CN115013338A - 一种前级真空泵系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种前级真空泵系统，其用于对连通到至少一个超高真空设备的缓冲腔抽真空，所述前级真空泵系统包括：真空泵；连接到缓冲腔的真空测量装置，其用于输出表示缓冲腔的压强的第一信号；连接到真空泵的可控开关组，其用于控制真空泵；以及控制电路，其包括控制信号生成单元和驱动放大单元，控制信号生成单元连接到真空测量装置，并通过驱动放大单元连接到可控开关组；其中控制信号生成单元根据第一信号将缓冲腔的压强维持在预定的范围内。本发明的前级真空泵系统实现了真空泵的自动启停，延长了使用寿命，降低了耗电量。

Description

一种前级真空泵系统

技术领域

本发明涉及超高真空条件领域，具体地说是一种能够根据压强自动控制运行状态的前级真空泵系统。

背景技术

超高真空系统往往连接有前级真空装置。前级真空系统中的核心的设备是前级泵，传统的前级泵只具有固定的运行或停泵状态，不具有根据前级真空装置的压强自动调节运行状态的能力。然而在实际应用中，与前级真空装置相连通的超高真空系统通常由其分子泵持续抽真空以维持超高真空，此时前级真空装置的真空度能够维持较长的时间，以满足分子泵正常运行的条件，所以并不需要前级真空装置长期运行。无论从超高真空系统的维持还是从节约能源、减小前级泵损耗、延长使用寿命的角度来看，前级泵长期处在工作模式都是不合理的。

发明内容

针对上述问题，本发明提供一种用于对缓冲腔抽真空的前级真空泵系统，所述缓冲腔连通到至少一个超高真空设备，所述前级真空泵系统包括：

真空泵；

连接到所述缓冲腔的真空测量装置，其用于输出表示所述缓冲腔的压强的第一信号；

连接到所述真空泵的可控开关组，其用于控制所述真空泵；以及

控制电路，其包括控制信号生成单元和驱动放大单元，所述控制信号生成单元连接到所述真空测量装置，并通过所述驱动放大单元连接到所述可控开关组；其中

所述控制信号生成单元根据所述第一信号生成相应的逻辑信号，通过所述驱动放大单元放大为相应的驱动信号并通过所述可控开关组控制所述真空泵，以根据所述第一信号将所述缓冲腔的压强维持在预定的范围内。

优选地，所述真空测量装置包括：

真空规，其用于获得表示所述缓冲腔的压强数值的第一电压值；以及

模数转换装置，其用于将所述第一电压值转换成数值的所述第一信号。

优选地，所述可控开关组包括第一可控开关，其用于控制所述真空泵的运行或停止；其中

当所述控制信号生成单元判断所述缓冲腔的压强大于第一压强阈值时，生成第一控制信号以通过第一可控开关使得所述真空泵运行。

优选地，当所述控制信号生成单元判断所述缓冲腔的压强数值小于等于第二压强阈值时，生成第二控制信号以通过第一可控开关使得所述真空泵停止，其中所述第二压强阈值小于所述第一压强阈值。

优选地，所述可控开关组还包括第二可控开关，其用于控制所述真空泵半速运行；其中

当所述控制信号生成单元判断所述缓冲腔的压强数值小于等于第三压强阈值时，生成第三控制信号以通过第二可控开关使得所述真空泵半速运行，其中所述第三压强阈值小于所述第一压强阈值。

优选地，所述前级真空泵系统还包括布置在所述缓冲腔和所述真空泵之间的阀门；以及所述可控开关组还包括第三可控开关，其还连接并控制所述阀门；其中

所述控制信号生成单元在生成第一控制信号后的第一预定时间生成第四控制信号以通过所述第三可控开关控制所述阀门开启。

优选地，所述控制信号生成单元在控制所述真空泵停止之前的第二预定时间先生成第五控制信号以通过所述第三可控开关控制所述阀门关闭。

优选地，还包括不间断电源模块，其用于向所述真空泵、所述真空测量装置、所述电磁阀和所述控制电路提供电力。

优选地，所述前级真空泵系统还包括远程通讯模块，所述远程通讯模块用于将前级真空泵系统的运行状态提供到与其无线或者有线连接的远程终端，或者从所述远程终端接收控制命令以控制所述真空泵或电磁阀的工作状态。

优选地，所述前级真空泵系统还包括对外提供视觉信号的警告装置。

本发明的前级真空泵系统根据其压强而自动控制其真空泵处于多个更加合理的运行状态，因此延长了前级真空泵的使用寿命并降低了耗电量，使用成本有效降低。

附图说明

以下参照附图对本发明实施例作进一步说明，其中：

图1示出了根据本发明的一个实施例的前级真空泵系统的示意图；

图2示出了图1所述的前级真空泵系统的电路结构；

图3是根据本发明的另一实施例的前级真空泵系统的电路结构；

图4是根据图3的前级真空泵系统的控制程序的流程图；

图5示出了根据本发明的另一个实施例中前级真空泵系统的示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图通过具体实施例对本发明进一步详细说明。

图1示出了根据本发明的一个实施例的前级真空泵系统的结构示意图。前级真空泵系统10包括控制电路11、真空计量装置12、可控开关部13、前级真空泵14、电磁阀15。其中前级真空泵14通过电磁阀15连接到缓冲腔16；此外图1还示出了与缓冲腔16连通的外部的第一高真空腔体18和第二高真空腔体19。

真空计量装置12包括真空规121和数字式真空计122。真空规121连通到缓冲腔16内，用于获取表示缓冲腔16的压强的电压信号并将其通过数字式真空计122转换为数值信号，并将该数值信号输出到控制电路11，控制电路11根据所接收的数值信号进行分析，并基于分析的结果来控制可控开关部13执行相应的分合闸操作。

可控开关部13中包括多个开关，所述多个开关分别连接到前级真空泵14或者电磁阀15的输入端，可控开关部13中的各个开关的分合闸操作可以使得前级真空泵14处于不同的运行状态或者使得电磁阀15打开或者闭合。

前级真空泵14通过电磁阀15连接到缓冲腔16，缓冲腔16具有壳体，并由壳体限定其内部封闭的空间，所述壳体上具有四个通孔部，用于分别密封地连接到电磁阀15、真空计量装置12中的真空规121、外部的第一高真空腔体18和第二高真空腔体19，其中前级真空泵14与外部的第一高真空腔体18和第二高真空腔体19通过手动阀门控制通断。

图2示出了图1所述的前级真空泵系统10的电路结构。真空规121根据缓冲腔16内的压强产生对应的第一模拟信号并输出；数字式真空计122用于执行模拟信号到数字信号的转换，其输入端接收该第一模拟信号，转换为第一数值信号并输出到控制电路11，该第一数值信号对应第一数值量。控制电路11用于执行控制过程，所述控制过程将所述第一数值量与预设的第一参考值R1或者第二参考值R2比较，根据比较结果输出开关驱动信号以控制可控开关部13中各个开关的开关状态(例如导通或断开)，其中当缓冲腔16内压强值高于第一压强阈值时，第一数值量大于第一参考值R1，当缓冲腔16内压强值小于第二压强阈值时第一数值量小于第二参考值R2，其中所述第一参考值R1大于所述第二参考值R2。

可控开关部13包括可控开关131、可控开关132、可控开关133和可控开关134；其中，可控开关131的两端连接到电磁阀15的两个输入端子之间，其中电磁阀15的两个输入端子之间的导通使得外部电源与电磁阀15导通并对其供电，电磁阀15启动并导通其两侧空间；电磁阀15的两个输入端子之间的断开使得外部电源停止为电磁阀15供电，电磁阀15闭合并阻断其两侧空间的连通。

可控开关132的两端连接到前级真空泵14的第一端子部141的两个输入端子，可控开关133的两端连接到前级真空泵14的第二端子部142的两个输入端子，可控开关134的两端连接到前级真空泵14的第三端子部143的两个输入端子。前级真空泵14还具有控制部140，所述第一端子部141、第二端子部142、第三端子部143的输出端分别连接到所述控制部140的输入端。

可控开关132的导通使得第一端子部141的两个输入端子之间导通，前级真空泵14处于正常运行状态；可控开关132断开状态下，前级真空泵14处于停止状态。

前级真空泵14处于运行状态且可控开关133导通状态下，第二端子部142的两个输入端子导通，前级真空泵14处于半速运行状态，其中上述半速运行状态的抽真空速率为上述正常运行状态下抽真空速率的一半；可控开关133断开状态下，前级真空泵14不执行操作。

前级真空泵14处于停止或故障状态且可控开关134导通状态下，第三端子部143的两个输入端子之间导通，前级真空泵14复位到正常运行状态；可控开关134断开状态下，前级真空泵14不执行操作。

下面结合图2说明前级真空泵系统10的工作原理。当前级真空泵系统1通电后，电磁阀处于关闭状态并隔离缓冲腔16与前级真空泵14，控制电路11执行控制过程。

当缓冲腔内压强值高于第一压强阈值时，控制电路11根据所述第一数值量大于第一参考值R1的判断结果输出第一驱动信号到可控开关132，使得所述可控开关132导通，因此前级真空泵14处于正常运行状态。经过第一预定时间段后，控制电路11输出第一驱动信号到可控开关131，电磁阀15导通并连同其两侧的缓冲腔16和前级真空泵14。因此缓冲腔16内的压强持续下降。

当前级真空泵系统10处于通电状态且缓冲腔内压强值小于第二压强阈值时，控制电路11根据所述第一数值量小于第二参考值R2的判断结果输出第二驱动信号到可控开关131，使得所述可控开关131断开，电磁阀阻断其两侧的缓冲腔16和前级真空泵14的连通。经过第二预定时间段后，控制电路11输出第二驱动信号到可控开关132，使得所述可控开关132断开，因此前级真空泵14处于停止状态。

在通电状态下，根据上述两种比较结果，控制电路11相应地执行上述两个过程之一直至外部操作人员操作该控制电路11停止。该控制过程的使得缓冲腔内压强值小于第一压强阈值，并且在缓冲腔内压强值从第二压强阈值上升到第一压强阈值的时间段内使得前级真空泵14处于停止状态。

当前级真空泵系统10由于其他故障而在通电状态下处于停止状态时，外部操作人员可以由控制电路11输出第一驱动信号到可控开关134，使得所述可控开关134导通，前级真空泵14复位到正常运行状态；或者输出第二驱动信号到可控开关131，使得所述可控开关131断开，因此电磁阀阻断其两侧的缓冲腔16和前级真空泵14的连通。

根据本发明的另一实施例，在检测到第一数值量大于第一参考值R1时，控制电路11使得前级真空泵14处于正常运行状态并打开电磁阀以对缓冲腔16抽真空；在检测到第一数值量小于第三参考值R3，控制电路11输出第三驱动信号到可控开关133使其导通，前级真空泵14被控制处于半速运行状态，其中第三参考值R3小于第一参考值R1，即R3对应的压强值小于第一压强阈值。因此可以在降低前级真空泵工作负荷的基础上维持较低的气压值，且确保更窄的腔内气压变化范围。

图3是根据本发明的另一实施例的前级真空泵系统20的电路部分示意图。其中，控制电路包括控制信号生成单元21和驱动放大装置213，其中控制信号生成单元21由控制终端211、模数信号收发装置212。

模数信号收发装置212具有第一输出端子2121、第二输出端子2122、第三输出端子2123和第四输出端子2124，以及第一输入端子2125和双向通信端子2126。其中，第一输入端子2125连接到数字式真空计213的输出端，数字式真空计213的输入端连接到真空规221；真空规221连接到缓冲腔26内，用于产生表示缓冲腔26内部真空程度的第一模拟信号并输出；数字式真空计213具有模拟信号数字信号转换功能，其输入端接收该第一模拟信号，转换为第一数值信号并输出到模数信号收发装置212的第一输入端子2125，模数信号收发装置212将所述第一数值信号传递并输出到其双向通信端子2126。

控制终端211连接到模数信号收发装置212的双向通信端2126并可以从其接收该第一数值信号，以及控制终端211可以通过该双向通信端子2126向模数信号收发装置212发送指令。其中，控制终端211具有用于根据所接收的数值信号进行分析，并基于分析输出结果的控制模块，具体而言，所述控制模块具有交互界面以及控制程序P1，所述交互界面具有“启动\复位”选项、“停止”、和“设置”选项，“设置”选项具有多个参量输入子界面，其中以下参量已经被预设并保存：第一参考值R1、第二参考值R2、第三参考值R3，以及第一时间值T1、第二时间值T2，其中R1大于R2或R3；在“设置”选项的所述参量输入子界面中上述参量可以被修改；控制程序P1可以用于读取上述参量，在所述交互界面点击“启动\复位”选项可以激活控制程序P1，点击“停止”选项可以跳出控制程序P1。

模数信号收发装置212的第一输出端子2121、第二输出端子2122、第三输出端子2123和第四输出端子2124分别连接到驱动装置213并由其将各自输出的逻辑信号放大。其中模数信号收发装置212可根据来自控制终端111的指令而生成并选择向其所述四个输出端子输出第一逻辑信号(如高电平)或第二逻辑信号(如低电平)。

驱动装置213具有第一输出端子2131、第二输出端子2132、第三输出端子2133、第四输出端子2134和公共端子2135；驱动装置213接收模数信号收发装置212的第一输出端子2121输出的第一逻辑信号或第二逻辑信号，放大为对应的第一驱动信号或第二驱动信号并将其提供到驱动装置213第一输出端子2131和和公共端子2135之间。

驱动装置213接收模数信号收发装置212的第二输出端子2122输出的第一逻辑信号或第二逻辑信号，放大为对应的第一驱动信号或第二驱动信号并将其提供到驱动装置213第二输出端子2132和和公共端子2135之间。

驱动装置213接收模数信号收发装置212的第三输出端子2123输出的第一逻辑信号或第二逻辑信号，放大为对应的第一驱动信号或第二驱动信号并将其提供到驱动装置213第三输出端子2133和和公共端子2135之间。

驱动装置213接收模数信号收发装置212的第四输出端子114输出的第一逻辑信号或第二逻辑信号，放大为对应的第一驱动信号或第二驱动信号并将其提供到驱动装置213第四输出端子2134和和公共端子2135之间。

可控开关231、可控开关232、可控开关233和可控开关234均设置为电磁继电器结构。在本实施例中，可控开关231包括第一控制模块2311以及第一闸部2312，其中第一控制模块2311连接在第一输出端子2131和公共端子2135之间，第一闸部2312的两端连接在电磁阀25的两个输入端子之间。第一控制模块2311用于根据第一输出端子2131的第一驱动信号或第二驱动信号产生磁耦合而控制第一闸部2312产生动作，从而导通或关断。

类似的，可控开关232包括第二控制模块2321以及第二闸部2322，其中第二控制模块2321连接在第二输出端子2132和公共端子2135之间，第二闸部2322的两端连接到前级真空泵24的第一端子部241的两个输入端子。第二控制模块2321用于根据第二输出端子2132的第一驱动信号或第二驱动信号控制第二闸部2322导通或关断。可控开关233包括第三控制模块2331以及第三闸部2332，其中第三控制模块2331连接在第三输出端子2133和接地端子2135之间，第三闸部2332的两端连接到前级真空泵24的第二端子部242的两个输入端子。第三控制模块2331用于根据第三输出端子2133的第一驱动信号或第二驱动信号控制第三闸部2332导通或关断。可控开关234包括第四控制模块2341以及第四闸部2342，其中第四控制模块2341连接在第四输出端子2134和接地端子2135之间，第四闸部2342的两端连接到前级真空泵24的第三端子部243的两个输入端子。第四控制模块2341用于根据第四输出端子2134的第一驱动信号或第二驱动信号控制第四闸部2342导通或关断。

在第一闸部2312处于导通状态时，外部电源与电磁阀25导通并对其供电，电磁阀25开启并导通其两侧空间；在第一闸部2312处于关断状态时，外部电源停止为电磁阀25供电，电磁阀25关闭并阻断其两侧空间的连通。

前级真空泵24具有第一端子部241、第二端子部242、第三端子部243以及与上述三者电连接的控制部240，其中控制部240可以根据上述三者的电平信号控制前级真空泵24的运行状态。

在第二闸部2322处于导通状态时，真空泵的第一端子部241对控制部240输出第一控制信号，在第二闸部2322处于关断状态时真空泵的第一端子部241对控制部240输出第二控制信号。

在第三闸部2332处于导通状态时，真空泵的第二端子部242对控制部240输出第三控制信号，在第三闸部2332处于关断状态时真空泵的第二端子部242对控制部240输出第四控制信号。

在第四闸部2342处于导通状态时，真空泵的第三端子部243对控制部240输出第五控制信号，在第四闸部2342处于关断状态时真空泵的第三端子部243对控制部240输出第六控制信号。

前级真空泵24的控制部240分别电连接到第一端子部241、第二端子部242和第三端子部243并接受所述第一至第六控制信号。控制部240根据第一端子部241所输出的第一控制信号控制前级真空泵24处于正常运行状态；根据其第二控制信号控制前级真空泵24处于关闭状态。在前级真空泵24处于正常运行状态下，控制部240根据第二端子部242所输出的第三控制信号控制前级真空泵24处于运抽真空速率为正常运行状态的一半的半速运行状态；根据其第四控制信号不执行操作。在通电情况下且前级真空泵24处于故障停止状态时，控制部240根据第三端子部241所输出的第五控制信号控制前级真空泵24恢复到启动状态；根据其第六控制信号不执行对前级真空泵24的操作。

图4是根据图3的前级真空泵系统的控制终端211的控制程序P1的一个流程图。

控制程序P1的运行过程分为以下步骤：

步骤1：先判断程序界面中的“停止”键是否被按下，如果判断结果为“是”则结束控制程序P1，控制终端111不输出指令；否则执行步骤2；

步骤2：比较该时刻所接收到的第一数值量与第一参考值R1的大小，如果第一数值量大于第一参考值R1，则执行步骤3；否则执行步骤6；

步骤3；向模数信号收发装置212发送第一指令信号使得其第二输出端子2122持续输出第一逻辑信号，随后执行步骤4；

步骤4：经过第一时间值T1之后，向模数信号收发装置212发送第二指令信号使得其第一输出端子2121持续输出第一逻辑信号，此后执行步骤5；

步骤5：比较该时刻所接收到的第一数值量与第二参考值R2的大小，如果第一数值量小于第二参考值R2，则执行步骤6；否则，执行步骤3；

步骤6：向模数信号收发装置212发送第三指令信号使得其第一输出端子2121持续输出第二逻辑信号，此后执行步骤7；

步骤7：经过第二时间值T2之后，向模数信号收发装置212发送第四指令信号使得其第二输出端子2122持续输出第二逻辑信号，随后执行步骤1。

下面结合图3和图4介绍前级真空泵系统20的工作原理。

工作情况1，在缓冲腔26的压强水平大于第一压强阈值(对应于第一数值量大于第一参考值R1)的情况下：

首先，将前级真空泵系统20通电，用于表示缓冲腔26内部压强的第一数值信号对应的第一数值量被输入到控制程序P1。

然后，点击控制终端211中的交互界面中的“启动\复位”选项，控制程序P1被激活。

控制程序P1执行步骤1，并判断程序界面中的“停止”键未被激活，因此控制程序P1执行步骤2，比较该时刻所接收到的第一数值量大于第一参考值R1，因此依次执行步骤3和4，即先启动真空泵，然后打开电磁阀对缓冲腔抽真空。此后执行步骤5，判断压强大于第二参考值R2，因此回到步骤3至步骤5之间的循环，因此维持真空泵的运行和真空阀的开启，持续抽真空。该循环直到步骤5判断第一数值量小于第二参考值R2而结束，此时执行步骤6并进入工作情况2。

工作情况2：此情况下缓冲腔内压强低于第二压强阈值(其中第二压强阈值小于第一压强阈值，且可以比实验环境所期望的压强值更低)，控制程序由步骤5进入步骤6或者由步骤2的判断结果为“第一数值量小于第一参考值R1”而执行步骤6。步骤6关闭电磁阀以阻断缓冲腔与真空泵的连通，然后执行步骤7，关闭真空泵。此后回到执行步骤1。此后，如果控制程序P1在步骤2判断“第一数值量小于第一参考值R1”，则维持关闭电磁阀以及维持关闭真空泵，即在步骤1、2、6、7之间循环。直至缓冲腔内气压由于微弱的泄露而上升至大于第一压强阈值，此后回到工作状态1。

根据本实施例的前级真空泵系统使得在缓冲腔内压强低于第一压强阈值时停止运行前级真空泵，在缓冲腔内压强高于第二压强阈值时运行前级真空泵，因此实现了前级真空泵的自动启停，延长了使用寿命，降低了耗电量。

在根据本发明的其他实施例中，上述步骤6和7可以替换为：

“步骤8，向模数信号收发装置212发送第五指令信号使得其第三输出端子2123持续输出第一逻辑信号，随后执行步骤1。”

因此，当步骤5比较该时刻所接收到的第一数值量小于第二参考值R2，则执行步骤8，此步骤8用于控制真空泵降速到半速运行状态但非处于停止状态，在此实施例中，第二参考值R2还可由第三参考值R3代替，R3大于R2且小于R1，或小于R2，因此缓冲腔内的气压水平可以控制在更精确的目标区间并使其稳定维持，同时前级真空泵的运行负荷较低。

图5示出了根据本发明的另一个实施例中前级真空泵系统30的结构，前级真空泵系统30包括控制电路31、真空计量装置32、可控开关部33、前级真空泵34、电磁阀35、缓冲腔36和不间断电源模块37。

前级真空泵系统30基本与前级真空泵系统10结构一致，但增加了不间断电源模块37以用作向前级真空泵系统30供应电力的外部电源。因此，不间断电源模块37的一端与市电连接，另一端分别输出电力到控制电路31、真空计量装置32、可控开关部33、前级真空泵34、电磁阀35；图5还示出了外部的真空装置38和39，其与缓冲腔36是连通的，在各自的连通接口布置有用于关断连通状态的手动阀门。

在本实施例中，控制电路31与不间断电源模块37能够通信地连接，当不间断电源模块37切换到使用自身电能对前级真空泵系统30供电时，对控制电路31输出第七控制信号，控制电路31根据该第七控制信号向模数信号收发装置321发送指令使得第一闸部处于关断状态，因此不间断电源模块37停止为电磁阀35供电，电磁阀35闭合。由此前级真空泵系统30可以在外部电网出现供电故障时对缓冲腔36的真空状态进行紧急维持保护。

在本实施例中，前级真空泵34还具有用于指示前级真空泵系统30工作状态的指示灯L1、L2、L3和L4，其中L1的打开和关闭状态分别指示前级真空泵34的运行/停止；L2的打开和关闭状态分别指示前级真空泵34运行速度为半速/全速；L3的打开和关闭状态分别指示前级真空泵34正常/异常；L4的打开和关闭状态分别指示电磁阀35的打开/闭合。因此可以对外提供视觉信号以指示前级真空泵系统30工作状态。

此外，前级真空泵系统在控制终端中具有用于远程通讯的通讯模块，由此可以由不在现场的操作人员借助另一远程终端通过所述前级真空泵系统的通讯模块获取前级真空泵34当前状态是否为启动或停止、全速或半速以及获取表示缓冲腔36的压强水平的第一数值量；以及操作人员可以远程选择所述控制终端的交互界面中的“启动\复位”选项、“停止”、和“设置”选项。

在根据本发明的其他实施例中，在第一数值量高于预定阈值或切换到不间断电源模块37供电时，所述控制终端通过通讯模块向所述另一远程终端提供警告信号。

在根据本发明的其他实施例中，所述真空规可以是电阻式真空规；缓冲腔的容积设计可以根据前级真空泵前级管道的真空漏率和腔体内壁的表面出气率而确定；所述不间断电源模块为10kVA规格不间断电源；所述驱动装置采用5V直流电源供电的ULN2003型号晶体管阵列；所述模数信号收发装置采用NI USB-6001/9数据卡；所述控制终端111也可以是在出厂时预设有相应配置的微处理器；在各个实施例中外部真空设备的数量可以大于等于一个，其中至少一个外部真空设备通过电动阀门与缓冲腔连接。

虽然本发明已经通过优选实施例进行了描述，然而本发明并非局限于这里所描述的实施例，在不脱离本发明范围的情况下还包括所作出的各种改变以及变化。

Claims (10)

1.一种用于对缓冲腔抽真空的前级真空泵系统，所述缓冲腔连通到至少一个超高真空设备，其特征在于，所述前级真空泵系统包括：

真空泵；

连接到所述缓冲腔的真空测量装置，其用于输出表示所述缓冲腔的压强的第一信号；

连接到所述真空泵的可控开关组，其用于控制所述真空泵；以及

控制电路，其包括控制信号生成单元和驱动放大单元，所述控制信号生成单元连接到所述真空测量装置，并通过所述驱动放大单元连接到所述可控开关组；其中

所述控制信号生成单元根据所述第一信号生成相应的逻辑信号，通过所述驱动放大单元放大为相应的驱动信号并通过所述可控开关组控制所述真空泵，以根据所述第一信号将所述缓冲腔的压强维持在预定的范围内。

2.根据权利要求1所述的前级真空泵系统，其特征在于，所述真空测量装置包括：

真空规，其用于获得表示所述缓冲腔的压强数值的第一电压值；以及

模数转换装置，其用于将所述第一电压值转换成数值的所述第一信号。

3.根据权利要求1所述的前级真空泵系统，其特征在于，所述可控开关组包括第一可控开关，其用于控制所述真空泵的运行或停止；其中

当所述控制信号生成单元判断所述缓冲腔的压强大于第一压强阈值时，生成第一控制信号以通过第一可控开关使得所述真空泵运行。

4.根据权利要求3所述的前级真空泵系统，其特征在于，当所述控制信号生成单元判断所述缓冲腔的压强数值小于等于第二压强阈值时，生成第二控制信号以通过第一可控开关使得所述真空泵停止，其中所述第二压强阈值小于所述第一压强阈值。

5.根据权利要求3所述的前级真空泵系统，其特征在于，所述可控开关组还包括第二可控开关，其用于控制所述真空泵半速运行；其中

当所述控制信号生成单元判断所述缓冲腔的压强数值小于等于第三压强阈值时，生成第三控制信号以通过第二可控开关使得所述真空泵半速运行，其中所述第三压强阈值小于所述第一压强阈值。

6.根据权利要求4或5所述的前级真空泵系统，其特征在于，所述前级真空泵系统还包括布置在所述缓冲腔和所述真空泵之间的阀门；以及所述可控开关组还包括第三可控开关，其还连接并控制所述阀门；其中

所述控制信号生成单元在生成第一控制信号后的第一预定时间生成第四控制信号以通过所述第三可控开关控制所述阀门开启。

7.根据权利要求6所述的前级真空泵系统，其特征在于，所述控制信号生成单元在控制所述真空泵停止之前的第二预定时间先生成第五控制信号以通过所述第三可控开关控制所述阀门关闭。

8.根据权利要求1所述的前级真空泵系统，其特征在于，还包括不间断电源模块，其用于向所述真空泵、所述真空测量装置、所述电磁阀和所述控制电路提供电力。

9.根据权利要求1所述的前级真空泵系统，其特征在于，所述前级真空泵系统还包括远程通讯模块，所述远程通讯模块用于将前级真空泵系统的运行状态提供到与其无线或者有线连接的远程终端，或者从所述远程终端接收控制命令以控制所述真空泵或电磁阀的工作状态。

10.根据权利要求1所述的前级真空泵系统，其特征在于，所述前级真空泵系统还包括对外提供视觉信号的警告装置。

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