CN115170661B - 一种生成搜索路径的方法、装置、终端设备以及存储介质 - Google Patents

Abstract

本申请适用于晶圆识别的技术领域，提供了一种生成搜索路径的方法、装置、终端设备以及存储介质，其方法包括确定晶圆处理区域的关键坐标点，晶圆处理区域内包含多个目标对象块；生成以关键坐标点为中心的至少一个特征点组，特征点组包括多个特征点；根据各个特征点组在晶圆处理区域中构成搜索路径，搜索路径用于获得晶圆处理区域内所有目标对象块的位置信息。本申请能够提高生产效率。

Description

一种生成搜索路径的方法、装置、终端设备以及存储介质

技术领域

本申请属于晶圆识别的技术领域，尤其涉及一种生成搜索路径的方法、装置、终端设备以及存储介质。

背景技术

目前，晶圆经过加工后通常会被划分为多个芯片，这些芯片可以用于发光二极管(Light-emitting diode，LED)灯板、手机和电脑等电子设备。

现有的晶圆吸取过程中，由于各种不可控的原因，譬如停线和转单，存在执行终端吸取芯片时中断的情况，使得晶圆上未被吸取的芯片分布不连续，即同一个晶圆上的多个芯片呈多区域分布；当需要在该芯片分布不连续的晶圆上继续加工时，由于执行终端的硬件限制，执行终端不能得知各个芯片的位置，所以通常只能先吸取任意一个区域的芯片，然后人工使执行终端识别到另一个区域，再吸取该区域的芯片，不断人工使执行终端识别到各个区域，直至吸取所有区域的芯片，存在生产效率低下的问题，有待进一步改进。

发明内容

有鉴于此，本申请实施例提供了一种生成搜索路径的方法、装置、终端设备以及存储介质，以解决现有技术中生产效率低下的问题。

第一方面，本申请实施例提供了一种生成搜索路径的方法，所述方法包括：

确定晶圆处理区域的关键坐标点，所述晶圆处理区域内包含多个目标对象块；

生成以所述关键坐标点为中心的至少一个特征点组，所述特征点组包括多个特征点；

根据各个所述特征点组在所述晶圆处理区域中构成搜索路径，所述搜索路径用于获得所述晶圆处理区域内所有所述目标对象块的位置信息。

本申请实施例提供的生成搜索路径的方法，首先确定关键坐标点，然后生成至少一个特征点组，再根据特征点组生成与该晶圆处理区域强相关的搜索路径，从而确定目标对象块的位置信息，使得执行终端可以根据搜索路径得知各个目标对象块的位置，减少人工的参与度，大幅度地提高生产效率。

第二方面，本申请实施例提供了一种生成搜索路径的装置，包括：

坐标点确定模块，用于确定晶圆处理区域的关键坐标点，所述晶圆处理区域内包含多个目标对象块；

点组生成模块，用于生成以所述关键坐标点为中心的至少一个特征点组，所述特征点组包括多个特征点；

路径构成模块，用于根据各个所述特征点组在所述晶圆处理区域中构成搜索路径，以获得所述目标对象块的位置信息。

第三方面，本申请实施例提供了一种终端设备，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现如上述第一方面的方法的步骤。

第四方面，本申请实施例提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述第一方面的方法的步骤。

可以理解的是，上述第二方面至第四方面的有益效果可以参见上述第一方面中的相关描述，在此不再赘述。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请一实施例提供的生成搜索路径的方法的流程示意图；

图2是本申请一实施例提供的晶圆的结构示意图；

图3是本申请一实施例提供的生成搜索路径的方法步骤S00的具体实现流程示意图；

图4是本申请一实施例提供的特征点的第一示意图；

图5是本申请一实施例提供的特征点的第二示意图；

图6是本申请一实施例提供的搜索路径的结构示意图；

图7是本申请一实施例提供的生成搜索路径的方法步骤S400的流程示意图；

图8是本申请一实施例提供的所属对象块的结构示意图；

图9是本申请一实施例提供的生成搜索路径的方法步骤S800的流程示意图；

图10是本申请一实施例提供的特征点的第三示意图；

图11是本申请一实施例提供的生成搜索路径的方法步骤S410的流程示意图；

图12是本申请一实施例提供的生成搜索路径的方法步骤S900的流程示意图；

图13是本申请一实施例提供的生成搜索路径的装置的结构示意图；

图14是本申请一实施例提供的终端设备的结构示意图。

具体实施方式

以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本申请实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本申请。在其它情况中，省略对众所周知的系统、装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本申请的描述。

在本申请说明书和所附权利要求书的描述中，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请说明书中描述的参考“一个实施例”或“一些实施例”等意味着在本申请的一个或多个实施例中包括结合该实施例描述的特定特征、结构或特点。由此，在本说明书中的不同之处出现的语句“在一个实施例中”、“在一些实施例中”、“在其他一些实施例中”、“在另外一些实施例中”等不是必然都参考相同的实施例，而是意味着“一个或多个但不是所有的实施例”，除非是以其他方式另外特别强调。术语“包括”、“包含”、“具有”及它们的变形都意味着“包括但不限于”，除非是以其他方式另外特别强调。

为了说明本申请所述的技术方案，下面通过具体实施例来进行说明。

请参阅图1，图1是本申请实施例提供的生成搜索路径的方法的流程示意图。本实施例中，生成搜索路径的方法的执行主体为终端设备。可以理解的是，终端设备的类型包括但不限于手机、平板电脑、笔记本电脑、超级移动个人计算机(ultra-mobile personalcomputer，UMPC)、上网本、个人数字助理(personal digital assistant，PDA)等，本申请实施例对终端设备的具体类型不作任何限制。

如图1所示，本申请实施例提供生成搜索路径的方法包括但不限于以下步骤：

S100，确定晶圆处理区域的关键坐标点。

具体来说，晶圆经过加工后，在晶圆的加工面上会存在多个芯片，即晶圆处理区域内包含多个目标对象块，其中，该晶圆处理区域表示晶圆的加工面，该目标对象块表示芯片。

如图2所示，图2中的实心圆点表示晶圆处理区域的中心点，终端设备可以选取晶圆处理区域的中心点为关键坐标点；在其他一种可能的实现方式中，为了能够应用于各种不同的实际场景，终端设备可以根据预设的偏离值，选取与该中心点之间的距离值为偏离值的任意一点为关键坐标点，譬如当该晶圆的左半部分表面存在较多无法修复的刮痕，使得左半部分的多个芯片均无法使用时，可以选取与该中心点之间的距离值为偏离值且位于晶圆右半部分的任意一点为关键坐标点。

S200，生成以关键坐标点为中心的至少一个特征点组。

具体来说，终端设备以关键坐标点为中心，生成至少一个特征点组，特征点组包括多个特征点；在一种可能的实现方式中，终端设备可以先读取后台日志文件，获得晶圆的加工信息，初步评估晶圆上剩余未被吸取的芯片数量；当该数量少于预设值时，终端设备可以仅生成一个特征点组，从而减少数据的复杂性，提高资源配置的合理性；当该数量大于预设值或者该数量无法评估时，终端设备可以根据该数量与预设值之间的差值生成多个特征点组，从而适用于更多不同的应用情景，满足实际的应用需求，譬如当差值位于预设的第一区间时，生成三个特征点组；当差值位于预设的第二区间时，生成五个特征点组，不同的特征点组之间的区别可以是仅覆盖范围不同，也可以是覆盖范围不同且所包括的特征点数量不同。

S300，根据各个特征点组在晶圆处理区域中构成搜索路径。

具体来说，终端设备可以根据各个特征点组在晶圆处理区域中构成搜索路径，搜索路径用于获得晶圆处理区域内所有目标对象块的位置信息，终端设备可以把搜索路径发送至执行终端，执行终端用于吸取目标对象块，执行终端可以为真空吸笔；在一种可能的实现方式中，执行终端可以把该搜索路径设为运动路径去搜索目标对象块，当执行终端的视野内存在目标对象块时，执行终端可以先脱离搜索路径，去吸取该目标对象块，然后把该目标对象块放置到预设位置，直至吸取当前视野内的所有目标对象块，再返回搜索路径，继续按着搜索路径去运动，搜索未被吸取的目标对象块，最终实现吸取晶圆处理区域中所有的目标对象块。

在一些可能的实现方式中，如图3所示，步骤S200包括但不限于以下子步骤：

S210，以关键坐标点为中心，根据预设的第N路径图形在晶圆处理区域上等间距生成多个第N特征点。

具体来说，将多个第N特征点作为第N特征点组，N为正整数，N的初始数值为1，而第N路径图形为任意形状，为了提高生产效率，第N路径图形可以取正圆型。

示例性地，当N的数值取1时，如图4所示，图4中的交叉表示特征点，终端设备可以以关键坐标点为中心，根据预设的第1路径图形在晶圆处理区域上等间距生成20个第1特征点。

S220，若N的数值小于预设的点组个数，则增加N的数值，并以预设的调整步长扩大第N路径图形的覆盖范围，返回执行步骤S210的操作。

S221，若N的数值大于或等于点组个数，则执行步骤S300的操作。

示例性地，如图5所示，为了便于理解，从晶圆处理区域的中心点向远离晶圆处理区域的中心点的方向，把三个特征点组依次命名为第一层特征点组、第二层特征点组和第三层特征点组；当N的数值取1，即仅存在第一层特征点组，且预设的点组个数为3时，由于当前的点组个数为1，小于预设的点组个数，故终端设备可以在N的数值上加1，使N的数值为2，再以预设的调整步长扩大第1路径图形的覆盖范围，返回执行步骤S210的操作，在位于原第1路径图形覆盖范围外的晶圆处理区域中，等间距生成12个第2特征点，由于当前点组个数为2，仍然小于预设的点组个数，故再次执行前述步骤，N的数值为3，等间距生成16个第3特征点，此时，若N的数值等于预设的点组个数，执行步骤S300。

相应地，步骤S300包括但不限于以下子步骤：

以第N特征点组的组别正序依次连接各个第N特征点组内的第N特征点，构成搜索路径；

或

以第N特征点组的组别逆序依次连接各个第N特征点组内的第N特征点，构成搜索路径。

示例性地，如图6所示，终端设备可以预先把顺时针方向定义为正序，逆时针方向定义为逆序；终端设备可以先以中心点为起点，然后选取第一层特征点组的任意一点作为下一个连接点，譬如图6中的特征点a，再按着正序依次连接同一个特征点组内的特征点，直至位于与中心点相连接的连接点另一侧的特征点，譬如图6中的特征点b，再选取第二层特征点组的任意一点作为下一个连接点，该连接点可以为当前最接近的特征点，譬如图6中的特征点c，然后重复前述步骤，直至连接到第三层特征点组的最后一个特征点，譬如图6中的特征点d，从而构成搜索路径，其中，图6中的特征点a、特征点b、特征点c的选取仅作为示例，不作限定；在其他一种可能的实现方式中，终端设备可以按着逆序构成搜索路径，从而进一步适用于更多不同的应用情景，满足实际的应用需求。

在一些可能的实现方式中，如图7所示，在步骤S300之后，该方法还包括但不限于以下步骤：

S400，选取任意一个位于目标对象块内的特征点作为第一特征点。

具体来说，在终端设备生成多个第N特征点后，存在第N特征点位于目标对象块内的情况；为了实现搜索更多的目标对象块，故终端设备可以选取任意一个位于目标对象块内的特征点作为第一特征点，第一特征点所在的目标对象块为第一特征点的所属对象块。

S500，搜索第一特征点的周边范围内是否存在至少一个除所属对象块外的其他目标对象块。

具体来说，周边范围是以第一特征点为中心，预设的距离值为半径构成的区域；示例性地，请参阅图8，图8中的实心交叉表示第一特征点，剖面线所覆盖的区域表示周边范围，标号为A的正方形表示第一特征点的所属对象块，标号为B的正方形表示其他目标对象块，终端设备可以搜索第一特征点的周边范围内是否存在至少一个除所属对象块外的其他目标对象块。

S510，若第一特征点的周边范围内不存在其他目标对象块，则选取另一个位于目标对象块内的特征点作为第一特征点。

具体来说，当第一特征点的周边范围内不存在其他目标对象块的时候，终端设备选取另一个位于目标对象块内的特征点作为第一特征点，从而提高适用范围。

S511，若第一特征点的周边范围内存在至少一个其他目标对象块，则分别搜索各个其他目标对象块内是否存在特征点。

S600，若任意一个其他目标对象块内不存在特征点，则在其他目标对象块内添加第二特征点，直至各个其他目标对象块内均存在第二特征点或第一特征点。

示例性地，请参阅图8，图8中的空心交叉表示第二特征点；当终端设备识别到任意一个其他目标对象块内均不存在特征点的时候，就在全部其他目标对象块内均添加第二特征点，直至各个其他目标对象块内均存在第二特征点或第一特征点，从而减少后续加工流程中目标对象块未被吸取的情况。

S700，根据特征点、第一特征点和第二特征点构成补充路径，并把补充路径合并至搜索路径中。

具体来说，终端设备可以以中心点为起点，然后按着正序依次连接特征点、第一特征点和第二特征点，构成补充路径，然后把补充路径合并至搜索路径中；当执行终端按着该合并补充路径后的搜索路径去运动的时候，能够在视野中搜索到全部目标对象块，从而减少执行终端需要人工帮助才能识别其他区域的情况。

在一些可能的实现方式中，如图9所示，在步骤S700之后，该方法还包括但不限于以下步骤：

S800，比对特征点与目标对象块之间的位置，判断特征点是否位于目标对象块内。

具体来说，终端设备可以选取任意一个特征点，然后比对该特征点与距离最接近的目标对象块之间的位置，判断该特征点是否位于该目标对象块内。

S810，若特征点位于目标对象块内，则保留特征点，并从特征点组中选取另一个特征点作为比对对象。

具体来说，如果该特征点位于目标对象块内，则保留特征点，并从特征点组中选取另一个特征点作为比对对象，如图10所示，图10中的实心交叉表示保留的特征点。

S811，若特征点位于目标对象块外，则移除特征点，更新搜索路径。

具体来说，如果特征点位于目标对象块外，则移除该特征点，更新搜索路径，如图10所示，图10中的空心交叉表示移除的特征点，终端设备更新搜索路径的时候可以仅考虑中心点和保留后的特征点，也可以同时考虑原搜索路径、中心点和保留后的特征点，即仅缩短原搜索路径中由移除的特征点所组成的部分，从而实现在搜索出所有目标对象块的前提下适当缩短搜索路径，提高生产效率。

在一些可能的实现方式中，如图11所示，在步骤S400之后，该方法还包括但不限于以下步骤：

S410，搜索所属对象块内是否存在除第一特征点外的其他特征点。

具体来说，当某一个特征点组的特征点数量较多，不同特征点之间的间隔较短的时候，存在目标对象块内包含两个特征点的情况，使得搜索路径的数据冗余，故应适当移除多余的特征点；终端设备可以搜索所属对象块内是否存在除第一特征点外的其他特征点。

S420，若目标对象块内存在其他特征点，则移除其他特征点，更新搜索路径。

具体来说，如果终端设备识别到目标对象块内存在其他特征点，即证明该目标对象块内存在多余的特征点，所以移除该其他特征点，并更新搜索路径，从而进一步在搜索出所有目标对象块的前提下缩减搜索路径，提高生产效率。

在一些可能的实现方式中，在步骤S410之后，该方法还包括但不限于以下步骤：

若同一个目标对象块内存在预设数量的特征点，则根据预设的比例缩放N的数值，并重新执行步骤S300的操作。

示例性地，当N的取值为3且同一个目标对象块内存在三个特征点的时候，终端设备可以根据预设的1:3比例缩小N的数值，使N的取值为1，从而优化搜索路径，减少执行终端运动至晶圆处理区域中已吸取目标对象块的区域的情况。

在一些可能的实现方式中，如图12所示，在步骤S300之后，该方法还包括但不限于以下步骤：

S900，根据搜索路径获取各个目标对象块的位置信息。

具体来说，终端设备根据搜索路径获取各个目标对象块的位置信息，终端设备可以取中心点为基点，该位置信息可以表示为[x,y,r,a]，式中，x表示该目标对象块的横坐标，y表示该目标对象块的竖坐标，r表示该目标对象块相对于基点的距离，a表示该目标对象块相对于基点的角度，执行终端可以根据具体的位置信息获知目标对象块的具体位置。

S910，将位置信息发送至执行终端。

具体来说，终端设备将位置信息发送至执行终端，执行终端根据位置信息去吸取目标对象块；步骤S910可以参阅步骤S300对应的具体描述，此处不再赘述。

本申请实施例一种生成搜索路径的方法的实施原理为：终端设备首先确定关键坐标点，然后以坐标点为中心生成至少一个特征点组，再根据该些特征点组生成搜索路径，实现获得所有目标对象块的位置信息，从而减少操作人员的工作量，提高生产效率。

需要说明的是，上述实施例中各步骤的序号的大小并不意味着执行顺序的先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本申请实施例的实施过程构成任何限定。

本申请的实施例还提供了一种生成搜索路径的装置，为便于说明，仅示出与本申请相关的部分，如图13所示，该装置13包括：

坐标点确定模块130，用于确定晶圆处理区域的关键坐标点，所述晶圆处理区域内包含多个目标对象块；

点组生成模块230，用于生成以所述关键坐标点为中心的至少一个特征点组，所述特征点组包括多个特征点；

路径构成模块330，用于根据各个所述特征点组在所述晶圆处理区域中构成搜索路径，以获得所述目标对象块的位置信息。

可选的，上述点组生成模块230包括但不限于：

点组生成子模块，用于以关键坐标点为中心，根据预设的第N路径图形在晶圆处理区域上等间距生成多个第N特征点，将多个第N特征点作为第N特征点组，N为正整数，N的初始数值为1；

增加数值子模块，用于若N的数值小于预设的点组个数，则增加N的数值，并以预设的调整步长扩大第N路径图形的覆盖范围，返回执行以关键坐标点为中心，根据预设的第N路径图形在晶圆处理区域上等间距生成多个第N特征点，将多个第N特征点作为第N特征点组的操作；

返回子模块，用于若N的数值大于或等于点组个数，则执行根据各个特征点组在晶圆处理区域中构成搜索路径的操作。

相应地，上述路径构成模块330包括但不限于：

正序连接子模块，用于以第N特征点组的组别正序依次连接各个第N特征点组内的第N特征点，构成所述搜索路径；

或者

逆序连接子模块，用于以第N特征点组的组别逆序依次连接各个第N特征点组内的第N特征点，构成所述搜索路径。

可选的，该装置13还包括：

选取模块，用于选取任意一个位于目标对象块内的特征点作为第一特征点，第一特征点所在的目标对象块为第一特征点的所属对象块；

第一搜索模块，用于搜索第一特征点的周边范围内是否存在至少一个除所属对象块外的其他目标对象块，周边范围是以第一特征点为中心，预设的距离值为半径构成的区域；

第一特征点选取模块，用于若第一特征点的周边范围内不存在其他目标对象块，则选取另一个位于目标对象块内的特征点作为第一特征点；

第二搜索模块，用于若第一特征点的周边范围内存在至少一个其他目标对象块，则分别搜索各个其他目标对象块内是否存在特征点；

第二特征点添加模块，用于若任意一个其他目标对象块内不存在特征点，则在其他目标对象块内添加第二特征点，直至各个其他目标对象块内均存在第二特征点或第一特征点；

补充路径构成模块，用于根据特征点、第一特征点和第二特征点构成补充路径，并把补充路径合并至搜索路径中。

可选的，该装置13还包括：

比对模块，用于比对特征点与目标对象块之间的位置，判断特征点是否位于目标对象块内；

特征点保留模块，用于若特征点位于目标对象块内，则保留特征点，并从特征点组中选取另一个特征点作为比对对象；

第一移除模块，用于若特征点位于目标对象块外，则移除特征点，更新搜索路径。

可选的，该装置13还包括：

第三搜索模块，用于搜索所属对象块内是否存在除第一特征点外的其他特征点；

第二移除模块，用于若目标对象块内存在其他特征点，则移除其他特征点，更新搜索路径。

可选的，该装置13还包括：

缩放模块，用于若同一个目标对象块内存在预设数量的特征点，则根据预设的比例缩放N的数值，并重新执行根据各个特征点组在晶圆处理区域中构成搜索路径的操作。

可选的，该装置13还包括：

位置信息获取模块，用于根据搜索路径获取各个目标对象块的位置信息；

发送模块，用于将位置信息发送至执行终端，执行终端用于吸取目标对象块。需要说明的是，上述模块之间的信息交互、执行过程等内容，由于与本申请方法实施例基于同一构思，其具体功能及带来的技术效果，具体可参见方法实施例部分，此处不再赘述。

本申请实施例还提供了一种终端设备，如图14所示，该实施例的终端设备14包括：处理器141、存储器142以及存储在存储器142中并可在处理器141上运行的计算机程序143。处理器141执行计算机程序143时实现上述流量处理方法实施例中的步骤，例如图1所示的步骤S100至S300；或者，处理器141执行计算机程序143时实现上述装置中各模块的功能，例如图13所示模块130至330的功能。

该终端设备14可以是桌上型计算机、笔记本、掌上电脑及云端服务器等计算设备，该终端设备14包括但不仅限于处理器141、存储器142。本领域技术人员可以理解，图10仅仅是终端设备14的示例，并不构成对终端设备14的限定，可以包括比图示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者不同的部件，例如终端设备14还可以包括输入输出设备、网络接入设备、总线等。

其中，处理器141可以是中央处理单元(Central Processing Unit，CPU)，还可以是其它通用处理器、数字信号处理器(Digital Signal Processor，DSP)、专用集成电路(Application Specific Integrated Circuit，ASIC)、现场可编程门阵列(Field-Programmable Gate Array，FPGA)或者其它可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件等；通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。

存储器142可以是终端设备14的内部存储单元，例如终端设备14的硬盘或内存，存储器142也可以是终端设备14的外部存储设备，例如终端设备14上配备的插接式硬盘，智能存储卡(Smart Media Card,SMC)，安全数字(Secure Digital,SD)卡，闪存卡(Flash Card)等；进一步地，存储器142还可以既包括终端设备14的内部存储单元也包括外部存储设备，存储器142还可以存储计算机程序143以及终端设备14所需的其它程序和数据，存储器142还可以用于暂时地存储已经输出或者将要输出的数据。

本申请的一个实施例还提供了一种计算机可读存储介质，该存储介质存储有计算机程序，该计算机程序在被处理器执行时，可实现上述各个方法实施例的步骤。其中，计算机程序包括计算机程序代码，计算机程序代码可以为源代码形式、对象代码形式、可执行文件或某些中间形式等；计算机可读介质可以包括：能够携带计算机程序代码的任何实体或装置、记录介质、U盘、移动硬盘、磁碟、光盘、计算机存储器、只读存储器(ROM，Read-OnlyMemory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、电载波信号、电信信号以及软件分发介质等。需要说明的是，计算机可读介质包含的内容可以根据司法管辖区内立法和专利实践的要求进行适当的增减，例如在某些司法管辖区，根据立法和专利实践，计算机可读介质不包括电载波信号和电信信号。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的方法、原理、结构所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种生成搜索路径的方法，其特征在于，所述方法包括：

确定晶圆处理区域的关键坐标点，所述晶圆处理区域内包含多个目标对象块；

生成以所述关键坐标点为中心的至少一个特征点组，所述特征点组包括多个特征点，包括：以所述关键坐标点为中心，根据预设的第N路径图形在所述晶圆处理区域上等间距生成多个第N特征点，将多个所述第N特征点作为第N特征点组，所述N为正整数，所述N的初始数值为1；若所述N的数值小于预设的点组个数，则增加N的数值，并以预设的调整步长扩大第N路径图形的覆盖范围，返回执行所述以所述关键坐标点为中心，根据预设的第N路径图形在所述晶圆处理区域上等间距生成多个第N特征点，将多个所述第N特征点作为第N特征点组的操作；若所述N的数值大于或等于所述点组个数，则执行所述根据各个所述特征点组在所述晶圆处理区域中构成搜索路径的操作；

根据各个所述特征点组在所述晶圆处理区域中构成搜索路径，所述搜索路径用于获得所述晶圆处理区域内所有所述目标对象块的位置信息。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，

所述根据各个所述特征点组在所述晶圆处理区域中构成搜索路径，包括：

以所述第N特征点组的组别正序依次连接各个所述第N特征点组内的所述第N特征点，构成所述搜索路径；

或

以所述第N特征点组的组别逆序依次连接各个所述第N特征点组内的所述第N特征点，构成所述搜索路径。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述根据各个所述特征点组在所述晶圆处理区域中构成搜索路径之后，所述方法还包括，

选取任意一个位于所述目标对象块内的特征点作为第一特征点，所述第一特征点所在的所述目标对象块为所述第一特征点的所属对象块；

搜索所述第一特征点的周边范围内是否存在至少一个除所述所属对象块外的其他目标对象块，所述周边范围是以所述第一特征点为中心，预设的距离值为半径构成的区域；

若所述第一特征点的周边范围内不存在所述其他目标对象块，则选取另一个位于所述目标对象块内的特征点作为第一特征点；

若所述第一特征点的周边范围内存在至少一个所述其他目标对象块，则分别搜索各个所述其他目标对象块内是否存在所述特征点；

若任意一个所述其他目标对象块内不存在所述特征点，则在所述其他目标对象块内添加第二特征点，直至各个所述其他目标对象块内均存在所述第二特征点或所述第一特征点；

根据所述特征点、所述第一特征点和所述第二特征点构成补充路径，并把所述补充路径合并至所述搜索路径中。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，在所述根据所述特征点、所述第一特征点和所述第二特征点构成补充路径，并把所述补充路径合并至所述搜索路径中之后，所述方法还包括，

比对所述特征点与所述目标对象块之间的位置，判断所述特征点是否位于所述目标对象块内；

若所述特征点位于所述目标对象块内，则保留所述特征点，并从所述特征点组中选取另一个所述特征点作为比对对象；

若所述特征点位于所述目标对象块外，则移除所述特征点，更新所述搜索路径。

5.如权利要求3所述的方法，其特征在于，在所述选取任意一个位于所述目标对象块内的特征点作为第一特征点之后，所述方法还包括，

搜索所述所属对象块内是否存在除所述第一特征点外的其他特征点；

若所述目标对象块内存在所述其他特征点，则移除所述其他特征点，更新所述搜索路径。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，在所述搜索所述第一特征点所对应的所述目标对象块内是否存在特征点之后，所述方法还包括：

若同一个所述目标对象块内存在预设数量的特征点，则根据预设的比例缩放N的数值，并重新执行所述根据各个所述特征点组在所述晶圆处理区域中构成搜索路径的操作。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述根据各个所述特征点组在所述晶圆处理区域中构成搜索路径之后，所述方法还包括：

根据所述搜索路径获取各个所述目标对象块的位置信息；

将所述位置信息发送至执行终端，所述执行终端用于吸取所述目标对象块。

8.一种生成搜索路径的装置，其特征在于，包括：

坐标点确定模块，用于确定晶圆处理区域的关键坐标点，所述晶圆处理区域内包含多个目标对象块；

点组生成模块，用于生成以所述关键坐标点为中心的至少一个特征点组，所述特征点组包括多个特征点；

路径构成模块，用于根据各个所述特征点组在所述晶圆处理区域中构成搜索路径，以获得所述目标对象块的位置信息；

点组生成模块包括：

点组生成子模块，用于以关键坐标点为中心，根据预设的第N路径图形在晶圆处理区域上等间距生成多个第N特征点，将多个第N特征点作为第N特征点组，N为正整数，N的初始数值为1；

增加数值子模块，用于若N的数值小于预设的点组个数，则增加N的数值，并以预设的调整步长扩大第N路径图形的覆盖范围，返回执行以关键坐标点为中心，根据预设的第N路径图形在晶圆处理区域上等间距生成多个第N特征点，将多个第N特征点作为第N特征点组的操作；

返回子模块，用于若N的数值大于或等于点组个数，则执行根据各个特征点组在晶圆处理区域中构成搜索路径的操作。

9.一种终端设备，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1至7任一项所述方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至7任一项所述方法的步骤。