CN115014683A - 基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，包括三维振动平台及其匹配的X轴向振动台、Y轴向振动台和Z轴向振动台，其特征是：各个振动台与所述三维振动平台通过磁悬浮解耦装置连接，所述磁浮解耦装置包括至少一对同极相对的磁体，两个磁体通过各自匹配的安装架分别与三维振动平台其中一安装面及该安装面所对应的振动台硬连接。本发明的X、Y、Z轴向解耦装置通过磁体之间产生的磁膜进行安装轴向振动传递及非安装轴向运动的润滑导向，进而实现三分量运动解耦。磁膜覆盖的面积大，稳定，能够提供稳定均匀的支撑力。此外，磁悬浮解耦装置容易实现精密加工及装配，可以保证对三个轴向振动的精确传递及润滑导向。

Description

基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台

技术领域

本发明涉及一种基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台。

背景技术

目前针对三维测振传感器的校准多采用单维振动校准系统对三测量轴依次进行，而这种方法耗时较长、数据处理复杂，同时考虑到该方法采用单轴向振动台对待校准传感器进行单轴向振动激励，较难得到反映三维测振传感器各维间相互耦合关系的灵敏度矩阵。因此，研制出可对三维测振传感器三轴向同时激振的三分量标准振动台，对测振传感器校准技术的发展及相应行业技术的进步都具有重要的理论和实际意义。

中国专利 201110207297.5公开了一种基于锁扣式解耦装置的三分量标准振动台，包括底座，X轴向振动台，Y轴向振动台，Z轴向振动台和三维振动平台，每个振动台均通过运动解耦装置与三维振动平台连接；运动解耦装置包括第一边框和第二边框，第一边框和第二边框相互扣合，第一边框和第二边框均由外边、内边、外边与内边之间的第一连接侧边和第二连接侧边组成，边框的外边与内边相对，边框的内边插入另一个边框内；第一边框的内边中设有气流通道和与气流通道连通的通气孔，通气孔与外界连通；第一边框的内边与第二边框的内边和外边之间均有微小间隙，微小间隙形成第一边框内边的气浮导轨；第二边框的内边与第一边框的外边之间设有防止第二边框与第一边框外边接触的间隔；气流通道与外部压缩空气源连通；第一边框的外边与振动台连接，第二边框的外边与三维振动平台连接。该三分量标准振动台采用锁扣式结构及静压气浮支承实现力的传递，来解决三分量运动解耦的问题。

该三分量标准振动台的缺点在于：1、振动台往复振动时均需要通过锁扣式结构拉动三维振动平台，锁扣式结构容易出现形变，振动台的负担大。

2、通过在振动台上固定第一边框，在三维振动平台上固定第二边框，第一边框和第二边框相互扣合形成锁扣式结构，存在第一边框和第二边框的安装精度要求高，第一边框和第二边框之间的气膜面积有限，且第二边框的存在增大了三维振动平台的质量。

3、易受三分量标准振动台中运动解耦装置气膜刚度不稳定、弹性回复装置非线性等因素影响，从而使三维振动平台不能实时、准确跟随各轴向振动台输出振动激励信号，影响三分量标准振动台输出振动信号精度。

4、采用基于小孔节流的静压气浮技术，小孔节流方式通常在节流孔出口处设计气腔以提高承载能力，然而，气腔的存在不可避免的使静压气浮系统在特定频率段产生“气锤”振动现象，降低了静压气浮系统的支撑稳定性及上限使用频率，此外，受限于节流小孔尺寸及加工精度，很难保证每个节流孔之间承载能力的均匀性，从而使被支撑的振动台运动部件产生倾斜及旋转，对三分量振动台运动解耦产生影响。

中国专利201510018711.6公开了一种基于静压气浮解耦装置的三分量标准振动台，包括底座，底座上设有X轴向振动台和X轴向回复装置，Y轴向振动台和Y轴向回复装置，Z轴向振动台和三维振动平台；X、Y轴向振动台隔着三维振动平台分别与对应的X、Y轴向回复装置相对，X、Y轴向振动台分别与各自的振动台侧静压气浮板固定，X、Y轴向回复装置分别由各自的复位弹簧和弹簧侧静压气浮板组成，振动台侧静压气浮板和弹簧侧静压气浮板分别由各自的基板和均布于基板上的多个多孔质节流件组成，基板中设有与多孔质节流件连通的气流通道。Z轴向气浮解耦装置由第一连接板、第二连接板、调整垫、Z轴静压气浮板组成；调整垫位于第一连接板和第二连接板之间，第一连接板、第二连接板和调整垫刚性连接围成气浮腔，Z轴静压气浮板放置于气浮腔中；三维振动平台经过第二连接板上的缺口与Z轴静压气浮板固定；第一连接板和第二连接板上分别设有各自的气流通道和多孔质节流件，每个连接板的气流通道与多孔质节流件连通。

该三分量标准振动台缺点在于：1、需要外接外部压缩空气源，从而会增加整个装置的空间和安装难度。

2、易受回复装置中的空气弹簧的非线性因素的影响，使三维振动平台不能实时准确跟随各轴向振动台输出振动激励信号，影响三分量标准振动台输出信号精度。

中国专利201510019591.1公开了一种基于推挽式气浮解耦装置的三分量标准振动台，包括底座和设置于底座上的一对 X轴向振动台，一对Y轴向振动台，一个Z轴向振动台和三维振动平台，两个X轴向振动台对称设置于三维振动平台两侧，两个Y轴向振动台对称设置于三维振动平台两侧，X轴向振动台与Y轴向振动台的运动方向正交；每个振动台分别通过各自的运动解耦装置与三维振动平台连接，运动解耦装置一端与对应的振动台固定连接，另一端与三维振动平台之间具有能够形成气膜的间隙；两个X轴向振动台的振动方向和振动频率相同；两个Y轴向振动台的振动方向和振动频率相同。X、Y轴的运动解耦装置包括各自的气浮导轨，均布于气浮导轨上的节流气孔和设置于气浮导轨中、连接节流气孔和气源的气流通道。Z轴的运动解耦装置包括基体和气浮板，基体中有气浮腔，气浮板放置于气浮腔中并与气浮腔间隙配合；气浮板上固定有连接杆，连接杆与三维振动平台固定；气浮板上均布有形成气浮板上表面的上气膜的上节流气孔和形成气浮板下表面的下气膜的下节流气孔；气浮板上设有与气源连通的供气通道，基体上设有气源接口。

该三分量标准振动台缺点在于：1、需要外接外部压缩空气源，从而会增加整个装置的空间和安装难度。

2、采用小孔节流的静压气浮技术，小孔节流方式通常在节流孔出口处设计气腔以提高承载能力，但是气腔的存在会使静压气浮系统在特定频率段产生“气锤”振动现象，降低了静压气浮系统的支撑稳定性及上限使用频率，此外，受限于节流孔的尺寸和加工精度，很难保证每个节流孔之间承载能力的均匀性，从而对三分量振动台运动解耦产生影响。

中国专利201510019692.9公开了一种基于簧片式解耦结构的三分量标准振动台，包括底座和设置于底座上的X轴向振动台、Y轴向振动台和Z轴向振动台，X轴向振动台、Y轴向振动台和Z轴向振动台分别通过对应的轴向解耦装置与三维振动平台连接。X、Y、Z轴向解耦装置分别由各自串联的两级簧片支撑单元组成，两级簧片支撑单元正交，每个簧片支撑单元包括平行设置的一对簧片，分别位于簧片两端的第一连接组件和第二连接组件；第一连接组件位于靠近振动台的一端，第二连接组件位于靠近三维振动平台的一端。

该三分量标准振动台的缺点在于：1、三维振动平台的X、Y轴向振动过程中，仅有一个振动台驱动三维振动平台，对振动台的驱动能力要求高。

2、采用厚度较小的柔性簧片结构，承载能力小，且自身固有频率低，所能适用的频率范围小。

3、受簧片结构强柔性且厚度较小的影响，用于运动解耦的两级簧片支撑单元很难保证足够的加工及装配精度，导致各轴向解耦结构与三维振动平台及各轴向单轴振动台之间的连接及装配精度也很难保证，进而影响三分量标准振动台输出信号的精度。

发明内容

为克服上述四种三分量标准振动台的解耦装置的缺点，本发明提供了一种无需外接压缩空气源，能够提供均匀、稳定及准确支撑的基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台。

本发明采用如下技术方案：一种基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，包括三维振动平台及其匹配的X轴向振动台、Y轴向振动台和Z轴向振动台，其特征是：各个振动台与所述三维振动平台通过磁悬浮解耦装置连接，所述磁浮解耦装置包括至少一对同极相对的磁体，两个磁体通过各自匹配的安装架分别与三维振动平台其中一安装面及该安装面所对应的振动台硬连接。

所述的基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征是：所述磁悬浮解耦装置包括单式磁悬浮解耦装置，所述单式磁浮解耦装置包括同极相对的第一磁体和第二磁体，其中，第一磁体匹配有固定座，所述固定座包括方形筒体和四个固定块，四个固定块分别安装于方形筒体朝向第一磁体一侧的四角，固定块固定安装于其所对应的三维振动平台一侧面，第一磁体被固定座的方形筒体、固定块和三维振动平台限位固定；方形筒体背向第一磁体一侧安装有密封盖；第二磁体匹配有第一夹具和连接杆，所述第一夹具朝向第二磁体一侧设置有与第二磁体外形匹配的卡爪，所述第一夹具背向第二磁体一侧与连接杆相连，连接杆一侧与所述第一夹具连接，另一侧固定于其所对应的振动台，所述密封盖开有连接杆过孔。

所述的基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征是：所述磁悬浮解耦装置为复式磁悬浮解耦装置，包括两组同极相对的磁体，分别为同极相对的第一磁体和第二磁体，同极相对的第三磁体和第四磁体，其中，第一磁体和第三磁体匹配有连接壳和固定座，连接壳包括方形筒体和八个固定块，方形筒体两侧四角位置分别安装一固定块，朝向三维振动平台一侧的固定块与三维振动平台固定连接，第一磁体被连接壳的方形筒体、朝向三维振动平台一侧的固定块和三维振动平台限位固定；固定座设置于连接壳外侧，包括方形筒体和四个固定块，四个固定块分别固定于方形筒体朝向连接壳一侧的四角上，方形筒体背向三维振动平台一侧安装有密封盖，第三磁体被连接壳的方形筒体、背向三维振动平台的四个固定块、固定座的方形筒体和四个固定块限位固定；第二磁体和第四磁体匹配有第二夹具和连接杆，所述第二夹具朝向三维振动平台一侧设置有与第二磁体外形匹配的卡爪、背向三维振动平台一侧设置有与第四磁体外形匹配的卡爪，所述第二夹具背向三维振动平台一侧与连接杆相连，连接杆一侧与所述第一夹具连接，另一侧固定于其所对应的振动台；第三磁体、第四磁体、密封盖均开有连接杆过孔。

所述的基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征是：所述磁悬浮解耦装置还包括复式磁悬浮解耦装置，包括两组同极相对的磁体，分别为同极相对的第一磁体和第二磁体，同极相对的第三磁体和第四磁体，其中，第一磁体和第三磁体匹配有连接壳和固定座，连接壳包括方形筒体和八个固定块，方形筒体两侧四角位置分别安装一固定块，朝向三维振动平台一侧的固定块与三维振动平台固定连接，第一磁体被连接壳的方形筒体、固定于朝向三维振动平台一侧的固定块和三维振动平台限位固定；固定座设置于连接壳外侧，包括方形筒体和四个固定块，四个固定块分别固定于方形筒体朝向连接壳一侧的四角上，方形筒体背向三维振动平台一侧安装有密封盖，第三磁体被连接壳的方形筒体、背向三维振动平台的四个固定块、固定座的方形筒体和四个固定块限位固定；第二磁体和第四磁体匹配有第二夹具和连接杆，所述第二夹具朝向三维振动平台一侧设置有与第二磁体外形匹配的卡爪、背向三维振动平台一侧设置有与第四磁体外形匹配的卡爪，所述第二夹具背向三维振动平台一侧与连接杆相连，连接杆一侧与所述第一夹具连接，另一侧固定于其所对应的振动台；第三磁体、第四磁体、密封盖均开有连接杆过孔。

所述的基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征是：所述密封盖包括盖体和盖体中部的轴套，所述盖体、轴套均由橡胶制成。

所述的基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征是：所述第一夹具采用非导磁材料制成。

所述的基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征是：所述第二夹具采用非导磁材料制成。

所述的基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征是：所述X轴向振动台、Y轴向振动台均为相对设置的一对振动台，每台振动台均匹配单式磁悬浮解耦装置，所述Z轴向振动台匹配复式磁悬浮解耦装置。

所述的基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征是：所述X轴向振动台、Y轴向振动台、Z轴向振动台均匹配复式磁悬浮解耦装置。

本发明的优点在于：1、X、Y、Z轴向解耦装置通过磁体之间产生的磁膜进行安装轴向振动传递及非安装轴向运动的润滑导向，进而实现三分量运动解耦。磁膜覆盖的面积大，磁膜稳定，能够提供稳定均匀的支撑力，且支撑力大。此外，所述的磁悬浮解耦装置比较容易实现精密加工及装配，可以保证对三个轴向振动的精确传递及润滑导向。

2、各轴向解耦装置的密封盖通过螺栓固定在固定座的顶端，密封盖上的轴套是一种弹性密封结构，在保证了解耦装置的密封性的同时，在一个轴向解耦装置在传递振动时，其他两个轴向解耦装置的轴套会产生相应的弹性变形，轴套的弹性变形也会随着三维振动平台的移动而恢复，使得三个轴向振动传递过程中避免了非传递方向运动的干扰，可很好地完成三分量振动台输出三分量运动的解耦。

附图说明

图1为本发明实施例一基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台结构图；

图2为本发明实施例一单式磁悬浮解耦装置全剖视图；

图3为本发明实施例一第一磁体结构图；

图4为本发明实施例一第二磁体结构图；

图5为本发明实施例一第一夹具结构图；

图6为本发明实施例一连接杆结构图；

图7为本发明实施例一固定座结构图；

图8为本发明实施例一密封盖结构图；

图9为本发明实施例一复式磁悬浮解耦装置全剖视图；

图10为本发明实施例一复式磁悬浮解耦装置中第三磁体结构图；

图11为本发明实施例一复式磁悬浮解耦装置中第四磁体结构图；

图12为本发明实施例一连接壳结构图；

图13为本发明实施例一第二夹具结构图；

图14为本发明实施例二基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台结构图。

图中，1-底座，2-X轴向振动台，3-Y轴向振动台，4-Z轴向振动台，5-三维振动平台，6-单式磁悬浮解耦装置，61-第一磁体，62-第二磁体，63-第一夹具，64-连接杆，65-固定座，651-方形筒体，652-固定块，66-密封盖，661-盖体，662-轴套，7-复式磁悬浮解耦装置，71-连接壳，72-第二夹具，73-第三磁体，74-第四磁体。

具体实施方式

实施例一：

基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，如图1所示，包括底座1，底座1上设有沿X轴向振动的两台相对安装的X轴向振动台2，沿Y轴向振动的两台相对安装的Y轴向振动台3，沿Z轴向振动的Z轴向振动台4，和与五个振动台通过磁悬浮解耦装置连接的三维振动平台5。

磁悬浮解耦装置分为将X轴向振动台2、Y轴向振动台3与三维振动平台5连接的单式磁悬浮解耦装置6和将Z轴向振动台4与三维振动平台5连接的复式磁悬浮解耦装置7。如图2所示，以X轴向振动台2为例，X轴向运动解耦装置由第一磁体61、第二磁体62与非导磁材料制成的第一夹具63、连接杆64、固定座65和软橡胶制成的密封盖66组成。

如图3-图8所示，第一磁体61前后两端面分别为N极面和S极面，四周为四个侧面和相邻侧面之间的过渡弧面；第二磁体62前后两端面分别为N极面和S极面，四周为四个侧面。

第一夹具63包括一个十字框架，十字框架一端面设置四个装夹块，在该端面形成一卡爪，装夹块安装位置使卡爪尺寸与第二磁体62相匹配，十字框架另一端中心位置设置一截面为正方形的连接块。

连接杆64的一侧端面中心设置有截面为正方形的连接凹槽，连接凹槽的深度和截面尺寸与第一夹具63的连接块匹配，连接杆64的另一侧端面与X轴向振动台固定连接。

固定座65包括一个方形筒体651和四个固定块652，方形筒体、固定块为一体成型构件，四个固定块内侧面与第一磁体61的过渡弧面匹配。

密封盖66包括盖体661和设置于盖体中部的轴套662，盖体661外形与固定座65的方形筒体相匹配，盖体661周边均布螺钉安装孔，方形筒体端面对应螺钉安装孔位置设置螺钉孔，通过螺钉将密封盖固定安装于固定座端面。轴套662对应连接杆64，连接杆64穿设于轴套662中，起到密封以及防止其所在轴端的振动影响其他两个轴的振动传递。盖体661、轴套662为由橡胶制成的一体式构件。

如图2-图8所示，四个固定块安装于固定座65方形筒体朝向三维振动平台5的一侧的四角处，四个固定块固定安装于其所对应的三维振动平台5的一侧面，第一磁体61被固定座65的方形筒体、固定块和三维振动平台5限位固定，固定座65的方形筒体背向三维振动平台5一侧安装有密封盖66；第二磁体62安装于第一夹具63的卡爪中；第一磁体、第二磁体N极相对，第一磁体、第二磁体N极面之间形成厚度为20-30μm、刚度达到10⁶N/m至10⁷N/m的磁膜，该厚度与刚度的磁膜不但对三维振动平台起到磁悬浮支撑的作用，而且磁膜在振动传递中不易变形，振动传递性能良好，同时保证振动过程中两磁体不会接触，使振动完全通过磁力传递；与此同时，由于X轴向另一台振动台及与其连接的单式磁悬浮解耦装置6的作用，两个单式磁悬浮解耦装置共同作用实现沿X轴向支撑三维振动平台5及传递X轴向振动。Y轴向振动台同样匹配单式磁悬浮解耦装置，其结构、效果与X轴向振动台相同。

如图9所示，Z轴向振动台匹配复式磁悬浮解耦装置7，其在单式磁悬浮解耦装置6的基础上有如下改变：

如图9-图13所示，固定座65与三维振动平台5之间设置连接壳71，连接壳71包括方形筒体和八个固定块，方形筒体两侧四角位置分别安装一固定块，朝向三维振动平台5一侧的固定块与三维振动平台5固定连接，第一磁体61被连接壳71的方形筒体、朝向三维振动平台5一侧的固定块和三维振动平台5限位固定；固定座65设置于连接壳71外侧，固定座65的方形筒体背向三维振动平台5一侧安装有密封盖66，第三磁体73被连接壳71的方形筒体、背向三维振动平台的四个固定块、固定座的方形筒体和四个固定块限位固定；第二磁体62和第四磁体74匹配有第二夹具72和连接杆64，第二夹具72在第一夹具63结构基础上，十字框架两端面均设置四个装夹块，形成朝向三维振动平台5的卡爪和背向三维振动平台5的卡爪，朝向一侧的卡爪与第二磁体62外形匹配，背向三维振动平台5一侧的卡爪与第四磁体74外形匹配，第二磁体62、第四磁体74分别安装于对应的卡爪中。第三磁体73、第四磁体74开有连接杆过孔。第一磁体61、第二磁体62的N极面相对，第三磁体73、第四磁体74的N极面相对，从而形成两个具有合适刚度的磁膜，起到磁悬浮支撑作用。

本发明的工作过程为：X轴向振动台2、Y轴向振动台3、Z轴向振动台4处于静止状态，未输出振动时，由于安装时每对磁体的N极面都是相对的，同性面之间产生斥力，在水平方向的单式磁悬浮解耦装置每对永磁体形成的磁膜及Z轴向的复式磁悬浮解耦装置7两对磁体形成的两层磁膜的共同作用下，在X、Y、Z轴上均形成两层具有一定刚度的磁膜，对三维振动平台5产生挤压作用，用于实现在振动台输出振动时，将振动传递到三维振动平台5。

当某水平方向一个振动台产生振动时，振动传递到与该振动台通过杆连接的永磁体的N极面，由于与固定在三维振动平台5上的磁体的N极面相对会产生斥力，两个永磁体之间的磁膜将振动台的振动传递到三维振动平台5，同时，该轴向另一个振动台产生与该振动台相同方向的同步振动，也通过磁膜传递至三维振动平台5，相同方式可实现另一水平方向的振动台将振动传递到三维振动平台5；与此同时，在Z轴向运动解耦装置及其形成的两层磁膜的作用下，Z轴向振动台4将振动传递到三维振动平台5；由于每个解耦装置的密封盖保证了解耦装置的密封性，密封盖上的轴套在保证密封性的同时，会产生与另外两个轴向运动方向相同的弹性变形，对另外两个轴向运动产生的阻力小，起到导向润滑的作用，而且解耦装置中两个磁体之间形成的磁膜对相应轴向振动传递性能好，并对另外两个轴向运动产生的阻力也很小，很好地符合了运动解耦的要求，可实现三维振动平台5的三个运动轴向振动的解耦输出。

实施例二：

本实施例与实施例一的区别在于：如图14所示，X、Y、Z轴向的运动解耦装置均采用复式磁悬浮解耦装置，且X、Y轴向均采用单台振动台激励的方式。

Claims (9)

1.一种基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，包括三维振动平台及其匹配的X轴向振动台、Y轴向振动台和Z轴向振动台，其特征是：各个振动台与所述三维振动平台通过磁悬浮解耦装置连接，所述磁浮解耦装置包括至少一对同极相对的磁体，两个磁体通过各自匹配的安装架分别与三维振动平台其中一安装面及该安装面所对应的振动台硬连接。

2.根据权利要求1所述的基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征是：所述磁悬浮解耦装置包括单式磁悬浮解耦装置，所述单式磁浮解耦装置包括同极相对的第一磁体和第二磁体，其中，第一磁体匹配有固定座，所述固定座包括方形筒体和四个固定块，四个固定块分别安装于方形筒体朝向第一磁体一侧的四角，固定块固定安装于其所对应的三维振动平台一侧面，第一磁体被固定座的方形筒体、固定块和三维振动平台限位固定；方形筒体背向第一磁体一侧安装有密封盖；第二磁体匹配有第一夹具和连接杆，所述第一夹具朝向第二磁体一侧设置有与第二磁体外形匹配的卡爪，所述第一夹具背向第二磁体一侧与连接杆相连，连接杆一侧与所述第一夹具连接，另一侧固定于其所对应的振动台，所述密封盖开有连接杆过孔。

3.根据权利要求1所述的基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征是：所述磁悬浮解耦装置为复式磁悬浮解耦装置，包括两组同极相对的磁体，分别为同极相对的第一磁体和第二磁体，同极相对的第三磁体和第四磁体，其中，第一磁体和第三磁体匹配有连接壳和固定座，连接壳包括方形筒体和八个固定块，方形筒体两侧四角位置分别安装一固定块，朝向三维振动平台一侧的固定块与三维振动平台固定连接，第一磁体被连接壳的方形筒体、朝向三维振动平台一侧的固定块和三维振动平台限位固定；固定座设置于连接壳外侧，包括方形筒体和四个固定块，四个固定块分别固定于方形筒体朝向连接壳一侧的四角上，方形筒体背向三维振动平台一侧安装有密封盖，第三磁体被连接壳的方形筒体、背向三维振动平台的四个固定块、固定座的方形筒体和四个固定块限位固定；第二磁体和第四磁体匹配有第二夹具和连接杆，所述第二夹具朝向三维振动平台一侧设置有与第二磁体外形匹配的卡爪、背向三维振动平台一侧设置有与第四磁体外形匹配的卡爪，所述第二夹具背向三维振动平台一侧与连接杆相连，连接杆一侧与所述第一夹具连接，另一侧固定于其所对应的振动台；第三磁体、第四磁体、密封盖均开有连接杆过孔。

4.根据权利要求2所述的基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征是：所述磁悬浮解耦装置还包括复式磁悬浮解耦装置，包括两组同极相对的磁体，分别为同极相对的第一磁体和第二磁体，同极相对的第三磁体和第四磁体，其中，第一磁体和第三磁体匹配有连接壳和固定座，连接壳包括方形筒体和八个固定块，方形筒体两侧四角位置分别安装一固定块，朝向三维振动平台一侧的固定块与三维振动平台固定连接，第一磁体被连接壳的方形筒体、固定于朝向三维振动平台一侧的固定块和三维振动平台限位固定；固定座设置于连接壳外侧，包括方形筒体和四个固定块，四个固定块分别固定于方形筒体朝向连接壳一侧的四角上，方形筒体背向三维振动平台一侧安装有密封盖，第三磁体被连接壳的方形筒体、背向三维振动平台的四个固定块、固定座的方形筒体和四个固定块限位固定；第二磁体和第四磁体匹配有第二夹具和连接杆，所述第二夹具朝向三维振动平台一侧设置有与第二磁体外形匹配的卡爪、背向三维振动平台一侧设置有与第四磁体外形匹配的卡爪，所述第二夹具背向三维振动平台一侧与连接杆相连，连接杆一侧与所述第一夹具连接，另一侧固定于其所对应的振动台；第三磁体、第四磁体、密封盖均开有连接杆过孔。

5.根据权利要求2、3或4所述的基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征是：所述密封盖包括盖体和盖体中部的轴套，所述盖体、轴套均由橡胶制成。

6.根据权利要求2所述的一种基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征是：所述第一夹具采用非导磁材料制成。

7.根据权利要求3或4所述的基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征是：所述第二夹具采用非导磁材料制成。

8.根据权利要求4所述的基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征是：所述X轴向振动台、Y轴向振动台均为相对设置的一对振动台，每台振动台均匹配单式磁悬浮解耦装置，所述Z轴向振动台匹配复式磁悬浮解耦装置。

9.根据权利要求3所述的基于磁悬浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征是：所述X轴向振动台、Y轴向振动台、Z轴向振动台均匹配复式磁悬浮解耦装置。

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