CN105502258B - 一种废液收集装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种生产使用过程中的废液收集装置，包括废液桶、废液汇集盒、废液桶底座、升降气缸、汇集管臂及汇集管，废液汇集盒及升降气缸分别安装在废液桶底座上，导流废液的废液管与废液汇集盒相连通；废液桶放置在废液桶底座的下方，废液汇集盒上的排废管上套设有可相对升降的汇集管，汇集管的下端为收集废液时插入废液桶的桶口内的自由端，上端与汇集管臂的一端相连，汇集管臂的另一端与升降气缸的输出端连接，汇集管臂通过升降气缸的驱动带动汇集管升降。本发明在废液汇集盒的排废管上设置了可升降的汇集管，进而使汇集管插入废液桶桶口或抽出桶口，既解决了废液桶与排废管口容易粘连的问题，又使取放废液桶方便。

Description

一种废液收集装置

技术领域

本发明涉及一种生产使用过程中的废液收集装置，可用于半导体芯片加工过程中不同设备化学废液的收集。

背景技术

目前，在半导体芯片加工过程中，需用匀胶机对芯片进行光刻胶的涂覆，以便完成光刻工艺。其中此类设备产生的废液通常会排放到位于设备下端的废液桶中，由于光刻胶等化学品粘度较大，经常将排废管与废液桶粘连在一起，导致更换取放废液桶困难。

发明内容

为了解决废液桶经常粘连、不易更换的问题，本发明的目的在于提供一种废液收集装置。该废液收集装置在生产使用过程中，方便废液桶取放更换。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

本发明包括废液桶、废液汇集盒、废液桶底座、升降气缸、汇集管臂及汇集管，其中废液汇集盒及升降气缸分别安装在废液桶底座上，导流废液的废液管与该废液汇集盒相连通；所述废液桶放置在废液桶底座的下方，所述废液汇集盒上的排废管上套设有可相对升降的汇集管，该汇集管的下端为收集废液时插入所述废液桶的桶口内的自由端，上端与所述汇集管臂的一端相连，所述汇集管臂的另一端与所述升降气缸的输出端连接，所述汇集管臂通过该升降气缸的驱动带动所述汇集管升降，所述废液收集盒收集的废液依次经过排废管、汇集管流入所述废液桶中。

其中：所述汇集管的轴向截面为“T”形，中间开有通孔，所述汇集管的上端固接于汇集管臂的上表面、与汇集管臂连动，下端由所述汇集管臂一端上的开口穿过；所述排废管、汇集管、汇集管臂一端上的开口及废液桶的桶口的轴向中心线共线；所述废液桶底座上安装有固定板，该固定板上设有线性导轨；所述汇集管臂的另一端连接有沿所述线性导轨上下滑动的传动块，所述汇集管的下端通过该传动块及线性导轨插入或抽出所述废液桶的桶口；所述汇集管臂下方的废液桶底座上安装有限位块；所述废液桶底座上安装有检测废液桶中废液面高度的传感器；所述废液汇集盒及升降气缸均通过固定架安装在废液桶底座上，所述汇集管及汇集管臂均位于该固定架的下方；所述升降气缸外设有保护升降气缸裸露在外的气缸罩。

本发明的优点与积极效果为：

1.本发明在废液汇集盒的排废管上设置了可升降的汇集管，利用汇集管臂的上升或下降，使汇集管升降，进而使汇集管插入废液桶桶口或抽出桶口，既解决了废液桶与排废管口容易粘连的问题，又使取放废液桶方便。

2.本发明的汇集管同汇集管臂与升降气缸相连，升降气缸在上升或下降过程中，带动汇集管臂上下运动，从而使汇集管上升或下降，无需人为操作。

3.本发明设置了传动块及线性导轨，利用线性导轨运动过程中始终保持线性状态这一特点，进而保证汇集管臂垂直升降时始终呈线性运动状态，固定块将线性导轨固定在废液桶底座上，使整个装置在升降过程中不会产生变形。

4.本发明汇集管臂下方的废液桶底座上安装了限位块，避免汇集管臂直接与废液桶底座发生碰撞，还对汇集管臂的行程进行限位。

5.本发明在废液桶底座上设置了传感器，可准确检测废液桶中的液面高度。

附图说明

图1为本发明的立体结构示意图；

图2为本发明的结构主视图；

图3为本发明的结构侧视图；

图4为图3中A—A的剖视图；

其中：1为废液桶，2为传感器，3为废液汇集盒，4为废液桶底座，5为升降气缸，6为线性导轨，7为传动块，8为固定板，9为汇集管臂，10为汇集管，11为限位块，12为排废管，13为固定架，14为气缸罩，15为桶口。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详述。

如图1～4所示，本发明包括废液桶1、传感器2、废液汇集盒3、废液桶底座4、升降气缸5、线性导轨6、传动块7、固定板8、汇集管臂9、汇集管10及限位块11，其中废液汇集盒3及升降气缸5均通过固定架13固接在废液桶底座4上，废液桶1放置在废液桶底座4的下方。固定架13呈倒置的“U”形，废液汇集盒3及升降气缸5分别固接在固定架13上，升降气缸5外设有保护升降气缸5裸露在外的气缸罩14。废液汇集盒3的上部均布有多个废液管接口及废气管接口，下部设有排废管12，机台内部用于导流废液的废液管插入各废液管接口中，机台产生的废液经废液管导流至废液汇集盒3中。

排废管12的下端套设有可相对垂直升降的汇集管10，该汇集管10的上端固接于汇集管臂9上表面的一端，下端由汇集管臂9该端上开设的圆形开口穿过、为收集废液时插入废液桶1的桶口15内的自由端；汇集管臂9的另一端与升降气缸5的输出端连接，汇集管臂9通过该升降气缸5的驱动带动汇集管10升降。汇集管10的轴向截面为“T”形，中间开有通孔，排废管12的下端插设在汇集管10上的通孔内；汇集管10的上端及汇集管臂9均位于废液桶底座4与固定架13之间，汇集管10的下端在升降气缸5的驱动下插入桶口15内或由桶口15抽出。废液桶底座4上安装有固定板8，该固定板8上设有线性导轨6；汇集管臂9的另一端向外延伸通过沉头孔与传动块7相连，传动块7可沿线性导轨6上下滑动，通过传动块7将汇集管臂9与线性导轨6连接到一起，当升降气缸5上升或下降时，汇集管臂9可随升降气缸5做线性升降运动，以便汇集管10顺利插入或抽出废液桶1的桶口15。

废液桶1上的桶口15与汇集管10相对应，排废管12、汇集管10、汇集管臂9一端上的圆形开口及废液桶1的桶口15的轴向中心线共线。通过升降气缸5的上升或下降，带动汇集管臂9升降以至汇集管10升降运动，在此过程中，汇集管臂9依靠线性导轨6达到上升或下降过程中的线性运动，保证汇集管臂9垂直升降时始终呈线性运动状态，从而使汇集管10的中心不会偏离废液桶1的桶口15中心，使整个装置在升降过程中不会产生变形。汇集管臂9下方的废液桶底座4上安装有限位块11，在汇集管臂9下降时，避免汇集管臂9直接与废液桶底座4发生碰撞，也对汇集管臂9的行程进行限位。废液桶底座4上安装有传感器2，该传感器2可检测废液桶1中液面的高度，以便及时确认废液桶1的更换。

本发明的工作原理为：

升降气缸5处于下降状态时，带动汇集管臂9处于下降状态，汇集管10通过汇集管臂9的升降作用，此时处于下降状态，并插入废液桶1的桶口15中；匀胶及显影设备内部废液管插入废液汇集盒3上方的废液管接口中，匀胶及显影设备产生的废液经废液管流入到废液汇集盒3中，经过汇集管10流入到废液桶1中；当废液桶1中的液面到达传感器2所安装的位置时，传感器2报警，提示更换废液桶1。

当废液桶1中的废液装满时，升降气缸5上升到达上限位，升降气缸5带动汇集管臂9上升，汇集管臂9上升时将汇集管10抬起，使汇集管10抽出废液桶1的桶口15，更换已满废液桶1，重复上面操作使汇集管10重新插入到废液桶1的桶口15中，继续收集废液。

Claims (7)

1.一种废液收集装置，其特征在于：包括废液桶(1)、废液汇集盒(3)、废液桶底座(4)、升降气缸(5)、汇集管臂(9)及汇集管(10)，其中废液汇集盒(3)及升降气缸(5)分别安装在废液桶底座(4)上，导流废液的废液管与该废液汇集盒(3)相连通；所述废液桶(1)放置在废液桶底座(4)的下方，所述废液汇集盒(3)上的排废管(12)上套设有可相对升降的汇集管(10)，该汇集管(10)的下端为收集废液时插入所述废液桶(1)的桶口(15)内的自由端，上端与所述汇集管臂(9)的一端相连，所述汇集管臂(9)的另一端与所述升降气缸(5)的输出端连接，所述汇集管臂(9)通过该升降气缸(5)的驱动带动所述汇集管(10)升降，所述废液收集盒(3)收集的废液依次经过排废管(12)、汇集管(10)流入所述废液桶(1)中；

所述汇集管(10)的轴向截面为“T”形，中间开有通孔，所述汇集管(10)的上端固接于汇集管臂(9)的上表面、与汇集管臂(9)连动，下端由所述汇集管臂(9)一端上的开口穿过。

2.按权利要求1所述的废液收集装置，其特征在于：所述排废管(12)、汇集管(10)、汇集管臂(9)一端上的开口及废液桶(1)的桶口(15)的轴向中心线共线。

3.按权利要求1或2所述的废液收集装置，其特征在于：所述废液桶底座(4)上安装有固定板(8)，该固定板(8)上设有线性导轨(6)；所述汇集管臂(9)的另一端连接有沿所述线性导轨(6)上下滑动的传动块(7)，所述汇集管(10)的下端通过该传动块(7)及线性导轨(6)插入或抽出所述废液桶(1)的桶口(15)。

4.按权利要求1所述的废液收集装置，其特征在于：所述汇集管臂(9)下方的废液桶底座(4)上安装有限位块(11)。

5.按权利要求1所述的废液收集装置，其特征在于：所述废液桶底座(4)上安装有检测废液桶(1)中废液面高度的传感器(2)。

6.按权利要求1所述的废液收集装置，其特征在于：所述废液汇集盒(3)及升降气缸(5)均通过固定架(13)安装在废液桶底座(4)上，所述汇集管(10)及汇集管臂(9)均位于该固定架(13)的下方。

7.按权利要求6所述的废液收集装置，其特征在于：所述升降气缸(5)外设有保护升降气缸(5)裸露在外的气缸罩(14)。