漏液的液位高度达到一定程度时，漏液容置部2中的液位检测单元41再次发出警报，以提醒工作人员设备1已出现一定程度的漏液，需要及时抢险和处理，以避免造成重大安全事故。

漏液属性信息获取单元42例如可以包括PH检测器、液体种类监测装置等。漏液属性信息获取单元42可以与液位检测单元41连接，漏液属性信息获取单元42的获取结果可以与液位检测单元41的检测结果同时传输至控制系统，以通知工作人员提前得知漏液的种类，以提前准备处理漏液的工具或设备。漏液属性信息获取单元42可以设置于漏液容置部2和/或漏液引流部3中，用于检测漏液容置部2和/或漏液引流部3中漏液的属性信息，漏液属性信息例如包括漏液的PH值或者漏液的种类，以提升处理漏液事故的有效性和安全性。

在一个实施例中，漏液属性信息获取单元42设置于漏液引流部3中，引流通道31可以是沿水平方向延伸，漏液在引流通道31中的流速较慢，以便于漏液属性信息获取单元42充分接触漏液以保证漏液的属性信息的准确性。例如，漏液属性信息获取单元42为液体种类监测装置，当漏液的类型为水时，上报的漏液类型信息可以使得工作人员执行针对处理水的方法和工具，当漏液的类型为反应液时，上报的漏液类型信息可以使得工作人员执行针对处理反应液的方法和工具，提升处理漏液事故的有效性和安全性。

在一个实施例中，漏液属性信息获取单元42设置于漏液容置部2中，漏液容置部2由于可以容置漏液，漏液容置部2中的漏液属性信息获取单元42获取的漏液属性信息会更为准确。在另一个实施例中，漏液属性信息获取单元42同时设置于漏液引流部3和漏液容置部2中，设置于漏液引流部3和漏液容置部2中的漏液属性信息获取单元42可以不同，例如，设置于漏液引流部3中的漏液属性信息获取单元42用以获取漏液的PH，设置于漏液容置部3中的漏液属性信息获取单元42用以获取漏液的类型，以使得漏液的属性信息更为准确，提升处理漏液事故的有效性和安全性。

在一些可能的实施方式中，参见图3所示，多个设备1可以共用一个漏液容置部2。

本实施例中，多个设备1共用一个漏液容置部2，以便于对漏液进行集中处理和监测。当漏液容置部2是封闭槽时，通过多个设备1的漏液引流部3将多个设备1的漏液引流至同一漏液容置部2中；当漏液容置部2是封闭管道或者封闭沟渠时，漏液容置部2设置于多个设备1的漏液位置11的一侧，漏液容置部2上与每个设备1的漏液位置11的位置都设置有液体流通口22，使得每个设备1的漏液可以流入一个漏液容置部2。

在一些可能的实施方式中，液位检测单元41包括第一液位检测单元411，每个设备1均对应设置一个第一液位检测单元411；和/或，液位检测单元41包括第二液位检测单元412，第二液位检测单元412设置于共用的所述漏液容置部2的至少一侧。

液位检测单元41包括第一液位检测单元411和第二液位检测单元412，第一液位检测单元411和第一液位检测单元411可以是漏液传感器、液位感应器。第一液位检测单元411和第二液位检测单元412以预设警报阈值不同以及设置的位置不同以进行区分，在本实施例中，第一液位检测单元411的预设警报阈值较低，且设置于漏液引流部3中，第二液位检测单元412的预设警报阈值较高，且设置于漏液容置部2中。

在一些实施例中，每个设备1均对应设置一个第一液位检测单元411，以在每个设备1发生漏液时，第一液位检测单元411可以及时发出警报，避免造成重大事故。在一些实施例中，第二液位检测单元412设置于共用的漏液容置部2的一侧或者两侧，由于多个设备1的漏液流入一个漏液容置部2，当漏液容置部2内的液位较高时，多个设备1同时漏液或者一个设备1出现大量漏液，第二液位检测单元412发出警报，表示出现重大漏液事故，需要及时处理。

在另一些实施例中，每个设备1均对应设置一个第一液位检测单元411，第二液位检测单元412设置于共用的漏液容置部2的一侧或者两侧。结合第一液位检测单元411和第二液位检测单元412的警报情况，可以判断漏液事故的类型。例如，当仅有一个设备1的第一液位检测单元411发出警报，且第二液位检测单元412发出警报时，说明第一液位检测单元411所在的设备1严重漏液，仅针对该设备1进行检查和处理；当多个设备1的第一液位检测单元411发出警报，且第二液位检测单元412发出警报时，说明多个设备1出现漏液，对发出警报的第一液位检测单元411所在的设备1进行检查和处理，提升漏液事故处理的有效性。

在一些可能的实施方式中，每个设备1均对应一个漏液属性信息获取单元42，使得漏液属性信息获取单元42可以对相应的设备1的漏液属性信息进行获取，以便于判断设备1的漏液的种类，并可以判断漏液的种类是否是预设的漏液种类，使得工作人员可以根据漏液的种类执行不同的处理方法，以提升处理漏液事故的有效性和安全性。

在一些可能的实施方式中，多个设备1包括第一类型设备12和第二类型设备13，每个第二类型设备13均对应一个漏液属性信息获取单元42。

设备1可以是制造工厂中的储液设备、液体反应设备或PCW设备等等，第一类型设备12和第二类型设备13以液体种类的不同划分。在本实施例中，第一类型设备12中的液体没有危害性，或者没有识别液体属性的必要性，第一类型设备12例如可以是PCW设备，PCW设备中为冷凝水，没有必要进行识别；第二类型设备13具有识别液体属性的必要性，其漏液会对造成安全隐患或者经济损失，第二类型设备13例如可以是液体反应设备或者储液设备，通过对第二类型设备13的漏液的属性进行识别，使得工作人员可以根据漏液的种类执行不同的处理方法，以提升处理漏液事故的有效性和安全性。

在一个示例性实施例中，防漏液监测系统还包括与漏液容置部2连接的排水通道6，排水通道6上设置有开关装置7。

排水通道6与漏液容置部2连接，以便于对漏液容置部2中的漏液进行排放或处理，以提升防漏液监测系统的可持续运行，提升了防漏液监测系统的抗风险能力。排水通道6例如是具有一定强度和抗腐蚀性的管道，以能够对漏液进行完整的排放，避免排水通道6的漏液。排水通道6上设置有开关装置7，开关装置7例如可以是开关阀门，例如是气动开关阀、电动开关阀等等，以对累积在排水通道6和漏液容置部2中的漏液进行排放或进一步处理。

在一些实施例中，排水通道6的另一端通过开关装置7与污水处理装置(图中未示出)连接，当漏液主要由第二类型设备13泄漏时，漏液中具有有害物质，例如酸、碱、反应液等时，对漏液进行处理，污水处理装置用于处理由排放通道6排放的漏液，对漏液进行污水处理，使得漏液满足排放要求。

在一些实施例中，排水通道6的另一端通过开关装置7直接排放，当漏液主要由第一类型设备12泄漏时，漏液中不具有有害物质，漏液的主要成分为水，可以直接对其进行排放。

本公开一示例性实施例示出了一种防漏液监测方法，如图4所示，图4是根据一示例性实施例示出的防漏液监测方法的流程示意图：

S100、获取漏液容置部的第一液位信息和/或第一漏液属性信息，和/或，漏液引流部的第二液位信息和/或第二漏液属性信息，其中，漏液引流部用于将设备的漏液引流至漏液容置部；

S200、根据第一液位信息、第二液位信息、第一漏液属性信息和/或第二漏液属性信息确定漏液监测结果。

在步骤S100中，设备的漏液通过漏液引流部引流至漏液容置部进行容置，漏液容置部的第一液位信息例如可以是通过设置于漏液容置部的液位检测单元检测得到后上传至控制系统的信息，漏液引流部的第二液位信息例如可以是通过设置于漏液引流部的液位检测单元检测得到的信息，液位检测单元例如可以是漏液传感器或者液位传感器。第一液位信息表示漏液容置部中漏液的液位，用于表征设备已泄漏的漏液量；第二液位信息表示流过漏液引流部的漏液的液位，用于表征设备的漏液程度。

漏液容置部的第一漏液属性信息例如可以是通过设置于漏液容置部的漏液属性信息获取单元检测得到后上传至控制系统的信息，漏液引流部的第二漏液属性信息例如可以是通过设置于漏液引流部的漏液属性信息获取单元检测得到的信息，漏液属性信息获取单元例如可以是PH检测器或液体种类监测装置。第一漏液属性信息表示漏液容置部中漏液的种类或PH值；第二漏液属性信息表示流过漏液引流部的漏液的种类或PH值。

在步骤S200中，根据第一液位信息，可以确定设备已泄漏的漏液量，根据第二液位信息，可以确定设备的漏液程度；根据第一漏液属性信息，可以确定设备已泄漏的漏液的属性，根据第二漏液属性信息，可以确定设备泄漏过程中的漏液的属性。根据第一液位信息、第二液位信息、第一漏液属性信息和第二漏液属性信息，可以确定漏液监测的结果，即当前设备的漏液程度、已漏液的漏液量以及漏液的种类或PH值，以提升漏液处理的有效性及安全性。

在一些可能的实施方式中，多个设备共用一个漏液容置部，使得可以对漏液容置部中的漏液集中处理或排放。在步骤S200中，根据第一液位信息、第二液位信息、第一漏液属性信息和/或第二漏液属性信息确定漏液监测结果，包括：

S201、判断第一液位信息是否大于预设液位信息；

S202、当第一液位信息大于预设液位信息时，确定设备发生漏液。

本实施例中，预设液位信息可以是工作人员预先设置在液位检测单元中的，预设液位信息例如是液位数值，根据漏液容置部的尺寸，预设液位信息可以按需设置。预设液位信息可以是设置的预设警报阈值，将第一液位信息与预设液位信息进行对比，判断第一液位信息是否大于预设液位信息，可以确定设备是否漏液。当第一液位信息小于预设液位信息时，判断设备没有漏液，液位检测单元不发出警报；当第一液位信息大于预设液位信息时，判断设备漏液，液位检测单元发出警报，以提醒工作人员及时对漏液进行处理。

在一个示例性实施例中，如图5所示，防漏液监测方法还包括：

S100、获取漏液容置部的第一液位信息和/或第一漏液属性信息，和/或，漏液引流部的第二液位信息和/或第二漏液属性信息，其中，漏液引流部用于将设备的漏液引流至漏液容置部；

S200、根据第一液位信息、第二液位信息、第一漏液属性信息和/或第二漏液属性信息确定漏液监测结果；

S300、当第一液位信息大于预设液位信息时，获取第一液位信息对应的第一设备位置信息；

S400、根据第一设备位置信息，确定发生漏液的设备所在的位置。

本实施例中，步骤S100至步骤S200与上文实施方式相同，在此不作赘述。

当第一液位信息大于预设液位信息时，确定设备发生漏液。由于第一液位信息是由设备对应的漏液容置部中的液位检测单元获取的，通过第一液位信息的来源，可以获取第一液位信息对应的第一设备位置信息，第一设备位置信息用于表征第一液位信息对应的设备的位置，根据第一设备信息，可以确定发生漏液的设备所在的位置，以便于工作人员对漏液的设备进行处理或维修检查。

在一些可能的实施方式中，在步骤S200中，根据第一液位信息、第二液位信息、第一漏液属性信息和/或第二漏液属性信息确定漏液监测结果，包括：

S210、基于第一漏液属性信息和/或第二漏液属性信息，确定检测漏液类型；

S220、根据检测漏液类型，确定漏液监测结果。

在本实施例中，由于第一漏液属性信息表示漏液容置部中漏液的种类或PH值，第二漏液属性信息表示流过漏液引流部的漏液的种类或PH值，根据第一漏液属性信息和/或第二漏液属性信息，可以确定设备泄漏的漏液的检测漏液类型，检测漏液类型是根据检测得到的第一漏液属性信息和/或第二漏液属性信息，与工作人员预设的第一漏液属性信息和/或第二漏液属性信息进行对比确定的。根据检测漏液类型，进一步确定漏液的检测结果，以便于工作人员对该漏液类型进行处理。

在一些可能的实施方式中，在步骤S220中，根据检测漏液类型，确定漏液监测结果，包括：当检测漏液类型为第一类型时，确定为正常漏液；当检测漏液类型为第二类型时，确定为异常漏液。

本实施例中，漏液属性信息获取单元中可以预先设置预设漏液类型，预设漏液类型可以是工作人员预先设置的，预设漏液类型例如可以包括PH值范围或者液体种类信息，根据不同类型的设备，预设漏液类型可以按需设置。当检测漏液类型与预设漏液类型一致或者在相应的范围内时，即检测漏液类型为第一类型，漏液确定为正常漏液。当检测漏液类型与预设漏液类型不一致或者不在相应的范围内时，即检测漏液类型为第二类型，漏液确定为正常漏液。

在一个示例性实施例中，在步骤S220中，根据检测漏液类型，确定漏液监测结果，包括：

S211、获取设备当前的工作状态；

S212、获取预设配置信息，预设配置信息用于表征工作状态与预设漏液类型的对应关系；

S213、根据预设配置信息以及当前的工作状态，确定当前的工作状态对应的预设漏液类型；

S214、当检测漏液类型与确定的预设漏液类型匹配时，确定为正常漏液，当检测漏液类型与确定的预设漏液类型不匹配时，确定为异常漏液。

本实施例中，设备工作状态例如可以包括运行状态或静止状态，当设备处于不同工作状态时，预设漏液类型可以不同。预设配置信息用于表征设备的工作状态与预设漏液类型的对应关系。例如，对于设备A，当设备A处于运行状态时，预设漏液类型包括的PH值范围为2-4，漏液类型为酸；当设备A处于静止状态时，预设漏液类型包括的PH值范围为6-7，漏液类型为水。预设配置信息可以是根据设备预先设置于控制系统中的。

根据预设配置信息以及当前的工作状态，确定设备当前的工作状态对应的预设漏液类型，例如，对于设备A，当前工作状态为运行状态时，可以根据预设配置信息确定运行状态对于的预设漏液类型包括的PH值范围为2-4，漏液类型为酸，以对实际检测确定的检测漏液类型进行判断。当检测漏液类型与确定的预设漏液类型匹配时，例如检测漏液类型包括的PH值为2.5，漏液类型为酸，即确定为正常漏液；当检测漏液类型与确定的所述预设漏液类型不匹配时，例如检测漏液类型包括的PH值为7.2，漏液类型为水，确定为异常漏液。

在一个示例性实施例中，如图6所示，防漏液监测方法还包括：

S100、获取漏液容置部的第一液位信息和/或第一漏液属性信息，和/或，漏液引流部的第二液位信息和/或第二漏液属性信息，其中，漏液引流部用于将设备的漏液引流至漏液容置部；

S200、根据第一液位信息、第二液位信息、第一漏液属性信息和/或第二漏液属性信息确定漏液监测结果；

S300、当第一液位信息大于预设液位信息时，获取第一液位信息对应的第一设备位置信息；

S400、根据第一设备位置信息，确定发生漏液的设备所在的位置；

S500、当确定为异常漏液时，获取第一漏液属性信息和/或第二漏液属性信息对应的第二设备位置信息；

S600、根据第二设备位置信息，确定发生异常漏液的设备所在的位置。

本实施例中，步骤S100至步骤S400与上文实施方式相同，在此不作赘述。

当确定为异常漏液时，确定设备的漏液不是当前工作状态的正常漏液。由于第一漏液属性信息由设备对应的漏液容置部中的漏液属性检测单元获取的，第二漏液属性信息由设备对应的漏液引流部中的漏液属性检测单元获取的，通过第一漏液属性信息以及第二漏液属性信息的来源，可以获取第一漏液属性信息以及第二漏液属性信息对应的第二设备位置信息，第二设备位置信息用于表征第一漏液属性信息以及第二漏液属性信息对应的设备的位置，根据第二设备信息，可以确定发生异常漏液的设备所在的位置，以便于工作人员对异常漏液的设备进行处理或维修检查。

在本公开中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已描述了本公开的优选实施例，但本领域技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本公开范围的所有变更和修改。

显然，本领域技术人员可以对本公开进行各种改动和变型而不脱离本公开的精神和范围。这样，倘若本公开的这些修改和变型属于本公开权利要求及其等同技术的范围之内，则本公开的意图也包含这些改动和变型在内。

Claims (15)

1.一种防漏液监测系统，其特征在于，所述防漏液监测系统包括：

漏液容置部，所述漏液容置部具有封闭的容置空间，所述容置空间用于容置设备的漏液，所述漏液容置部上设置有液体流通口；

漏液引流部，所述漏液引流部设置在所述设备和所述漏液容置部之间，用于承接所述设备的漏液，并将所述漏液经所述液体流通口引流至所述容置空间内；

监测部，所述监测部设置在所述漏液容置部和/或所述漏液引流部中，用于对所述漏液容置部和/或所述漏液引流部内的漏液进行监测。

2.根据权利要求1所述的防漏液监测系统，其特征在于，所述漏液引流部具有封闭的引流通道，所述漏液引流部上设置有与所述设备的漏液位置对应的漏液入口以及与所述液体流通口连接的漏液出口。

3.根据权利要求2所述的防漏液监测系统，其特征在于，所述引流通道沿水平方向延伸；或者，

沿由所述漏液入口向所述漏液出口的方向，所述引流通道向下倾斜。

4.根据权利要求1所述的防漏液监测系统，其特征在于，所述防漏液监测系统还包括：

过滤部，所述过滤部设置在所述漏液引流部内，或者设置于所述液体流通口处。

5.根据权利要求1至4任一项所述的防漏液监测系统，其特征在于，所述监测部包括：

液位检测单元，设置于所述漏液容置部和/或所述漏液引流部中，用于检测所述漏液容置部和/或所述漏液引流部的液位；

漏液属性信息获取单元，设置于所述漏液容置部和/或所述漏液引流部中，用于获取漏液属性信息，所述漏液属性信息包括所述漏液的PH信息和/或漏液的类型信息，多个所述设备共用一个所述漏液容置部。

6.根据权利要求5所述的防漏液监测系统，其特征在于，所述液位检测单元包括第一液位检测单元，每个所述设备均对应设置一个所述第一液位检测单元；和/或，

所述液位检测单元包括第二液位检测单元，所述第二液位检测单元设置于共用的所述漏液容置部的至少一侧。

7.根据权利要求5所述的防漏液监测系统，其特征在于，每个所述设备均对应一个所述漏液属性信息获取单元；或者，

多个所述设备包括第一类型设备和第二类型设备，每个所述第二类型设备均对应一个所述漏液属性信息获取单元。

8.根据权利要求1至4任一项所述的防漏液监测系统，其特征在于，所述防漏液监测系统还包括与所述漏液容置部连接的排水通道，所述排水通道上设置有开关装置。

9.一种防漏液监测方法，其特征在于，所述防漏液监测方法包括：

获取漏液容置部的第一液位信息和/或第一漏液属性信息，和/或，漏液引流部的第二液位信息和/或第二漏液属性信息，其中，所述漏液引流部用于将设备的漏液引流至所述漏液容置部；

根据所述第一液位信息、所述第二液位信息、所述第一漏液属性信息和/或所述第二漏液属性信息确定漏液监测结果。

10.根据权利要求9所述的防漏液监测方法，其特征在于，多个所述设备共用一个所述漏液容置部，所述根据所述第一液位信息、所述第二液位信息、所述第一漏液属性信息和/或所述第二漏液属性信息确定漏液监测结果，包括：

判断所述第一液位信息是否大于预设液位信息；

当所述第一液位信息大于所述预设液位信息时，确定所述设备发生漏液。

11.根据权利要求10所述的防漏液监测方法，其特征在于，所述防漏液监测方法还包括：

当所述第一液位信息大于所述预设液位信息时，获取所述第一液位信息对应的第一设备位置信息；

根据所述第一设备位置信息，确定发生漏液的设备所在的位置。

12.根据权利要求9所述的防漏液监测方法，其特征在于，所述根据所述第一液位信息、所述第二液位信息、所述第一漏液属性信息和/或所述第二漏液属性信息确定漏液监测结果，包括：

基于所述第一漏液属性信息和/或所述第二漏液属性信息，确定检测漏液类型；

根据所述检测漏液类型，确定漏液监测结果。

13.根据权利要求12所述的防漏液监测方法，其特征在于，所述根据所述漏液的类型，确定漏液监测结果，包括：

当所述检测漏液类型为第一类型时，确定为正常漏液；

当所述检测漏液类型为第二类型时，确定为异常漏液。

14.根据权利要求12所述的防漏液监测方法，其特征在于，所述根据所述漏液的类型，确定漏液监测结果，包括：

获取所述设备当前的工作状态；

获取预设配置信息，所述预设配置信息用于表征工作状态与预设漏液类型的对应关系；

根据所述预设配置信息以及所述当前的工作状态，确定所述当前的工作状态对应的预设漏液类型；

当所述检测漏液类型与确定的所述预设漏液类型匹配时，确定为正常漏液，当所述检测漏液类型与确定的所述预设漏液类型不匹配时，确定为异常漏液。

15.根据权利要求13或14所述的防漏液监测方法，其特征在于，所述防漏液监测方法还包括：

当确定为异常漏液时，获取所述第一漏液属性信息和/或所述第二漏液属性信息对应的第二设备位置信息；

根据所述第二设备位置信息，确定发生异常漏液的设备所在的位置。

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