CN114951120A - 一种减薄机毛刷清洗方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种减薄机毛刷清洗方法，S1、调配药剂，取一个容器，将界/表面活性剂与水按照一定比例倒入容器混合，得到清洗药液；S2、将毛刷清洗池清洗干净，然后将待清洗的毛刷放入毛刷清洗池中，倒入步骤S1中的清洗药液，使得毛刷完全浸泡在清洗药液中，浸泡一段时间；S3、将浸泡完成后的毛刷取出，用纯水冲洗一段时间，然后自然干燥即可。清洗后的毛刷能够更有效的防止减薄后硅片表面产生Dimple，并且持续时间久，大大提高了毛刷的工作时间，减少了清洗维护概率，进而提高了生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，具体为一种减薄机毛刷清洗方法。
背景技术
由于半导体晶圆制造对于成本的诉求日益增高，而大面积硅片在单位产出芯片的数量和单位成本具有优势，因此半导体硅衬底片的尺寸也趋于大直径化，从最早的2英寸、3英寸发展到当今的8英寸、12英寸及研发中的18英寸，硅片面积日益增加，随之带来的12寸晶圆片的表面微观形貌有了新的要求。减薄机在作业过程中在台面上会残留一些硅粉以及一些颗粒，毛刷在清洁台面时这些颗粒会附着在毛刷上，导致毛刷清洁效果和效率变低，造成减薄片产生小坑(Dimple)，因此需要对毛刷做定期清洁。
发明内容
本发明提供了一种减薄机毛刷清洗方法。
一种减薄机毛刷清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、调配药剂，取一个容器，将界/表面活性剂与水按照一定比例倒入容器混合，得到清洗药液；
S2、将毛刷清洗池清洗干净，然后将待清洗的毛刷放入毛刷清洗池中，倒入步骤S1中的清洗药液，使得毛刷完全浸泡在清洗药液中，浸泡一段时间；
S3、将浸泡完成后的毛刷取出，用纯水冲洗一段时间，然后自然干燥即可。
优选的，清洗药液配比为界/表面活性剂：水＝1:10～1.5:10；界/表面活性剂为日化精工株式会社生产的界/表面C。
优选的，容器为5000ml量杯。
优选的，浸泡时间最佳为12小时。
优选的，冲洗时间最佳为3分钟。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：清洗后的毛刷能够更有效的防止减薄后硅片表面产生Dimple，并且持续时间久，大大提高了毛刷的工作时间，减少了清洗维护概率，进而提高了生产效率。
附图说明
图1为使用本发明清洗的毛刷连续工作1个月，每天产品出现Dimple的概率示意图。
具体实施方式
下面对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
一种减薄机毛刷清洗方法，包括以下步骤：
S1、调配药剂，取一个容器，将界/表面活性剂与水按照一定比例倒入容器混合，得到清洗药液；清洗药液配比为界/表面活性剂：水＝1:10～1.5:10；界/表面活性剂为日化精工株式会社生产的界/表面C。容器为5000ml量杯。
S2、将毛刷清洗池清洗干净，然后将待清洗的毛刷放入毛刷清洗池中，倒入步骤S1中的清洗药液，使得毛刷完全浸泡在清洗药液中，浸泡一段时间；浸泡时间最佳为12小时。
S3、将浸泡完成后的毛刷取出，用纯水冲洗一段时间，然后自然干燥即可。冲洗时间最佳为3分钟。
实施例1
S1、调配药剂，取一个5000ml量杯，将200ml界/表面活性剂与2000ml水倒入量杯混合，得到清洗药液；
S2、将毛刷清洗池清洗干净，然后将待清洗的毛刷放入毛刷清洗池中，倒入步骤S1中的清洗药液，使得毛刷完全浸泡在清洗药液中，浸泡12小时；
S3、将浸泡完成后的毛刷取出，用纯水冲洗3分钟，然后自然干燥即可。
实施例2
S1、调配药剂，取一个5000ml量杯，将250ml界/表面活性剂与2000ml水倒入量杯混合，得到清洗药液；
S2、将毛刷清洗池清洗干净，然后将待清洗的毛刷放入毛刷清洗池中，倒入步骤S1中的清洗药液，使得毛刷完全浸泡在清洗药液中，浸泡12小时；
S3、将浸泡完成后的毛刷取出，用纯水冲洗3分钟，然后自然干燥即可。
实施例3
S1、调配药剂，取一个5000ml量杯，将300ml界/表面活性剂与2000ml水倒入量杯混合，得到清洗药液；
S2、将毛刷清洗池清洗干净，然后将待清洗的毛刷放入毛刷清洗池中，倒入步骤S1中的清洗药液，使得毛刷完全浸泡在清洗药液中，浸泡12小时；
S3、将浸泡完成后的毛刷取出，用纯水冲洗3分钟，然后自然干燥即可。
通过本发明清洗后的毛刷连续工作1个月，每天产品出现Dimple的概率如图1所示。
图示证明，本发明清洗后的毛刷能够更有效的防止减薄后硅片表面产生Dimple，并且持续时间久，大大提高了毛刷的工作时间，减少了清洗维护概率，进而提高了生产效率。
尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种减薄机毛刷清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、调配药剂，取一个容器，将界/表面活性剂与水按照一定比例倒入容器混合，得到清洗药液；
S2、将毛刷清洗池清洗干净，然后将待清洗的毛刷放入毛刷清洗池中，倒入步骤S1中的清洗药液，使得毛刷完全浸泡在清洗药液中，浸泡一段时间；
S3、将浸泡完成后的毛刷取出，用纯水冲洗一段时间，然后自然干燥即可。
2.根据权利要求1所述的减薄机毛刷清洗方法，其特征在于：清洗药液配比为界/表面活性剂：水＝1:10～1.5:10；界/表面活性剂为日化精工株式会社生产的界/表面C。
3.根据权利要求1所述的减薄机毛刷清洗方法，其特征在于：容器为5000ml量杯。
4.根据权利要求1所述的减薄机毛刷清洗方法，其特征在于：浸泡时间最佳为12小时。
5.根据权利要求1所述的减薄机毛刷清洗方法，其特征在于：冲洗时间最佳为3分钟。
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