CN115058756B - 适用于3c电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及金属材料表面处理设备技术领域，具体涉及一种适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽。槽体的内部具有容纳电解液的腔体。双飞靶阳极组件横跨在腔体的上方。槽体的侧壁边沿上设置有对阳极组件的端部形成支撑的支座。夹具的固定端与阳极组件相连。夹具的压头与阳极组件的侧壁对工件形成快速牢固夹持。移动式阴极组件中的驱动装置驱动传动杆正转或者反转，在电化学和等离子体氧化反应的不同阶段改变阴极板与阳极工件产品之间的距离。结合射流管路的喷嘴向腔体内输送微纳米气泡，进一步对工件的表面进行冲击，提升了产品表面氧化涂层的均匀性和致密度，降低了综合能耗，实现了阳极氧化和微弧氧化工艺的大规模工业化生产应用。
Description
技术领域
本发明涉及金属材料表面处理设备技术领域，具体涉及一种适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽。
背景技术
微弧氧化工艺是一种简单、高效且环保的表面处理技术，广泛应用于汽车、航空航天以及医疗器械等领域。微弧氧化工艺通过电解液和相应参数的组合，在镁、铝、钛等有色金属及其合金表面利用弧光放电产生的瞬时高温高压作用，原位生长出以基体金属氧化物为主的陶瓷膜层。其中，微弧氧化过程可分为4个阶段：阳极氧化阶段、火花放电阶段、微弧氧化阶段和熄弧阶段。在微弧氧化阶段，随着时间的延长，样品表面细小密集的弧斑逐渐变得大而稀疏，同时，电压缓慢上升，电流逐渐下降并逐渐下降至零。弧点较密集的阶段，对氧化膜的生长有利，膜层的大部分在此阶段生成；弧点较稀疏的阶段，虽然，对氧化膜的生长贡献不大，但是，可以提高氧化膜的致密度并降低氧化膜的表面粗糙度。
然而，现有技术中对微弧氧化的成膜机理还没有一个统一的解释，微弧氧化成膜机理缺乏完美的理论模型。在“电子雪崩”模型中。电解液通电后，随着电压的升高，进入氧化膜的电子会被高压电场加速，电子与其他离子发生碰撞后又会电离出新的电子。这些生成的新电子会以同样的方式循环，产生更多的电子，这一过程就称为“电子雪崩”。大量的电子雪崩形成后，电子电流也随之明显增大，最终造成氧化膜绝缘性能的降低甚至破坏而引起电击穿。但是，这一理论也难以解释所有的微弧氧化过程。
经检索，中国专利文献CN103397364A中公开了一种铝硅合金表面陶瓷化处理方法及设备。其中，设备包括电解槽、冷却系统、电控系统。利用电容充放电原理，通过电控系统形成400V-600V 的高压电源，将该电压施加在与阳极电联通的铝硅合金工件上。铝硅合金工件表面浸于电解液中。冷却系统控制电解溶液温度在 10-50℃。在电压作用下铝硅合金工件表面发生电化学反应，形成陶瓷层。
虽然，利用上述设备能够在铝硅合金表面形成氧化陶瓷膜，进而提高合金表面的耐高温、耐磨性能，但是，上述设备难以保证工件表面形成的氧化膜的质量，进而难以保证工件整体的使用性能。
又如，中国专利文献CN108034977A中公开了一种适用于微弧氧化工艺的双飞靶氧化槽。该氧化槽包括氧化槽体。氧化槽体内沿长度方向布设有两个由高导电紫铜排固定的侧面阴极，氧化槽体内中部设有由高导电紫铜排固定的中置阴极。氧化槽体内沿宽度方向的一侧设有溢流槽。氧化槽体开口端平面边沿两侧宽度方向对称布置有四组铜座。对称设置的两个所述铜座分别与一个侧面阴极连接。
虽然，上述双飞靶氧化槽可适用于各类铝、镁、钛金属及其合金的微弧氧化工艺开发、小批量中试和大批量工业化生产，但是，在工业应用中，双飞靶氧化槽通过微弧氧化工艺在工件表面形成的氧化膜层的厚度和致密度，仍然难以满足需求。同时，处理效率低和耗电量大也是制约微弧氧化技术实施产业化应用的关键问题。
综上所述，在3C电子产品实施氧化工艺的过程中，如何设计一种氧化槽，用以提高微弧氧化工艺的处理效率，提升3C产品表面氧化涂层的均匀性和致密度，降低表面处理的能耗，实现微弧氧化工艺的大规模工业生产应用，就成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明的目的在于，为3C电子产品实施氧化工艺的过程中，提供一种氧化槽，用以提高微弧氧化工艺的处理效率，提升3C产品表面氧化涂层的均匀性和致密度，降低表面处理的能耗，实现微弧氧化工艺的大规模工业生产应用。
为实现上述目的，本发明采用如下方案：提出一种适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽，包括槽体、阳极组件、移动式阴极组件和供工件装夹的夹具；
所述槽体的内部具有容纳电解液的腔体，所述阳极组件横跨在腔体的上方，所述槽体的侧壁上设置有对阳极组件的端部形成支撑的支座，所述阳极组件的两端均通过连接座与支座相连，所述夹具的固定端与阳极组件相连，所述夹具的压头与阳极组件的侧壁对工件形成夹持；
所述移动式阴极组件包括驱动装置、第一阴极板、第二阴极板和传动杆，所述驱动装置与槽体的顶部相连，所述驱动装置的输出端与传动杆相连，并驱动传动杆转动，所述传动杆垂直于阳极组件横跨腔体的方向布置，所述第一阴极板和第二阴极板均平行于阳极组件布置，所述阳极组件位于第一阴极板和第二阴极板之间，所述第一阴极板和第二阴极板均与传动杆相连，所述第一阴极板和第二阴极板随传动杆的转动，均沿着传动杆的轴向平移；
所述射流管路的输入端连接有循环泵，所述射流管路被置于腔体的底部，所述射流管路的管壁上设置有喷嘴，所述喷嘴的内部具有供在电解液形成微纳米气泡的通道；
其中，所述传动杆正转，所述第一阴极板和第二阴极板均向两者中部的阳极组件靠拢；所述传动杆反转，所述第一阴极板和第二阴极板均远离两者中部的阳极组件。
作为优选，阳极组件包括端部导电条和中间导电条，一对端部导电条通过中间导电条相连，端部导电条上设置有V形接头，V形接头嵌入在连接座中，端部导电条的表面和中间导电条的表面均涂覆有石墨涂层。如此设置，通过中间导电条连接端部导电条形成分段式阳极组件，便于根据槽体的尺寸大小，设计合适长度的阳极组件，V形接头用于提高阳极组件与连接座之间的导电接触稳定性，端部导电条的表面和中间导电条的表面涂覆的石墨涂层进一步提高了在酸碱使用环境中阳极组件的耐腐蚀能力，并大幅降低了接触电阻及打火烧蚀概率、提高了与具体产品挂具的接触导电能力，同时，增强了阳极组件的表面散热能力，有利于分散在中低频脉冲电场模式下因电流集肤效应而形成的热量。
作为优选，支座与连接座之间设置有缓冲垫片，缓冲垫片包括上垫板、下垫板和夹层，夹层连接上垫板和下垫板，上垫板与连接座的底部相连，下垫板与支座的顶部相连。如此设置，进一步提升了阳极组件与连接座之间的导电接触稳定性，有利于避免等离子体电源产生输出过程中的打火、电冲击问题。
作为优选，夹具为摆动夹，摆动夹包括压头、压臂、安装座和锁紧臂，安装座与阳极组件的侧壁相连，压臂的一端与压头相连，压臂的另一端与安装座铰接，锁紧臂与安装座铰接。如此设置，有利于实现3C电子产品的快速装夹，进而提高了生产效率，此外，摆动夹的压头增大了导电接触面积，避免了挂点打火、降低了挂具修复的频次，提高了生产稳定性和良品率。
作为优选，腔体的上方横跨有一对阳极组件，每一根阳极组件均对应设置有一组移动式阴极组件。如此设置，形成了四阴极结构，缩短了阴极板与阳极工件产品之间的距离，有利于反应初期快速成膜，并会增强反应中后期3C产品表面氧化涂层的均匀性，降低生产能耗。
作为优选，槽体的顶部设置有挂架，挂架与槽体的侧壁相连。如此设置，挂架用于与外部吊装设备相连，提升了槽体吊装转运的便捷性。
作为优选，槽体的外壁上间隔设置有多层加筋框，加筋框由方形钢管焊接形成。如此设置，进一步提高了槽体的结构强度。
作为优选，腔体内沿宽度方向的一侧设置有高度可调的溢流槽，溢流槽的槽口处设置有由多孔PP板构成的拆卸式滤网，拆卸式滤网嵌入在溢流槽的槽口处，溢流槽的出口通过管路与循环泵相连。如此设置，溢流槽用于收集从腔体中溢出的电解液，温度高的电解液通过拆卸式滤网过滤后，通过循环泵，经板式换热器中的热量交换，再经射流管路从腔体的底部返回槽体中，形成电解液的冷却循环回路。
作为优选，射流管路在腔体的底部呈蛇形排布，喷嘴沿着射流管路的延伸路径呈等间距排布，喷嘴内的通道为文丘里管结构。如此设置，文丘里管结构的喷嘴有利于在电解液中形成微纳米气泡，利用微纳米气泡溃灭形成的射流进一步对工件的表面进行冲击，进而提升了氧化涂层的均匀性和致密度。
作为优选，驱动装置为电机，传动杆为滚珠丝杆，电机的输出轴与滚珠丝杆的主动端相连，第一阴极板和第二阴极板均通过丝杆螺母与滚珠丝杆相连。
本发明提供的一种适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽使用时，将工件通过夹具装夹在阳极组件上，并放入腔体中，驱动装置驱动传动杆正转，进而传动杆带动第一阴极板和第二阴极板均向两者中部的阳极组件靠拢，缩短了阴极板与阳极工件产品之间的距离，有利于加速成膜，增强了3C电子产品表面氧化涂层的均匀性，节约了能耗。待工件表面的氧化膜层超过5微米后，根据检测到的等离子体电源信号，驱动装置驱动传动杆反转，进而带动第一阴极板和第二阴极板均远离两者中部的阳极组件，增大了阴极板与阳极工件产品之间的距离，提升了3C产品表面氧化涂层的均匀性。
本发明提供的一种适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽与现有技术相比，具有如下突出的实质性特点和显著进步：
1、该适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽通过设置多个横跨腔体的阳极组件，优化了槽体的内部结构，在腔体的内部形成多个微弧氧化工作区，提高了微弧氧化工艺的处理效率，同时，利用移动式阴极组件中的驱动装置驱动传动杆顺序或渐进正转、反转，在电化学和等离子体反应的不同阶段改变阴极板与阳极工件产品之间的距离，大大提升了3C电子产品表面氧化涂层的均匀性和致密度，降低了表面处理的综合能耗，实现了阳极氧化以及微弧氧化工艺的大规模工业化生产应用；
2、该适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽利用腔体底部布置的射流管路，经喷嘴向腔体内输送微纳米气泡，微纳米气泡在工件的表面附近溃灭形成射流，进一步对工件的表面进行冲击，进而提升了氧化涂层的均匀性和致密度，同时，微纳米气泡溃灭产生的局部高能为工件表面提供了除电场能量外的能量源，有助于降低氧化工艺中所需要的电场能量，进一步降低了表面处理的综合能耗。
附图说明
图1是本发明实施例中一种适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽的主视图；
图2是图1的俯视图；
图3是图1的左视图；
图4是阳极组件与槽体的装配结构示意图；
图5是图4中A处的局部放大示意图；
图6是摆动夹的立体结构示意图；
图7是缓冲垫片的立体结构示意图；
图8是射流管路的立体结构示意图。
附图标记：槽体1、阳极组件2、支座3、连接座4、挂架5、摆动夹6、工件7、移动式阴极组件8、缓冲垫片9、射流管路10、喷嘴11、端部导电条21、中间导电条22、V形接头23、压头61、安装座62、锁紧臂63、电机81、第一阴极板82、第二阴极板83、传动杆84、上垫板91、下垫板92、夹层93。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式进行详细描述。
如图1-7所示的一种适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽，用以在3C电子产品实施氧化工艺的过程中，提高微弧氧化工艺的处理效率，实现微弧氧化工艺的大规模工业生产应用。该双飞靶氧化槽通过设置多个横跨腔体的阳极组件，优化了槽体的内部结构，在腔体的内部形成多个微弧氧化工作区，提高了微弧氧化工艺的处理效率。同时，该双飞靶氧化槽利用移动式阴极组件中的驱动装置驱动传动杆正转或者反转，在微弧氧化反应的不同阶段改变阴极板与阳极工件产品之间的距离，大大提升了3C产品表面氧化涂层的均匀性和致密度，降低了表面处理的能耗。
如图1所示，一种适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽包括槽体1、阳极组件2、移动式阴极组件8和供工件7装夹的夹具。槽体1的内部具有容纳电解液的腔体。结合图2所示，阳极组件2横跨在腔体的上方。槽体1的侧壁上设置有对阳极组件2的端部形成支撑的支座3。阳极组件2的两端均通过连接座4与支座3相连。夹具的固定端与阳极组件2相连。夹具的压头61与阳极组件2的侧壁对工件7形成夹持。
如图3所示，移动式阴极组件8包括驱动装置、第一阴极板82、第二阴极板83和传动杆84。驱动装置与槽体1的顶部相连。驱动装置的输出端与传动杆84相连，并驱动传动杆84转动。传动杆84垂直于阳极组件2横跨腔体的方向布置。第一阴极板82和第二阴极板83均平行于阳极组件2布置。阳极组件2位于第一阴极板82和第二阴极板83之间。第一阴极板82和第二阴极板83均与传动杆84相连。第一阴极板82和第二阴极板83随传动杆84的转动，均沿着传动杆84的轴向平移。
如图2所示，射流管路10的输入端连接有循环泵。射流管路10被置于腔体的底部。射流管路10的管壁上设置有喷嘴11。喷嘴11的内部具有供在电解液形成微纳米气泡的通道。微纳米气泡具有比表面积大、水中上升速度慢、气体溶解率高、传质效率高、负电荷性高等一系列不同于常规气泡的特性。微纳米气泡溃灭时可产生指向工件表面的压力大于50MPa、速度大于400KM/H的冲击波和微射流，已广泛应用于废水废气处理、清洗、水产及美容等领域。
其中，传动杆84正转，第一阴极板82和第二阴极板83均向两者中部的阳极组件2靠拢；传动杆84反转，第一阴极板82和第二阴极板83均远离两者中部的阳极组件2。
例如，驱动装置为电机81。传动杆84为滚珠丝杆。电机81的输出轴与滚珠丝杆的主动端相连。第一阴极板82和第二阴极板83均通过丝杆螺母与滚珠丝杆相连。
为了进一步便于节能型双飞靶氧化槽在处理特大型工件中的应用，双飞靶之间通过不锈钢导电连接或者通过电木板绝缘连接。例如，在处理特大型军舰用部件时，由于产品部件面积太大，如果挂在飞靶上全部浸没下去，电源的功率难以满足加工需求。如此一来，只能采用分段加工的方式，即行车将产品部件悬吊在半空中，将部分产品部件浸没在氧化槽中。此时，电源输出线在槽体边沿的V型座，容易对行车驱动机构带来串电、打火等危险。双飞靶之间采用电木板绝缘连接的方式能够避免上述危险，使得双飞靶与行车的挂钩之间形成绝缘连接。
如图1所示，槽体1的外壁上间隔设置有多层加筋框。加筋框由方形钢管焊接形成。如此设置，进一步提高了槽体1的结构强度。
如图8所示，射流管路10在腔体的底部呈蛇形排布。喷嘴11沿着射流管路的延伸路径呈等间距排布。喷嘴11内的通道为文丘里管结构。如此设置，文丘里管结构的喷嘴有利于在电解液中形成微纳米气泡，利用微纳米气泡溃灭形成的射流进一步对工件的表面进行冲击，进而提升了氧化涂层的均匀性和致密度。
其中，文丘里管结构包括依次连接的入口段、收缩段、喉道和扩散段。入口段与射流管路10的管壁相连。从循环泵输入的电解液经喷嘴中的文丘里管结构进一步提升了射流速度。为了进一步提高微纳米气泡产生的效率，在射流管路10 的输入端设置有供气回路。供气回路包括通过气管依次连接的压缩机、储气罐、减压阀和气体流量计。气体流量计与射流管路10 的输入端的气管上设置有开关阀门。开关阀门的启闭用于控制是否向射流管路10接入供气管路。
本发明实施例中提供的一种适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽使用时，将工件7通过夹具装夹在阳极组件2上，并放入腔体中，驱动装置驱动传动杆84正转，进而传动杆84带动第一阴极板82和第二阴极板83均向两者中部的阳极组件2靠拢，缩短了阴极板与阳极工件产品之间的距离，有利于加速成膜，增强了3C产品表面氧化涂层的均匀性，节约了能耗。待工件7表面的氧化膜层超过5微米后，根据检测到的等离子体电源信号，驱动装置驱动传动杆84反转，进而带动第一阴极板82和第二阴极板83均远离两者中部的阳极组件2，增大了阴极板与阳极工件产品之间的距离，提升了3C产品表面氧化涂层的均匀性。
该适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽利用腔体底部布置的射流管路，经喷嘴向腔体内输送微纳米气泡，微纳米气泡在工件的表面附近溃灭形成射流，进一步对工件的表面进行冲击，进而提升了氧化涂层的均匀性和致密度，同时，微纳米气泡溃灭产生的局部高能为工件表面提供了除电场能量外的能量源，有助于降低氧化工艺中所需要的电场能量，进一步降低了表面处理的综合能耗。
如图2所示，腔体的上方横跨有一对阳极组件2。每一根阳极组件2均对应设置有一组移动式阴极组件8。如此设置，形成了四阴极结构，缩短了阴极板与阳极工件7产品之间的距离，有利于加速成膜，增强3C产品表面氧化涂层的均匀性，节约了能耗。
如图3所示，槽体1的顶部设置有挂架5。挂架5与槽体1的侧壁相连。如此设置，挂架5用于与外部吊装设备相连，提升了槽体1吊装转运的便捷性。
如图4所示，阳极组件2包括端部导电条21和中间导电条22。一对端部导电条21通过中间导电条22相连。端部导电条21上设置有V形接头23。V形接头23嵌入在连接座4中。端部导电条21的表面和中间导电条22的表面均涂覆有石墨涂层。如此设置，通过中间导电条22连接端部导电条21形成分段式阳极组件2，便于根据槽体1的尺寸大小，设计合适长度的阳极组件2。
V形接头23用于提高阳极组件2与连接座4之间的导电接触稳定性。端部导电条21的表面和中间导电条22的表面涂覆的石墨涂层进一步提高了在酸碱使用环境中阳极组件2的耐腐蚀能力，并大幅降低了接触电阻、提高了与具体产品挂具的接触导电能力。同时，石墨涂层增强了阳极组件2的表面散热能力，有利于分散在脉冲电场模式下因电流集肤效应而形成的热量。
其中，端部导电条21和中间导电条22均选用铝排或者铜管包覆铝排制成。石墨涂层可采用PVD工艺进行制备。石墨涂层的厚度为1微米-10微米。
如图5所示，支座3与连接座4之间设置有缓冲垫片9。结合图7所示，缓冲垫片9包括上垫板91、下垫板92和夹层93。夹层93连接上垫板91和下垫板92。上垫板91与连接座4的底部相连。下垫板92与支座3的顶部相连。如此设置，进一步提升了阳极组件2与连接座4之间的导电接触稳定性，有利于避免等离子体电源产生输出过程中的打火、电冲击问题。
如图6所示，夹具为摆动夹6。摆动夹6包括压头61、压臂、安装座62和锁紧臂63。安装座62与阳极组件2的侧壁相连。压臂的一端与压头61相连。压臂的另一端与安装座62铰接。锁紧臂63与安装座62铰接。如此设置，有利于实现3C电子产品的快速装夹，进而提高了生产效率。此外，摆动夹6的压头61增大了导电接触面积，避免了挂点打火、降低了挂具修复的频次，提高了生产稳定性和良品率。
本发明实施例中的双飞靶氧化槽的制作步骤如下：
步骤1：焊接槽体雏形、并进行槽外补强
以20mm厚优质增强PP板为主材料，通过增压连续塑料焊工艺焊接出槽体雏形，尺寸为3000×1100×1300mm（L*W*H，内尺寸）；槽体外包多层高强度50×70×3mm方形钢管焊接加筋框进行精密尺寸槽外补强并于多层方形高强度钢管外表面披覆光洁5mm厚PP板薄层进行美观化和防腐蚀处理。
步骤2：阴极板、溢流槽的制作
槽体内部长度方向两侧均布置有由高导电紫铜排（规格为80×8mm）固定的八块高品质316L不锈钢板（规格为900×150×2mm）作为阴极板。槽体内部宽度方向一侧设置有溢流槽（宽度150mm）。溢流槽的槽口处设置有厚度20mm多孔PP板做成的小口径、多孔、可拆卸滤网。PP板多孔滤网上方可加装过滤型纱布。如此设置，溢流槽用于收集从腔体中溢出的电解液，温度高的电解液通过拆卸式滤网过滤后，通过循环泵，经板式换热器中的热量交换，再经射流管路从腔体的底部返回槽体中，形成电解液的冷却循环回路。拆卸式滤网用于对溢出的电解液形成过滤。
步骤3：槽体上双飞靶制作
槽体上部平面边沿两侧宽度方向对称布置有四组V型可含水冷功能的（其中单侧两组铜座外侧有连接微弧氧化电源正极输出线缆的安装孔），铜座与两组高导电紫铜排阳极构成的双飞靶四脚反V型插头之间良好导电固定之用。
步骤4：槽体底部及侧面排水、冷却热交换和鼓气搅拌管路系统制作
槽体底部平面略微向排水侧焊接成小角度倾斜（倾角5o），以利于槽液的完全排放；氧化槽体1底部含有对称分布鼓气搅拌功能的PPR管路（槽体外部含可调整鼓气流量的阀门一只）和供槽液冷却的回流均分管路；槽体的溢流槽所在侧外平面下方设置有排放阀、槽液冷却热交换送出的回流阀门一套；此外槽体内部布置有纯水自动供给或补充管路。如此设置，PPR管路的鼓气搅拌有利于在电解液中形成微纳米气泡，利用微纳米气泡溃灭形成的射流进一步对工件的表面进行冲击，进而提升了氧化涂层的均匀性和致密度。
步骤5：各种工艺在线监测传感器的安装
槽体可选装带有输出模块的温度计、PH计、电导率仪、比重计、液位检测仪、计数器等传感器以实现微弧氧化工艺的实时、在线数字化监控和批量化生产的大数据管理。
步骤6：槽体各种功能的分步调试
本实施例节能环保型双飞靶氧化槽在批量处理14寸镁合金笔记本壳体时，单批次挂件数量可提高至48pcs。
本发明不局限于上述实施例所述的具体技术方案，除上述实施例外，本发明还可以有其他实施方式。对于本领域的技术人员来说，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等形成的技术方案，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽，其特征在于，包括槽体、阳极组件、移动式阴极组件、供工件装夹的夹具和射流管路；
所述槽体的内部具有容纳电解液的腔体，所述阳极组件横跨在腔体的上方，所述槽体的侧壁上设置有对阳极组件的端部形成支撑的支座，所述阳极组件的两端均通过连接座与支座相连，所述夹具的固定端与阳极组件相连，所述夹具的压头与阳极组件的侧壁对工件形成夹持；
所述移动式阴极组件包括驱动装置、第一阴极板、第二阴极板和传动杆，所述驱动装置与槽体的顶部相连，所述驱动装置的输出端与传动杆相连，并驱动传动杆转动，所述传动杆垂直于阳极组件横跨腔体的方向布置，所述第一阴极板和第二阴极板均平行于阳极组件布置，所述阳极组件位于第一阴极板和第二阴极板之间，所述第一阴极板和第二阴极板均与传动杆相连，所述第一阴极板和第二阴极板随传动杆的转动，均沿着传动杆的轴向平移；
所述射流管路的输入端连接有循环泵，所述射流管路被置于腔体的底部，所述射流管路的管壁上设置有喷嘴，所述喷嘴的内部具有供在电解液形成微纳米气泡的通道；
其中，所述传动杆正转，所述第一阴极板和第二阴极板均向两者中部的阳极组件靠拢；所述传动杆反转，所述第一阴极板和第二阴极板均远离两者中部的阳极组件。
2.根据权利要求1所述的适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽，其特征在于，所述阳极组件包括端部导电条和中间导电条，一对端部导电条通过中间导电条相连，所述端部导电条上设置有V形接头，所述V形接头嵌入在连接座中，所述端部导电条的表面和中间导电条的表面均涂覆有石墨涂层，所述石墨涂层的厚度为1微米-10微米。
3.根据权利要求1或2所述的适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽，其特征在于，所述支座与连接座之间设置有缓冲垫片，所述缓冲垫片包括上垫板、下垫板和夹层，所述夹层连接上垫板和下垫板，所述上垫板与连接座的底部相连，所述下垫板与支座的顶部相连。
4.根据权利要求3所述的适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽，其特征在于，所述夹具为摆动夹，所述摆动夹包括压头、压臂、安装座和锁紧臂，所述安装座与阳极组件的侧壁相连，所述压臂的一端与压头相连，所述压臂的另一端与安装座铰接，所述锁紧臂与安装座铰接。
5.根据权利要求1所述的适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽，其特征在于，所述腔体的上方横跨有一对阳极组件，每一根阳极组件均对应设置有一组移动式阴极组件。
6.根据权利要求1所述的适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽，其特征在于，所述槽体的顶部设置有挂架，所述挂架与槽体的侧壁相连。
7.根据权利要求1所述的适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽，其特征在于，所述槽体的外壁上间隔设置有多层加筋框，所述加筋框由方形钢管焊接形成。
8.根据权利要求1所述的适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽，其特征在于，所述腔体内沿宽度方向的一侧设置有溢流槽，所述溢流槽的槽口处设置有由多孔PP板构成的拆卸式滤网，所述拆卸式滤网嵌入在溢流槽的槽口处，所述溢流槽的出口通过管路与循环泵相连。
9.根据权利要求1所述的适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽，其特征在于，所述射流管路在腔体的底部呈蛇形排布，所述喷嘴沿着射流管路的延伸路径呈等间距排布，所述喷嘴内的通道为文丘里管结构。
10.根据权利要求1所述的适用于3C电子产品氧化工艺的节能型双飞靶氧化槽，其特征在于，所述驱动装置为电机，所述传动杆为滚珠丝杆，所述电机的输出轴与滚珠丝杆的主动端相连，所述第一阴极板和第二阴极板均通过丝杆螺母与滚珠丝杆相连。
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