CN114990701A - 一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及单晶炉部件领域，具体公开了一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备及其使用方法，包括底盘，底盘上设有降温通道，第一出水口连接降温装置，降温装置包括降温桶、电机和沿着降温桶从上至下依次分布的螺旋散热区、控水吸热区、摆动散热区、换气喷水区以及填料区以及蓄水池；降温桶的顶部设有顶盖，所述电机固定于顶盖上；电机具有穿过顶盖内延伸至螺旋散热区、控水吸热区、摆动散热区、换气洒水区以及填料区、蓄水区的电机轴；整个散热过程只用到了一个电机即可实现了水罩旋转甩水、摆动盘摆动冷却水，洒水管旋转洒水，气泵抽取降温桶内的空气并排出降温桶外、弹性填料的折叠或者展开改变水的流动路径等等。

Description

一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备及其使用方法

技术领域

本发明涉及单晶炉部件领域，尤其是涉及一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备及其使用方法。

背景技术

单晶炉底盘上安装电极，给加热器提供电源，中部有一个通孔，用来安装石墨托杆，和下轴相连，可以提供升降和旋转。

现有的单晶炉底盘冷却方法是通水降温，实现单晶炉底盘的冷却，例如专利号为ZL201420763082.0。目前单晶炉底盘存在缺点：水无法及时冷却回收，无法实现多步骤快速降温，而且整个降温过程使用成本高。

发明内容

为了解决上述问题，本发明提供了一种低成本，多步骤快速降温，能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备，包括底盘，所述底盘上设有降温通道，降温通道一端连接第一进水口，一端连接第一出水口,所述第一出水口连接降温装置，该降温装置包括降温桶、电机和沿着降温桶从上至下依次分布的螺旋散热区、控水吸热区、摆动散热区、换气喷水区以及填料区以及蓄水池；

所述降温桶的顶部设有顶盖，所述电机固定于顶盖上；所述电机具有穿过顶盖内延伸至螺旋散热区、控水吸热区、摆动散热区、换气洒水区以及填料区、蓄水区的电机轴；

所述螺旋散热区包括与降温桶内壁连接的散热盘，散热盘的顶部形成螺旋形的散热槽、设于散热槽外圈上方的进水管、设于螺旋槽中心的第二出口及水罩，该进水管穿出顶盖连接第一出水口，所述电机轴穿出第二出水口固定连接水罩，所述水罩罩设于第二出水口处，水罩外壁分布第一孔；

所述控水吸热区包括连接于水罩底部的第一弹簧、连接第一弹簧底部的控水盘、套设于控水盘外围的外环套，该外环套固定于降温桶内壁，所述电机轴穿出控水盘，且控水盘外侧壁形成上小下大的第一圆台面，所述外环套内壁也呈圆台形，且与第二圆台面配合，第一圆台面和第二圆台面之间形成第一间隙；

所述摆动散热区包括摆动盘，位于摆动盘上方的聚水套、设于摆动盘底面第一磁块、至少两个均匀分布在摆动盘外圈的第二弹簧；第二弹簧连接降温桶和摆动盘，所述聚水套内侧壁形成上大下小的圆台形引水壁，聚水套连接于降温通桶内壁；所述摆动盘呈中间下凹圆弧形，聚水套底部延伸至摆动盘内，摆动盘内壁从内向外依次分布三角凸环，该三角凸环的横截面呈三角形，三角凸环的两侧壁向中心内凹；所述摆动盘的中心设供电机轴穿出并自由旋转的第三出水口；

所述换气洒水区包括开口正对第三出水口的集水槽、连通集水槽下部外围洒水管、套设于集水槽上部外围的反应板以及设于反应板上的第二磁块，该第二磁块与第一磁块对应，该集水槽套设于电机轴外；所述反应板的底面设有环形的第一轨迹槽，第一轨迹槽沿周向形成波浪形，该第一轨迹槽位于电机轴外围；所述降温桶内壁还设置有气泵，该气泵具有伸入第一轨迹槽、并能沿第一轨迹槽移动的气泵轴，连接气泵轴的气泵体，所述气泵体上位于降温桶内的设有进气口和穿出降温桶外的出气口。

本申请通过螺旋散热区，延长水在散热盘上流动的时间，提高散热效果；然后水进入水罩内，水罩旋转水从第一孔甩至控水吸热区内，进一步提高了散热效果；利用水的重量带动控水盘上下移动，调整控水盘与外环套之间的第一间隙大小，进而达到根据水重量自动控制出水量的效果，保证最佳的降温效果，同时在水量大时及时疏水；摆动散热区的聚水套可将水引至摆动盘外圈流入，水从摆动盘外圈向中心流动散热，而且三角凸环还能进一步吸收水中的热量，摆动盘在反应板、第一磁块和第二磁块的配合作用下，反复摆动，进而带动水反复冲击三角凸环然后，然后逐渐流向第三出水口，也延长水在摆动盘上停留的时间，进一步提高了散热效果；水进入换气洒水区的集水槽内，并且集水槽旋转能带动水从洒水管甩出，增大了出水面积，而且反应板带动第一轨迹槽旋转，推动气泵抽取降温桶内的空气，并排出降温桶外，进一步提高了散热效果；

整个散热过程只用到了一个电机，实现了水流动过程中的水罩旋转甩水、摆动盘摆动冷却水，洒水管旋转洒水，气泵抽取降温桶内的空气并排出降温桶外等等，大大提高了降温效果，提高了实用性；而且只需用到1个降温桶即可实现有效、快速的降温。

进一步地，所述填料区包括折叠架、沿折叠架竖直方向平行分布的网板，连接相邻网板的弹性填料，套设于电机轴外的轨迹套、连接于降温桶内壁的竖直滑槽；所述轨迹套的外壁设有螺旋线的第二轨迹槽，所述折叠架底部固定于降温桶内，折叠架顶部两侧设有凸柱，其中一侧的凸柱位于第二轨迹槽内，另一侧的凸柱位于竖直滑槽内。即电机正反转动还能带动轨迹套旋转，进而带动折叠架展开或者收起，进而实现了弹性填料的折叠或者展开，进一步改变水的流动轨迹，提高散热效果。

进一步地，所述第一磁块为两个，且磁极相同，并对立设置于摆动盘底面；所述第二磁块为1个，第一磁块和第二磁块磁极相同。使用时，第二磁块交替排斥两个第一磁块，进而有效推动摆动盘摆动。

进一步地，所述顶盖上设有散热孔，所述电机轴穿入顶盖内连接第一风扇，所述电机轴位于轨迹套的正下方设有第二风扇。电机带动第一风扇和第二风扇旋转，进一步促进降温桶内外空气循环。

进一步地，所述降温桶位于蓄水池内，蓄水池内侧面与降温桶外侧内壁之间形成散热间隙，所述降温桶底部通过支撑柱连接蓄水池内底部。蓄水池可存储降温后的水，而且散热间隙可进一步促进蓄水池和降温桶的散热。

另外，本发明还提供了一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备的使用方法，具体步骤如下：

A.使用时，水从第一进水口进入底盘内，对底盘进行降温后从第一出水口排出，然后进入进水管；

B.进水管将水传输至螺旋形的散热槽的最外圈，然后沿着散热槽呈螺旋形向散热盘中心流动，并最终从第二出水口流至水罩内。

C.电机旋转会带动电机轴旋转，进而带动水罩一起旋转，将水罩内的水从第一孔甩出；甩出的水集中在控水盘和外环套上方，随着重量的增加，压动控水盘下移，所以弹簧拉伸，水从第一间隙流出，随着水量的增大，水的重量也增大，控水盘下移的距离也变大，于是第一间隙也变大，出水量也随之增大；

D.从第一间隙流出的水沿着聚水套流入摆动盘边缘；电机带动集水槽旋转的同时会带动反应板旋转，反应板带动第二磁块旋转，第二磁块旋转会反复排斥第一磁块，带动摆动盘摆动，在第二弹簧的拉动下摆动盘复位；水向摆动盘中心流动的过程中，在摆动盘的摆动作用下会反复冲向三角凸环的两侧壁，延长了在摆动盘上停留的时间，进一步提高降温效果；

E.水从摆动盘中心的第三出水口排出，进入集水槽内；集水槽旋转带动洒水管旋转，进而水从洒水管洒至填料区；于此同时，反应板随集水槽旋转，然后气泵轴会沿着反应板底面的第一轨迹槽移动，由于第一轨迹槽的波浪形设计，气泵轴不断的伸缩挤压气泵体，气泵体将降温桶内的热气从进气口吸入，然后从出气口排出降温桶外。

整个过程延长了水在降温桶内的停留时间，而且能够对水进行螺旋流动降温、水罩甩水降温、控水盘自动控制水流量、摆动盘摆动降温、旋转管旋转洒水降温、抽吸对降温桶内的热气抽出等等，而且延长了水在每一步骤的停留时间，有效对进行快速降温，只需用到降温桶，降温效率高。

进一步地，还包括步骤F：电机正转，带动轨迹套正转，进而折叠架顶部两侧的凸柱会沿着第二轨迹槽逐渐螺旋上移，带动折叠架展开，相邻网板间距变大，拉长弹性填料；电机反转时，带动轨迹套反转，进而折叠架顶部两侧的凸柱会沿着第二轨迹槽逐渐下移，带动折叠架收缩，相邻网板间距变小，弹性填料复位。电机旋转带动填料伸缩，进一步改变了水的流动轨迹，进一步提高了散热效果。

进一步地，还包括步骤G：从所述填料区流出的水进入蓄水池。实现蓄水功能。

所述电机带动第一风扇和第二风扇旋转，进而增大风从蓄水池底部的散热间隙进入顶盖上的散热孔排出。进一步促进降温桶内外的空气循环，进一步提高了散热效果。

综上所述，本发明的有益效果：整个散热过程只用到了一个电机，实现了水流动过程中的水罩旋转甩水、摆动盘摆动冷却水，洒水管旋转洒水，气泵抽取降温桶内的空气并排出降温桶外、弹性填料的折叠或者展开改变水的流动路径、第一风扇和第二风扇旋转促进降温桶内外空气循环等等，大大提高了水的降温效果，提高了实用性；而且只需用到1个降温桶和1个电机即可实现有效、快速的降温，集成度高，使用成本低。

附图说明

图1为本发明实施例1结构示意图；

图2为本发明实施例1降温桶剖视图；

图3为本发明实施例1的折叠架、弹性填料及网板连接示意图；

图4为本发明实施例1的反应板与泵体连接示意图；

图5为本发明实施例1的集水槽、洒水管及反应板连接示意图。

图6为本发明实施例1的螺旋散热区俯视图。

图7为本发明实施例1的摆动盘结构示意图；

图8为本发明实施例1的顶盖结构示意图；

其中，底盘1、第一出水口11；

降温桶2、顶盖21、散热孔21a；气泵22、气泵轴22a、气泵体22b、进气口22c、出气口22d、支撑柱23；

螺旋散热区3、散热盘31、散热槽32、进水管33、第二出口34、水罩35；

控水吸热区4、控水盘41、第一圆台面41a、外环套42、第二圆台面42a、第一间隙43、第一弹簧44；

摆动散热区5、摆动盘51、三角凸环51a、第三出水口51c、聚水套52、第一磁块53、第二弹簧54；

换气喷水区6、集水槽61、洒水管62、反应板63、第二磁块64、第一轨迹槽65；

填料区7、折叠架71、弹性填料72、轨迹套73、竖直滑槽74、第二轨迹槽75、网板76；

蓄水池8、散热间隙81、电机9、电机轴91、第一风扇92、第二风扇93。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

如图1-8所示，一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备，包括底盘1，所述底盘1上设有降温通道，降温通道一端连接第一进水口，一端连接第一出水口11,此处的降温通道可选用现有技术，通过降温通道对底盘1进行降温。所述第一出水口11连接降温装置。

本申请的主要不同之处在于：如图1所示，所述降温装置包括降温桶2、电机9、螺旋散热区3、控水吸热区4、摆动散热区5、换气喷水区6以及填料区7以及蓄水池8。螺旋散热区3、控水吸热区4、摆动散热区5、换气喷水区6以及填料区7以及蓄水池8沿着降温桶2从上至下依次分布。

如图2和图8所示，所述降温桶2的顶部设有顶盖21，所述电机9固定于顶盖21上；所述顶盖21上设有散热孔21a，所述电机轴91穿入顶盖21内连接第一风扇92。所述电机9具有电机轴91，电机轴91穿过顶盖21内延伸至螺旋散热区3、控水吸热区4、摆动散热区5、换气洒水区6以及填料区7、蓄水区8内，电机轴91的底端支撑于降温桶2内底部。所述降温桶2位于蓄水池8内，蓄水池8内侧面与降温桶2外侧内壁之间形成散热间隙81，所述降温桶2底部通过支撑柱23连接蓄水池8内底部。

所述螺旋散热区3包括散热盘31、散热槽32、进水管33、第二出口34及水罩35。散热盘31与降温桶2内壁连接，散热盘31的顶部形成螺旋形的散热槽32，进水管33设于散热槽32外圈上方，第二出口34设于螺旋槽32中心处，该进水管33穿出顶盖21连接第一出水口11。所述电机轴91穿出第二出水口34固定连接水罩35，所述水罩35罩设于第二出水口34处，水罩35外壁分布第一孔。

所述控水吸热区4包括第一弹簧44、控水盘41及外环套42，所述第一弹簧44连接于水罩35底部，第一弹簧44底部连接控水盘41，外环套42套设于控水盘41外围，该外环套42固定于降温桶2内壁，所述电机轴91穿出控水盘41，控水盘41可相对于电机轴91上下滑动，控水盘41最好能随电机轴91旋转，且控水盘41外侧壁形成上小下大的第一圆台面41a，所述外环套42内壁也呈圆台形，且与第二圆台面42a配合，第一圆台面41a和第二圆台面42a之间形成第一间隙43；当控水盘41上方没有水的时候，第一间隙43比较小，而且电机轴91旋转时带动第一弹簧44旋转也会带动第一控水盘41旋转打开第一间隙43；当控水盘41上方水量比较大时，会推动控水盘41相对于外环套42下移，第一间隙43变大。

如图2和图7所示，所述摆动散热区5包括摆动盘51、聚水套52、第一磁块53及第二弹簧54。所述聚水套52位于摆动盘51上方，第一磁块53设于摆动盘51底面，第二弹簧54至少两个，且均匀分布在摆动盘51外圈，第二弹簧54连接降温桶2和摆动盘51。所述聚水套52内侧壁形成上大下小的圆台形引水壁52a，聚水套52连接于降温通桶2内壁；所述摆动盘51呈中间下凹圆弧形，聚水套52底部延伸至摆动盘51内，摆动盘51内壁从内向外依次分布三角凸环51a，该三角凸环51a的横截面呈三角形，三角凸环51a的两侧壁向中心内凹，如图2所示；所述摆动盘51的中心设供电机轴穿出并自由旋转的第三出水口51c。

如2、图4、图5及图7所示，所述换气洒水区6包括集水槽61、洒水管62、反应板63以及第二磁块64，集水槽61开口正对第三出水口51c，该集水槽61套设于电机轴91外；洒水管62最好是6根，且连通集水槽61下部外围，反应板63套设于集水槽61上部外围，第二磁块64设于反应板63上，该第二磁块64与第一磁块53对应，所述第一磁块53为两个，且磁极相同，并对立设置于摆动盘51底面；所述第二磁块64为1个，第一磁块53和第二磁块64互相靠近的一端磁极相同，进而在反应板63旋转时，第二磁块64会交替排斥两个第一磁块53，进而推动摆动盘51摆动。

如图4和图5所示，所述反应板63的底面设有环形的第一轨迹槽65，第一轨迹槽65沿周向形成波浪形，该第一轨迹槽65位于电机轴91外围；所述降温桶2内壁还设置有气泵22，该气泵22具有气泵轴22a和气泵体22b，气泵轴22a伸入第一轨迹槽65、并能沿第一轨迹槽65移动，气泵体22b连接气泵轴22a，所述气泵体22b上位于降温桶2内的设有进气口22c和穿出降温桶2外的出气口22d。该气泵采用现有产品，此处不再赘述。

优选的，所述填料区7包括折叠架71、网板76、轨迹套73、弹性填料72及第二轨迹槽75，网板76沿折叠架71竖直方向平行分布，每一网板两侧均设置水平滑槽，所述折叠架71选用现有的交叉折叠结构，折叠架71两侧设有可插入水平滑槽内的滑动柱，进而在折叠架折叠过程中滑动柱能在水平滑槽内移动带动网板76折叠或者展开。当然也采用现有的一些其他的折叠结构，类似把网板76也设计成可折叠的结构，网板76与折叠架71之间也可以是交接等等。弹性填料72连接相邻网板76，该弹性填料72也选用现有的材料，轨迹套73套设于电机轴91外，轨迹套73能随电机轴91旋转，竖直滑槽74连接于降温桶2内壁。所述轨迹套73的外壁设有螺旋线的第二轨迹槽75，所述折叠架71底部固定于降温桶2内，折叠架71顶部两侧设有凸柱，其中一侧的凸柱位于第二轨迹槽75内，另一侧的凸柱位于竖直滑槽74内，凸柱沿第二轨迹槽75移动升降，进而带动整个折叠架打开或折叠。所述电机轴91位于轨迹套73的正下方设有第二风扇93。

实施例2

本实施例是实施例1的使用方法，具体为一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备的使用方法，具体步骤如下：

A.使用时，水从第一进水口进入底盘1内，对底盘1进行降温后从第一出水口11排出，然后进入进水管33。

B.进水管33将水传输至螺旋形的散热槽32的最外圈，然后沿着散热槽33呈螺旋形向散热盘31中心流动，并最终从第二出水口11流下进入水罩35内。

C.电机9旋转会带动电机轴91旋转，电机9间反复正反转，进而带动水罩35一起旋转，将水罩35内的水从第一孔甩出；甩出的水集中在控水盘41和外环套42上方，随着重量的增加，压动控水盘41下移，所以第一弹簧44拉伸，水从第一间隙43流出，随着水量的增大，水的重量也增大，控水盘41下移的距离也变大，于是第一间隙43也变大，出水量也随之增大。

D.从第一间隙43流出的水沿着聚水套52流入摆动盘51边缘；电机9带动集水槽61旋转的同时会带动反应板63旋转，反应板63带动第二磁块64旋转，第二磁块64旋转会交替排斥两个第一磁块53，带动摆动盘摆动，在第二弹簧54的拉动下摆动盘51复位；水向摆动盘51中心流动的过程中，在摆动盘51的摆动作用下会反复冲向三角凸环51a的两侧壁，并流向第三出水口51c。

E.水从摆动盘51中心的第三出水口51c排出，进入集水槽61内；集水槽61旋转带动洒水管62旋转，进而水从洒水管62洒至填料区7；于此同时，反应板63随集水槽61旋转，然后气泵轴22a会沿着反应板63底面的第一轨迹槽65移动，由于第一轨迹槽65的波浪形设计，于是气泵轴22a会不断的伸缩挤压气泵体22b，气泵体22b将降温桶2内的热气从进气口22c吸入，然后从出气口22d排出降温桶2外。

步骤F：电机9正转时，带动轨迹套73正转，进而折叠架71顶部两侧的凸柱会沿着第二轨迹槽75逐渐螺旋上移，带动折叠架71展开，相邻网板76间距变大，拉长弹性填料72；电机9反转时，带动轨迹套73反转，进而折叠架71顶部两侧的凸柱会沿着第二轨迹槽75逐渐下移，带动折叠架71收缩，相邻网板76间距变小，弹性填料72复位，水进入弹性填料，弹性填料形变时而拉长，时而缩短，促进填料72散热，改变了水的流动轨迹，进一步提高了水的散热效果。

步骤G：从所述填料区7流出的水进入蓄水池，实现水冷却后的存储，所述电机带动第一风扇92和第二风扇93旋转，进而增大风从蓄水池8底部的散热间隙进入顶盖21上的散热孔21a排出，进一步提高了降温桶2的散热效果。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备，包括底盘(1)，所述底盘(1)上设有降温通道，降温通道一端连接第一进水口，一端连接第一出水口(11),其特征在于：所述第一出水口(11)连接降温装置，该降温装置包括降温桶(2)、电机(9)和沿着降温桶(2)从上至下依次分布的螺旋散热区(3)、控水吸热区(4)、摆动散热区(5)、换气喷水区(6)以及填料区(7)以及蓄水池(8)；

所述降温桶(2)的顶部设有顶盖(21)，所述电机(9)固定于顶盖(21)上；所述电机(9)具有穿过顶盖(21)内延伸至螺旋散热区(3)、控水吸热区(4)、摆动散热区(5)、换气洒水区(6)以及填料区(7)、蓄水区(8)的电机轴(91)；

所述螺旋散热区(3)包括与降温桶(2)内壁连接的散热盘(31)，散热盘(31)的顶部形成螺旋形的散热槽(32)、设于散热槽(32)外圈上方的进水管(33)、设于螺旋槽(32)中心的第二出口(34)及水罩(35)，该进水管(33)穿出顶盖(21)连接第一出水口(11)，所述电机轴(91)穿出第二出水口(34)固定连接水罩(35)，所述水罩(35)罩设于第二出水口(34)处，水罩(35)外壁分布第一孔；

所述控水吸热区(4)包括连接于水罩(35)底部的第一弹簧(44)、连接第一弹簧(44)底部的控水盘(41)、套设于控水盘(41)外围的外环套(42)，该外环套(42)固定于降温桶(2)内壁，所述电机轴(91)穿出控水盘(41)，且控水盘(41)外侧壁形成上小下大的第一圆台面(41a)，所述外环套(42)内壁也呈圆台形，且与第二圆台面(42a)配合，第一圆台面(41a)和第二圆台面(42a)之间形成第一间隙(43)；

所述摆动散热区(5)包括摆动盘(51)，位于摆动盘(51)上方的聚水套(52)、设于摆动盘(51)底面第一磁块(53)、至少两个均匀分布在摆动盘(51)外圈的第二弹簧(54)；第二弹簧(54)连接降温桶(2)和摆动盘(51)，所述聚水套(52)内侧壁形成上大下小的圆台形引水壁(52a)，聚水套(52)连接于降温通桶(2)内壁；所述摆动盘(51)呈中间下凹圆弧形，聚水套(52)底部延伸至摆动盘(51)内，摆动盘(51)内壁从内向外依次分布三角凸环(51a)，该三角凸环(51a)的横截面呈三角形，三角凸环(51a)的两侧壁向中心内凹；所述摆动盘(51)的中心设供电机轴穿出并自由旋转的第三出水口(51c)；

所述换气洒水区(6)包括开口正对第三出水口(51c)的集水槽(61)、连通集水槽(61)下部外围洒水管(62)、套设于集水槽上部外围的反应板(63)以及设于反应板上的第二磁块(64)，该第二磁块(64)与第一磁块(53)对应，该集水槽(61)套设于电机轴(91)外；所述反应板(63)的底面设有环形的第一轨迹槽(65)，第一轨迹槽(65)沿周向形成波浪形，该第一轨迹槽(65)位于电机轴(91)外围；所述降温桶(2)内壁还设置有气泵(22)，该气泵(22)具有伸入第一轨迹槽(65)、并能沿第一轨迹槽(65)移动的气泵轴(22a)，连接气泵轴(22a)的气泵体(22b)，所述气泵体上位于降温桶(2)内的设有进气口(22c)和穿出降温桶(2)外的出气口(22d)。

2.根据权利要求1所述的能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备，其特征在于：所述填料区(7)包括折叠架(71)、沿折叠架(71)竖直方向平行分布的网板(76)，连接相邻网板(76)的弹性填料(72)，套设于电机轴(91)外的轨迹套(73)、连接于降温桶(2)内壁的竖直滑槽(74)；所述轨迹套(73)的外壁设有螺旋线的第二轨迹槽(75)，所述折叠架(71)底部固定于降温桶(2)内，折叠架(71)顶部两侧设有凸柱，其中一侧的凸柱位于第二轨迹槽(75)内，另一侧的凸柱位于竖直滑槽(74)内。

3.根据权利要求2所述的能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备，其特征在于：所述第一磁块(53)为两个，且磁极相同，并对立设置于摆动盘底面；所述第二磁块(64)为1个，第一磁块(53)和第二磁块(64)磁极相同。

4.根据权利要求3所述的能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备，其特征在于：所述顶盖(21)上设有散热孔(21a)，所述电机轴(91)穿入顶盖内连接第一风扇(92)，所述电机轴(91)位于轨迹套(73)的正下方设有第二风扇(93)。

5.根据权利要求4所述的能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备，其特征在于：所述降温桶(2)位于蓄水池(8)内，蓄水池(8)内侧面与降温桶(2)外侧内壁之间形成散热间隙(81)，所述降温桶(2)底部通过支撑柱(23)连接蓄水池(8)内底部。

6.一种权利要求5所述的能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备的使用方法，具体步骤如下：

A.使用时，水从第一进水口进入底盘(1)内，对底盘(1)进行降温后从第一出水口(11)排出，然后进入进水管(33)；

B.进水管将水传输至螺旋形的散热槽(32)的最外圈，然后沿着散热槽(33)呈螺旋形向散热盘(31)中心流动，并最终从第二出水口(11)流至水罩(35)内；

C.电机(9)旋转会带动电机轴旋转，进而带动水罩(35)一起旋转，将水罩(35)内的水从第一孔甩出；甩出的水集中在控水盘(41)和外环套(42)上方，随着重量的增加，压动控水盘(41)下移，所以第一弹簧(44)拉伸，水从第一间隙(43)流出，随着水量的增大，水的重量也增大，控水盘(41)下移的距离也变大，于是第一间隙(43)也变大，出水量也随之增大；

D.从第一间隙(43)流出的水沿着聚水套(52)流入摆动盘(51)边缘；电机(9)带动集水槽(61)旋转的同时会带动反应板(63)旋转，反应板(63)带动第二磁块(64)旋转，第二磁块(64)旋转会反复排斥第一磁块(53)，带动摆动盘摆动，在第二弹簧(54)的拉动下摆动盘(51)复位；水向摆动盘(51)中心流动的过程中，在摆动盘(51)的摆动作用下会反复冲向三角凸环(51a)的两侧壁，并流向第三出水口(51c)；

E.水从摆动盘(51)中心的第三出水口(51c)排出，进入集水槽(61)内；集水槽(61)旋转带动洒水管(62)旋转，进而水从洒水管(62)洒至填料区(7)；于此同时，反应板(63)随集水槽(61)旋转，然后气泵轴(22a)会沿着反应板(63)底面的第一轨迹槽(65)移动，由于第一轨迹槽(65)的波浪形设计，气泵轴(22a)不断的伸缩挤压气泵体(22b)，气泵体(22b)将降温桶内的热气从进气口(22c)吸入，然后从出气口(22d)排出降温桶(2)外。

7.根据权利要求6所述的能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备的使用方法，其特征在于：还包括步骤F：电机(9)正转，带动轨迹套(73)正转，进而折叠架(71)顶部两侧的凸柱会沿着第二轨迹槽(75)逐渐螺旋上移，带动折叠架(71)展开，相邻网板(76)间距变大，拉长弹性填料(72)；电机(9)反转时，带动轨迹套(73)反转，进而折叠架(71)顶部两侧的凸柱会沿着第二轨迹槽(75)逐渐下移，带动折叠架(71)收缩，相邻网板(76)间距变小，弹性填料(72)复位。

8.根据权利要求7所述的能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备的使用方法，其特征在于：还包括步骤G：从所述填料区(7)流出的水进入蓄水池。

9.根据权利要求7所述的能实现水冷却循环降温的单晶炉底盘设备的使用方法，其特征在于：步骤G还包括：所述电机(9)带动第一风扇(92)和第二风扇(93)旋转，进而增大风从蓄水池(8)底部的散热间隙进入顶盖(21)上的散热孔(21a)排出。

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