CN114988720A - 气体分配装置及喷涂设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种气体分配装置及喷涂设备，气体分配装置包括总管组与分管组，总管组包括供气总管和回气总管，分管组包括供气分管和回气分管，供气分管设有喷气口，回气分管设有回气口，供气分管设置有多个均匀分布的第一分气口，所回气分管设置有多个均匀分布的第二分气口；喷涂设备包括气体分配装置。本发明中，供气总管通过第一分气口将工艺气体均化后通入供气分管内，工艺气体经由喷气口喷出后能够均匀喷涂于玻璃表面，使玻璃上下表面以及上表面不同区域的离子交换速度达到平衡，克服了超薄浮法玻璃在化学钢化过程中的翘曲问题。

Description

气体分配装置及喷涂设备

技术领域

本发明涉及超薄浮法玻璃制备技术领域，尤其涉及一种气体分配装置及喷涂设备。

背景技术

超薄浮法玻璃生产过程中，为增加超薄玻璃的强度和抗划伤性能，通常以离子交换的方式对超薄浮法玻璃进行化学钢化处理，由于玻璃在锡槽中浮法成型时发生渗锡，玻璃上下表面中的Na⁺数量存在差异，造成化学钢化时，玻璃上下表面的离子交换速率不一致，导致玻璃的上下表面形成不均衡的压应力而出现翘曲，影响超薄浮法玻璃的生产良率，以向玻璃喷涂工艺气体来平衡玻璃两侧Na⁺数量的方式，不能保证工艺气体喷涂的均匀度，无法克服超薄浮法玻璃翘曲的缺陷。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种气体分配装置，能够向玻璃表面均匀喷涂工艺气体，克服了超薄浮法玻璃化学钢化时翘曲的缺陷。

本发明还提出一种具有上述气体分配装置的喷涂设备。

根据本发明的第一方面实施例的气体分配装置，包括：

总管组，包括至少一个供气总管和至少一个回气总管，所述供气总管用于输送工艺气体，所述回气总管用于回收所述工艺气体反应后形成的废气；

分管组，包括供气分管和回气分管，所述供气分管和所述回气分管并排分布，所述供气分管设有喷气口，所述喷气口沿所述供气分管的延伸方向设置，所述回气分管设有回气口，所述回气口沿所述回气分管的延伸方向设置，所述喷气口与所述回气口位于所述供气分管与所述回气分管的同一侧，所述供气分管沿所述供气总管的延伸方向设置有多个均匀分布的第一分气口，所述供气分管通过所述第一分气口与所述供气总管连通，所述回气分管沿所述回气总管的延伸方向设置有多个均匀分布的第二分气口，所述回气分管通过所述第二分气口与所述回气总管连通。

根据本发明实施例的气体分配装置，至少具有如下有益效果：

本发明实施例中提供的气体分配装置，供气总管通过第一分气口将工艺气体均化后通入供气分管内，工艺气体经由喷气口喷出后能够均匀喷涂于玻璃表面，与玻璃表层的Na⁺反应，以均衡玻璃上下表面的Na⁺数量，以及玻璃上表面不同区域的Na⁺数量，使玻璃上下表面以及上表面不同区域的离子交换速度达到平衡，克服了超薄浮法玻璃在化学钢化过程中的翘曲问题；并且在喷涂过程中，对废气进行回收，避免废气影响工艺气体的反应，保证工艺气体与玻璃表层Na⁺充分进行化学反应。

根据本发明的一些实施例，沿所述供气分管的延伸方向，所述供气分管设置有至少一条第一狭缝，所述第一狭缝形成所述喷气口；沿所述回气分管的延伸方向，所述回气分管设置有至少一条第二狭缝，所述第二狭缝形成所述回气口。

根据本发明的一些实施例，所述供气分管包括多个第一间断部，所述第一间断部沿所述供气分管的延伸方向间隔分布，所述喷气口于所述第一间断部处间断设置；所述回气分管包括多个第二间断部，所述第二间断部沿所述回气分管的延伸方向间隔分布，所述回气口于所述第二间断部处间断设置。

根据本发明的一些实施例，所述供气分管具有第一补气口，所述第一补气口位于所述第一间断部处，所述第一补气口与所述喷气口沿垂直于所述供气分管延伸的方向交错设置；所述回气分管具有第二补气口，所述第二补气口位于所述第二间断部处，所述第二补气口与所述回气口沿垂直于所述回气分管延伸的方向交错设置。

根据本发明的一些实施例，所述供气分管与所述回气分管均设置有多个，所述供气分管与所述回气分管交替排布，所述回气分管位于所述分管组的外侧。

根据本发明的一些实施例，所述总管组包括多个并排设置的供气总管与回气总管，所述供气总管与所述回气总管的排布方向与所述供气总管的延伸方向垂直，每一所述供气总管均与至少一个所述供气分管连通，每一所述回气总管均与至少一个所述回气分管连通。

根据本发明的一些实施例，所述气体分配装置还包括多个供气支管与多个回气支管，所述供气支管的一端于所述第一分气口处与所述供气分管连通，所述供气支管的另一端与所述供气总管连通，所述回气支管的一端于所述第二分气口处与所述回气分管连通，所述回气支管的另一端与所述回气总管连通。

根据本发明的一些实施例，所述供气分管设有所述喷气口的侧面设置为，由端部向中心处朝向所述供气分管的外侧逐渐突出；所述回气分管设有所述回气口的侧面设置为，由端部向中心处朝向所述回气分管的外侧逐渐突出。

根据本发明的第二方面实施例的喷涂设备，包括：

第一方面实施例的气体分配装置；

反应装置，内部设有高温反应腔，所述分管组与至少部分所述总管组容置于所述高温反应腔内，所述反应装置包括承载机构，所述承载机构用于放置玻璃，所述喷气口与所述回气口朝向所述承载机构设置。

根据本发明的一些实施例，所述喷涂设备还包括移动装置，所述总管组露出至所述高温反应腔外部的一端固定于所述移动装置，所述移动装置用于改变所述气体分配装置与所述玻璃的相对位置。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明做进一步的说明，其中：

图1为本发明气体分配装置一个实施例的结构示意图；

图2为图1中气体分配装置的侧视图；

图3为图1中气体分配装置的剖视图；

图4为图3中部分供气分管与回气分管的剖视图；

图5为图1中供气分管与回气分管的排布示意图；

图6为图5中A处的放大图；

图7为本发明气体分配装置另一实施例的侧视图；

图8为本发明喷涂设备一个实施例的结构示意图；

图9为图8中移动装置一个实施例的结构示意图。

附图标记：

总管组100，供气总管110，回气总管120，供气转接管130，回气转接管140；分管组200，供气分管210，第一分气口211，喷气口212，第一间断部213，第一补气口214，回气分管220，第二分气口221，回气口222，第二间断部223，第二补气口224，供气支管230，回气支管240；反应装置300，高温反应腔310，承载机构320，贯穿腔330；移动装置400，连接臂500。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本发明的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本发明中的具体含义。

本发明的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

传统的超薄浮法玻璃生产过程中，玻璃在锡槽中以浮法呈型，成型过程中，玻璃的下表面(锡液面)浮在锡液中，玻璃的上表面(空气面)处于充斥有氢氮等保护气体的封闭空间中，锡液中的Sn²⁺向玻璃的下表面发生迁移，造成玻璃的下表面发生渗锡现象，因此，玻璃下表面的Na⁺数量少于上表面的Na⁺数量。超薄浮法玻璃的化学钢化，通过离子交换的方式使玻璃表层中半径较小的Na⁺与熔盐中半径较大的K⁺进行交换，由于交换后离子体积发生变化，在玻璃的表面形成压应力，内部形成张应力，达到提高玻璃强度的效果；由于Sn²⁺相较于K⁺的半径较大，在化学钢化过程中，Sn²⁺阻碍K⁺与Na⁺的交换，并且由于玻璃上下表面Na⁺数量的差异，因此，玻璃下表面K⁺与Na⁺的离子交换速率低于上表面的离子交换速率，玻璃两个表面所形成的压应力不均衡，导致玻璃出现翘曲。

本发明的实施例中，设置气体分配装置，在玻璃进行化学强化时，向玻璃表面喷涂工艺气体，工艺气体与玻璃上表面的Na⁺进行化学反应，减少玻璃上表面的Na⁺数量，使玻璃上下表面能够参与离子交换的Na⁺数量相对平衡，在进行化学强化时，玻璃上小表面中半径较小的Na⁺与化学强化熔盐中半径较大的K⁺进行交换，并且上下表面的离子交换速率一致，使玻璃上下表面形成均衡的压应力，降低玻璃在化学钢化时的翘曲程度。

需要说明的是，为使玻璃上表面不同区域处的Na⁺均能与工艺气体进行反应，工艺气体应均匀喷涂于玻璃的上表面，使玻璃上表面不同区域处的Na⁺数量分布均匀，并具有相对均衡的离子交换速率。基于此，如图1与图2所示，本发明的实施例中，气体分配装置包括总管组100与分管组200，工艺气体经总管组100分配后进入分管组200内，并由分管组200喷涂至玻璃的上表面，经过分配后的工艺气体稳定、均匀的喷涂至玻璃表面，有利于均化工艺气体与玻璃表面不同区域Na⁺的反应速率，使玻璃表层Na⁺的数量分布更为均匀。

具体的，总管组100包括至少一个供气总管110和至少一个回气总管120，供气总管110用于充斥及输送工艺气体，回气总管120用于回收工艺气体Na⁺反应后形成的废气，避免废气影响工艺气体与Na⁺的反应，并防止废气残留于高温反应环境内，对反应装置300造成腐蚀。结合图3与图4，分管组200包括供气分管210与回气分管220，供气分管210与回气分管220并排设置，供气分管210沿供气总管110的延伸方向设置有多个均匀分布的第一分气口211，供气分管210通过第一分气口211与供气总管110连通，第一分气口211沿供气总管110的延伸方向对供气总管110内的工艺气体进行分配，供气总管110内的工艺气体经由第一分气口211均匀进入供气分管210的不同区域；同样的，回气分管220沿回气总管120的延伸方向设置有多个均匀分布的第二分气口221，回气分管220通过第二分气口221与回气总管120连通，回收至回气分管220内的废气，可以经由多个第二分气口221进入回气总管120内，使位于回气分管220内每一区域的废气均能得到回收，避免回气分管220存在废气残留。

供气分管210设有喷气口212，喷气口212沿供气分管210的延伸方向设置，经过第一分气口211均化作用的工艺气体进入供气分管210内，并均匀充斥于供气分管210的内腔，工艺气体能够从喷气口212处喷出，使供气分管210在其延伸方向上均匀喷射工艺气体，提高了工艺气体喷涂于玻璃表面的均匀度。同样的，回气分管220设有回气口222，回气口222沿回气分管220的延伸方向设置；分管组200与玻璃之间具有一定距离，并形成反应空间，工艺气体喷涂于玻璃表面后，与玻璃表面的Na⁺反应并形成废气，由于供气分管210与回气分管220并排设置，因此，回气口222与喷气口212临近，废气可快速进入回气口222回收，减少废气在高温反应环境内的残留。

由此，本发明实施例中提供的气体分配装置，供气总管110通过第一分气口211将工艺气体均化后通入供气分管210内，工艺气体经由喷气口212喷出后能够均匀喷涂于玻璃表面，与玻璃表层的Na⁺反应，以均衡玻璃上下表面的Na⁺数量，以及玻璃上表面不同区域的Na⁺数量，使玻璃上下表面以及上表面不同区域的离子交换速度达到平衡，克服了超薄浮法玻璃在化学钢化过程中的翘曲问题；并且在喷涂过程中，对废气进行回收，避免废气影响工艺气体的反应，保证工艺气体与玻璃表层Na⁺充分进行化学反应。

需要说明的是，供气总管110内施加有正压，气压将工艺气体从供气总管110送入供气分管210，并从喷气口212处喷出；回气总管120内施加有负压，工艺气体反应后形成的废气充斥于分管组200与玻璃之间，在负压作用下，废气被吸入回气分管220内，并经由回气分管220汇入回气总管120。

另外，总管组100还包括供气转接管130与回气转接管140，供气转接管130与供气总管110连接，供气转接管130可与管道连接，用于将气源处的工艺气体输送至供气总管110，使供气总管110对工艺气体进行进一步处理；回气转接管140与回气总管120连接，回气转接管140可与管道连接，用于将回气总管120内的废气输送至废气处理装置，对废气进行收集及进一步处理。

供气总管110与回气总管120的数量可根据玻璃的喷涂需求选择，如，供气总管110与回气总管120均设置有一个时，每一供气分管210均与供气总管110连通，由供气分管210统一向供气分管210分配工艺气体，对于供气分管210设置有多个的情况，不同的供气分管210可通过分管道与供气总管110连接，分管道的一端与第一分气口211连通，分管道的另一端与供气总管110连通，连接于不同供气分管210的分管道在供气总管110上的连接位置交错设置，从而，供气总管110内的工艺气体经过分管道的分配后进入不同的供气分管210内，使工艺气体得到均分；同样的，对于回气总管120设有一个，回气分管220设有多个的情况，不同的回气分管220通过分管道与回气总管120连接，分管道的一端与第二分气口221连通，分管道的另一端与回气总管120连通，连接于不同回气分管220的分管道在回气总管120上的连接位置交错设置。

需要说明的是，由于供气分管210与回气分管220设置有多个，多个供气分管210可以均匀分布，并朝向玻璃的不同区域喷涂工艺气体，有利于工艺气体在玻璃表面分布的均匀化。进一步的，对于供气总管110与回气总管120设置有多个，且供气分管210与回气设置有多个的情况，如图3所示，若供气总管110的数量与供气分管210的数量相同，回气分管220的数量与回气总管120的数量相同，此情形下，供气总管110与供气分管210一一对应并相互连通，回气分管220与回气总管120一一对应并相互连通，该连通方式可以是，供气总管110的出气一侧贴附于供气分管210设置第一分气口211的一侧，供气总管110内的工艺气体直接通过第一分气口211进入供气分管210，同样的，回气总管120的回气一侧贴附于回气分管220设置第二分气口221的一侧，回气分管220内的废气直接通过第二分气口221进入回气总管120；或者，该连通方式可以是，在供气总管110与供气分管210之间设置供气支管230，供气支管230的一端与第一分气口211连通，供气支管230的另一端与相应的供气总管110连通，回气总管120与回气分管220之间设置有回气支管240，回气支管240的一端与第二分气口221连通，回气支管240的另一端与相应的回气总管120连通，以设置支管的方式将相应的供气总管110与供气支管230之间，以及回气总管120与回气支管220连通，便于支管与总管、分管连接处的密封，此情形下，供气总管110与供气支管230可以沿竖直方向排布，供气支管230与回气支管240的排布简洁，且气路较短，有利于提高工艺气体的喷涂效率。

对于供气总管110与供气分管210的数量不同，回气总管120与回气分管220数量不同的情形，可以参照供气总管110与回气总管120设置有一个，供气分管210与回气分管220设置有多个时的管道连接方式，即通过设置分管道的方式，使一个供气总管110与多个供气分管210连通，或者一个回气总管120与多个回气分管220连通。

可以想到的是，供气总管110与回气总管120设置有多个时，二者并排设置，并且供气总管110与回气总管120的排布方向与供气总管110的延伸方向垂直，每一供气总管110均与至少一个供气分管210连通，每一回气总管120均与至少一个回气分管220连通；从而，工艺气体先沿供气总管110与回气总管120道的排布方向被分配，再由第一分气口211沿供气总管110道的延伸方向被分配，最后沿供气支管230的延伸方向从喷气口212处喷出，经过多次分配后的工艺气体被最大化的均化，能够有效均匀工艺气体的喷涂效果。

为保证废气的充分回收，供气分管210与回气分管220设置有多个时，供气分管210与回气分管220交替排布，因此，每一供气分管210的侧部均设有回气分管220，工艺气体与Na⁺反应后形成的废气存在于分管组200与玻璃之间，在负压作用下，废气被快速吸取至回气分管220内，并且回气分管220可以兼顾其两侧的供气分管210所喷出的工艺气体所产生的废气的回收，有效提高了废气的回收效率。

进一步的，回气分管220位于分管组200的外侧，也即，供气分管210朝向分管组200外部的一侧至少设置有一个回气分管220，位于每一供气分管210与玻璃之间的废气均可被该供气分管210外侧的回气分管220回收，防止废气外溢，使废气的回收更为彻底。

如图5所示，沿供气分管210的延伸方向，供气分管210设置有至少一条第一狭缝，第一狭缝形成喷气口212，沿回气分管220的延伸方向，回气分管220设置有至少一条第二狭缝，第二狭缝形成回气口222。将喷气口212于回气口222设置为狭缝形式，一方面，使工艺气体以喷射形式与玻璃表面接触，便于工艺气体与玻璃表层的Na⁺反应，另一方面，相较于点状喷涂，可以降低工艺气体喷出后在玻璃表面的聚集程度，避免在玻璃表面形成集中式喷涂，从而提高工艺气体喷涂的均匀度；同样的，废气由工艺气体反应后产生，废气存在于工艺气体的喷涂区域，回气口222设置为与喷气口212相似的形式，有利于对废气的快速回收，清空玻璃表面覆盖废气的区域，使工艺气体不断接触玻璃表面并与Na⁺反应，使玻璃表面Na⁺的均衡过程更为高效。

工艺气体与Na⁺的反应在高温环境下进行，长期处于高温环境的分管组200具有变形趋势，并且由于工艺气体的喷涂与回收具有一定气压，在喷气口212与回气口222设置为狭缝形式时，会进一步加重分管组200的变形，为提高分管组200的结构强度，降低分管组200的热变形，在一个实施例中，如图6所示，供气分管210包括第一间断部213，回气分管220包括多个第二间断部223，第一间断部213沿供气分管210的延伸方向间隔分布，喷气口212与第一间断部213处间断，第二间断部223沿回气分管220的延伸方向间隔分布，回气口222于第二间断部223处间断，设置第一间断部213与第二间断部223可以提高供气分管210与回气分管220的结构强度，避免分管组200由于热变形而开裂。

进一步，由于第一间断部213与第二间断部223的设置，工艺气体在第一间断部213处被阻挡而无法喷出，废气在第二间断部223部被阻挡而无法被回收，基于此，本发明的实施例中，供气分管210具有第一补气口214，第一补气口214位于第一间断部213处，第一补气口214用于弥补工艺气体在第一间断部213处被阻挡的影响，使工艺气体的喷涂更为均匀，回气分管220具有第二补气口224，第二补气口224位于第二间断部223处，第二补气口224用于弥补废气在第二间断部223处被阻挡的影响，使废气能够充分回收。另外，第一补气口214与喷气口212沿垂直于供气分管210延伸的方向交错设置，第二补气口224与回气口222沿垂直于回气分管220延伸的方向交错设置，以降低供气分管210沿喷气口212开裂的风险，以及回气分管220沿吹气口开裂的风险。

需要说明的是，供气分管210设置喷气口212的侧面与回气分管220设置回气口222的侧面位于同一平面内，以提高分管组200反应面(朝向玻璃的平面)的平面度，有利于保证工艺气体与Na⁺反应的均匀性与一致性。由于喷涂过程中，分管组200持续处于高温环境，分管组200的反应面在高温下膨胀，并产生变形；如图7所示，为保证分管组200反应面的平面度，供气分管210设有喷气口212的侧面设置为，由端部向中心处朝向供气分管210的外侧逐渐突出，回气分管220设有回气口222的侧面设置为，由端部向中心处朝向回气分管220的外侧逐渐突出，从而供气分管210与回气分管220的侧面均向外突出呈弧状，通过预先对供气分管210与回气分管220的侧面进行突出设置，分管组200的反应面在高温变形后可以与预先设置的变形量对冲，从而减小分管组200反应面在高温反应时的变形，提高分管组200反应面的平面度，能够满足工艺气体与Na⁺反应均匀度的需求。

如图8与图9所示，本发明的实施例中还提供了一种喷涂设备，包括上述的气体分配装置，还包括反应装置300，反应装置300的内部设有高温反应腔310，反应装置300可以是退火窑或过渡辊台，分管组200与至少部分的总管组100容置于高温反应腔310内，反应装置300还包括承载机构320，承载机构320用于放置玻璃，喷气口212与回气口222均朝向承载机构320设置；从而，从喷气口212喷出的工艺气体与玻璃的上表面接触，并与玻璃表层的Na⁺反应，所形成的废气从回气口222进入回气分管220，实现对废气的回收。

承载机构320可以包括多个传送辊，传送辊与反应装置300的侧壁转动连接，玻璃放置于传送辊表面，传送辊转动时带动玻璃移动，使玻璃被不断输送至反应装置300内，实现自动化喷涂。

供气总管110与回气总管120的一端露出至高温反应腔310的外部，供气转接管130连接于供气总管110的露出端，回气转接管140连接于回气总管120的露出端，以降低高温对供气转接管130与回气转接管140的影响，便于转接管与总管组100之间的装配。

喷涂设备还包括移动装置400，气体分配装置还包括连接臂500，连接臂500连接于总管组100露出至高温反应腔310外部的一端，连接臂500固定于移动装置400，移动装置400用于改变气体分配装置与玻璃的相对位置。通过调整气体分配装置与玻璃的相对位置，使气体分配装置能够对准玻璃喷涂气体，提高喷涂精度，通过改变气体分配装置与玻璃之间的距离，可以调整工艺气体向玻璃的喷涂强度，达到对工艺气体与Na⁺反应强度调节的效果；另外，由于气体分配装置以悬臂形式连接于移动装置400，气体分配装置相对移动装置400具有一定挠度，容易产生变形，并且在高温环境下，气体分配装置自身会产生膨胀变形，通过调节移动装置400，改变气体分配装置与玻璃之间的夹角，可以弥补由于气体分配装置变形所导致的工艺气体分布不均，保证工艺气体在分管组200反应面不同方向上与Na⁺反应的均匀性。

可以想到的是，移动装置400包括沿水平方向驱动连接臂500平移的驱动机构，以使气体分配装置进出高温反应腔310，并调整分管组200与玻璃在水平方向上的相对位置；移动装置400还包括沿竖直方向驱动连接臂500移动的驱动机构，以调整气体分配机构与玻璃之间的间距；移动装置400还包括连接于连接臂500不同位置的微调机构，通过调节不同的微调机构，使连接臂500绕不同方向转动，或者基于某个连接点转动，以改变气体分配机构的整体姿态，使分管组200的反应面喷出的工艺气体Na⁺均匀反应。

反应装置300应设置有供气体分配装置穿设的贯穿腔330，为保证高温反应腔310的密闭效果，防止高温反应腔310内的气体外溢，贯穿腔330处应设置有柔性幕，柔性幕的外侧连接于贯穿腔的内壁，柔性幕的内侧连接于气体分配装置的外壁，一方面实现对高温反应腔310的密封，另一方面，支持气体分配装置相对玻璃的位置调整。

上面结合附图对本发明实施例作了详细说明，但是本发明不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本发明的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

Claims (10)

1.气体分配装置，其特征在于，包括：

总管组，包括至少一个供气总管和至少一个回气总管，所述供气总管用于输送工艺气体，所述回气总管用于回收所述工艺气体反应后形成的废气；

分管组，包括供气分管和回气分管，所述供气分管和所述回气分管并排分布，所述供气分管设有喷气口，所述喷气口沿所述供气分管的延伸方向设置，所述回气分管设有回气口，所述回气口沿所述回气分管的延伸方向设置，所述喷气口与所述回气口位于所述供气分管与所述回气分管的同一侧，所述供气分管沿所述供气总管的延伸方向设置有多个均匀分布的第一分气口，所述供气分管通过所述第一分气口与所述供气总管连通，所述回气分管沿所述回气总管的延伸方向设置有多个均匀分布的第二分气口，所述回气分管通过所述第二分气口与所述回气总管连通。

2.根据权利要求1所述的气体分配装置，其特征在于，沿所述供气分管的延伸方向，所述供气分管设置有至少一条第一狭缝，所述第一狭缝形成所述喷气口；沿所述回气分管的延伸方向，所述回气分管设置有至少一条第二狭缝，所述第二狭缝形成所述回气口。

3.根据权利要求2所述的气体分配装置，其特征在于，所述供气分管包括多个第一间断部，所述第一间断部沿所述供气分管的延伸方向间隔分布，所述喷气口于所述第一间断部处间断设置；所述回气分管包括多个第二间断部，所述第二间断部沿所述回气分管的延伸方向间隔分布，所述回气口于所述第二间断部处间断设置。

4.根据权利要求3所述的气体分配装置，其特征在于，所述供气分管具有第一补气口，所述第一补气口位于所述第一间断部处，所述第一补气口与所述喷气口沿垂直于所述供气分管延伸的方向交错设置；所述回气分管具有第二补气口，所述第二补气口位于所述第二间断部处，所述第二补气口与所述回气口沿垂直于所述回气分管延伸的方向交错设置。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的气体分配装置，其特征在于，所述供气分管与所述回气分管均设置有多个，所述供气分管与所述回气分管交替排布，所述回气分管位于所述分管组的外侧。

6.根据权利要求5所述的气体分配装置，其特征在于，所述总管组包括多个并排设置的供气总管与回气总管，所述供气总管与所述回气总管的排布方向与所述供气总管的延伸方向垂直，每一所述供气总管均与至少一个所述供气分管连通，每一所述回气总管均与至少一个所述回气分管连通。

7.根据权利要求6所述的气体分配装置，其特征在于，所述气体分配装置还包括多个供气支管与多个回气支管，所述供气支管的一端于所述第一分气口处与所述供气分管连通，所述供气支管的另一端与所述供气总管连通，所述回气支管的一端于所述第二分气口处与所述回气分管连通，所述回气支管的另一端与所述回气总管连通。

8.根据权利要求1所述的气体分配装置，其特征在于，所述供气分管设有所述喷气口的侧面设置为，由端部向中心处朝向所述供气分管的外侧逐渐突出；所述回气分管设有所述回气口的侧面设置为，由端部向中心处朝向所述回气分管的外侧逐渐突出。

9.喷涂设备，其特征在于，包括：

权利要求1至8中任一项所述的气体分配装置；

反应装置，内部设有高温反应腔，所述分管组与至少部分所述总管组容置于所述高温反应腔内，所述反应装置包括承载机构，所述承载机构用于放置玻璃，所述喷气口与所述回气口朝向所述承载机构设置。

10.根据权利要求9所述的喷涂设备，其特征在于，所述喷涂设备还包括移动装置，所述总管组露出至所述高温反应腔外部的一端固定于所述移动装置，所述移动装置用于改变所述气体分配装置与所述玻璃的相对位置。

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