CN115012022A - 基板载具和电化学沉积设备 - Google Patents

Abstract

本公开实施例提供一种基板载具，包括：第一承载板，所述第一承载板上设置有多个第一容纳部；第二承载板，与所述第一承载板相对设置并连接，所述第二承载板上对应于所述第一容纳部的位置设置有第一通孔，所述第二承载板远离所述第一承载板的表面为承载面，用于承托待成膜的基板；多个伸缩结构，所述伸缩结构包括：驱动结构以及与所述驱动结构连接的顶针，所述驱动结构设置在所述第一容纳部中，并配置为驱动所述顶针沿所述第一通孔的轴向升降，以将所述基板顶起或使得所述顶针与所述基板无接触。本公开实施例还提供一种电化学沉积设备。

Description

基板载具和电化学沉积设备

技术领域

本公开涉及电化学沉积领域，具体涉及一种基板载具和电化学沉积设备。

背景技术

电化学沉积工艺是一种低成本的化学性成膜方式，可以沉积得到任意厚度的金属层。

发明内容

本公开提出了一种基板载具和电化学沉积设备。

第一方面，本公开实施例提供一种基板载具，包括：

第一承载板，所述第一承载板上设置有多个第一容纳部；

第二承载板，与所述第一承载板相对设置并连接，所述第二承载板上对应于所述第一容纳部的位置设置有第一通孔，所述第二承载板远离所述第一承载板的表面为承载面，用于承托待成膜的基板；

多个伸缩结构，所述伸缩结构包括：驱动结构以及与所述驱动结构连接的顶针，所述驱动结构设置在所述第一容纳部中，并配置为驱动所述顶针沿所述第一通孔的轴向升降，以将所述基板顶起或使得所述顶针与所述基板无接触。

在一些实施例中，所述驱动结构包括：

底座，所述底座上设置有安装槽；

转动件，所述转动件设置在所述安装槽中，并与所述顶针螺纹连接，所述转动件用于绕所述顶针的轴向旋转，以将旋转运动转换为所述顶针的升降运动。

在一些实施例中，所述转动件包括：

风轮，所述风轮包括：涡轮以及与所述涡轮外壁连接的多个扇叶，所述涡轮套设在所述顶针上，并与所述顶针螺纹连接；

所述驱动结构还包括：

第一风枪，所述第一风枪的一端与所述安装槽连通，另一端与第一进气管路连通；

第二风枪，所述第二风枪的一端与所述安装槽连通，另一端与第二进气管路连通；

其中，所述第一风枪和所述第二风枪分别用于沿不同方向朝所述风轮吹风，以使所述风轮沿不同方向旋转。

在一些实施例中，所述扇叶为波浪形结构，其包括相连的第一弯曲部和第二弯曲部，所述第一弯曲部和所述第二弯曲部朝向相反的方向弯曲，所述第一风枪用于朝向所述第一弯曲部吹风，所述第二风枪用于朝向所述第二弯曲部吹风。

在一些实施例中，所述底座具有环绕所述安装槽的多个侧壁，所述第一风枪和所述第二风枪设置在不同的侧壁上。

在一些实施例中，所述第一承载板上还设置有第二容纳部，所述第一进气管路和所述第二进气管路均设置在所述第二容纳部中。

在一些实施例中，所述底座上还设置有出气口，所述出气口与所述安装槽连通。

在一些实施例中，所述安装槽包括：第一安装子槽和第二安装子槽，所述第二安装子槽位于所述第一安装子槽远离所述第二承载板的一侧，并与所述第一安装子槽连通；所述风轮设置在所述第一安装子槽中，所述第二安装子槽用于容纳所述顶针的一部分。

在一些实施例中，所述涡轮沿其轴向的至少一端设置有限位部，所述安装槽还包括连接在所述第一安装子槽和所述第二安装子槽之间的限位子槽，所述限位部位于所述限位子槽中。

在一些实施例中，所述驱动结构还包括挡盖，所述挡盖与所述底座固定连接，所述挡盖上设置有第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔相对设置，所述顶针能够同时穿过所述第一通孔和所述第二通孔进行升降。

在一些实施例中，所述承载面上设置有吸附槽，所述吸附槽底部设置有吸附孔，所述吸附孔与抽气管路连通。

在一些实施例中，所述基板载具还包括：

导电环，所述导电环设置在所述第一承载板上，并环绕所述第二承载板；

提梁，所述提梁与所述第一承载板固定连接；

导电块，所述导电块设置在所述提梁上，并与所述导电环电连接。

第二方面，本公开实施例还提供一种电化学沉积设备，包括上述的基板载具。

附图说明

附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：

图1为本公开的一些实施例中提供的基板载具的示意图。

图2为本公开的一些实施例中提供的第一承载板的平面图。

图3为本公开的一些实施例中提供的第二承载板的平面图。

图4和图5分别为本公开的一些实施例中提供的不同状态的基板载具承托基板的示意图。

图6为本公开的一些实施例中提供的伸缩结构的立体图。

图7为本公开的一些实施例中提供的伸缩结构的分解图。

图8为本公开的一些实施例中提供的挡盖的立体图。

图9为本公开的一些实施例中提供的底座的立体图。

图10为本公开的一些实施例中提供的风轮的立体图。

图11为本公开的一些实施例中提供的顶针的立体图。

图12为本公开的一些实施例中提供的第一风枪的示意图

图13为本公开的一些实施例中提供的第一分流件的立体图。

图14为本公开的一些实施例中提供的第二分流件的立体图。

图15为本公开的另一些实施例中提供的基板载具的平面图。

图16为本公开的另一些实施例中提供的基板载具的局部立体图。

具体实施方式

以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。

为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

这里用于描述本公开的实施例的术语并非旨在限制和/或限定本公开的范围。例如，除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。应该理解的是，本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。除非上下文另外清楚地指出，否则单数形式“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则所述相对位置关系也可能相应地改变。

电化学沉积是指在外电场作用下，通过包含金属离子的电解质溶液中正负离子的迁移，在阴极产生金属离子的还原而在基板上获得金属镀层的技术。例如，电解质溶液中的金属离子铜离子时，获得的金属镀层即为铜膜层。

电解质溶液存储于电化学沉积设备的溶液槽中，该溶液槽中还设置有阳极结构，在进行电化学沉积工艺时，利用基板取放装置将基板放置在基板载具上，并对基板进行固定；之后将装载有基板的基板载具放置于溶液槽中，并使基板载具与阳极结构相对设置，基板载具连接电源的，并将电源的负极与基板上的种子层电连接。阳极结构连接电源的正极，从而在阳极结构与基板之间形成电场，进而使电解质中的金属离子附着在基板上，形成电化学沉积膜层。在电化学沉积完成之后，再将装载有基板的基板载具从溶液槽中移出，之后再利用基板取放装置使基板和基板载具相互分离。

在相关技术中，基板载具上设置有吸附孔，基板载具上装载有基板时，通过吸附的方式将基板固定在基板载具上，基板与基板载具的承载面接触。这种情况下，由于基板与承载面之间无间隙，因此，基板取放装置只能利用伯努利原理实现基板与基板载具的接触和释放，操作较为不便。

为了解决上述技术问题，本公开提供一种基板载具，用于电化学沉积设备中。图1为本公开的一些实施例中提供的基板载具的示意图，图2为本公开的一些实施例中提供的第一承载板的平面图，图3为本公开的一些实施例中提供的第二承载板的平面图，图4和图5分别为本公开的一些实施例中提供的不同状态的基板载具承托基板的示意图，如图1至图5所示，基板载具包括：第一承载板10、第二承载板20和多个伸缩结构30。

其中，第一承载板10上设置有多个第一容纳部11，第一容纳部11可以为凹槽结构，第一承载板10与第二承载板20相对设置并连接，第一承载板10与第二承载板20的连接方式不作具体限定，例如，可以利用螺丝等紧固件将二者连接。第二承载板20远离第一承载板10的表面为承载面20s，用于承托待成膜的基板40。另外，第二承载板20上对应于第一容纳部11的位置设置有第一通孔21。

伸缩结构30与第一容纳部11一一对应，伸缩结构30包括：驱动结构32以及与驱动结构32连接的顶针31，驱动结构32设置在相应的第一容纳部11中，并配置为控制顶针31沿第一通孔21的轴向升降，从而可以将基板40顶起(如图5所示)或使得顶针31与基板40无接触(如图4所示)。

其中，本公开对第一通孔21的形状不作限定，只要能够使顶针31穿过第一通孔21即可。例如，第一通孔21可以为圆形通孔、方形通孔或其他形状。

在本公开实施例中，当需要将基板40放置在基板载具上时，可以利用驱动结构32控制顶针31升起，并利用机械手托送基板40，将基板40放置在顶针31上，之后控制顶针31下降，以使基板40被承托在第二承载板20上；同理，当需要将基板40与基板载具相互分离时，利用驱动结构32控制顶针31升起，从而使基板40由顶针31承托，之后可以将机械手插入基板40与承载面20s之间的缝隙中，从而将基板40托起。通过伸缩结构30的设置，可以利用普通机械手来实现基板40的取放，操作更加方便。

在一些实施例中，多个伸缩结构30在第一承载板10上均匀分布，从而在顶针31升起时，多个顶针31可以对基板40提供支撑，使基板40各处基本处于同一平面。例如，多个伸缩结构30可以排成多行多列。相邻两行伸缩结构30之间的间距、相邻两列伸缩结构30的间距可以根据机械手的手指尺寸设置。伸缩结构30的数量可以根据待成膜的基板40的尺寸进行设置。顶针31升降距离也可以根据机械手的厚度确定，以保证顶针31上升至一定高度后，机械手能够伸入基板40与承载面20s之间的间隙。在一个示例中，顶针31上升至一定高度时，顶针31朝向基板40的一端与承载面20s之间的高度差在20cm～40cm之间，例如为35cm，其中，可以设置35cm为顶针31沿第一通孔21的轴向可以升起的最大距离。

图6为本公开的一些实施例中提供的伸缩结构的立体图，图7为本公开的一些实施例中提供的伸缩结构的分解图，图8为本公开的一些实施例中提供的挡盖的立体图，图9为本公开的一些实施例中提供的底座的立体图，如图6至图9所示，在一些实施例中，驱动结构32包括：挡盖322、底座321和转动件323，其中，底座321中设置有安装槽321v，挡盖322与底座321相互匹配设置以构成盒状结构，例如，挡盖322可以通过螺丝等紧固件与底座321连接。挡盖322上设置有第二通孔322v，第二通孔322v与第一通孔21相对设置。

转动件323设置在安装槽321v中，并与顶针31螺纹连接，并且，转动件323用于绕顶针31的轴向旋转，从而实现顶针31的升降运动。其中，顶针31可以穿过第一通孔21和第二通孔322v。通过这种将旋转运动转换为升降运动的方式，可以更精准地控制顶针31的升降高度。

在一些实施例中，转动件323包括风轮，图10为本公开的一些实施例中提供的风轮的立体图，图11为本公开的一些实施例中提供的顶针的立体图，如图10所示，风轮包括：涡轮3231、以及与涡轮3231外壁连接的多个扇叶3232，涡轮3231套设在顶针31上，涡轮3231内设置有内螺纹，顶针31上设置有外螺纹31a(如图11所示)，涡轮3231与顶针31上的外螺纹31a连接。如图6、图7和图9所示，安装槽321v包括：第一安装子槽321a和第二安装子槽321b，第二安装子槽321b位于第一安装子槽321a远离第二承载板20的一侧，并与第一安装子槽321a连通，第二安装子槽321b的直径小于第一安装子槽321a的直径。风轮设置在第一安装子槽321a中，当顶针31未将基板顶起时，顶针31的一部分位于第二安装子槽321b中。在第一安装子槽321a和挡盖322的限制下，涡轮3231只能在第一安装子槽321a旋转，而无法沿第一通孔21的轴向移动，因此，当涡轮3231相对于顶针31发生旋转时，会使顶针31沿第一通孔21的轴向移动(即升降)。

其中，第一安装子槽321a和第二安装子槽321b在第二承载板20上的正投影均可以为圆形。当然，也可以为其他形状，只要第一安装子槽321a能够容纳风轮，且第一安装子槽321a的深度与风轮沿第一通孔21的轴向的尺寸基本相同，第二安装子槽321b能够容纳顶针31的一部分，且第二安装子槽321b的径向尺略大于顶针31的径向尺寸，以不影响风轮的转动和顶针31的位移为准即可。

在一些实施例中，如图6、图7和图9所示，安装槽321v还包括连接在第一安装子槽321a和第二安装子槽321b之间的限位子槽321c，如图10所示，涡轮3231沿其轴向方向的至少一端设置有限位部3233，限位部3233位于限位子槽321c中，从而限制风轮在第一安装子槽321a中的位置，防止风轮在转动过程中发生平移，进而可以保证顶针31升降的稳定性。

在一个示例中，涡轮3231沿其轴向的两端均设置有限位部3233，其中一个限位部3233位于底座321上的限位子槽321c中，另一个限位部3233位于挡盖322上的限位子槽321c中，如图8所示，挡盖322上的限位子槽321c环绕第二通孔322v设置。

如图6和图7所示，驱动结构32还包括：第一风枪324和第二风枪325，第一风枪324的一端与安装槽321v连通，另一端与第一进气管路连通。第二风枪325的一端与安装槽321v连通，另一端与第二进气管路连通。第一进气管路和第二进气管路均与进气装置连通，从而分别将进气装置所提供的气体输送至第一风枪324和第二风枪325，从而向风轮的扇叶3232吹风。其中，本公开实施例中所谓的“吹风”是指，输出具有一定流速的气流，从而可以吹动风轮旋转。其中，第一风枪324和第二风枪325分别用于沿不同方向朝扇叶3232吹风，以使风轮沿不同方向旋转。需要说明的是，风轮沿不同方向旋转是指，风轮可以沿顺时针方向(图10中的A方向)或逆时针方向(图10中的B方向)旋转，从而带动顶针31上升或下降。

图12为本公开的一些实施例中提供的第一风枪的示意图，如图9和图12所示，底座321上设置有第一螺纹孔321d；第一风枪324为内部形成有风道的筒状结构，第一风枪324上设置有外螺纹324a，从而使第一风枪324与第一螺纹孔321d螺纹连接。

第二风枪325可以采用相同的方式与底座321连接，如图9所示，底座321上设置有第二螺纹孔321e，第二风枪325可以与第二螺纹孔螺纹连接。另外，如图9所示，底座321具有环绕安装槽321v的多个侧壁321s，第一螺纹孔321d和第二螺纹孔321e设置在不同的侧壁321s上，即，第一风枪324和第二风枪325可以设置在不同的侧壁321s上。

在一些示例中，第一风枪324和第二风枪325可以垂直于各自所在的侧壁321s，而在另一些示例中，第一风枪324和第二风枪325均与各自所在的侧壁321s相倾斜，这样可以使第一风枪324和第二风枪325所吹出的气流更多地作用于扇叶3232上，从而更好地推动扇叶3232转动。

如图9所示，底座321上还设置有出气口321f，出气口321f与安装槽321v连通，出气口321f可以将第一风枪324和第二风枪325吹入安装槽321v的气体排出，以保证安装槽321v内的气压稳定。其中，出气口321f、第一螺纹孔321d、第二螺纹孔321e可以设置在基座321的不同侧壁321s上。出气口321f的数量与为一个，也可以为多个，出气口321f的形状可以为矩形、圆形或其他不规则形状。

在一些实施例中，如图10所示，扇叶3232为波浪形结构，其包括相连的第一弯曲部323a和第二弯曲部323b，第一弯曲部323a和第二弯曲部323b朝向相反的方向弯曲，第一风枪324朝向第一弯曲部323a吹风，从而更有利于推动扇叶3232沿图10中的A方向转动；第二风枪325朝向第二弯曲部323b吹风，从而更有利于推动扇叶3232沿图10中的B方向转动。

其中，多个扇叶3232环绕涡轮3231均匀分布，扇叶3232的数量不作限定，为了便于第一风枪324和第二风枪325吹动扇叶3232，在一些示例中，扇叶3232的数量可以大于或等于三个，例如可以为三个、四个、五个、七个或更多个。

在本公开的一些实施例中，伸缩结构30中的各结构件(底座321、挡盖322、顶针31、转动件323、第一风枪324和第二风枪325)均采用绝缘材料制成，这样，在电化学沉积过程中，即使电解质溶液接触到伸缩结构30的结构件，也不会对结构件造成腐蚀，从而延长基板载具的使用寿命。其中，绝缘材料可以为有机材料，例如peek塑料，从而可以减轻伸缩结构30的重量，进而减轻基板载具的总重量。

请继续参阅图2，在一些实施例中，第一承载板10上还设置有第二容纳部12，第二容纳部12可以为凹槽结构。上述伸缩结构30所连通的第一进气管路和第二进气管路均可以设置在第二容纳部12中。

在一个示例中，如图2所示，多个伸缩结构30排成多行多列，每一列伸缩结构30均对应一个第二容纳部12，每个第二容纳部12中均设置有第一分流件81和第二分流件82，图13为本公开的一些实施例中提供的第一分流件的立体图，图14为本公开的一些实施例中提供的第二分流件的立体图，如图13和图14所示，第一分流件81具有第一进气口811和多个第一出气口812，多个第一出气口812与第一进气口811均连通。第一进气口811通过第一气体管路(未示出)与外接的进气装置连通。第二分流件82具有第二进气口821和多个第二出气口822，多个第二出气口822与第二进气口821均连通，第二进气口821通过第二气体管路(未示出)与外接的进气装置连通。其中，所有的第一分流件81的第一进气口811可以与同一个第一气体管路连通，所有的第二分流件82的第二进气口821可以与同一个第二气体管路连通。

每个伸缩结构30的第一风枪324通过一个第一进气管路与一个第一出气口321f连通，不同的第一风枪324与不同的第一出气口321f连通，同一列伸缩结构30的第一风枪324与同一个第一分流件81上的第一出气口321f连通。每个伸缩结构30的第二风枪325通过一个第二进气管路与一个第二出气口321f连通，不同的第二风枪325与不同的第二出气口321f连通，同一列伸缩结构30的第二风枪325所连通的第二出气口321f位于同一个第二分流件82上。进气装置在不同时刻向第一分流件81和第二分流件82提供压缩气体，从而使伸缩结构30的第一风枪324和第二风枪325在不同时刻向风轮吹风。

通过第一分流件81和第二分流件82的设置，可以使多个伸缩结构30的第一风枪324所吹出的气流流速一致，多个伸缩结构30的第二风枪325所吹出的气流流速一致，从而使得多个顶针31的升降速度趋于一致。

如图3所示，第二承载板20的承载面上还设置有吸附槽22，吸附槽22底部设置有吸附孔23，所述吸附孔23与抽气管路(未示出)连通，其中，承载面上可以设置多个吸附槽22，每个吸附槽22底部可以设置一个或多个吸附孔23。在一些实施例中，抽气管路设置在第一承载板10的第二容纳部12中，并且可以与抽气装置连通，从而通过抽气装置的抽气作用，将待成膜的基板40吸附在第二承载板20上。

图15为本公开的另一些实施例中提供的基板载具的平面图，图16为本公开的另一些实施例中提供的基板载具的局部立体图，如图15和图16所示，在一些实施例中，基板载具除了包括上述第一承载板10、第二承载板20和伸缩结构30之外，还可以包括导电环50、提梁70和导电块61。

其中，导电环50设置在第一承载板10上，并环绕第二承载板20设置。在一个示例中，第二承载板20朝向第一承载板10的表面上设置有环状凹槽，导电环50设置在环状凹槽中。

提梁70与第一承载板10固定连接。在一个示例中，如图16所示，提梁70包括：第一安装部71、第二安装部72和吊梁73。其中，第一安装部71和第二安装部72为形状、大小以及材质均相同的部件，第一安装部71和第二安装部72分别用于与第一承载板10的两个相对的表面固定连接，第一安装部71和第二安装部72均可以通过螺丝等紧固件与第一承载板10固定连接。吊梁73位于第一安装部71与第二安装部72之间，并与第一安装部71、第二安装部72固定连接。吊梁73上可以设置有环状结构件74，在进行电化学沉积工艺时，可以利用机械手抓取环状结构件74，从而将基板载具放置于电化学沉积设备的溶液槽中，在电化学沉积工艺结束后，再利用机械手抓取环状结构件74，从而将基板载具从溶液槽中取出。

在一个示例中，吊梁73、环状结构件74、第一安装部71、第二安装部72均可以采用强度较大的材料制成，例如不锈钢材料。

如图16所示，导电块61设置在提梁70上，并与导电环50电连接。在一个示例中，导电块61设置在第一安装部71和第二安装部72之间，且可以设置在靠近吊梁73端部的位置，当第一安装部71和第二安装部72的材料为导电材料时，导电块61与第一安装部71与第二安装部72之间可以设置有绝缘层。在一个示例中，如图15所示，第一承载板10上还设置有连接件60，连接件60位于导电环50靠近提梁70的一侧，且可以与导电环50形成为一体结构。导电块61可以通过导线、柔性电缆等导电结构与连接件60连接。

在一个示例中，导电块61和导电环50均可以采用导电性良好的铜制成。

在进行电化学沉积工艺时，基板40固定在第二承载板20上，可以利用导电胶带或其他导电件将基板40上的种子层与导电环50电连接，另外，电源的负极与导电块61连接，从而电源提供的负极电压经由导电块61传输至导电环50，进而从导电环50传输至基板40上的种子层。

本公开实施例还提供一种电化学沉积设备，其包括上述基板载具。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本公开的原理而采用的示例性实施方式，然而本公开并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本公开的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本公开的保护范围。

Claims (13)

1.一种基板载具，其特征在于，包括：

第一承载板，所述第一承载板上设置有多个第一容纳部；

第二承载板，与所述第一承载板相对设置并连接，所述第二承载板上对应于所述第一容纳部的位置设置有第一通孔，所述第二承载板远离所述第一承载板的表面为承载面，用于承托待成膜的基板；

多个伸缩结构，所述伸缩结构包括：驱动结构以及与所述驱动结构连接的顶针，所述驱动结构设置在所述第一容纳部中，并配置为驱动所述顶针沿所述第一通孔的轴向升降，以将所述基板顶起或使得所述顶针与所述基板无接触。

2.根据权利要求1所述的基板载具，其特征在于，所述驱动结构包括：

底座，所述底座上设置有安装槽；

转动件，所述转动件设置在所述安装槽中，并与所述顶针螺纹连接，所述转动件用于绕所述顶针的轴向旋转，以将旋转运动转换为所述顶针的升降运动。

3.根据权利要求2所述的基板载具，其特征在于，所述转动件包括：

风轮，所述风轮包括：涡轮以及与所述涡轮外壁连接的多个扇叶，所述涡轮套设在所述顶针上，并与所述顶针螺纹连接；

所述驱动结构还包括：

第一风枪，所述第一风枪的一端与所述安装槽连通，另一端与第一进气管路连通；

第二风枪，所述第二风枪的一端与所述安装槽连通，另一端与第二进气管路连通；

其中，所述第一风枪和所述第二风枪分别用于沿不同方向朝所述风轮吹风，以使所述风轮沿不同方向旋转。

4.根据权利要求3所述的基板载具，其特征在于，所述扇叶为波浪形结构，其包括相连的第一弯曲部和第二弯曲部，所述第一弯曲部和所述第二弯曲部朝向相反的方向弯曲，所述第一风枪用于朝向所述第一弯曲部吹风，所述第二风枪用于朝向所述第二弯曲部吹风。

5.根据权利要求3所述的基板载具，其特征在于，所述底座具有环绕所述安装槽的多个侧壁，所述第一风枪和所述第二风枪设置在不同的侧壁上。

6.根据权利要求3所述的基板载具，其特征在于，所述第一承载板上还设置有第二容纳部，所述第一进气管路和所述第二进气管路均设置在所述第二容纳部中。

7.根据权利要求3所述的基板载具，其特征在于，所述底座上还设置有出气口，所述出气口与所述安装槽连通。

8.根据权利要求3所述的基板载具，其特征在于，所述安装槽包括：第一安装子槽和第二安装子槽，所述第二安装子槽位于所述第一安装子槽远离所述第二承载板的一侧，并与所述第一安装子槽连通；所述风轮设置在所述第一安装子槽中，所述第二安装子槽用于容纳所述顶针的一部分。

9.根据权利要求8所述的基板载具，其特征在于，所述涡轮沿其轴向的至少一端设置有限位部，所述安装槽还包括连接在所述第一安装子槽和所述第二安装子槽之间的限位子槽，所述限位部位于所述限位子槽中。

10.根据权利要求2至9中任一项所述的基板载具，其特征在于，所述驱动结构还包括挡盖，所述挡盖与所述底座固定连接，所述挡盖上设置有第二通孔，所述第二通孔与所述第一通孔相对设置，所述顶针能够同时穿过所述第一通孔和所述第二通孔进行升降。

11.根据权利要求1至9中任一项所述的基板载具，其特征在于，所述承载面上设置有吸附槽，所述吸附槽底部设置有吸附孔，所述吸附孔与抽气管路连通。

12.根据权利要求1至9中任一项所述的基板载具，其特征在于，所述基板载具还包括：

导电环，所述导电环设置在所述第一承载板上，并环绕所述第二承载板；

提梁，所述提梁与所述第一承载板固定连接；

导电块，所述导电块设置在所述提梁上，并与所述导电环电连接。

13.一种电化学沉积设备，其特征在于，包括权利要求1至12中任一项所述的基板载具。

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