CN114959593A - 一种激光晶体镀膜装置及其镀膜方法 - Google Patents

Abstract

本发明属于激光晶体镀膜技术领域，尤其是一种激光晶体镀膜装置及其镀膜方法，包括用于激光晶体镀膜的电子束蒸发镀膜机和待镀膜的环形晶体，电子束蒸发镀膜机的表面开设有密封腔体，密封腔体的内底壁分别固定连接有电子光束底座和呈对称的蒸发源；密封腔体的内部设置有支撑转轴，支撑转轴的下表面固定连接有伞状载件盘，支撑转轴的外表面设置有缓冲移动装置，包括阻尼伸缩杆。该激光晶体镀膜装置及其镀膜方法，通过推动液压机工作，推动支撑滑块在移动限位滑槽的内侧壁进行移动，从而实现支撑滑块带动支撑移板移动，使支撑移板下方的伞状载件盘移出密封腔体，便于工作人员将环形晶体固定在伞状载件盘的内表面。

Description

一种激光晶体镀膜装置及其镀膜方法

技术领域

本发明涉及激光晶体镀膜技术领域，尤其涉及一种激光晶体镀膜装置及其镀膜方法。

背景技术

激光晶体由发光中心和基质晶体两部分组成，大部分激光晶体的发光中心由激活离子构成，激活离子部分取代基质晶体中的阳离子形成掺杂型激光晶体，激活离子成为基质晶体组分的一部分时，则构成自激活激光晶体，激光晶体镀膜是用物理或化学的方法在材料表面镀上一层透明的电解质膜，或镀一层金属膜，目的是改变材料表面的反射和透射特性。

现有的激光晶体镀膜是采用电子束蒸发镀膜机进行光学镀膜，在电子束蒸发镀膜机在工作的过程中，待镀膜的晶体放置在伞状载件盘的安装孔中，一般通过粘结的方式对晶体进行固定，但是伞状载件盘在高速转动时，容易使其表面粘结的晶体脱落，从而导致镀膜失败，且伞状载件盘在高速转动时，连接其的转轴因离心力导致转轴偏转，使得晶体镀膜时存在误差，从而本发明的提出，解决了上述技术问题的不足。

发明内容

基于现有的激光晶体通过粘结的方式对晶体进行固定，在激光晶体的载件盘高速转动时容易使其表面粘结的晶体脱落，同时载件盘高速转动时，因离心力导致转轴偏转，使得晶体镀膜时存在误差的技术问题，本发明提出了一种激光晶体镀膜装置及其镀膜方法。

本发明提出的一种激光晶体镀膜装置及其镀膜方法，包括用于激光晶体镀膜的电子束蒸发镀膜机和待镀膜的环形晶体，所述电子束蒸发镀膜机的表面开设有密封腔体，所述密封腔体的内底壁分别固定连接有电子光束底座和呈对称的蒸发源；

所述密封腔体的内部设置有支撑转轴，所述支撑转轴的下表面固定连接有伞状载件盘，所述支撑转轴的外表面设置有缓冲移动装置，所述缓冲移动装置包括阻尼伸缩杆，所述阻尼伸缩杆在支撑转轴进行高速转动时进行伸缩调节而对所述支撑转轴的转动进行缓冲；

所述伞状载件盘的内表面设置有夹持装置，所述夹持装置包括挤压柱，所述挤压柱呈相对设置有两个，所述挤压柱进行相对运动，对所述环形晶体放置在所述伞状载件盘的表面进行夹持固定；

所述蒸发源的上表面设置有修正挡板，所述修正挡板的一侧设置有转动缓冲装置，所述转动缓冲装置包括缓冲伸缩杆，所述缓冲伸缩杆对所述修正挡板进行转动时进行缓冲。

优选地，所述密封腔体的内顶壁设置有支撑移板，所述电子束蒸发镀膜机的上端内部固定安装有推动液压机，所述密封腔体的内顶壁开设有移动限位滑槽，所述推动液压机的活塞杆外表面固定连接有支撑滑块。

通过上述技术方案，支撑移板设置在密封腔体的上端内部，并通过电子束蒸发镀膜机内部安装的推动液压机工作，使支撑滑块带动支撑移板水平移动，进而使支撑移板带动伞状载件盘进行水平移动至密封腔体的外部，从而便于对环形晶体进行安装，对其表面进行镀膜。

优选地，所述支撑滑块的下表面与所述支撑移板的上表面固定连接，所述支撑滑块的外表面与所述移动限位滑槽的内侧壁滑动卡接，所述密封腔体的内顶壁固定连接有呈对称设置的支撑滑轨，所述支撑移板的上表面与所述支撑滑轨的外表面滑动卡接。

通过上述技术方案，伞状载件盘设置在支撑移板的下方，为了便于环形晶体进行安装，通过推动液压机工作，推动支撑滑块在移动限位滑槽的内侧壁进行移动，从而实现支撑滑块带动支撑移板移动，使支撑移板下方的伞状载件盘移出密封腔体，便于工作人员将环形晶体固定在伞状载件盘的内表面，支撑滑轨对支撑移板进行支撑。

优选地，所述支撑移板的内部固定安装有减速电机，所述减速电机的输出轴外表面通过联轴器与所述支撑转轴的外表面固定连接，所述支撑转轴的外表面转动套接有支撑筒。

通过上述技术方案，在安装好环形晶体后，支撑移板进行复位，在密封腔体进行关闭后，支撑移板中安装的减速电机工作，从而带动支撑转轴在支撑筒的内壁进行转动，使蒸发源及电子光束底座产生的镀膜光束均匀的对伞状载件盘表面安装的环形晶体进行镀膜，支撑筒对支撑转轴的转动进行限位，避免其转动产生角度晃动，从而使得环形晶体镀膜精确度不够。

优选地，所述支撑筒的外表面固定套接有缓冲板，所述缓冲板的前后表面固定连接有振动连接杆，所述振动连接杆的一端外表面固定连接有连接块，所述缓冲板的下表面固定连接有振动支撑杆，所述振动支撑杆的下表面与所述连接块的上表面固定连接。

通过上述技术方案，缓冲板与支撑筒通过振动连接杆与振动支撑杆支撑在支撑转轴的外表面，从而在支撑转轴进行高速转动时，使得振动连接杆与振动支撑杆产生频率晃动，进而对支撑转轴的离心力进行缓冲。

优选地，所述连接块的一侧表面通过连接轴与阻尼伸缩杆的一端铰接，所述阻尼伸缩杆的另一端通过铰接耳板与所述支撑移板的下表面铰接，所述阻尼伸缩杆的内部设置有阻尼弹簧。

通过上述技术方案，阻尼伸缩杆呈前后设置有两个，将振动连接杆与振动支撑杆的铰接处连接块限位支撑在支撑移板的下表面，从而在支撑转轴进行高速转动产生离心力使得支撑筒及其外表面的缓冲板进行振动时，带动阻尼伸缩杆在阻尼弹簧的作用下进行伸缩，从而可对振动连接杆与振动支撑杆的晃动进行缓冲，进而实现了支撑转轴限位，避免其晃动而产生镀膜误差。

优选地，所述支撑转轴的外表面固定套接有伞架，所述伞架的下表面与所述伞状载件盘的上表面固定连接，所述伞状载件盘的内表面呈环形阵列开设有安装孔，所述安装孔的内底壁固定连接有粘结盘。

通过上述技术方案，伞架可将伞状载件盘与支撑转轴进行稳定连接，从而支撑转轴带动伞状载件盘进行转动，在伞状载件盘移出密封腔体时，工作人员可将环形晶体放置在安装孔的内底壁，通过粘结盘进行粘接固定。

优选地，所述安装孔的内侧壁固定连接有橡胶弧圈，所述橡胶弧圈的内侧壁与所述环形晶体的外表面滑动套接，所述伞状载件盘的内部开设有呈环形阵列的驱动腔体，所述驱动腔体的下端与所述安装孔的上端固定连通，所述驱动腔体的内壁转动连接有双向螺杆，所述双向螺杆的外表面与所述挤压柱的内壁螺纹套接，所述双向螺杆的中部外表面活动套接有压缩弹簧，所述压缩弹簧的两端与所述挤压柱相对一侧表面开设的凹槽内壁固定连接。

通过上述技术方案，为了在环形晶体受到挤压柱夹持固定时，通过橡胶弧圈对其受到的夹持力进行缓冲，同时橡胶弧圈的外表面通过铝锡箔纸进行包裹，从而可使橡胶弧圈在高温下对环形晶体进行缓冲，呈环形阵列的双向螺杆经过单片机进行控制，从而同步进行转动，使得双向螺杆外表面相对设置的挤压柱相对运动，从驱动腔体内壁滑入安装孔的内壁，并与环形晶体的外表面接触，对其进行挤压而与橡胶弧圈的内表面挤压固定，挤压柱相对一侧表面呈弧面，从而能对环形晶体夹持，压缩弹簧对挤压柱的相对运动进行限位缓冲。

优选地，所述密封腔体的内底壁转动连接有旋转轴，所述旋转轴的上端外表面固定套接有安装板，所述安装板的下表面与所述修正挡板的上表面固定连接，所述修正挡板的一侧外表面固定连接有凸板，所述凸板的表面通过连接轴铰接有缓冲轮，所述缓冲伸缩杆的一侧表面与所述密封腔体的内侧壁固定连接，所述缓冲伸缩杆的伸缩端外表面与所述缓冲轮的外表面滑动接触。

通过上述技术方案，旋转轴通过电子束蒸发镀膜机控制而进行转动，从而带动修正挡板进行90度转动，电子束蒸发镀膜机在工作的过程中，待镀膜的环形晶体放置在伞状载件盘的安装孔中，蒸发源将镀膜材料蒸发实现在环形晶体上镀膜，环形晶体在经过光学镀膜后，能够达到一致的光学性能，为了调整环形晶体的镀膜量，修正挡板安装在伞状载件盘的下方，即位于蒸发源向伞状载件盘方向蒸发镀膜材料的路径上，在工作的过程中，伞状载件盘会不停地旋转，每一片环形晶体都会被修正挡板多次遮挡，为了避免修正挡板在旋转轴带动下转动超过90度，从而使遮挡量产生误差，进而在修正挡板的转动路径上设置缓冲伸缩杆，使修正挡板转动后，其外表面的凸板表面的缓冲轮打在缓冲伸缩杆的外表面进行缓冲，因而缓冲伸缩杆呈90度分布在密封腔体的内部。

优选地，所述激光晶体镀膜装置的镀膜方法，其镀膜方法为：

S1、通过打开电子束蒸发镀膜机的仓门，通过电子束蒸发镀膜机内部安装的推动液压机工作，使其活塞杆推动支撑滑块在移动限位滑槽的内侧壁进行移动，从而实现支撑滑块带动支撑移板在支撑滑轨的外表面移动，进而使支撑移板带动伞状载件盘进行水平移动至密封腔体的外部；

S2、伞状载件盘进行水平移动至密封腔体的外部后，工作人员将环形晶体逐个放置在安装孔的内底壁，通过粘结盘进行粘接固定，为了避免环形晶体随着伞状载件盘高速转动脱落，通过单片机控制呈环形阵列的驱动腔体内部的双向螺杆同步进行转动，使得双向螺杆外表面相对设置的挤压柱相对运动，从驱动腔体内壁滑入安装孔的内壁，并与环形晶体的外表面接触，挤压环形晶体，与橡胶弧圈形成对环形晶体的夹持固定；

S3、在安装好环形晶体后，支撑移板进行复位，在密封腔体进行关闭后，支撑移板中安装的减速电机工作，从而带动支撑转轴在支撑筒的内壁进行转动，使蒸发源及电子光束底座产生的镀膜光束均匀的对伞状载件盘表面安装的环形晶体进行镀膜，在支撑转轴进行高速转动时，使得缓冲板外的振动连接杆与振动支撑杆产生频率晃动，带动阻尼伸缩杆在阻尼弹簧的作用下进行伸缩，从而可对振动连接杆与振动支撑杆的晃动进行缓冲，进而实现了支撑转轴限位，避免其晃动而产生镀膜误差；

S4、电子束蒸发镀膜机在工作的过程中，待镀膜的环形晶体放置在伞状载件盘的安装孔中，蒸发源将镀膜材料蒸发实现在环形晶体上镀膜，环形晶体在经过光学镀膜后，能够达到一致的光学性能，为了调整环形晶体的镀膜量，修正挡板安装在伞状载件盘的下方，即位于蒸发源向伞状载件盘方向蒸发镀膜材料的路径上，在工作的过程中，伞状载件盘会不停地旋转，每一片环形晶体都会被修正挡板多次遮挡，为了避免修正挡板在旋转轴带动下转动超过90度，从而使遮挡量产生误差，进而在修正挡板的转动路径上设置缓冲伸缩杆，使修正挡板转动后，其外表面的凸板表面的缓冲轮打在缓冲伸缩杆的外表面进行缓冲，进而实现了环形晶体的均匀镀膜。

本发明中的有益效果为：

1、通过设置缓冲移动装置，可便于环形晶体安装在伞状载件盘上，在调节的过程中，通过推动液压机工作，推动支撑滑块在移动限位滑槽的内侧壁进行移动，从而实现支撑滑块带动支撑移板移动，使支撑移板下方的伞状载件盘移出密封腔体，便于工作人员将环形晶体固定在伞状载件盘的内表面，支撑滑轨对支撑移板进行支撑，进而实现对环形晶体的快速安装取放。

2、通过设置夹持装置，对安放的环形晶体进行夹持固定，在调节的过程中，通过单片机控制呈环形阵列的双向螺杆同步进行转动，使得双向螺杆外表面相对设置的挤压柱相对运动，从驱动腔体内壁滑入安装孔的内壁，并与环形晶体的外表面接触，对其进行挤压而与橡胶弧圈的内表面挤压固定，从而避免环形晶体在高速转动进行光学镀膜时脱落。

3、通过设置转动缓冲装置，对环形晶体的蒸发源进行调节，避免产生镀膜误差，在调节的过程中，通过在修正挡板的转动路径上设置缓冲伸缩杆，使修正挡板转动后，其外表面的凸板表面的缓冲轮打在缓冲伸缩杆的外表面进行缓冲，从而可控制修正挡板的转动角度，使修正挡板调整环形晶体的镀膜量。

附图说明

图1为本发明提出的一种激光晶体镀膜装置及其镀膜方法的示意图；

图2为本发明提出的一种激光晶体镀膜装置及其镀膜方法的移动限位滑槽结构立体图；

图3为本发明提出的一种激光晶体镀膜装置及其镀膜方法的支撑滑轨结构立体图；

图4为本发明提出的一种激光晶体镀膜装置及其镀膜方法的阻尼伸缩杆结构立体图；

图5为本发明提出的一种激光晶体镀膜装置及其镀膜方法的缓冲板结构立体图；

图6为本发明提出的一种激光晶体镀膜装置及其镀膜方法的伞状载件盘结构立体图；

图7为本发明提出的一种激光晶体镀膜装置及其镀膜方法的驱动腔体结构立体图；

图8为本发明提出的一种激光晶体镀膜装置及其镀膜方法的双向螺杆结构立体图；

图9为本发明提出的一种激光晶体镀膜装置及其镀膜方法的修正挡板结构立体图；

图10为本发明提出的一种激光晶体镀膜装置及其镀膜方法的缓冲轮结构立体图。

图中：1、电子束蒸发镀膜机；11、密封腔体；12、电子光束底座；13、蒸发源；14、修正挡板；15、移动限位滑槽；2、环形晶体；3、支撑转轴；31、支撑筒；32、缓冲板；33、振动连接杆；34、连接块；35、振动支撑杆；36、伞架；4、伞状载件盘；41、阻尼伸缩杆；42、阻尼弹簧；43、安装孔；44、粘结盘；45、橡胶弧圈；46、驱动腔体；47、双向螺杆；48、压缩弹簧；5、挤压柱；6、缓冲伸缩杆；61、凸板；62、缓冲轮；7、支撑移板；71、推动液压机；72、支撑滑块；73、减速电机；74、支撑滑轨；8、旋转轴；81、安装板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-10，一种激光晶体镀膜装置及其镀膜方法，包括用于激光晶体镀膜的电子束蒸发镀膜机1和待镀膜的环形晶体2，电子束蒸发镀膜机1的表面开设有密封腔体11，密封腔体11的内底壁分别固定连接有电子光束底座12和呈对称的蒸发源13；

密封腔体11的内部设置有支撑转轴3，支撑转轴3的下表面固定连接有伞状载件盘4，支撑转轴3的外表面设置有缓冲移动装置，缓冲移动装置包括阻尼伸缩杆41，阻尼伸缩杆41在支撑转轴3进行高速转动时进行伸缩调节而对支撑转轴3的转动进行缓冲；

为了对伞状载件盘4进行支撑，在密封腔体11的内顶壁设置有支撑移板7，为了对支撑移板7进行推动，进而能实现伞状载件盘4的推动，在电子束蒸发镀膜机1的上端内部固定安装有推动液压机71，为了使支撑移板7与推动液压机71的活塞杆连接，在密封腔体11的内顶壁开设有移动限位滑槽15，并在推动液压机71的活塞杆外表面固定连接有支撑滑块72，从而推动液压机71工作，使支撑滑块72带动支撑移板7水平移动，进而使支撑移板7带动伞状载件盘4进行水平移动至密封腔体11的外部，从而便于对环形晶体2进行安装，对其表面进行镀膜；

为了支撑滑块72带动支撑移板7在移动限位滑槽15内壁移动，使支撑滑块72的下表面与支撑移板7的上表面固定连接，并且支撑滑块72的外表面与移动限位滑槽15的内侧壁滑动卡接，为了对支撑移板7的移动过程进行支撑，在密封腔体11的内顶壁固定连接有呈对称设置的支撑滑轨74，使支撑移板7的上表面与支撑滑轨74的外表面滑动卡接；

为了控制支撑转轴3进行转动，在支撑移板7的内部固定安装有减速电机73，使减速电机73的输出轴外表面通过联轴器与支撑转轴3的外表面固定连接，为了对支撑转轴3的转动进行限位，避免其转动产生角度晃动，在支撑转轴3的外表面转动套接有支撑筒31；

为了对支撑筒31因支撑转轴3的转动而晃动进行缓冲，在支撑筒31的外表面固定套接有缓冲板32，并且缓冲板32的前后表面固定连接有振动连接杆33，为了对振动连接杆33进行支撑安装，在振动连接杆33的一端外表面固定连接有连接块34，并且缓冲板32的下表面固定连接有振动支撑杆35，从而振动支撑杆35的下表面与连接块34的上表面固定连接，从而在支撑转轴3进行高速转动时，使得振动连接杆33与振动支撑杆35产生频率晃动，进而对支撑转轴3的离心力进行缓冲；

为了对振动连接杆33与振动支撑杆35的晃动进行缓冲，进而实现了支撑转轴3限位，避免其晃动而产生镀膜误差，在连接块34的一侧表面通过连接轴与阻尼伸缩杆41的一端铰接，使阻尼伸缩杆41的另一端通过铰接耳板与支撑移板7的下表面铰接，而阻尼伸缩杆41的内部设置有阻尼弹簧42。

伞状载件盘4的内表面设置有夹持装置，夹持装置包括挤压柱5，挤压柱5呈相对设置有两个，挤压柱5进行相对运动，对环形晶体2放置在伞状载件盘4的表面进行夹持固定；

为了对伞状载件盘4与支撑转轴3之间进行稳定连接，在支撑转轴3的外表面固定套接有伞架36，使伞架36的下表面与伞状载件盘4的上表面固定连接，为了对环形晶体2进行安装，在伞状载件盘4的内表面呈环形阵列开设有安装孔43，并且安装孔43的内底壁固定连接有粘结盘44，从而在伞状载件盘4移出密封腔体11时，工作人员可将环形晶体2放置在安装孔43的内底壁，通过粘结盘44进行粘接固定；

为了在环形晶体2受到挤压柱5夹持固定时对其受到的夹持力进行缓冲，使安装孔43的内侧壁固定连接有橡胶弧圈45，从而橡胶弧圈45的内侧壁与环形晶体2的外表面滑动套接，为了对挤压柱5进行驱动，在伞状载件盘4的内部开设有呈环形阵列的驱动腔体46，并且驱动腔体46的下端与安装孔43的上端固定连通，为了使挤压柱5在驱动腔体46内部进行伸缩，在驱动腔体46的内壁转动连接有双向螺杆47，双向螺杆47的外表面与挤压柱5的内壁螺纹套接，为了对相对运动的挤压柱5进行缓冲限位，在驱动腔体46的内壁转动连接有双向螺杆47，使双向螺杆47的外表面与挤压柱5的内壁螺纹套接。

蒸发源13的上表面设置有修正挡板14，修正挡板14的一侧设置有转动缓冲装置，转动缓冲装置包括缓冲伸缩杆6，缓冲伸缩杆6对修正挡板14进行转动时进行缓冲；

为了对修正挡板14进行支撑安装，并控制其转动，在密封腔体11的内底壁转动连接有旋转轴8，旋转轴8的上端外表面固定套接有安装板81，从而安装板81的下表面与修正挡板14的上表面固定连接，为了使修正挡板14转动时通过缓冲伸缩杆6对其转动角度进行限位，在修正挡板14的一侧外表面固定连接有凸板61，并且凸板61的表面通过连接轴铰接有缓冲轮62，而且缓冲伸缩杆6的一侧表面与密封腔体11的内侧壁固定连接，从而缓冲伸缩杆6的伸缩端外表面与缓冲轮62的外表面滑动接触，进而为了避免修正挡板14在旋转轴8带动下转动超过90度，从而使遮挡量产生误差，进而在修正挡板14的转动路径上设置缓冲伸缩杆6，使修正挡板14转动后，其外表面的凸板61表面的缓冲轮62打在缓冲伸缩杆6的外表面进行缓冲。

工作原理：本发明在具体的实施例中，通过打开电子束蒸发镀膜机1的仓门，通过电子束蒸发镀膜机1内部安装的推动液压机71工作，使其活塞杆推动支撑滑块72在移动限位滑槽15的内侧壁进行移动，从而实现支撑滑块72带动支撑移板7在支撑滑轨74的外表面移动，进而使支撑移板7带动伞状载件盘4进行水平移动至密封腔体11的外部；

伞状载件盘4进行水平移动至密封腔体11的外部后，工作人员将环形晶体2逐个放置在安装孔43的内底壁，通过粘结盘44进行粘接固定，为了避免环形晶体2随着伞状载件盘4高速转动脱落，通过单片机控制呈环形阵列的驱动腔体46内部的双向螺杆47同步进行转动，使得双向螺杆47外表面相对设置的挤压柱5相对运动，从驱动腔体46内壁滑入安装孔43的内壁，并与环形晶体2的外表面接触，挤压环形晶体2，与橡胶弧圈45形成对环形晶体2的夹持固定；

在安装好环形晶体2后，支撑移板7进行复位，在密封腔体11进行关闭后，支撑移板7中安装的减速电机73工作，从而带动支撑转轴3在支撑筒31的内壁进行转动，使蒸发源13及电子光束底座12产生的镀膜光束均匀的对伞状载件盘4表面安装的环形晶体2进行镀膜，在支撑转轴3进行高速转动时，使得缓冲板32外的振动连接杆33与振动支撑杆35产生频率晃动，带动阻尼伸缩杆41在阻尼弹簧42的作用下进行伸缩，从而可对振动连接杆33与振动支撑杆35的晃动进行缓冲，进而实现了支撑转轴3限位，避免其晃动而产生镀膜误差；

电子束蒸发镀膜机1在工作的过程中，待镀膜的环形晶体2放置在伞状载件盘4的安装孔43中，蒸发源13将镀膜材料蒸发实现在环形晶体2上镀膜，环形晶体2在经过光学镀膜后，能够达到一致的光学性能，为了调整环形晶体2的镀膜量，修正挡板14安装在伞状载件盘4的下方，即位于蒸发源13向伞状载件盘4方向蒸发镀膜材料的路径上，在工作的过程中，伞状载件盘4会不停地旋转，每一片环形晶体2都会被修正挡板14多次遮挡，为了避免修正挡板14在旋转轴8带动下转动超过90度，从而使遮挡量产生误差，进而在修正挡板14的转动路径上设置缓冲伸缩杆6，使修正挡板14转动后，其外表面的凸板61表面的缓冲轮62打在缓冲伸缩杆6的外表面进行缓冲，进而实现了环形晶体2的均匀镀膜。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种激光晶体镀膜装置，包括用于激光晶体镀膜的电子束蒸发镀膜机(1)和待镀膜的环形晶体(2)，其特征在于：所述电子束蒸发镀膜机(1)的表面开设有密封腔体(11)，所述密封腔体(11)的内底壁分别固定连接有电子光束底座(12)和呈对称的蒸发源(13)；

所述密封腔体(11)的内部设置有支撑转轴(3)，所述支撑转轴(3)的下表面固定连接有伞状载件盘(4)，所述支撑转轴(3)的外表面设置有缓冲移动装置，所述缓冲移动装置包括阻尼伸缩杆(41)，所述阻尼伸缩杆(41)在支撑转轴(3)进行高速转动时进行伸缩调节而对所述支撑转轴(3)的转动进行缓冲；

所述伞状载件盘(4)的内表面设置有夹持装置，所述夹持装置包括挤压柱(5)，所述挤压柱(5)呈相对设置有两个，所述挤压柱(5)进行相对运动，对所述环形晶体(2)放置在所述伞状载件盘(4)的表面进行夹持固定；

所述蒸发源(13)的上表面设置有修正挡板(14)，所述修正挡板(14)的一侧设置有转动缓冲装置，所述转动缓冲装置包括缓冲伸缩杆(6)，所述缓冲伸缩杆(6)对所述修正挡板(14)进行转动时进行缓冲。

2.根据权利要求1所述的一种激光晶体镀膜装置，其特征在于：所述密封腔体(11)的内顶壁设置有支撑移板(7)，所述电子束蒸发镀膜机(1)的上端内部固定安装有推动液压机(71)，所述密封腔体(11)的内顶壁开设有移动限位滑槽(15)，所述推动液压机(71)的活塞杆外表面固定连接有支撑滑块(72)。

3.根据权利要求2所述的一种激光晶体镀膜装置，其特征在于：所述支撑滑块(72)的下表面与所述支撑移板(7)的上表面固定连接，所述支撑滑块(72)的外表面与所述移动限位滑槽(15)的内侧壁滑动卡接，所述密封腔体(11)的内顶壁固定连接有呈对称设置的支撑滑轨(74)，所述支撑移板(7)的上表面与所述支撑滑轨(74)的外表面滑动卡接。

4.根据权利要求2所述的一种激光晶体镀膜装置，其特征在于：所述支撑移板(7)的内部固定安装有减速电机(73)，所述减速电机(73)的输出轴外表面通过联轴器与所述支撑转轴(3)的外表面固定连接，所述支撑转轴(3)的外表面转动套接有支撑筒(31)。

5.根据权利要求4所述的一种激光晶体镀膜装置，其特征在于：所述支撑筒(31)的外表面固定套接有缓冲板(32)，所述缓冲板(32)的前后表面固定连接有振动连接杆(33)，所述振动连接杆(33)的一端外表面固定连接有连接块(34)，所述缓冲板(32)的下表面固定连接有振动支撑杆(35)，所述振动支撑杆(35)的下表面与所述连接块(34)的上表面固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种激光晶体镀膜装置，其特征在于：所述连接块(34)的一侧表面通过连接轴与阻尼伸缩杆(41)的一端铰接，所述阻尼伸缩杆(41)的另一端通过铰接耳板与所述支撑移板(7)的下表面铰接，所述阻尼伸缩杆(41)的内部设置有阻尼弹簧(42)。

7.根据权利要求1所述的一种激光晶体镀膜装置，其特征在于：所述支撑转轴(3)的外表面固定套接有伞架(36)，所述伞架(36)的下表面与所述伞状载件盘(4)的上表面固定连接，所述伞状载件盘(4)的内表面呈环形阵列开设有安装孔(43)，所述安装孔(43)的内底壁固定连接有粘结盘(44)。

8.根据权利要求7所述的一种激光晶体镀膜装置，其特征在于：所述安装孔(43)的内侧壁固定连接有橡胶弧圈(45)，所述橡胶弧圈(45)的内侧壁与所述环形晶体(2)的外表面滑动套接，所述伞状载件盘(4)的内部开设有呈环形阵列的驱动腔体(46)，所述驱动腔体(46)的下端与所述安装孔(43)的上端固定连通，所述驱动腔体(46)的内壁转动连接有双向螺杆(47)，所述双向螺杆(47)的外表面与所述挤压柱(5)的内壁螺纹套接，所述双向螺杆(47)的中部外表面活动套接有压缩弹簧(48)，所述压缩弹簧(48)的两端与所述挤压柱(5)相对一侧表面开设的凹槽内壁固定连接。

9.根据权利要求1所述的一种激光晶体镀膜装置，其特征在于：所述密封腔体(11)的内底壁转动连接有旋转轴(8)，所述旋转轴(8)的上端外表面固定套接有安装板(81)，所述安装板(81)的下表面与所述修正挡板(14)的上表面固定连接，所述修正挡板(14)的一侧外表面固定连接有凸板(61)，所述凸板(61)的表面通过连接轴铰接有缓冲轮(62)，所述缓冲伸缩杆(6)的一侧表面与所述密封腔体(11)的内侧壁固定连接，所述缓冲伸缩杆(6)的伸缩端外表面与所述缓冲轮(62)的外表面滑动接触。

10.基于权利要求1-9任意一项所述一种激光晶体镀膜装置的镀膜方法，其镀膜方法为：

S1、通过打开电子束蒸发镀膜机(1)的仓门，通过电子束蒸发镀膜机(1)内部安装的推动液压机(71)工作，使其活塞杆推动支撑滑块(72)在移动限位滑槽(15)的内侧壁进行移动，从而实现支撑滑块(72)带动支撑移板(7)在支撑滑轨(74)的外表面移动，进而使支撑移板(7)带动伞状载件盘(4)进行水平移动至密封腔体(11)的外部；

S2、伞状载件盘(4)进行水平移动至密封腔体(11)的外部后，工作人员将环形晶体(2)逐个放置在安装孔(43)的内底壁，通过粘结盘(44)进行粘接固定，为了避免环形晶体(2)随着伞状载件盘(4)高速转动脱落，通过单片机控制呈环形阵列的驱动腔体(46)内部的双向螺杆(47)同步进行转动，使得双向螺杆(47)外表面相对设置的挤压柱(5)相对运动，从驱动腔体(46)内壁滑入安装孔(43)的内壁，并与环形晶体(2)的外表面接触，挤压环形晶体(2)，与橡胶弧圈(45)形成对环形晶体(2)的夹持固定；

S3、在安装好环形晶体(2)后，支撑移板(7)进行复位，在密封腔体(11)进行关闭后，支撑移板(7)中安装的减速电机(73)工作，从而带动支撑转轴(3)在支撑筒(31)的内壁进行转动，使蒸发源(13)及电子光束底座(12)产生的镀膜光束均匀的对伞状载件盘(4)表面安装的环形晶体(2)进行镀膜，在支撑转轴(3)进行高速转动时，使得缓冲板(32)外的振动连接杆(33)与振动支撑杆(35)产生频率晃动，带动阻尼伸缩杆(41)在阻尼弹簧(42)的作用下进行伸缩，从而可对振动连接杆(33)与振动支撑杆(35)的晃动进行缓冲，进而实现了支撑转轴(3)限位，避免其晃动而产生镀膜误差；

S4、电子束蒸发镀膜机(1)在工作的过程中，待镀膜的环形晶体(2)放置在伞状载件盘(4)的安装孔(43)中，蒸发源(13)将镀膜材料蒸发实现在环形晶体(2)上镀膜，环形晶体(2)在经过光学镀膜后，能够达到一致的光学性能，为了调整环形晶体(2)的镀膜量，修正挡板(14)安装在伞状载件盘(4)的下方，即位于蒸发源(13)向伞状载件盘(4)方向蒸发镀膜材料的路径上，在工作的过程中，伞状载件盘(4)会不停地旋转，每一片环形晶体(2)都会被修正挡板(14)多次遮挡，为了避免修正挡板(14)在旋转轴(8)带动下转动超过90度，从而使遮挡量产生误差，进而在修正挡板(14)的转动路径上设置缓冲伸缩杆(6)，使修正挡板(14)转动后，其外表面的凸板(61)表面的缓冲轮(62)打在缓冲伸缩杆(6)的外表面进行缓冲，进而实现了环形晶体(2)的均匀镀膜。

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