CN114985224B - 一种排废机构及光刻胶涂覆平台 - Google Patents

Abstract

本发明属于半导体行业中光刻胶涂覆领域，具体地说是一种排废机构及光刻胶涂覆平台，包括废液盒组件及与废液盒组件相连通的排废接头组件，废液盒组件包括废液盒盖、废液盒桶及废液盒底座，废液盒底座安装于涂胶单元底板上，废液盒桶插设于废液盒底座内，废液盒桶顶部安装有废液盒盖；排废接头组件包括旋紧板、上接头及下接头，上接头的上部与废液盒底座螺纹连接、下部与下接头的上部插接，并与下接头的上部相对转动，下接头的下部为排废接头组件的出口；上接头的上表面设有旋紧板，通过在废液盒底座上方旋拧旋紧板实现上接头与废液盒底座的螺纹连接。本发明的废液盒组件与排废接头组件无需先进行固定，而是可作为相互分离的个体任意装拆。

Description

一种排废机构及光刻胶涂覆平台

技术领域

本发明属于半导体行业中光刻胶涂覆领域，具体地说是一种排废机构及光刻胶涂覆平台。

背景技术

涂胶机的核心单元是涂胶单元，其主要的工作原理是：通过胶臂运动将胶管对准晶圆圆心，将定量的光刻胶滴到晶圆表面，然后通过旋转电机带动晶圆旋转，离心力使光刻胶均匀地分布在晶圆表面。

为避免因误操作致使光刻胶溢出并流到单元处造成污染，及方便润湿溶剂顺利排出，在涂胶单元处设有专门的排废机构。该排废机构主要包括废液盒组件、排废接头、管箍、排废管及废液桶。光刻胶/溶剂经废液盒流出后，先后通过排废接头和排废管，最终流到废液桶中，以完成收集。

由于涂胶单元的空间限制，排废接头的出口向需与竖直方向成120°，以利于排废管的安装。

涂胶机在实际工作中，需经常拆装排废机构，具体是拆掉排废接头和排废管，清洗去除残留在排废管中的已经固化的光刻胶等物质，避免排废管堵塞，影响工艺和生产。

现有的排废机构主要有以下缺点：

1.在安装排废机构时，必须首先将废液盒组件与排废接头通过相配合的螺纹固定在一起，然后整体安装到涂胶单元上。其中，用于不同涂胶单元的排废接头出口朝向不同，且必须事先安装到位。

2.将废液盒组件与排废接头安装后，排废接头的出口朝向难以调整，须不断拆下—缠生料带—旋紧。操作复杂，难度大。

3.在涂胶机的日常维护中，需拆、装排废管时，必须在涂胶单元底板的下方完成拆除和安装，由于现场空间较狭窄，操作难度较大。

4.不能单独安装、拆卸：在日常维护中，需要拆除排废接头时，必须首先拆掉废液盒组件。安装复原时，仍需不断调整排废接头的方向。

发明内容

本发明的目的在于提供一种排废机构及光刻胶涂覆平台，通过全新的结构实现装配方便、便于维护；减少技术人员维护设备的难度和时间，提高效率；提高产品装配可靠性。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

本发明的排废机构包括废液盒组件及与所述废液盒组件相连通的排废接头组件，所述废液盒组件包括废液盒盖、废液盒桶及废液盒底座，所述废液盒桶及废液盒底座均为中空结构，所述废液盒底座安装于涂胶单元底板上，所述废液盒桶插设于废液盒底座内，所述废液盒桶顶部安装有废液盒盖；所述排废接头组件包括旋紧板、上接头及下接头，所述上接头及下接头均为中空结构，所述上接头的上部与废液盒底座螺纹连接，所述上接头的下部与下接头的上部插接，并与所述下接头的上部相对转动，所述下接头的下部为排废接头组件的出口；所述上接头的上表面设有旋紧板，通过在所述废液盒底座上方旋拧旋紧板实现所述上接头与废液盒底座的螺纹连接。

其中：所述废液盒盖上开设有胶嘴接口。

所述废液盒底座底板开孔的边缘沿轴向向下延伸，并在延伸部的内表面制有用于与所述上接头螺纹连接的内螺纹。

所述上接头的上部外表面制有用于废液盒底座螺纹连接的外螺纹。

所述下接头上部的内壁沿圆周方向非均布地设有多个键，上接头的上部与下部之间设有缩径段，所述上接头的下部沿圆周方向开设有与键数量相同、一一对应的键槽，所述上接头与下接头通过键由键槽穿过插接，并在插接后相对转动，进而实现所述上接头与下接头之间的相连且相互旋转。

各所述键有且只有一个位置与对应的键槽相对，即所述上接头与下接头在整个圆周范围内有且只有一个位置相连或分开；各所述键在上接头与下接头相连后均容置于缩径段内。

所述旋紧板上设有可兼容内六角扳手的开口。

所述排废接头组件还包括密封垫，所述密封垫由上接头上部套入，并安装于所述下接头的上端面。

所述下接头的下部的轴向中心线与竖直方向的夹角为120°。

本发明的光刻胶涂覆平台，包括涂胶单元、涂胶单元底板、管箍、排废管、废液桶及排废机构；

所述废液盒组件位于涂胶单元底板的上方，所述排废接头组件的出口通过管箍与排废管的一端相连，所述排废管的另一端插入到废液桶内。

本发明的优点与积极效果为：

1.本发明的排废机构在将废液盒组件与排废接头组件安装到光刻胶涂覆平台时，不需先将两者进行固定，而是可将两者作为相互分离的个体任意装拆。

2.本发明的排废机构在涂胶机日常维护时，可在涂胶单元上方拆除和安装排废接头组件，操作空间不受限，操作难度大大降低。

3.本发明的排废机构在涂胶机日常维护时，可根据需要仅拆除排废接头组件，减少维护工作量。

4.本发明的排废机构中的排废接头组件的出口朝向可任意调整。

附图说明

图1为本发明排废机构的内部结构剖视图；

图2为本发明排废机构中废液盒组件的立体结构示意图；

图3为本发明排废机构中排废接头组件的立体结构示意图；

图4为本发明排废机构中排废接头组件的内部结构剖视图；

图5为图3中上接头的立体结构示意图；

图6为图3中下接头的立体结构示意图；

图7为本发明光刻胶涂覆平台的整体结构示意图；

其中：100为涂胶单元，1为废液盒组件，2为涂胶单元底板，3为排废接头组件，4为管箍，5为排废管，6为废液桶；

101为废液盒盖，102为第一废液盒桶，103为第二废液盒桶，104为废液盒底座，105为胶嘴接口；

301为旋紧板，302为上接头，303为密封垫，304为下接头，305为开口，306为外螺纹，307为键槽，308为键，309为缩径段。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详述。

如图1～6所示，本发明的排废机构包括废液盒组件1及与废液盒组件1相连通的排废接头组件3，废液盒组件1包括废液盒盖101、废液盒桶及废液盒底座104，废液盒桶及废液盒底座104均为中空结构，废液盒底座104安装于涂胶单元底板2上，废液盒桶插设于废液盒底座104内，废液盒桶顶部安装有废液盒盖101；排废接头组件3包括旋紧板301、上接头302及下接头304，上接头302及下接头304均为中空结构，上接头302的上部与废液盒底座104螺纹连接，上接头302的下部与下接头304的上部插接，并与下接头304的上部相对转动，下接头304的下部为排废接头组件3的出口；上接头302的上表面设有旋紧板301，通过在废液盒底座104上方旋拧旋紧板301实现上接头302与废液盒底座104的螺纹连接。

本实施例的废液盒组件1整体呈方盒形状，废液盒底座104底板开孔的边缘沿轴向向下延伸，并在延伸部的内表面制有用于与上接头302螺纹连接的内螺纹，废液盒底座104通过四个螺钉与涂胶单元底板2固定连接。

本实施例的废液盒桶分为上下两个，分别为第一废液盒桶102、第二废液盒桶103，第二废液盒桶103的下端与废液盒底座104插接，第一废液盒桶102的下端与第二废液盒桶103的上端插接，废液盒盖101插接至第一废液盒桶102的顶部。本实施例的废液盒盖101上开设有胶嘴接口105。

本实施例的上接头302整体呈圆柱状，上接头302的上部外表面制有用于废液盒底座104螺纹连接的外螺纹306；上接头302的上部在与废液盒底座104连接时，插入废液盒底座104上的延伸部内进行螺纹连接。本实施例下接头304的上部为空心圆柱，下接头304的内壁沿圆周方向非均布地设有多个键308，上接头302的上部与下部之间设有缩径段309，上接头302的下部沿圆周方向开设有与键308数量相同、一一对应的键槽307，上接头302与下接头304通过键308由键槽307穿过插接，并在插接后相对转动，进而实现上接头302与下接头304之间的相连且相互旋转，而且不会脱落。本实施例的健308有键槽307均为五个，五个键308之间的夹角(即相邻两键径向中心线的夹角)依次为45°、60°、95°、75°。这种设计能够使各键308有且只有一个位置与对应的键槽307相对，即上接头302与下接头304在整个圆周范围内有且只有一个位置相连或分开；各键308在上接头302与下接头304相连后均容置于缩径段309内。

本实施例的旋紧板301上设有一个可兼容14#内六角扳手的开口305。

本实施例的排废接头组件3还包括密封垫303，密封垫303由上接头302上部套入，并安装于下接头304的上端面。

本实施例的下接头304的下部与上部倾斜设置，下接头304的下部的轴向中心线与竖直方向的夹角为120°。

如图7所示，本发明的光刻胶涂覆平台包括涂胶单元100、废液盒组件1、涂胶单元底板2、排废接头组件3、管箍4、排废管5及废液桶6，废液盒组件1位于涂胶单元底板2的上方，并通过四个螺钉固定连接到涂胶单元底板2上，排废接头组件3通过上接头302上的外螺纹306与废液盒组件1中的废液盒底座104上的内螺纹进行连接固定，并通过管箍4与排废管5的一端相固定，排废管5的另一端插入到废液桶6的出口内。排废接头组件3的出口向与竖直方向的夹角为120°。

当需要对排废机构进行安装时，首先将上接头302与下接头304进行匹配安装，确保二者可以相互转动顺畅，无卡滞；将废液盒底座104通过四个螺钉固定于涂胶单元底板2上，然后利用14#内六角扳手，在废液盒底座104上方插入开口305内，通过旋紧板301将排废接头组件3与废液盒底座104相互初步固定，此时密封垫303与涂胶单元底板2相互贴紧，实现对废液的密封；调整下接头304出口朝向至所需位置；通过旋紧板301将排废接头组件3与废液盒底座104进行最终固定；将废液盒盖101、第一废液盒桶102、第二废液盒桶103进行插接，安装至废液盒底座104上方；最后通过管箍4将排废管5与排废接头组件3相互固定，并将排废管5的另一端伸入到废液桶6内。

当需要对排废机构进行拆卸时，首先在涂胶单元100上方拆除废液盒盖101、第一废液盒桶102、第二废液盒桶103；然后利用14#内六角扳手，在废液盒底座104上方，通过旋紧板301将排废接头组件3从废液盒底座104拆除，此过程中下接头304不会随上接头302同步旋转，避免了对排废管5造成损坏；最后在涂胶单元100下方直接抽出排废管5即可。

Claims (7)

1.一种排废机构，其特征在于：包括废液盒组件(1)及与所述废液盒组件(1)相连通的排废接头组件(3)，所述废液盒组件(1)包括废液盒盖(101)、废液盒桶及废液盒底座(104)，所述废液盒桶及废液盒底座(104)均为中空结构，所述废液盒底座(104)安装于涂胶单元底板(2)上，所述废液盒桶插设于废液盒底座(104)内，所述废液盒桶顶部安装有废液盒盖(101)；所述排废接头组件(3)包括旋紧板(301)、上接头(302)及下接头(304)，所述上接头(302)及下接头(304)均为中空结构，所述上接头(302)的上部与废液盒底座(104)螺纹连接，所述上接头(302)的下部与下接头(304)的上部插接，并与所述下接头(304)的上部相对转动，所述下接头(304)的下部为排废接头组件(3)的出口；所述上接头(302)的上表面设有旋紧板(301)，通过在所述废液盒底座(104)上方旋拧旋紧板(301)实现所述上接头(302)与废液盒底座(104)的螺纹连接；

所述下接头(304)上部的内壁沿圆周方向非均布地设有多个键(308)，上接头(302)的上部与下部之间设有缩径段(309)，所述上接头(302)的下部沿圆周方向开设有与键(308)数量相同、一一对应的键槽(307)，所述上接头(302)与下接头(304)通过键(308)由键槽(307)穿过插接，并在插接后相对转动，进而实现所述上接头(302)与下接头(304)之间的相连且相互旋转；

各所述键(308)有且只有一个位置与对应的键槽(307)相对，即所述上接头(302)与下接头(304)在整个圆周范围内有且只有一个位置相连或分开；各所述键(308)在上接头(302)与下接头(304)相连后均容置于缩径段(309)内；

所述下接头(304)的下部的轴向中心线与竖直方向的夹角为120°。

2.根据权利要求1所述的排废机构，其特征在于：所述废液盒盖(101)上开设有胶嘴接口(105)。

3.根据权利要求1所述的排废机构，其特征在于：所述废液盒底座(104)底板开孔的边缘沿轴向向下延伸，并在延伸部的内表面制有用于与所述上接头(302)螺纹连接的内螺纹。

4.根据权利要求1所述的排废机构，其特征在于：所述上接头(302)的上部外表面制有用于废液盒底座(104)螺纹连接的外螺纹(306)。

5.根据权利要求1所述的排废机构，其特征在于：所述旋紧板(301)上设有可兼容内六角扳手的开口(305)。

6.根据权利要求1所述的排废机构，其特征在于：所述排废接头组件(3)还包括密封垫(303)，所述密封垫(303)由上接头(302)上部套入，并安装于所述下接头(304)的上端面。

7.一种光刻胶涂覆平台，包括涂胶单元(100)、涂胶单元底板(2)、管箍(4)、排废管(5)及废液桶(6)，其特征在于：还包括权利要求1至6任一权利要求所述的排废机构；

所述废液盒组件(1)位于涂胶单元底板(2)的上方，所述排废接头组件(3)的出口通过管箍(4)与排废管(5)的一端相连，所述排废管(5)的另一端插入到废液桶(6)内。

Images