CN114941124B - 一种真空晶圆镀膜装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种真空晶圆镀膜装置，涉及半导体技术领域。真空晶圆镀膜装置包括腔体、盖板及连接件。腔体具有开口，腔体用于容置机械手，机械手用于传递晶圆。盖板设置有连接部，通过连接件固定设置于腔体的外壁，盖板设置有连接部，连接部与连接件活动连接，以使盖板可相对腔体转动，以打开或关闭开口，无需转移盖板，避免了盖板划伤、磕碰而影响其密封性能，且开关方便，便于机械手的维护或拆卸，从而提高了维护效率，节省了大量人力及维护时间，进而提高生产效率。

Description

一种真空晶圆镀膜装置
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种真空晶圆镀膜装置。
背景技术
随着全球缺芯危机加重，晶圆的产能需求越来越高，对于各芯片生产设备商也纷纷提高芯片生产速率。然而现有的芯片生产设备在晶圆镀膜过程中的真空机械手的维护次数较多，对芯片的生产效率有着较大的影响，另外每次在维护过程中都需要拆除机械手腔的盖板，并将其放置在远离机械手腔的地方。而为了防止机械手腔盖板在放置过程中划伤或磕碰，影响机械手腔的密封效果，必须使用珍珠棉或其他物品做衬垫，从而导致搬运不方便，维护效率低。
发明内容
本发明提供了一种真空晶圆镀膜装置，其避免了在真空机械手维护过程中对盖板造成划伤、磕碰，提高维护效率。
本发明的实施例可以这样实现：
第一方面，本发明提供一种真空晶圆镀膜装置，包括腔体、盖板及连接件；
所述腔体具有开口，所述腔体用于容置机械手，所述机械手用于传递晶圆；
所述连接件固定设置于所述腔体的外壁；
所述盖板设置有连接部，所述连接部与所述连接件活动连接，以使所述盖板可相对所述腔体转动，以打开或关闭所述开口。
在可选的实施方式中，所述连接件设置有滑动部和定位部，所述连接部包括间隔设置的第一插销和第二插销，所述第一插销可与所述滑动部滑动配合，所述第二插销可在所述第一插销沿所述滑动部滑动并转动预设角度的情况下嵌入所述定位部，以使所述盖板保持打开状态。
在可选的实施方式中，所述滑动部为导向槽，所述导向槽沿竖直方向延伸，所述第一插销可嵌入所述导向槽并与所述导向槽滑动配合。
在可选的实施方式中，所述定位部为通槽，所述通槽沿竖直方向延伸，且所述通槽远离所述滑动部的一端具有通口，以供所述第二插销嵌入所述通槽。
在可选的实施方式中，所述通槽具有第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁的长度小于所述第二侧壁的长度，且所述第一侧壁靠近所述第二插销。
在可选的实施方式中，所述滑动部为导向槽，所述导向槽位于所述通槽的下方，在所述第一插销滑动至所述导向槽靠近所述通槽的一端的情况下，所述第二插销位于所述第一侧壁的端部和所述第二侧壁的端部之间。
在可选的实施方式中，所述连接件靠近所述滑动部的一端还设置有固定座，所述固定座与所述腔体固定连接，所述固定座包括相互连接的固定部及凸出部，所述固定部位于所述滑动部朝向所述盖板的一侧，所述凸出部位于所述滑动部的另一侧；
所述盖板靠近所述连接部的底壁设置有避让槽，所述固定部与所述避让槽的形状适配，且所述避让槽的深度与所述固定部的厚度匹配，在所述盖板关闭所述开口的状态下所述固定部嵌入所述避让槽。
在可选的实施方式中，所述真空晶圆镀膜装置还包括第一磁吸件、第二磁吸件以及上位机，所述第一磁吸件设置于所述盖板，所述第二磁吸件设置于所述腔体与所述第一磁吸件对应的部位，所述第一磁吸件和所述第二磁吸件均与所述上位机连接，所述上位机用于控制所述第一磁吸件和所述第二磁吸件吸合或断开吸合。
在可选的实施方式中，所述真空晶圆镀膜装置还包括密封件，在所述腔体的所述开口处设置有密封槽，所述密封槽用于容置并露出所述密封件，以使所述密封件与所述盖板接触。
在可选的实施方式中，所述真空晶圆镀膜装置还包括紧固件，所述盖板开设有通孔，所述腔体开设有安装孔，所述紧固件穿过所述通孔并与所述安装孔固定配合。
本发明实施例提高的真空晶圆镀膜装置的有益效果包括：通过连接件固定设置于腔体的外壁，盖板设置有连接部，连接部与连接件活动连接，以使盖板可相对腔体转动，以打开或关闭开口，无需转移盖板，避免了盖板划伤、磕碰而影响其密封性能，且开关方便，便于机械手的维护或拆卸，从而提高了维护效率，节省了大量人力及维护时间，进而提高生产效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本发明实施例提供的真空晶圆镀膜装置关闭状态结构示意图；
图2为本发明实施例提供的真空晶圆镀膜装置打开状态结构示意图；
图3为本发明实施例提供的连接件结构示意图；
图4为本发明实施例提供的盖板结构示意图1；
图5为本发明实施例提供的盖板结构示意图2；
图6为本发明实施例提供的腔体机构示意图。
图标：10-真空晶圆镀膜装置；100-腔体；110-开口；120-密封槽；130-安装孔；200-盖板；210-连接部；211-第一插销；212-第二插销；220-把手；230-通孔；240-避让槽；300-连接件；310-滑动部；311-导向槽；320-定位部；321-通槽；322-第一侧壁；323-第二侧壁；330-固定座；331-固定部；332-凸出部；400-磁吸组件；410-第一磁吸件；420-第二磁吸件；500-密封件。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本发明的描述中，需要说明的是，若出现术语“上”、“下”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
此外，若出现术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明的实施例中的特征可以相互结合。
现在行业中已知的涉及到真空机械手腔盖板的都是完全分离式的，在维护机械手时需拆除盖板并将其转移至其他地方，在这过程中容易划伤、磕碰盖板，影响其密封性能，另外转移盖板也耗时耗力，降低了维护效率甚至生产效率。
为解决上述问题，本发明提供了一种便于拆卸维护的真空晶圆镀膜装置，其结构简单，能够提高维护效率。
请参阅图1至图6，本发明提供的一种真空晶圆镀膜装置10包括腔体100、盖板200、连接件300以及磁吸组件400。
在本实施例中，腔体100的顶壁具有一个开口110，盖板200盖设在腔体100的开口110外，以通过腔体100和盖板200为晶圆提供一个真空密封传输环境。腔体100用于容置机械手(图未示)，通过机械手在真空环境中传递晶圆(图未示)。
另外，磁吸组件400设置在盖板200和腔体100的连接处，并在盖板200盖设在腔体100的情况下开启，以保证盖板200紧闭地盖设在腔体100的开口110处，提高密封性能。连接件300固定设置于腔体100的外壁，盖板200设置有连接部210，连接部210与连接件300活动连接，以使盖板200可相对腔体100转动，以打开或关闭开口110，无需转移盖板200，避免了盖板200划伤、磕碰而影响其密封性能，且开关方便，便于机械手的维护或拆卸，从而提高了维护效率，节省了大量人力及维护时间，进而提高生产效率。
进一步地，连接件300设置有滑动部310、定位部320和固定座330，连接部210包括第一插销211和第二插销212，第一插销211可与滑动部310滑动配合，第二插销212可在第一插销211沿滑动部310滑动并转动预设角度的情况下嵌入定位部320，以使盖板200保持打开状态。连接件300通过固定座330固定在腔体100外。
在本实施例中，固定座330包括相互连接的固定部331及凸出部332，固定部331位于滑动部310朝向盖板200的一侧，凸出部332位于滑动部310的另一侧，且凸出部332靠近第一侧壁322。
在本实施例中，连接件300的数量为两个，两个连接件300通过螺栓相对地固定在腔体100顶壁的同一侧边的两端。连接部210的数量也为两个，两个连接部210设置在盖板200相背的两个侧壁，并分别与两个连接件300对应。
在本实施例中，第一插销211和第二插销212间隔设置。盖板200可在外力的作用下以第一插销211为转轴相对滑动部310转动，并沿滑动部310朝向定位部320的方向滑动一定距离，以使得第二插销212嵌入定位部320内，从而使得盖板200保持打开状态，避免了因转移盖板200而划伤、磕碰盖板200。
可选地，滑动部310为导向槽311，定位部320为通槽321。第一插销211和第二插销212均为圆柱销。
进一步地，导向槽311和通槽321均沿竖直方向延伸，且导向槽311位于通槽321的正下方，第一插销211可嵌入导向槽311并与导向槽311滑动配合，通槽321远离滑动部310的一端具有通口，以供第二插销212嵌入通槽321。
在本实施例中，盖板200在外力的作用下使第一插销211相对导向槽311转动，并沿导向槽311的延伸方向滑动，以使盖板200相对腔体100转动并竖直向上运动，在第一插销211滑动至导向槽311的靠近通槽321的一端的情况下，第二插销212刚好位于通槽321的通口处，此时使第一插销211沿导向槽311向下滑动，并使第二插销212完全嵌入到通槽321内，从而实现了盖体打开开口110并保持打开状态，避免了在机械手在维护过程中产生不必要的划伤、磕碰，节约了维护的人力和时间等，有效地提升了维护效率。
进一步地，通槽321具有第一侧壁322和第二侧壁323，第一侧壁322的长度小于第二侧壁323的长度，且所述第一侧壁322靠近所述第二插销212。
在本实施例中，第二侧壁323远离导向槽311的一端在竖直方向上高于第一侧壁322远离导向槽311的一端，且在该第一侧壁322和第二侧壁323的一端形成通口。
在本实施例中，第二插销212在盖板200的带动下从第一侧壁322远离导向槽311的一端靠近通口，并通过通口嵌入至通槽321内，而第二侧壁323在竖直方向上高出第一侧壁322的部分可对第二插销212起到阻碍作用，防止第二插销212移动幅度过大以移动至第二侧壁323外，以此使得盖板200翻转角度过大而损坏盖板200。
进一步地，在第一插销211滑动至导向槽311靠近通槽321的一端情况下，第二插销212位于第一侧壁322的端部和第二侧壁323的端部之间。
在本实施例中，在第一插销211位于导向槽311远离通槽321的一端的情况下，盖板200通常呈水平状态并盖设在腔体100上，而盖板200在外力的作用下即可带动第一插销211相对导向槽311转动，同时使得第一插销211沿导向槽311滑动至导向槽311靠近通槽321的一端，此时第二插销212在第一插销211和导向槽311的限制下可在第一侧壁322的端部和第二侧壁323的端部之间的区域活动，从而进一步对第二插销212进行限位，防止盖板200过度翻转，提高盖板200保持打开状态的稳定性，最后再通过盖板200带动第二插销212嵌入至通槽321内即可使盖板200保持打开状态。
可以理解的是，盖板200关闭开口110的操作与上述操作相反，通过盖板200带动第二插销212沿通槽321滑动直至脱离通槽321，再转动一定角度以使第二插销212远离第一侧壁322，最后带动第一插销211沿导向槽311滑动至导向槽311远离通槽321的一端并转动至水平状态，以盖设在腔体100上并关闭开口110。
进一步地，盖板200还设置有避让槽240，在盖板200关闭开口110的状态下固定部331嵌入避让槽240。
在本实施例中，固定部331与避让槽240的形状适配，且避让槽240的深度与固定部331的厚度匹配。避让槽240设置于盖板200靠近连接部210的底壁，固定座330设置于连接件300靠近滑动部310的一端，在盖板200盖设在腔体100外以关闭开口110的情况下，固定座330可刚好嵌入至避让槽240内，以使盖板200的底壁可与腔体100的开口110所在的顶面完全贴合，避免连接件300影响盖板200关闭进而影响腔体100的密封性能。
进一步地，盖板200远离腔体100的一面设置有把手220，通过人工或机械设备作用于把手220，以抬起、转动盖体，从而实现盖板200的开关动作。
进一步地，真空晶圆镀膜装置10还包括密封件500，在腔体100的开口110处设置有密封槽120，密封槽120用于容置并露出密封件500，以使密封件500与盖板200接触。
在本实施例中，开口110大致呈方形，密封槽120开设在开口110边缘处，通过将密封件500设置在密封槽120内，以在盖板200盖设在腔体100上时由密封件500填充腔体100与盖板200之间的间隙，以保证腔体100内能够形成真空环境。
具体地，密封件500为密封圈，其密封效果好，可保证腔体100的漏率控制在10-9～10-10pam3/s。
进一步地，磁吸组件400包括第一磁吸件410、第二磁吸件420以及上位机(图未示)。
其中，第一磁吸件410设置于盖板200，第二磁吸件420设置于腔体100与第一磁吸件410对应的部位，第一磁吸件410和第二磁吸件420均与上位机连接，上位机用于控制第一磁吸件410和第二磁吸件420吸合或断开吸合。
在本实施例中，盖板200上至少设置有两个第一磁吸件410，腔体100上至少设置有两个第一磁吸件410，第一磁吸件410与第二磁吸件420对应设置，以在上位机的控制下进行磁吸或断开磁吸，从而实现盖板200和腔体100的固定连接，保证腔体100的密封效果。
另外，第一磁吸件410和第二磁吸件420还可以向上位机传递盖板200的开关信号，以便于操作人员更清晰地识别盖板200的开关情况。
进一步地，真空晶圆镀膜装置10还包括紧固件(图未示)，盖板200开设有通孔230，腔体100开设有安装孔130，紧固件穿过通孔230并与安装孔130固定配合。
具体地，紧固件为螺钉，通孔230和安装孔130的数量为多个且一一对应，通过将多个螺钉分别安装在多个通孔230和安装孔130上，以进一步确保盖板200紧固地盖设在腔体100上，从而保证腔体100的真空环境。
综上所述，本发明提供的真空晶圆镀膜装置10，通过连接件300固定设置于腔体100的外壁，盖板200设置有连接部210，连接部210与连接件300活动连接，以使盖板200可相对腔体100转动，以打开或关闭开口110，无需转移盖板200，避免了盖板200划伤、磕碰而影响其密封性能，且开关方便，便于机械手的维护或拆卸，从而提高了维护效率，节省了大量人力及维护时间，进而提高生产效率。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (5)

1.一种真空晶圆镀膜装置，其特征在于，包括腔体、盖板及连接件；
所述腔体具有开口，所述腔体用于容置机械手，所述机械手用于传递晶圆；
所述连接件固定设置于所述腔体的外壁；
所述盖板设置有连接部，所述连接部与所述连接件活动连接，以使所述盖板可相对所述腔体转动，以打开或关闭所述开口；
所述连接件设置有滑动部和定位部，所述连接部包括间隔设置的第一插销和第二插销，所述第一插销可与所述滑动部滑动配合，所述第二插销可在所述第一插销沿所述滑动部滑动并转动预设角度的情况下嵌入所述定位部，以使所述盖板保持打开状态；
所述滑动部为导向槽，所述导向槽沿竖直方向延伸，所述第一插销可嵌入所述导向槽并与所述导向槽滑动配合；
所述定位部为通槽，所述通槽沿竖直方向延伸，且所述通槽远离所述滑动部的一端具有通口，以供所述第二插销嵌入所述通槽；
所述通槽具有第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁的长度小于所述第二侧壁的长度，且所述第一侧壁靠近所述第二插销；
所述滑动部为导向槽，所述导向槽位于所述通槽的下方，在所述第一插销滑动至所述导向槽靠近所述通槽的一端的情况下，所述第二插销位于所述第一侧壁的端部和所述第二侧壁的端部之间。
2.根据权利要求1所述的真空晶圆镀膜装置，其特征在于，所述连接件靠近所述滑动部的一端还设置有固定座，所述固定座与所述腔体固定连接，所述固定座包括相互连接的固定部及凸出部，所述固定部位于所述滑动部朝向所述盖板的一侧，所述凸出部位于所述滑动部的另一侧；
所述盖板靠近所述连接部的底壁设置有避让槽，所述固定部与所述避让槽的形状适配，且所述避让槽的深度与所述固定部的厚度匹配，在所述盖板关闭所述开口的状态下所述固定部嵌入所述避让槽。
3.根据权利要求1所述的真空晶圆镀膜装置，其特征在于，所述真空晶圆镀膜装置还包括第一磁吸件、第二磁吸件以及上位机，所述第一磁吸件设置于所述盖板，所述第二磁吸件设置于所述腔体与所述第一磁吸件对应的部位，所述第一磁吸件和所述第二磁吸件均与所述上位机连接，所述上位机用于控制所述第一磁吸件和所述第二磁吸件吸合或断开吸合。
4.根据权利要求1所述的真空晶圆镀膜装置，其特征在于，所述真空晶圆镀膜装置还包括密封件，在所述腔体的所述开口处设置有密封槽，所述密封槽用于容置并露出所述密封件，以使所述密封件与所述盖板接触。
5.根据权利要求1所述的真空晶圆镀膜装置，其特征在于，所述真空晶圆镀膜装置还包括紧固件，所述盖板开设有通孔，所述腔体开设有安装孔，所述紧固件穿过所述通孔并与所述安装孔固定配合。
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