CN115060423A - 一种碳化硅生产设备用密封性检测装置 - Google Patents
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Abstract
本发明属于碳化硅生产设备技术领域，具体的说是一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，包括炉体，所述炉体底端贯通连接有进气管，所述炉体顶端安装有检测板，所述检测板底面固定有多个安装架，所述安装架内部安装有检测轮，所述检测轮外部转动连接有滚动轮，所述检测轮与滚动轮之间固定有复位弹簧，所述滚动轮内部且远离复位弹簧的一侧固定有检测触点，所述检测轮内部且靠近检测触点的一侧固定有警报触点；通过炉体内的气体会沿着孔隙逸出，从而引动漂浮组件运动，进而带动滚动轮进行，滚动轮转动会带动检测触点与警报触点相接触发送报警信号，如此便达到了可自动检测炉体的气密性并自动报警的效果。
Description
技术领域
本发明属于碳化硅生产设备技术领域，具体的说是一种碳化硅生产设备用密封性检测装置。
背景技术
碳化硅作为第三代半导体的典型材料，其在多个领域都有重大的意义，目前对于碳化硅晶体的生长大多是采用PVT法，即物理气相传输法，使用该方法生产碳化硅晶体时，碳化硅晶体在生长的过程中需要将高温区材料升华，然后输送到冷凝区使其成为饱和蒸气，经过冷凝成核而长成晶体，因此碳化硅晶体生长炉的气密性尤为重要。
由于碳化硅生长炉体积较大，从而使得在对其进行密封性检测时较为困难，无法采用将设备浸入水中通气的方式对其进行检测；为此，本发明提供一种碳化硅生产设备用密封性检测装置。
发明内容
为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，包括炉体，所述炉体底端贯通连接有进气管，所述炉体顶端安装有检测板，所述检测板底面固定有多个安装架，所述安装架内部安装有检测轮，所述检测轮外部转动连接有滚动轮，所述检测轮与滚动轮之间固定有复位弹簧，所述滚动轮内部且远离复位弹簧的一侧固定有检测触点，所述检测轮内部且靠近检测触点的一侧固定有警报触点，所述检测触点与警报触点通过线路与外部的警报器信号连接，所述滚动轮外部缠绕有连接绳，所述连接绳远离滚动轮的一端固定有漂浮组件，所述漂浮组件用以在气流的流动下拉动连接绳后进行飘动；工作时，将检测板卡接在炉体上，随后通过进气管向炉体内注入足够量的气体，并保压一段时间，在保压的过程中，一旦炉体的壳体存在密封不足的问题时，则此时炉体内部的气体便会沿着这个孔隙逸出，从而使得炉体内部的气体出现流动，在气体流动的过程中会产生压强，从而引动这个孔隙附近的漂浮组件向着孔隙的方向运动，漂浮组件运动从而拉动连接绳运动，连接绳运动从而带动滚动轮进行转动，滚动轮在转动的过程中会拉伸复位弹簧使其形变后带动检测触点运动，直至检测触点与警报触点相接触，当检测触点与警报触点相接触后外部的警报器便会接收到信号从而开始报警，如此便达到了可自动检测炉体的气密性并自动报警的效果。
优选的，所述安装架与检测轮之间设置有摩擦环，所述摩擦环与安装架固定连接，所述摩擦环与检测轮转动连接；工作时，在滚动轮带动检测触点转动至与警报触点接触后，警报触点会对检测轮施加一个推力，这个推力最终会带动检测轮沿着摩擦环进行转动，需要说明的是摩擦环与检测轮之间的摩擦力大于复位弹簧的弹力，如此在报警之后漂浮组件会继续运动直至空隙处，从而将空隙封堵住，此时炉体内部恢复保压状态，从而对其余部位进行检测，如此便可达到了一次检测多点的效果。
优选的，所述滚动轮内部且位于复位弹簧与检测触点之间转动连接有多个辅助滚轮；工作时，在滚动轮转动的过程中其会带动辅助滚轮进行运动，辅助滚轮运动可以辅助滚动轮在检测轮上进行滚动，这样便可有效的帮助检测触点与警报触点相互接触，便于发现空隙并进行报警工作的进行。
优选的，所述滚动轮内部且位于辅助滚轮的外部固定有储液囊，所述储液囊内部通过固定绳安装有多个配重球；工作时，在滚动轮转动的过程中，其会带动其内部的储液囊进行运动，储液囊运动从而其内部的配重球会往复的滚动，在配重球滚动的过程中其会对储液囊进行拉伸，从而将储液囊内部存储的润滑液挤出，挤出的润滑液进一步的降低了检测轮与滚动轮之间的摩擦力，从而提高设备报警的灵敏度。
优选的，所述检测板内部固定有橡胶环，所述橡胶环为空心状；工作时，在安装检测板的过程中，可以向橡胶环内部充入一定量的气体，从而使得橡胶环膨胀，膨胀后的橡胶环可以与炉体的内壁更加贴合，提高了气密性检测的准确性。
优选的，所述橡胶环底端贯通连接有导流管，所述导流管与检测板贯通连接；工作时，在通过进气管向炉体内充入气体时，部分气体会通过导流管向着橡胶环内部流动，从而使得橡胶环进一步的膨胀，进一步的提高了气密性检测过程的准确性，需要说明的是导流管内部应安装有单向阀以避免橡胶环内部的气体逸出。
优选的，所述漂浮组件包括海绵环，海绵环内部固定有空心弹囊，所述空心弹囊外部贯通连接有多个排液管，所述排液管内部安装有单向阀；工作时，在向炉体内部进行充气时，炉体内部的压强便会增大，需要说明的是空心弹囊内部的压强为正常的大气压，如此增大的压强会对空心弹囊进行挤压，从而使得空心弹囊收缩，进而其内部存储的染色剂便会通过排液管喷出，喷出的染色剂沾染在海绵环上，这样海绵环在向着孔隙运动并将其封堵时会同时对其染色，员工在后续查看的过程中很容易自炉体的内壁处查看到缺陷处。
优选的，所述空心弹囊内部固定有多个弹性绳，所述弹性绳远离空心弹囊内壁的一端固定有敲击球；工作时，在空心弹囊运动的过程中，其内部的敲击球会在惯性力的作用下发生晃动，从而相互碰撞发出警报音，提醒外部的工作员工，并且在敲击球晃动的过程中，其会搅动空心弹囊内部的染色剂使其更加匀化，保障染色效果。
优选的，所述海绵环外部且靠近进气管的一侧固定有多个毛绳；工作时，毛绳的设计可以使得海绵环受到的气流作用力增大，同时又不会过多的增大海绵环的质量，从而便于检测工作的进行。
优选的，所述空心弹囊底端固定有承接架，所述承接架与海绵环贯通连接；工作时，在部分染色剂在流出至海绵环后，会沿着海绵环与空心弹囊进行流动，而通过承接架的设计可以对染色剂进行盛接，对其进行二次回收利用防止染色剂滴落。
本发明的有益效果如下：
1.本发明所述的一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，通过炉体内的气体会沿着孔隙逸出，从而引动漂浮组件运动，进而带动滚动轮进行，滚动轮转动会带动检测触点与警报触点相接触发送报警信号，如此便达到了可自动检测炉体的气密性并自动报警的效果。
2.本发明所述的一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，通过炉体内部压强增大对空心弹囊进行挤压，从而使得空心弹囊收缩喷出染色剂在海绵环上，这样海绵环在向着孔隙运动并将其封堵时会同时对其染色，员工在后续查看的过程中很容易自炉体的内壁处查看到缺陷处。
附图说明
下面结合附图对本发明作进一步说明。
图1是本发明的立体图；
图2是本发明中炉体结构剖视图；
图3是本发明图2中A处局部放大图；
图4是本发明中检测轮结构示意图；
图5是本发明图4中B处局部放大图；
图6是本发明中海绵环结构示意图；
图7是本发明中海绵环结构第二种实施例结构示意图。
图中：1、炉体；2、进气管；3、检测板；4、安装架；5、检测轮；6、滚动轮；7、复位弹簧；8、检测触点；9、警报触点；10、连接绳；11、漂浮组件；12、摩擦环；13、辅助滚轮；14、储液囊；15、配重球；16、橡胶环；17、导流管；18、海绵环；19、空心弹囊；20、排液管；21、弹性绳；22、敲击球；23、毛绳；24、承接架。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
实施例一
如图1至图4所示，本发明实施例所述的一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，包括炉体1，所述炉体1底端贯通连接有进气管2，所述炉体1顶端安装有检测板3，所述检测板3底面固定有多个安装架4，所述安装架4内部安装有检测轮5，所述检测轮5外部转动连接有滚动轮6，所述检测轮5与滚动轮6之间固定有复位弹簧7，所述滚动轮6内部且远离复位弹簧7的一侧固定有检测触点8，所述检测轮5内部且靠近检测触点8的一侧固定有警报触点9，所述检测触点8与警报触点9通过线路与外部的警报器信号连接，所述滚动轮6外部缠绕有连接绳10，所述连接绳10远离滚动轮6的一端固定有漂浮组件11，所述漂浮组件11用以在气流的流动下拉动连接绳10后进行飘动；工作时，将检测板3卡接在炉体1上，随后通过进气管2向炉体1内注入足够量的气体，并保压一段时间，在保压的过程中，一旦炉体1的壳体存在密封不足的问题时，则此时炉体1内部的气体便会沿着这个孔隙逸出，从而使得炉体1内部的气体出现流动，在气体流动的过程中会产生压强，从而引动这个孔隙附近的漂浮组件11向着孔隙的方向运动，漂浮组件11运动从而拉动连接绳10运动，连接绳10运动从而带动滚动轮6进行转动，滚动轮6在转动的过程中会拉伸复位弹簧7使其形变后带动检测触点8运动，直至检测触点8与警报触点9相接触，当检测触点8与警报触点9相接触后外部的警报器便会接收到信号从而开始报警，如此便达到了可自动检测炉体1的气密性并自动报警的效果。
如图4所示，所述安装架4与检测轮5之间设置有摩擦环12，所述摩擦环12与安装架4固定连接，所述摩擦环12与检测轮5转动连接；工作时，在滚动轮6带动检测触点8转动至与警报触点9接触后，警报触点9会对检测轮5施加一个推力，这个推力最终会带动检测轮5沿着摩擦环12进行转动，需要说明的是摩擦环12与检测轮5之间的摩擦力大于复位弹簧7的弹力，如此在报警之后漂浮组件11会继续运动直至空隙处，从而将空隙封堵住，此时炉体1内部恢复保压状态，从而对其余部位进行检测，如此便可达到了一次检测多点的效果。
如图4所示，所述滚动轮6内部且位于复位弹簧7与检测触点8之间转动连接有多个辅助滚轮13；工作时，在滚动轮6转动的过程中其会带动辅助滚轮13进行运动，辅助滚轮13运动可以辅助滚动轮6在检测轮5上进行滚动，这样便可有效的帮助检测触点8与警报触点9相互接触，便于发现空隙并进行报警工作的进行。
如图5所示，所述滚动轮6内部且位于辅助滚轮13的外部固定有储液囊14，所述储液囊14内部通过固定绳安装有多个配重球15；工作时，在滚动轮6转动的过程中，其会带动其内部的储液囊14进行运动，储液囊14运动从而其内部的配重球15会往复的滚动，在配重球15滚动的过程中其会对储液囊14进行拉伸，从而将储液囊14内部存储的润滑液挤出，挤出的润滑液进一步的降低了检测轮5与滚动轮6之间的摩擦力，从而提高设备报警的灵敏度。
如图3所示，所述检测板3内部固定有橡胶环16，所述橡胶环16为空心状；工作时，在安装检测板3的过程中，可以向橡胶环16内部充入一定量的气体，从而使得橡胶环16膨胀，膨胀后的橡胶环16可以与炉体1的内壁更加贴合，提高了气密性检测的准确性。
如图3所示，所述橡胶环16底端贯通连接有导流管17，所述导流管17与检测板3贯通连接；工作时，在通过进气管2向炉体1内充入气体时，部分气体会通过导流管17向着橡胶环16内部流动，从而使得橡胶环16进一步的膨胀，进一步的提高了气密性检测过程的准确性，需要说明的是导流管17内部应安装有单向阀以避免橡胶环16内部的气体逸出。
如图6所示，所述漂浮组件11包括海绵环18，海绵环18内部固定有空心弹囊19，所述空心弹囊19外部贯通连接有多个排液管20，所述排液管20内部安装有单向阀；工作时，在向炉体1内部进行充气时，炉体1内部的压强便会增大，需要说明的是空心弹囊19内部的压强为正常的大气压，如此增大的压强会对空心弹囊19进行挤压，从而使得空心弹囊19收缩，进而其内部存储的染色剂便会通过排液管20喷出，喷出的染色剂沾染在海绵环18上，这样海绵环18在向着孔隙运动并将其封堵时会同时对其染色，员工在后续查看的过程中很容易自炉体1的内壁处查看到缺陷处。
如图6所示，所述空心弹囊19内部固定有多个弹性绳21，所述弹性绳21远离空心弹囊19内壁的一端固定有敲击球22；工作时，在空心弹囊19运动的过程中，其内部的敲击球22会在惯性力的作用下发生晃动，从而相互碰撞发出警报音，提醒外部的工作员工，并且在敲击球22晃动的过程中，其会搅动空心弹囊19内部的染色剂使其更加匀化，保障染色效果。
如图6所示，所述海绵环18外部且靠近进气管2的一侧固定有多个毛绳23；工作时，毛绳23的设计可以使得海绵环18受到的气流作用力增大，同时又不会过多的增大海绵环18的质量，从而便于检测工作的进行。
实施例二
如图7所示，对比实施例一，其中本发明的另一种实施方式为：所述空心弹囊19底端固定有承接架24，所述承接架24与海绵环18贯通连接；工作时，在部分染色剂在流出至海绵环18后，会沿着海绵环18与空心弹囊19进行流动，而通过承接架24的设计可以对染色剂进行盛接，对其进行二次回收利用防止染色剂滴落。
工作原理：在使用时将检测板3卡接在炉体1上，随后通过进气管2向炉体1内注入足够量的气体，并保压一段时间，在保压的过程中，一旦炉体1的壳体存在密封不足的问题时，则此时炉体1内部的气体便会沿着这个孔隙逸出，从而使得炉体1内部的气体出现流动，在气体流动的过程中会产生压强，从而引动这个孔隙附近的漂浮组件11向着孔隙的方向运动，漂浮组件11运动从而拉动连接绳10运动，连接绳10运动从而带动滚动轮6进行转动，滚动轮6在转动的过程中会拉伸复位弹簧7使其形变后带动检测触点8运动，直至检测触点8与警报触点9相接触，当检测触点8与警报触点9相接触后外部的警报器便会接收到信号从而开始报警，如此便达到了可自动检测炉体1的气密性并自动报警的效果；
在滚动轮6带动检测触点8转动至与警报触点9接触后，警报触点9会对检测轮5施加一个推力，这个推力最终会带动检测轮5沿着摩擦环12进行转动，需要说明的是摩擦环12与检测轮5之间的摩擦力大于复位弹簧7的弹力，如此在报警之后漂浮组件11会继续运动直至空隙处，从而将空隙封堵住，此时炉体1内部恢复保压状态，从而对其余部位进行检测，如此便可达到了一次检测多点的效果；而在滚动轮6转动的过程中其会带动辅助滚轮13进行运动，辅助滚轮13运动可以辅助滚动轮6在检测轮5上进行滚动，这样便可有效的帮助检测触点8与警报触点9相互接触，便于发现空隙并进行报警工作的进行；而在滚动轮6转动的过程中，其会带动其内部的储液囊14进行运动，储液囊14运动从而其内部的配重球15会往复的滚动，在配重球15滚动的过程中其会对储液囊14进行拉伸，从而将储液囊14内部存储的润滑液挤出，挤出的润滑液进一步的降低了检测轮5与滚动轮6之间的摩擦力，从而提高设备报警的灵敏度；
在安装检测板3的过程中，可以向橡胶环16内部充入一定量的气体，从而使得橡胶环16膨胀，膨胀后的橡胶环16可以与炉体1的内壁更加贴合，提高了气密性检测的准确性；而在通过进气管2向炉体1内充入气体时，部分气体会通过导流管17向着橡胶环16内部流动，从而使得橡胶环16进一步的膨胀，进一步的提高了气密性检测过程的准确性，需要说明的是导流管17内部应安装有单向阀以避免橡胶环16内部的气体逸出；
在向炉体1内部进行充气时，炉体1内部的压强便会增大，需要说明的是空心弹囊19内部的压强为正常的大气压，如此增大的压强会对空心弹囊19进行挤压，从而使得空心弹囊19收缩，进而其内部存储的染色剂便会通过排液管20喷出，喷出的染色剂沾染在海绵环18上，这样海绵环18在向着孔隙运动并将其封堵时会同时对其染色，员工在后续查看的过程中很容易自炉体1的内壁处查看到缺陷处；在空心弹囊19运动的过程中，其内部的敲击球22会在惯性力的作用下发生晃动，从而相互碰撞发出警报音，提醒外部的工作员工，并且在敲击球22晃动的过程中，其会搅动空心弹囊19内部的染色剂使其更加匀化，保障染色效果；而毛绳23的设计可以使得海绵环18受到的气流作用力增大，同时又不会过多的增大海绵环18的质量，从而便于检测工作的进行；
在部分染色剂在流出至海绵环18后，会沿着海绵环18与空心弹囊19进行流动，而通过承接架24的设计可以对染色剂进行盛接，对其进行二次回收利用防止染色剂滴落。
上述前、后、左、右、上、下均以说明书附图中的图1为基准，按照人物观察视角为标准，装置面对观察者的一面定义为前，观察者左侧定义为左，依次类推。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (10)
1.一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，其特征在于：包括炉体（1），所述炉体（1）底端贯通连接有进气管（2），所述炉体（1）顶端安装有检测板（3），所述检测板（3）底面固定有多个安装架（4），所述安装架（4）内部安装有检测轮（5），所述检测轮（5）外部转动连接有滚动轮（6），所述检测轮（5）与滚动轮（6）之间固定有复位弹簧（7），所述滚动轮（6）内部且远离复位弹簧（7）的一侧固定有检测触点（8），所述检测轮（5）内部且靠近检测触点（8）的一侧固定有警报触点（9），所述检测触点（8）与警报触点（9）通过线路与外部的警报器信号连接，所述滚动轮（6）外部缠绕有连接绳（10），所述连接绳（10）远离滚动轮（6）的一端固定有漂浮组件（11），所述漂浮组件（11）用以在气流的流动下拉动连接绳（10）后进行飘动。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，其特征在于：所述安装架（4）与检测轮（5）之间设置有摩擦环（12），所述摩擦环（12）与安装架（4）固定连接，所述摩擦环（12）与检测轮（5）转动连接。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，其特征在于：所述滚动轮（6）内部且位于复位弹簧（7）与检测触点（8）之间转动连接有多个辅助滚轮（13）。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，其特征在于：所述滚动轮（6）内部且位于辅助滚轮（13）的外部固定有储液囊（14），所述储液囊（14）内部通过固定绳安装有多个配重球（15）。
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，其特征在于：所述检测板（3）内部固定有橡胶环（16），所述橡胶环（16）为空心状。
6.根据权利要求5所述的一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，其特征在于：所述橡胶环（16）底端贯通连接有导流管（17），所述导流管（17）与检测板（3）贯通连接。
7.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，其特征在于：所述漂浮组件（11）包括海绵环（18），海绵环（18）内部固定有空心弹囊（19），所述空心弹囊（19）外部贯通连接有多个排液管（20），所述排液管（20）内部安装有单向阀。
8.根据权利要求7所述的一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，其特征在于：所述空心弹囊（19）内部固定有多个弹性绳（21），所述弹性绳（21）远离空心弹囊（19）内壁的一端固定有敲击球（22）。
9.根据权利要求7所述的一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，其特征在于：所述海绵环（18）外部且靠近进气管（2）的一侧固定有多个毛绳（23）。
10.根据权利要求7所述的一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，其特征在于：所述空心弹囊（19）底端固定有承接架（24），所述承接架（24）与海绵环（18）贯通连接。
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2022
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