CN115142037A - 驱动系统及其驱动方法、蒸镀设备、plc可读存储介质 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供了一种移动装置驱动系统及其驱动方法、蒸镀设备、可编程逻辑控制器可读存储介质，移动装置驱动系统包括：驱动器，被配置用于驱动移动装置移动；驱动传感器，被配置用于获取移动信息；位置传感器，被配置用于获取途经信息；控制器，分别与驱动器、驱动传感器、位置传感器连接，被配置用于根据预设移动信息控制驱动器执行驱动任务，以及对移动装置的实际轨迹进行至少一次校验。本申请实施例通过增设位置传感器，对移动装置的实际轨迹进行至少一次校验，将校验结果告知上位机，使操作人员可以远程监控，防止控制器对移动装置的工作状态产生误判，从而使得移动装置发生故障时，移动装置驱动系统及时报警停机。

Description

驱动系统及其驱动方法、蒸镀设备、PLC可读存储介质

技术领域

本申请涉及面板制造技术领域，具体而言，本申请涉及一种移动装置驱动系统及其驱动方法、蒸镀设备、可编程逻辑控制器可读存储介质。

背景技术

目前蒸镀腔室线源移动扫描的实现是通过可编程逻辑控制器(ProgrammableLogic Controller，PLC)自身具备的多处理器功能和运动控制处理器进行配合，运动控制处理器再通过伺服系统控制网络(Servo System Control NETwork，SSCNET)控制伺服马达，通过控制网络可以将各伺服参数统一做调整和读取，同时使高速高分辨的伺服更好的实现绝对位置的控制，当发生报警后停机又重开后，不需要再执行回原点动作。

当玻璃进入腔室后，PLC会控制运动控制处理器执行对位机构进行对位，对位成功后，PLC则控制运动控制处理器执行线源移动扫描蒸镀，通常执行一次扫描为扫描的最小单位，一次扫描的路程为从起点走到终点再折回到起点。

生产运行中容易发生以下两种事故：第一种是多张玻璃基板漏蒸，导致玻璃基板大量报废；第二种是对位机构和线源移动机构发生了撞机，上述两种情况的发生造成了很严重的经济损失和蒸镀材料的浪费。

综上所述，相关技术中存在玻璃基板漏蒸导致报废、对位机构和线源移动机构撞机的技术问题。

发明内容

本申请针对现有方式的缺点，提出一种移动装置驱动系统及其驱动方法、蒸镀设备、可编程逻辑控制器可读存储介质，用以解决相关技术中存在的玻璃基板漏蒸导致报废、对位机构和线源移动机构撞机中的至少一个技术问题。

第一个方面，本申请实施例提供了一种移动装置驱动系统，包括：

驱动器，被配置用于驱动移动装置沿预设轨迹移动；

驱动传感器，被配置用于获取所述驱动器的移动信息；

位置传感器，被配置用于获取所述移动装置在所述预设轨迹上至少一处的途经信息；

控制器，分别与所述驱动器、所述驱动传感器、所述位置传感器信号连接，被配置用于根据预设移动信息控制所述驱动器执行与所述预设移动信息对应的驱动任务，以及在所述驱动器执行所述驱动任务期间对移动装置的实际轨迹进行至少一次校验：若已经收到所述位置传感器获取的途经信息，则确定所述移动装置移动正常；若未收到所述位置传感器获取的途经信息，则确定所述移动装置移动异常。

在本申请的一些实施例中，所述位置传感器包括第一位置传感器，所述第一位置传感器被配置用于获取所述移动装置在由待机工位到第一工位的所述预设轨迹上的第一途经信息。

在本申请的一些实施例中，所述位置传感器包括第二位置传感器，所述第二位置传感器被配置用于获取所述移动装置在由第一工位到待机工位的所述预设轨迹上且与第一对位装置的预设轨迹存在一定间距的第二途经信息。

在本申请的一些实施例中，所述位置传感器包括第三位置传感器，所述位置传感器包括第三位置传感器，所述第三位置传感器被配置用于获取所述移动装置在由待机工位到第二工位的所述预设轨迹上的第三途经信息。

在本申请的一些实施例中，所述位置传感器包括第四位置传感器，所述第四位置传感器被配置用于获取所述移动装置在由第二工位到待机工位的所述预设轨迹上且与第二对位装置的预设轨迹存在一定间距的第四途经信息。

在本申请的一些实施例中，所述控制器包括彼此相互连接的第一处理器、第二处理器、网络单元和系统主站，所述移动装置驱动系统还包括人机交互设备、上位机、远程输入模块、远程输出模块；

所述第一处理器通过集线器与所述人机交互设备信号连接，所述第二处理器与所述驱动传感器信号连接，所述网络单元与所述上位机信号连接，所述系统主站分别与所述远程输入模块、所述远程输出模块信号连接，所述远程输入模块与所述位置传感器信号连接。

第二方面，本申请实施例提供一种蒸镀设备，包括移动装置、第一对位装置、第二对位装置，以及上述第一方面任意一个实施例中的移动装置驱动系统。

第三方面，本申请实施例提供一种移动装置驱动系统的驱动方法，用于驱动如第一方面任意一个实施例中的移动装置驱动系统，包括如下步骤：

根据预设移动信息控制驱动器执行与所述预设移动信息对应的驱动任务；

在所述驱动器执行所述驱动任务期间对移动装置的实际轨迹进行至少一次校验：若已经收到所述位置传感器获取的途经信息，则确定所述移动装置移动正常；若未收到所述位置传感器获取的途经信息，则确定所述移动装置移动异常。

在本申请的一些实施例中，所述根据预设移动信息控制驱动器执行与所述预设移动信息对应的驱动任务，包括：

控制所述驱动器执行所述移动装置由待机工位向第一工位移动的第一驱动任务；

所述在所述驱动器执行所述驱动任务期间对移动装置的实际轨迹进行至少一次校验，包括：

接收所述驱动传感器输出的第一移动信息；

对所述移动装置的实际轨迹进行一次校验：若已经收到第一位置传感器获取的第一途经信息，则控制所述移动装置由所述第一工位向所述待机工位移动；若未收到所述第一位置传感器获取的第一途经信息，则控制所述移动装置驱动系统停机并报警。

在本申请的一些实施例中，所述根据预设移动信息控制驱动器执行与所述预设移动信息对应的驱动任务，包括：

控制所述驱动器执行所述移动装置由第一工位向待机工位移动的第二驱动任务；

所述在所述驱动器执行所述驱动任务期间对移动装置的实际轨迹进行至少一次校验，包括：

接收所述驱动传感器输出的第二移动信息；

对所述移动装置的实际轨迹进行一次校验：若已经收到第二位置传感器获取的第二途经信息，则控制第一对位装置向所述第一工位移动；若未收到所述第二位置传感器获取的第二途经信息，则控制所述移动装置驱动系统停机并报警。

在本申请的一些实施例中，所述根据预设移动信息控制驱动器执行与所述预设移动信息对应的驱动任务，包括：

控制所述驱动器执行所述移动装置由待机工位向第二工位移动的第三驱动任务；

所述在所述驱动器执行所述驱动任务期间对移动装置的实际轨迹进行至少一次校验，包括：

接收所述驱动传感器输出的第三移动信息；

对所述移动装置的实际轨迹进行一次校验：若已经收到第三位置传感器获取的第三途经信息，则控制所述移动装置由所述第二工位向所述待机工位移动；若未收到所述第三位置传感器获取的第三途经信息，则控制所述移动装置驱动系统停机并报警。

在本申请的一些实施例中，所述根据预设移动信息控制驱动器执行与所述预设移动信息对应的驱动任务，包括：

控制所述驱动器执行所述移动装置由第二工位向待机工位移动的第四驱动任务；

所述在所述驱动器执行所述驱动任务期间对移动装置的实际轨迹进行至少一次校验，包括：

接收所述驱动传感器输出的第四移动信息；

对所述移动装置的实际轨迹进行一次校验：若已经收到第四位置传感器获取的第四途经信息，则控制第二对位装置向所述第二工位移动；若未收到所述第四位置传感器获取的第四途经信息，则控制所述移动装置驱动系统停机并报警。

第四方面，本申请实施例提供一种可编程逻辑控制器可读存储介质，存储驱动程序，驱动程序用于执行如第三方面任意一个实施例中的驱动方法。

本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果包括：通过在移动设备的预设轨迹上增设位置传感器，位置传感器可以检测出移动装置至少一处的途径信息，控制器在控制驱动器执行完驱动任务后，对移动装置的实际轨迹进行至少一次校验，将校验结果告知上位机，使操作人员可以在产线外远程监控产线内的生产状况，防止控制器对移动装置的工作状态产生误判，从而使得移动装置发生故障时，移动装置驱动系统及时报警停机。避免诸如产生玻璃基板漏蒸、线源装置与对位装置装机等事故，规避了重大经济损失的发生。本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本申请一个实施例中移动装置驱动系统的框架结构示意图；

图2为本申请一个实施例中蒸镀设备的结构示意图；

图3为本申请一个实施例中蒸镀设备的俯视示意图；

图4为本申请另一个实施例中移动装置驱动系统的框架结构示意图；

图5为本申请一个实施例中驱动方法的流程示意图；

图6为本申请另一个实施例中驱动方法的流程示意图。

图中：

1-线源装置(1a-待机工位、1b-第一工位、1c-第二工位)；

2-导轨；3-分动齿轮箱；4-主齿轮箱；

5-线槽；6-盖板；7-检测挡片；8-底座；

10-位置传感器；20-控制器；30-驱动器；

40-驱动传感器；50-移动装置；

101-第一位置传感器；102-第二位置传感器；

103-第三位置传感器；104-第四位置传感器；

201-第一对位装置；202-第二对位装置。

具体实施方式

下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。

本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。

本技术领域技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“上述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本申请的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。应该理解，当我们称元件被“连接”或“耦接”到另一元件时，它可以直接连接或耦接到其他元件，或者也可以存在中间元件。此外，这里使用的“连接”或“耦接”可以包括无线连接或无线耦接。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。

研究发现，事故产生的原因包括：蒸镀机原有的对线源扫描是否真实移动的检测，是通过伺服电机编码器反馈的位置和运动控制处理器记录的线源移动到目标位置的值进行比对，此检测方法出现极大的漏洞和安全隐患。

第一种不良：当线源装置在工作状态，线源装置完成一次扫描，返回待机工位时，齿轮箱和减速机脱离，线源装置就停在待机工位。当第二张玻璃基板进入，控制线源装置进行移动扫描，此时电机按命令仍然正常转动，只是齿轮箱和减速机脱离，导致线源装置没有移动，所以编码器反馈的位置未发现故障，直到抽检玻璃基板时发现了有玻璃基板存在漏蒸不良，检查设备时才查发现线源装置实际没移动，造成大量玻璃基板报废。

第二种不良：当线源装置在工作状态，线源装置由于齿轮箱和减速机脱离停在了扫描移动路径的中间，电机默认为正常运转，编码器反馈的位置未发现故障。当一次扫描完成后，准备接收下一张玻璃基板时，对位装置会下降对玻璃基板进行对位，此时线源装置正好停在了干涉位置，导致对位装置与线源装置发生撞机。

本申请提供的一种移动装置驱动系统及其驱动方法、蒸镀设备、可编程逻辑控制器可读存储介质，旨在解决现有技术的如上技术问题。通过在移动设备的预设轨迹上增设位置传感器，位置传感器可以检测出移动装置至少一处的途径信息，控制器在控制驱动器执行完驱动任务后，对移动装置的实际轨迹进行至少一次校验，将校验结果告知上位机，使操作人员可以在产线外远程监控产线内的生产状况，防止控制器对移动装置的工作状态产生误判，从而使得移动装置发生故障时，移动装置驱动系统及时报警停机。避免诸如产生玻璃基板漏蒸、线源装置与对位装置装机等事故，规避了重大经济损失的发生。

下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。

第一个方面，本申请实施例提供了一种移动装置驱动系统。如图1所示，图1为本申请一个实施例提供的移动装置驱动系统的框架结构示意图。移动装置驱动系统，包括：

驱动器30，被配置用于驱动移动装置50沿预设轨迹移动；

驱动传感器40，被配置用于获取所述驱动器30的移动信息；

位置传感器，被配置用于获取所述移动装置50在所述预设轨迹上至少一处的途经信息；

控制器20，分别与所述驱动器30、所述驱动传感器40、所述位置传感器信号连接，被配置用于根据预设移动信息控制所述驱动器30执行与所述预设移动信息对应的驱动任务，以及在所述驱动器30执行所述驱动任务期间对移动装置50的实际轨迹进行至少一次校验：若已经收到所述位置传感器获取的途经信息，则确定所述移动装置50移动正常；若未收到所述位置传感器获取的途经信息，则确定所述移动装置50移动异常。

在一个具体的实施例中，移动装置50包括移动部和承载移动部的固定部，驱动器30驱使移动部在固定部上发生相对移动。

可选的，移动装置50包括蒸镀设备，移动部包括线源装置1，固定部包括底座8，驱动器30包括伺服电机。

第二方面，本申请实施例还提供一种蒸镀设备，包括移动装置50、第一对位装置、第二对位装置，以及上述第一方面任意一个实施例中的移动装置驱动系统。

如图2和图3所示，图2为本申请一个实施例中蒸镀设备的结构示意图，图3为本申请一个实施例中蒸镀设备的俯视示意图。

蒸镀设备，包括：

导轨2；

线源装置1，位于所述导轨2的一侧，所述线源装置1的运动轨迹至少包括待机工位1a和位于所述运动轨迹的一端终点的第一工位1b；

第一位置传感器101，安装于所述导轨2上且位于所述待机工位1a与所述第一工位1b之间；

编码器，与所述线源装置1信号连接；

控制器20，分别与所述线源装置1、所述第一位置传感器101、所述编码器连接。

在本申请的一些实施例中，所述位置传感器包括第一位置传感器101，所述第一位置传感器101被配置用于获取所述移动装置50在由待机工位到第一工位的所述预设轨迹上的第一途经信息。

可选地，所述线源装置1沿与所述导轨2平行方向的宽度为第一长度值L1，所述第一位置传感器101与所述第一工位1b存在第一间距D1且所述第一间距D1不大于所述第一长度值L1。

在本实施例中，蒸镀设备至少包括一个真空腔，定义为第一真空腔，第一工位1b位于第一真空腔中。当玻璃基板送入第一真空腔中，线源装置1位于初始位置即位于待机工位1a，随后线源装置1沿着导轨2由待机工位1a向第一工位1b移动并进行扫描，达到该方向的终点即线源装置1位于第一工位1b。

由于待机工位1a和第一工位1b均是线源装置1某一时刻的位置，可以理解的是，待机工位1a、第一工位1b以及下文中的第二工位1c的各边长数值均与线源装置1相等。第一位置传感器101与第一工位1b存在第一间距D1，实际上是指，当线源装置1位于第一工位1b时，第一位置传感器101与线源装置1存在第一间距D1，下文中第二间距D2、第三间距D3、第四间距D4与此处同理，不再赘述。

为了针对第一种不良，即线源装置1停留在待机工位1a，未前往第一工位1b，在第一工位1b与待机工位1a之间设置有第一位置传感器101，第一位置传感器101具有一定范围的检测区，当线源装置1经过该检测区，第一位置传感器101向控制器20输出第一途径信息。

可选地，第一位置传感器101包括对射型光电传感器，第一位置传感器101包括分别设置于导轨2两侧的发射端和接收端，发射端持续或者间歇性向接收端发射红光或者红外光，接收端接收红光或者红外光。当线源装置1经过该检测区，第一位置传感器101的光路被切断，接收端无法接收到发射端射出的光线，第一位置传感器101向控制器20输出信号。

还可选地，第一位置传感器101包括反射式光电传感器，第一位置传感器101将发射器和接收器装入同一个装置内，利用反射原理完成光电控制作用的光电传感器。发射器持续或者间歇性发射光线，当线源装置1经过该检测区，出射的光线在线源装置1上发生反射，接收器接收到光线，第一位置传感器101向控制器20输出信号。

在另一个实施例中，第一工位1b安装有正转极限传感器(Frontward limitswith，FLS)或者反转极限传感器(Reverse limit swith，RLS)。为了保证FLS传感器或者RLS传感器的检测精度，第一位置传感器101与第一工位1b保持第一间距D1，第一间距D1大于0；同时为了保证第一位置传感器101的检测精度，第一间距D1小于等于第一长度值L1。

在本申请的一些实施例中，所述位置传感器包括第二位置传感器102，所述第二位置传感器102被配置用于获取所述移动装置50在由第一工位到待机工位的所述预设轨迹上且与第一对位装置的预设轨迹存在一定间距的第二途经信息。

可选地，所述蒸镀设备还包括分别与所述控制器20连接的第一对位装置201和第二位置传感器102。

所述第一对位装置201位于所述导轨2靠近所述线源装置1的一侧且所述第一对位装置201在所述导轨2上的正投影与所述第一工位1b在所述导轨2上的正投影至少部分重合，所述第二位置传感器102安装于所述导轨2上且位于所述待机工位1a与所述第一工位1b之间；

其中，所述第一对位装置201与所述导轨2之间的最大间距大于所述线源装置1与所述导轨2之间的间距，所述第一对位装置201沿与所述导轨2平行方向的宽度为第二长度值L2，所述第二位置传感器102与所述第一工位1b存在第二间距D2且所述第二间距D2不小于所述第二长度值L2。

由于第一对位装置在至少一个实施例中的预设轨迹为垂直上下升降，移动装置50的预设轨迹与第一对位装置的预设轨迹的最小间距为第一对位装置运动到与移动装置50同一高度时，此时，移动装置50与第一对位装置之间存在间距，保证移动装置50与第一对位装置之间不发生干涉撞机，第二位置传感器102的位置与第一对位装置存在的一定间距需大于移动装置50的宽度与第一对位装置凸出于预设轨迹的宽度之和。

在本实施例中，蒸镀设备还包括搬运装置，第一对位装置201将待蒸镀的玻璃基板与掩模板进行对位，然后将玻璃基板放置于搬运装置上。第一真空腔垂直于导轨2的两侧设置有多个待蒸镀的玻璃基板和已蒸镀的玻璃基板，搬运装置可以将已蒸镀的玻璃基板送出第一真空腔并将待蒸镀的玻璃基板送入第一真空腔，从而减小两次蒸镀扫描之间的间隔时间，提高生产节拍，降低生产成本，提高产品质量。

第一对位装置201对玻璃基板进行对位，第一对位装置201在导轨2所在平面上的正投影与玻璃基板在导轨2所在平面上的正投影至少部分重合。线源装置1在第一工位1b时持续对玻璃基板进行扫描蒸镀，第一工位1b在导轨2所在平线上的正投影与玻璃基板在导轨2所在平面上的正投影至少部分重合。第一对位装置201、第一工位1b、玻璃基板三者中任意两者的正投影至少部分重合。

第一对位装置201能够上下移动，即与导轨2之间的间距可以发生变化。第一对位装置201与导轨2之间的最大间距大于线源装置1与导轨2之间的间距，使得线源装置1达到第一工位1b对玻璃基板进行扫描蒸镀时，与第一对位装置201不发生干涉。

为了针对第二种不良，即线源装置1停留在第一工位1b，未返回待机工位1a，在第一工位1b与待机工位1a之间设置有第二位置传感器102，第二位置传感器102具有一定范围的检测区，当线源装置1经过该检测区，第二位置传感器102向控制器20输出第二途径信息。

可选地，第二位置传感器102包括对射型光电传感器或者反射式光电传感器。

可选地，第二位置传感器102与第一工位1b存在第二间距D2且第二间距D2不小于第二长度值L2。由于第一工位1b与线源装置1等宽，第二位置传感器102与第一工位1b最外侧端点的间距不小于第一长度值L1与第二长度值L2之和。当线源装置1触发第二位置传感器102，线源装置1与第一工位1b最外侧端点的间距不小于第二长度值L2，此时，第一对位装置201可正常向下移动对玻璃基板进行对位，从而避免线源装置1与第一对位装置201发生撞机。

在本申请的一些实施例中，所述位置传感器包括第三位置传感器103，所述位置传感器包括第三位置传感器103，所述第三位置传感器被配置用于获取所述移动装置50在由待机工位到第二工位的所述预设轨迹上的第三途经信息。

所述运动轨迹还包括位于另一端终点的第二工位1c，所述蒸镀设备还包括与所述控制器20连接的第三位置传感器103，所述第三位置传感器103安装于所述导轨2上且位于所述第二工位1c与所述待机工位1a之间，所述第三检测装与所述第二工位1c之间存在第三间距D3且所述第三间距D3不大于所述第一长度值L1。

本实施例中，蒸镀设备还包括第二个真空腔，定义为第二真空腔，第二工位1c位于第二真空腔中。当玻璃基板送入第二真空腔中，线源装置1由待机工位1a出发，在第一工位1b和第二工位1c之间做往复运动，且每次单程运动(方向不变)中需经过一次待机工位1a，从而在搬运装置在第一工位1b、第二工位1c其中一个工位搬运玻璃基板时，线源装置1扫描蒸镀另一个工位上的玻璃基板，减少线源装置1的等待时间，提高生产节拍，降低生产成本，提高产品质量。

第二工位1c与待机工位1a之间设置有第三位置传感器103，第三位置传感器103具有一定范围的检测区，当线源装置1经过该检测区，第三位置传感器103向控制器20输出第三途径信息。

可选地，第三位置传感器103包括对射型光电传感器或者反射式光电传感器。

在另一个实施例中，第二工位1c安装有反转极限传感器或者正转极限传感器。为了保证FLS传感器或者RLS传感器的检测精度，第三位置传感器103与第二工位1c保持第一间距D1，第二间距D2大于0；同时为了保证第三位置传感器103的检测精度，第一间距D1小于等于第一长度值L1。

在本申请的一些实施例中，所述位置传感器包括第四位置传感器104，所述第四位置传感器104被配置用于获取所述移动装置50在由第二工位到待机工位的所述预设轨迹上且与第二对位装置的预设轨迹存在一定间距的第四途经信息。

所述蒸镀设备还包括分别与所述控制器20连接的第二对位装置202和第四位置传感器104；

所述第二对位装置202位于所述导轨2靠近所述线源装置1的一侧且所述第二对位装置202在所述导轨2上的正投影与所述第二工位1c在所述导轨2上的正投影至少部分重合，所述第四位置传感器104安装于所述导轨2上且位于所述第二工位1c与所述待机工位1a之间；

其中，所述第二对位装置202与所述导轨2之间的最大间距大于所述线源装置1与所述导轨2之间的间距，所述第二对位装置202沿与所述导轨2平行方向的宽度为第三长度值L3，所述第四位置传感器104与所述第二工位1c之间存在第四间距D4且所述第四间距D4不小于所述第三长度值L3。

第二对位装置202能够上下移动，即与导轨2之间的间距可以发生变化。第二对位装置202与导轨2之间的最大间距大于线源装置1与导轨2之间的间距，使得线源装置1达到第二工位1c对玻璃基板进行扫描蒸镀时，与第二对位装置202不发生干涉。

为了针对第二种不良，即线源装置1停留在第二工位1c，未返回待机工位1a，在第二工位1c与待机工位1a之间设置有第四位置传感器104，第四位置传感器104具有一定范围的检测区，当线源装置1经过该检测区，第四位置传感器104向控制器20输出第四途径信息。

可选地，第四位置传感器104包括对射型光电传感器或者反射式光电传感器。

可选地，第四位置传感器104与第二工位1c存在第四间距D4且第四间距D4不小于第三长度值L3。由于第二工位1c与线源装置1等宽，第四位置传感器104与第二工位1c最外侧端点的间距不小于第一长度值L1与第三长度值L3之和。当线源装置1触发第四位置传感器104，线源装置1与第二工位1c最外侧端点的间距不小于第三长度值L3，此时，第一对位装置201可正常向下移动对玻璃基板进行对位，从而避免线源装置1与第一对位装置201发生撞机。

线源装置1的预设轨迹与第二对位装置202的预设轨迹之间的间距，参考线源装置1的预设轨迹与第一对位装置201的预设轨迹之间的间距。

在本申请的一些实施例中，所述蒸镀设备还包括第一检测安装板、盖板6、电源，所述第一检测安装板设置于所述导轨2的线槽5中，所述第一位置传感器101设置于所述第一检测安装板上且与所述电源电性连接，所述盖板6覆设于所述导轨2的线槽5外侧。

在本实施例中，蒸镀设备包括底座8、分动齿轮箱3、主齿轮箱4，底座8承载其他零部件。主齿轮箱4位于导轨2的其中一端且与驱动机构连接，驱动机构包括电机。主齿轮箱4的两侧分别设置有分动齿轮箱3，用于将驱动机构提供的动力变速传递给分动齿轮箱3上，从而控制导轨2的运转速度。

第一检测安装板为L型钣金，第一检测安装板具有不在同一平面上的第一孔和第二孔，第一孔和第二孔可以是螺栓孔，可以是供螺栓穿过的条形孔。至少一个螺栓穿过第一检测安装板的第一孔与线槽5中螺母固定。至少一个螺栓穿过第一检测安装板的第二孔与第一位置传感器101固定，第一位置传感器101与电源电性连接，第一位置传感器101与控制器20信号连接。盖板6覆设于导轨2的线槽5外侧，用于保护第一检测安装板和第一位置传感器101。

此处仅以第一位置传感器101的安装、固定方式举例，可以理解的是，第二位置传感器102、第三位置传感器103、第四位置传感器104均可采用上述安装、固定方式。

在本申请的一些实施例中，所述蒸镀设备还包括检测挡片7，所述检测挡片7固定于所述线源装置1上，所述检测挡片7的运动轨迹经过所述第一位置传感器101的检测区。

在本实施例中，线源装置1的高度较为自由，检测挡片7与第一位置传感器101处于同一高度。同理，在其他实施例中，检测挡片7与第二位置传感器102、第三位置传感器103、第四位置传感器104也可以处于同一高度。使得线源装置1经过相应位置的位置传感器时，位置传感器向控制器20输出相应的信号。

如图4所示，图4为本申请另一个实施例中移动装置驱动系统的框架结构示意图。

在本申请的一些实施例中，所述控制器20包括彼此相互连接的第一处理器、第二处理器、网络单元和系统主站，所述移动装置驱动系统还包括人机交互设备、上位机、远程输入模块、远程输出模块；

所述第一处理器通过集线器与所述人机交互设备信号连接，所述第二处理器与所述驱动器信号连接，所述网络单元与所述上位机信号连接，所述系统主站分别与所述远程输入模块、所述远程输出模块信号连接，所述远程输入模块与所述位置传感器信号连接。

可选地，第一处理器包括控制器的主处理器，人机交互设备包括可编程逻辑控制器。第二处理器包括控制器的运动控制处理器，驱动器包括伺服驱动器，伺服驱动器与伺服电机连接。上位机通过集线器与监控电脑连接，利于远程监控。远程输出模块接收系统主站的信号，再分别输出给蜂鸣器、故障指示灯和继电器。

基于同一发明构思，第三方面，本申请实施例提供一种移动装置驱动系统的驱动方法，用于驱动如第一方面中任意一个实施例中的移动装置驱动系统。如图5所示，图5为本申请一个实施例中驱动方法的流程示意图。驱动方法，包括如下步骤：

S1、根据预设移动信息控制驱动器30执行与所述预设移动信息对应的驱动任务；

S2、在所述驱动器30执行所述驱动任务期间对移动装置50的实际轨迹进行至少一次校验：若已经收到所述位置传感器获取的途经信息，则确定所述移动装置50移动正常；若未收到所述位置传感器获取的途经信息，则确定所述移动装置50移动异常。

在本申请的一些实施例中，所述根据预设移动信息控制驱动器30执行与所述预设移动信息对应的驱动任务，包括：

控制所述驱动器30执行所述移动装置50由待机工位向第一工位移动的第一驱动任务；

所述在所述驱动器30执行所述驱动任务期间对移动装置50的实际轨迹进行至少一次校验，包括：

接收所述驱动传感器40输出的第一移动信息；

对所述移动装置50的实际轨迹进行一次校验：若已经收到第一位置传感器101获取的第一途经信息，则控制所述移动装置50由所述第一工位向所述待机工位移动；若未收到所述第一位置传感器101获取的第一途经信息，则控制所述移动装置驱动系统停机并报警。

可选地，在本实施例中，线源装置1进行一次扫描的前半程，即由待机工位1a前往第一工位1b。理想工况下，线源装置1依次经过第一位置传感器101的检测区和第一工位1b，先后接收到第一途径信息和第一移动信息。为了避免控制器20对线源装置1的工作状态产生误判，在控制器20收到第一移动信息时，对第一途径信息进行确认，若符合条件，继续进行下一步，进行一次扫描的后半程，即由第一工位1b返回待机工位1a。若不符合条件，线源装置1遇到故障，蒸镀设备整体停机并输出报警信号。

在本申请的一些实施例中，所述根据预设移动信息控制驱动器30执行与所述预设移动信息对应的驱动任务，包括：

控制所述驱动器30执行所述移动装置50由第一工位向待机工位移动的第二驱动任务；

所述在所述驱动器30执行所述驱动任务期间对移动装置50的实际轨迹进行至少一次校验，包括：

接收所述驱动传感器40输出的第二移动信息；

对所述移动装置50的实际轨迹进行一次校验：若已经收到第二位置传感器102获取的第二途经信息，则控制第一对位装置201向所述第一工位移动；若未收到所述第二位置传感器102获取的第二途经信息，则控制所述移动装置驱动系统停机并报警。

可选的，在本实施例中，所述控制器20控制所述线源装置1由所述第一工位1b返回所述待机工位1a，包括：

所述线源装置1经过第二位置传感器102的检测区，所述控制器20收到所述第二位置传感器102输出的第二途径信息；

所述线源装置1达到所述待机工位1a，所述控制器20接收所述编码器输出的第二移动信息；

当所述控制器20收到所述第二移动信息时，判断是否已收到所述第二途径信息；

若是，所述控制器20控制第一对位装置201移动并对所述玻璃基板对位；

若不是，所述控制器20控制所述蒸镀设备停机并输出报警信号。

在本实施例中，线源装置1进行一次扫描的后半程，即由第一工位1b返回待机工位1a。理想工况下，线源装置1依次经过第二位置传感器102的检测区和待机工位1a，先后接收到第二途径信息和第二移动信息。为了避免控制器20对线源装置1的工作状态产生误判，在控制器20收到第二移动信息时，对第二途径信息进行确认，若符合条件，继续进行下一步，第一对位装置201移动并对玻璃基板对位。若不符合条件，线源装置1遇到故障，蒸镀设备整体停机并输出报警信号。

在本申请的一些实施例中，所述根据预设移动信息控制驱动器30执行与所述预设移动信息对应的驱动任务，包括：

控制所述驱动器30执行所述移动装置50由待机工位向第二工位移动的第三驱动任务；

所述在所述驱动器30执行所述驱动任务期间对移动装置50的实际轨迹进行至少一次校验，包括：

接收所述驱动传感器40输出的第三移动信息；

对所述移动装置50的实际轨迹进行一次校验：若已经收到第三位置传感器103获取的第三途经信息，则控制所述移动装置50由所述第二工位向所述待机工位移动；若未收到所述第三位置传感器103获取的第三途经信息，则控制所述移动装置驱动系统停机并报警。

可选地，在本实施例中，所述控制器20控制所述线源装置1由所述第一工位1b返回所述待机工位1a，之后包括：

所述控制器20控制所述线源装置1由所述待机工位1a向第二工位1c移动并扫描所述玻璃基板；

所述线源装置1经过第三位置传感器103的检测区，所述控制器20收到所述第三位置传感器103输出的第三途径信息；

所述线源装置1达到所述第二工位1c，所述控制器20收到所述编码器输出的第三移动信息；

当所述控制器20收到所述第三移动信息时，判断是否已收到所述第三途径信息；

若是，所述控制器20控制所述线源装置1由所述第二工位1c返回所述待机工位1a；

若不是，所述控制器20控制所述蒸镀设备停机并输出报警信号。

在本实施例中，蒸镀设备还包括第二真空腔，在第一对位装置201对玻璃基板对位的过程中，线源装置1由待机工位1a向第二工位1c移动并扫描第二工位1c上的玻璃基板，减少线源装置1的等待时间，提高生产节拍，降低生产成本，提高产品质量。

理想工况下，线源装置1依次经过第三位置传感器103的检测区和第二工位1c，先后接收到第三途径信息和第三移动信息。为了避免控制器20对线源装置1的工作状态产生误判，在控制器20收到第三移动信息时，对第三途径信息进行确认，若符合条件，继续进行下一步，进行一次扫描的后半程，即由第二工位1c返回待机工位1a。若不符合条件，线源装置1遇到故障，蒸镀设备整体停机并输出报警信号。

在本申请的一些实施例中，所述根据预设移动信息控制驱动器30执行与所述预设移动信息对应的驱动任务，包括：

控制所述驱动器30执行所述移动装置50由第二工位向待机工位移动的第四驱动任务；

所述在所述驱动器30执行所述驱动任务期间对移动装置50的实际轨迹进行至少一次校验，包括：

接收所述驱动传感器40输出的第四移动信息；

对所述移动装置50的实际轨迹进行一次校验：若已经收到第四位置传感器104获取的第四途经信息，则控制第二对位装置向所述第二工位移动；若未收到所述第四位置传感器104获取的第四途经信息，则控制所述移动装置驱动系统停机并报警。

可选地，在本实施例中，所述控制器20控制所述线源装置1由所述第二工位1c返回所述待机工位1a，包括：

所述线源装置1经过第四位置传感器104的检测区，所述控制器20收到所述第四位置传感器104输出的第四途径信息；

所述线源装置1达到所述待机工位1a，所述控制器20收到所述编码器输出的第四移动信息；

当所述控制器20收到所述第四移动信息时，判断是否已收到所述第四途径信息；

若是，所述控制器20控制第二对位装置202移动并对所述玻璃基板对位；

若不是，所述控制器20控制所述蒸镀设备停机并输出报警信号。

在本实施例中，线源装置1进行一次扫描的后半程，即由第二工位1c返回待机工位1a。理想工况下，线源装置1依次经过第四位置传感器104的检测区和待机工位1a，先后接收到第四途径信息和第四移动信息。为了避免控制器20对线源装置1的工作状态产生误判，在控制器20收到第四移动信息时，对第四途径信息进行确认，若符合条件，继续进行下一步，第二对位装置202移动并对玻璃基板对位。若不符合条件，线源装置1遇到故障，蒸镀设备整体停机并输出报警信号。

值得一提的是，线源装置1由待机工位1a向第二工位1c移动时，扫描蒸镀第二真空腔中的玻璃基板，流程图与图3、图4同理，第一位置传感器101、第二位置传感器102相应替换为第三位置传感器103、第四位置传感器104。

在本申请的一些实施例中，控制所述蒸镀设备停机并输出报警信号，包括：

控制继电器断开，使得所述线源装置1停机；

控制故障指示灯点亮、蜂鸣器发出报警声；

控制上位机显示报警信号。

在本实施例中，继电器设置于蒸镀设备与电源之间，控制器20与继电器连接。当控制器20向继电器发出停机信号，继电器断开，蒸镀设备与电源之间断路，设备失去供电、停机。继电器包括电磁式继电器、感应式继电器、电动式继电器、电子式继电器中的至少一种。

控制器20包括逻辑控制器20或者微程序控制器20。

当控制器20判断线源装置1出现故障之后，控制器20向故障指示灯和蜂鸣器发出信号，分别控制故障指示灯点亮和控制蜂鸣器发出报警声，用以提醒产线附近的操作人员，对故障情况进行响应。若确认故障确实发生，操作人员处理故障，及时恢复生产，若位置传感器误报，操作人员可暂时关闭检测系统，先恢复生产，待下一阶段的生产间隙进行维护。

当控制器20判断线源装置1出现故障之后，控制器20向上位机发出信号，设置于办公室、监控室或者设备机房的上位机显示报警信号。让监视上位机额度操作人员可以第一时间去现场响应，由于可以一台或者多台上位机监视多条产线，实现了节省人力和远程监控的目的，提高生产效率。

如图6所示，图6为本申请另一个实施例中驱动方法的流程示意图。驱动方法，包括：

S11、玻璃基板进入第一工位/第二工位；

S12、控制驱动器执行移动装置向第一工位/第二工位移动；

S13、获取移动装置在由待机工位到第一工位的预设轨迹上的第一途经信息；

或者，获取移动装置在由待机工位到第二工位的预设轨迹上的第三途经信息；

S14、与驱动器执行的预设移动信息进行校验；

S15、若校验通过，获取移动装置返回待机工位的预设轨迹上的第二途经信息/第四途径信息；

若检验不通过，控制移动装置驱动系统停机并输出报警信号；

S16、与驱动器执行的预设移动信息进行校验；

S17、若校验通过，控制第一对位装置/第二对位装置执行对位任务，玻璃基板离开第一工位/第二工位，循环执行S11，新的玻璃基板进入对应工位；

若校验不通过，控制移动装置驱动系统停机并输出报警信号；

报警信号显示电机与减速机脱离，人工干预解除故障后继续运行。

基于同一发明构思，第四方面，本申请实施例还提供一种可编程逻辑控制器可读存储介质，存储驱动程序，所述驱动程序用于执行地方面中任意一个实施例中的驱动方法。

在一个可选的实施例中，可编程逻辑控制器包括上述实施例中的控制器20及存储介质，可编程逻辑控制器可以编写、存储、更改以及执行相关的驱动程序，用于实现第三方面中的驱动方法。可编程逻辑控制器与上位机信号连接，可编程逻辑控制器可以将报警信号传输给上位机，实现远程控制。

应用本申请实施例，至少能够实现如下有益效果：通过在移动设备的预设轨迹上增设位置传感器，位置传感器可以检测出移动装置至少一处的途径信息，控制器在控制驱动器执行完驱动任务后，对移动装置的实际轨迹进行至少一次校验，将校验结果告知上位机，使操作人员可以在产线外远程监控产线内的生产状况，防止控制器对移动装置的工作状态产生误判，从而使得移动装置发生故障时，移动装置驱动系统及时报警停机。避免诸如产生玻璃基板漏蒸、线源装置与对位装置装机等事故，规避了重大经济损失的发生。

本技术领域技术人员可以理解，本申请中已经讨论过的各种操作、方法、流程中的步骤、措施、方案可以被交替、更改、组合或删除。进一步地，具有本申请中已经讨论过的各种操作、方法、流程中的其他步骤、措施、方案也可以被交替、更改、重排、分解、组合或删除。进一步地，现有技术中的具有与本申请中公开的各种操作、方法、流程中的步骤、措施、方案也可以被交替、更改、重排、分解、组合或删除。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本申请的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本说明书的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

应该理解的是，虽然附图的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，其可以以其他的顺序执行。而且，附图的流程图中的至少一部分步骤可以包括多个子步骤或者多个阶段，这些子步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，其执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其他步骤或者其他步骤的子步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。

以上所述仅是本申请的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (13)

1.一种移动装置驱动系统，其特征在于，包括：

驱动器，被配置用于驱动移动装置沿预设轨迹移动；

驱动传感器，被配置用于获取所述驱动器的移动信息；

位置传感器，被配置用于获取所述移动装置在所述预设轨迹上至少一处的途经信息；

控制器，分别与所述驱动器、所述驱动传感器、所述位置传感器信号连接，被配置用于根据预设移动信息控制所述驱动器执行与所述预设移动信息对应的驱动任务，以及在所述驱动器执行所述驱动任务期间对移动装置的实际轨迹进行至少一次校验：若已经收到所述位置传感器获取的途经信息，则确定所述移动装置移动正常；若未收到所述位置传感器获取的途经信息，则确定所述移动装置移动异常。

2.根据权利要求1所述的移动装置驱动系统，其特征在于，所述位置传感器包括第一位置传感器，所述第一位置传感器被配置用于获取所述移动装置在由待机工位到第一工位的所述预设轨迹上的第一途经信息。

3.根据权利要求1所述的移动装置驱动系统，其特征在于，所述位置传感器包括第二位置传感器，所述第二位置传感器被配置用于获取所述移动装置在由第一工位到待机工位的所述预设轨迹上且与第一对位装置的预设轨迹存在一定间距的第二途经信息。

4.根据权利要求1所述的移动装置驱动系统，其特征在于，所述位置传感器包括第三位置传感器，所述第三位置传感器被配置用于获取所述移动装置在由待机工位到第二工位的所述预设轨迹上的第三途经信息。

5.根据权利要求1所述的移动装置驱动系统，其特征在于，所述位置传感器包括第四位置传感器，所述第四位置传感器被配置用于获取所述移动装置在由第二工位到待机工位的所述预设轨迹上且与第二对位装置的预设轨迹存在一定间距的第四途经信息。

6.根据权利要求1所述的移动装置驱动系统，其特征在于，所述控制器包括彼此相互连接的第一处理器、第二处理器、网络单元和系统主站，所述移动装置驱动系统还包括人机交互设备、上位机、远程输入模块、远程输出模块；

所述第一处理器通过集线器与所述人机交互设备信号连接，所述第二处理器与所述驱动器信号连接，所述网络单元与所述上位机信号连接，所述系统主站分别与所述远程输入模块、所述远程输出模块信号连接，所述远程输入模块与所述位置传感器信号连接。

7.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：移动装置、第一对位装置、第二对位装置，以及上述权利要求1-6中任一项所述移动装置驱动系统。

8.一种移动装置驱动系统的驱动方法，其特征在于，应用于上述权利要求1-6中任一项所述移动装置驱动系统，包括：

根据预设移动信息控制驱动器执行与所述预设移动信息对应的驱动任务；

在所述驱动器执行所述驱动任务期间对移动装置的实际轨迹进行至少一次校验：若已经收到所述位置传感器获取的途经信息，则确定所述移动装置移动正常；若未收到所述位置传感器获取的途经信息，则确定所述移动装置移动异常。

9.根据权利要求8所述的驱动方法，其特征在于，所述根据预设移动信息控制驱动器执行与所述预设移动信息对应的驱动任务，包括：

控制所述驱动器执行所述移动装置由待机工位向第一工位移动的第一驱动任务；

所述在所述驱动器执行所述驱动任务期间对移动装置的实际轨迹进行至少一次校验，包括：

接收所述驱动传感器输出的第一移动信息；

对所述移动装置的实际轨迹进行一次校验：若已经收到第一位置传感器获取的第一途经信息，则控制所述移动装置由所述第一工位向所述待机工位移动；若未收到所述第一位置传感器获取的第一途经信息，则控制所述移动装置驱动系统停机并报警。

10.根据权利要求8所述的驱动方法，其特征在于，所述根据预设移动信息控制驱动器执行与所述预设移动信息对应的驱动任务，包括：

控制所述驱动器执行所述移动装置由第一工位向待机工位移动的第二驱动任务；

所述在所述驱动器执行所述驱动任务期间对移动装置的实际轨迹进行至少一次校验，包括：

接收所述驱动传感器输出的第二移动信息；

对所述移动装置的实际轨迹进行一次校验：若已经收到第二位置传感器获取的第二途经信息，则控制第一对位装置向所述第一工位移动；若未收到所述第二位置传感器获取的第二途经信息，则控制所述移动装置驱动系统停机并报警。

11.根据权利要求8所述的驱动方法，其特征在于，所述根据预设移动信息控制驱动器执行与所述预设移动信息对应的驱动任务，包括：

控制所述驱动器执行所述移动装置由待机工位向第二工位移动的第三驱动任务；

所述在所述驱动器执行所述驱动任务期间对移动装置的实际轨迹进行至少一次校验，包括：

接收所述驱动传感器输出的第三移动信息；

对所述移动装置的实际轨迹进行一次校验：若已经收到第三位置传感器获取的第三途经信息，则控制所述移动装置由所述第二工位向所述待机工位移动；若未收到所述第三位置传感器获取的第三途经信息，则控制所述移动装置驱动系统停机并报警。

12.根据权利要求8所述的驱动方法，其特征在于，所述根据预设移动信息控制驱动器执行与所述预设移动信息对应的驱动任务，包括：

控制所述驱动器执行所述移动装置由第二工位向待机工位移动的第四驱动任务；

所述在所述驱动器执行所述驱动任务期间对移动装置的实际轨迹进行至少一次校验，包括：

接收所述驱动传感器输出的第四移动信息；

对所述移动装置的实际轨迹进行一次校验：若已经收到第四位置传感器获取的第四途经信息，则控制第二对位装置向所述第二工位移动；若未收到所述第四位置传感器获取的第四途经信息，则控制所述移动装置驱动系统停机并报警。

13.一种可编程逻辑控制器可读存储介质，其特征在于，存储驱动程序，所述驱动程序用于执行如权利要求8-12中任一项所述的驱动方法。

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